【課題】パターン形状の測定精度を向上させた検査装置を提供する。
【解決手段】下地層の上に所定のパターンを有するウェハ５のパターンを検査する検査装置であって、対物レンズ７の瞳面もしくは該瞳面と共役な面における領域毎の光の強度情報を検出する撮像素子１８と、パターンの形状変化に対しては強度情報の変化が異なり、下地層の変化に対しては強度情報の変化が同程度である、瞳面もしくは該瞳面と共役な面内の第１領域と第２領域の位置情報をそれぞれ記憶する記憶部と、撮像素子１８で検出される、第１領域の強度情報と、第２領域の強度情報との差異に基づいてパターンの形状を求める演算処理部２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。
【解決手段】異状検査システム１００（検出装置）は、検査対象物３を撮像する光源ユニット１０及び検出ユニット２０と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物３中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット３０と、を備える。この異状検査システム１００では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に形成される欠陥で、欠陥単独では面積的に許容レベルの欠陥の中から異常と見なすべき欠陥を抽出するための判定ロジック及び該判定ロジックを備える自動欠陥検査装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、フィルムの搬送機構と、搬送されるフィルムの表面を撮像する撮像機構と、前記撮像データに基づいてフィルム上の異常部分を抽出しその面積を算出する画像処理機構と、を有する自動欠陥検査装置であって、画像処理機構は、予め設定された面積より大きな面積を有する異常部分を欠陥として判定する機構と、フィルムを特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を超えた場合に欠陥として判定する機構と、を有することを特徴とする自動欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】分ガラス基板の全面亘って平坦性を確保し、精度よく検査できるガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法あるいはガラス基板欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】ガラス基板をエアで浮上力を発生させて浮上させ、前記浮上力のない検査領域に搬送し、前記検査領域において前記ガラス基板を撮像し検査するガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法において、前記検査領域の周囲において、前記浮上力を発生する前記ガラス基板面と反対側の面に前記ガラス基板をエアで挟み込む挟込力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】搬送される撮像対象物を３ライン方式のカメラにより複数方向から撮像してカラー画像データを生成するカラー画像データ生成装置を提供する。
【解決手段】各ラインセンサ１１１，１１２，１１３の並設間隔をＰ、搬送面に沿って搬送される撮像対象物Ｗを上方向から撮像したときの分解能をａ、撮像対象物Ｗを側面方向から撮像したときの分解能をｂとすると、搬送面内における側面方向Ｌと搬送方向Ｋとの間の角度θがＰ＝ｓ×ａ及びＰ＝ｔ×ｂの関係を満たす角度であり且つθ＝ｓｉｎ^−１（ｓ／ｔ）となる角度に側面方向Ｌが設定される。ＲＧＢの各成分の画像データの内、上方向についてはｎ番目，ｎ＋ｓ番目及びｎ＋２ｓ番目の画像データに含まれる上面画像、側面方向についてはｍ番目，ｍ＋ｔ番目及びｍ＋２ｔ番目の画像データに含まれる側面画像がそれぞれ合成されてカラー画像データが生成される（ｓ，ｔ，ｎ，ｍは１以上の整数）。 （もっと読む）

【課題】クラックでない線状の領域の誤検出を招くことなく、高精度にクラックを検出する。
【解決手段】クラックの領域を映している可能性がある画素を選別する画素選別処理部４と、画素選別処理部４により選別された画素を繋ぎ合わせて線状の画像領域を形成し、その画像領域がクラックの一部を構成している線分であるか否かを判別する線分判別処理部５と、線分判別処理部５によりクラックの一部を構成していると判別された線分を繋ぎ合わせて折れ線を形成し、その折れ線がクラックに相当する折れ線であるか否かを判別する折れ線判別処理部６とを設け、折れ線判別処理部６によりクラックに相当すると判別された折れ線を表示する。 （もっと読む）

