光源５８は、レンズ５９によりライン状の平行光に変換され、ビーム・スプリッタ６０に入射される。ビーム・スプリッタ６０は、入射光の半分を反射して光ディスク６５の表面のライン状領域に垂直に入射させ、残りの半分を透過させて光ディスク６５の表面のライン状領域に斜めに入射させる。光ディスク６５の表面に垂直に入射された光の反射光の光量は第１カメラ６２で検出される。この入射光、反射光はともに光ディスク６５の表面に対して垂直であるため、表面に大きな欠陥が生じても第１カメラ６２の撮影において虚像が発生せず、正確な欠陥サイズの検知が可能となる。 （もっと読む）

対象物（２）の特徴を映す測定システム（１）が少なくとも第１層（２ａ）及び第２層（２ｂ）を有する。対象物（２）は入射光（４）で照射され、対象物（２）からの反射光（５ｂ）が検出光を電荷に変換する画像センサー（６）で検出され、それにより対象物（２）の映像が作られる。対象物（２）の第１層（２ａ）及び第２層（２ｂ）で散乱した光（５ａ）に関する情報が映像から得られ、情報は対象物（２）上の欠陥を検出するために記憶された情報と比較される。
（もっと読む）

本発明は、所定のパターンが設けられた基板（１）、特に半田ペーストが設けられた回路基板の検査方法及び装置に関する。本発明によれば、印刷又は構築的方法（３、４）によって基板に形成された実際のパターン（１ａ）が光学的に検出され、光学的に検出された実際のパターンは目標とするパターンと比較され、比較と許容誤差を考慮して実際のパターンが設けられ観察された基板が次の過程へ進むかどうかが決定され、この場合、実際のパターンの光学的検出がデジタルデータの形式で実際のデータセットの生成が行われ、目標とするデータセットが基板へパターンを形成するための制御データから作成され、データ処理が目標とするデータセットと実際のデータセットとが許容誤差を考慮してデータ的に相互に比較されて実行される。
（もっと読む）

【課題】 表面検査ツールおよび方法を提供する。
【解決手段】 検査ツールの実施形態は、光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、散乱された光を発生する照射源を含む。この実施形態は、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光を、この光を電気信号に変換する前記フォトセンサに選択的に導くプログラム可能な光選択アレイを含む。処理回路は、前記光検出要素からの電気信号を受け取り、ワークピースの欠陥の特徴付けを含みえる前記ワークピースの表面分析を行う。プログラム可能な光選択アレイは、以下に限定されないが、反射器アレイおよびフィルタアレイを含みえる。本発明はまた関連付けられた表面検査方法も含む。 （もっと読む）

シート加工機は、加工対象であるシートが次々に通過する複数のモジュールを備えている。モジュールは、各々、シート入力インターフェイス及び／又はシート出力インターフェイスを有し、モジュールの中の少なくとも１つにおいて、シート入力インターフェイス及び／又はシート出力インターフェイスを、少なくとも他の２つのモジュールのそれぞれシート出力インターフェイス及びシート入力インターフェイスに任意に結合することができる。
（もっと読む）

システムの表面検査は、第１の斜めの照明光線を用いると共に順次にまたは同時に第２の照明を表面に当てることもできる。反射または散乱される放射線は、好ましくは三つの集光チャンネルによって集光されると共に三つの対応する検出器アレイによって検出されるが、別の数のチャンネルと検出器アレイを使用してもよい。一つまたは両方の照明光線は、検査される表面上のラインへと焦点が合わされ、また各ラインは三つまでまたはそれ以上の検出・集光チャンネルにおいて一つ以上の検出器アレイ上に作像される。ラインに直交した方向においてラインと被検査表面との間で相対運動が惹起され、それによって高い解像度と感度を維持している間に、処理能力を増やす。両方の照明光線から散乱または反射される放射線を検出することにより同じ検出チャンネルが用いられる。一つ以上の異なった空間周波数で回折を瀘過するためにフーリエフィルタが用いられてもよい。
（もっと読む）

パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
（もっと読む）

【課題】好適に円形エッジを有する物体の品質を、物体のエッジの確実で再現可能な検査を非常に高精度で可能なように、光学的に試験するための冒頭に記載したタイプの方法と装置を改良しさらに展開すること。
【解決手段】好適に円形エッジを有する物体の品質を、該円形エッジに光を当てる光学的に試験するための方法において、反射、屈折及び／又は回折により該物体から放射する光が測定ユニット（１）により検出され、該物体の表面及び／又は内部の欠陥が検出画像信号によって判定されることを特徴とする、物体の品質を光学的に試験する光学的試験方法。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】安定した高い信頼性を持つ画像データと撮像位置表示手段を用いて高精度の連続した画像データにより目視検査とも対応できる探傷検査方法を提供する。
【解決手段】デジタルカメラで色表示手段であるカラー色票を撮像しモニタに表示する。色再現しているかチェックし、カラー色表の各色が再現していなければ、カメラ設定をチェックする。解像度表示手段であるＬＰゲージを撮像し、２．０ＬＰが分離していなければ、カメラ設定をチェックする。検査対象に探傷処理をした後、検査対象に撮像位置表示手段であるスケールバーを装着し、スケールバーのマークに合わせて撮像する。画像データを全て検査用ＰＣに転送し、検査用ＰＣで欠陥検査を実行する。欠陥検査中に欠陥を発見した場合、その欠陥の位置や大きさ、形状などの欠陥情報を記録し欠陥数などのデータを表示する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 鋼板の疵でない部分を