【課題】強化繊維基材表面の外観検査を光学的手法で行う強化繊維基材検査装置において、特徴が異なる複数種類の不具合を単一の撮像手段、単一の照明手段で簡易かつ確実に検査することができる強化繊維基材の検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一方向性織物であり、少なくともその片表面に樹脂材料が接着している強化繊維基材に対して、基材を照明する照明装置を設ける。照明装置の照射によって生じる基材の走行面での反射光を撮像装置で撮像し、基材の表面画像が得られる。得られた画像を画像解析装置によって解析することで、欠陥の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面等の微小凹凸の密集度合を定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】シリンダボア２表面の凹凸データに基づいてシリンダボア２表面を評価する表面評価装置２０において、前記シリンダボア２表面の凹凸データをフーリエ変換して周波数スペクトルを求める手段と、前記周波数スペクトルから所定のしきい値に基づいて周波数成分を抽出する手段と、前記抽出された周波数成分を逆フーリエ変換して凹凸データに復元する手段と、前記復元された凹凸データから所定のしきい値に基づいて凹凸座標データを抽出する手段と、前記凹凸座標データより座標の数と座標値の分散を求める手段と、前記座標値の分散よりシリンダボア２表面品質を評価する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物を測定しつつ画像を取得するとともに画像を所望の視線方向から観察できる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１は、画像を取得する撮像素子１８と、測定対象物Ｗの被照射領域Ｗ１に光線を照射する発光部２６および光線を検出する受光部２８を有し、発光部から被照射領域までの距離を測定する測定部２０と、発光部の位置を測定する位置測定部２１と、発光部の向きを測定する姿勢測定部２２と、発光部の位置および向き並びに発光部から被照射領域まで距離に基づいて被照射領域の位置および向きを算出する領域状態算出部５５と、画像から抽出画像を作成する画像切出し部５４と、抽出画像を領域状態算出部により算出された位置および向きに対応付けて記憶する記憶部５６と、仮想空間に位置および向きに基づいて配置された抽出画像を視線方向に基づいて変換した視線変換全体画像を作成し表示部に表示させる画像処理部５７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン付き基板の表面検査方法及びその装置において、周囲を隔壁で囲まれた有機ＥＬ発光層を形成する領域に存在する０．１μｍよりも小さい異物欠陥を、感度よく検出する。
【解決手段】パターン付き基板の表面検査方法において、２次元状に並んで形成されたパターンの並びの一方の方向に基板を連続的に移動させ、線状に成形された光を連続的に移動している基板の表面に対して斜め方向から入射させて連続的に移動する方向に対して傾いた方向に照射し、基板上の線状の光が照射された領域からの反射散乱光のうち試料の法線方向に反射散乱した光を集光することにより基板上に形成されたパターンからの低次の回折光を検出することなく反射散乱光の像を基板の連続的に移動する方向に対して傾いた方向に設置された１次元または２次元のアレイセンサ上に結像して検出し、アレイセンサで検出して得た信号を処理して試料上の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】リアルタイム性を確保し且つ安定性の高いトラッキングを行う。
【解決手段】ホモグラフィー行列取得装置３０は、撮像装置１１が出力する画像データを取り込む。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに局所的ホモグラフィー行列を計算し、また、その計算レートよりも低いレートで、大域的ホモグラフィー行列を計算する。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに、局所的ホモグラフィー行列を用いて画像データを変換し、参照画像との相関を求める。相関が高い場合は、当該画像データに対応して計算した局所的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する一方、相関が低い場合は、最新の大域的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する。ロボット制御装置４５は、ホモグラフィー行列取得装置３０からホモグラフィー行列データを読み込んでロボット本体１２の姿勢を計算し動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】 ワークを、軸ズレさせることなく回転させる回転装置等を提供する。
【解決手段】 回転装置５９は、ワーク７１の表面に接触しつつワーク７１を回転させるローラ１３を有する回転ユニット１１と、ワーク７１に対して回転ユニット１１を押しつけるスプリング３１と、スプリング３１の押圧によるワーク７１の軸ズレを防止する軸ズレ防止部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉の炭化室の炉壁の肌荒れによる損傷の程度を指標化できるようにする。
【解決手段】 炭化室１１の炉壁１４の画像データから、炭化室１１の奥行方向の各位置における炉壁１４の凹凸量を示す凹凸プロフィール９００であって、炭化室１１の高さ位置が異なる複数の凹凸プロフィール９００を生成する。そして、複数の凹凸プロフィール９００から基準位置の変位の部分を抽出してこれらの差分をとることにより、基準位置が揃った凹凸プロフィールを得る。そして、当該基準位置が揃った凹凸プロフィールを、炭化室の奥行方向において１００ｍｍピッチで分割し、分割した各区間において、当該凹凸プロフィールの値（凹凸量）の最小値を抽出し、その平均値を肌荒れ指数とする。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉の炭化室の炉壁に対して炉長方向に移動させながらレーザ光を照射し、レーザスポットの画像と炉壁の画像とを重畳させた画像から壁面の凹凸量を測定するに際し、レーザスポットの画像を正確に抽出する。
【解決手段】 壁面観察装置１００によって、炭化室１１の炉壁１４に対して奥行方向に移動しながらレーザ光を照射し、レーザスポット４２の画像が重畳された「炉壁１４の画像」を取得する。このとき、レーザスポット４２の奥行方向に延びる線分（レーザ線分６０１）の幅（炭化室１１の高さ方向の長さ）が、耐火煉瓦の目地６０２の幅よりも短くなるようにレーザ光を照射する。そして、レーザスポット４２の奥行方向に延びる線分（レーザ線分６０１）として想定される幅と同じ幅の高輝度領域の輝度だけを元の輝度よりも高くするレーザ線分強調処理を実行した上で、レーザ線分６０１を追跡するレーザ線分追跡処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】印刷機内で印刷済みウェブを操作するためのウェブ検査モジュール。
【解決手段】ウェブ検査モジュールは、ウェブの一部分を照明する光源と、複数の検出要素を有する接触式画像センサと、印刷済みウェブを示す画像データを受け取って処理するための処理器とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査対象と撮像装置との相対的な位置関係である視点位置が基準視点位置と同じになるように、撮像装置の姿勢を制御する。
【解決手段】特徴線抽出部１０５は、撮像装置が所定の姿勢で検査対象を撮像した画像データから検査対象の特徴線を抽出する。次に、移動量算出部１０９は、当該特徴線の位置と基準特徴線の位置とに基づいて、現在の視点位置から基準視点位置までの移動量を算出する。そして、反映部１１０は、当該移動量を姿勢制御情報に反映させる。 （もっと読む）

【課題】長期的に安定した検出感度を得ることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象が無い状態のラインＣＣＤカメラの各素子の出力値と目標値とから各素子のＳ補正係数を算出する第１のＳ補正係数算出部と、検査対象が有る状態のラインＣＣＤカメラの出力値が所定の範囲になるように照明光を調整する照明調光部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第１のＳ補正係数による補正後の出力値と目標値とから第２のＳ補正係数を算出する第２のＳ係数算出部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第２のＳ補正係数による補正後の出力値と予め設定された％閾値とから欠陥検査を行うための閾値を設定する閾値設定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面に光沢を持つ製品の表面形状の検査に用いる光学的な検査装置において、少ないカメラ台数でも広い範囲を検査可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】表面に光沢のある検査対象物を検査する検査装置であって、検査対象物を保持または搬送する検査対象物保持搬送手段と、検査対象物の表面状態を撮像可能な撮像手段と、検査対象物と撮像手段の間に配置されるホログラムと、ホログラムの撮像手段がわの面に平行光を照射する照明光源と、を有し、ホログラムは、照明光源から平行光を照射されたときに、前記検査対象物がわの面から所定の距離に収束するような収束光を回折光として発生させるものであり、検査対象物の表面に回折光が照射され、正反射した正反射光が収束する位置に撮像手段およびその撮像光学系が配置されていることを特徴とする表面光沢物の検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査用スターホイールから排出される際に先行するキャップと後続のキャップとの間に定間隔を維持しつつ排出することができ、この定間隔を維持した状態で、キャップを直線搬送している間にキャップを検査することができる容器用キャップの検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の容器用キャップ１を複数のポケット５ａで支持して所定の円形軌道上を搬送する検査用スターホイール５と、検査用スターホイール５によって搬送される容器用キャップ１を照明とカメラとにより撮像する第１の検査ステーションと、検査用スターホイール５から検査用キャップを受け取って容器用キャップ１を真空吸着して直線経路上を搬送するバキュームコンベヤ１０と、バキュームコンベヤ１０によって搬送される容器用キャップ１を照明とカメラとにより撮像する第２の検査ステーションとを備えた。 （もっと読む）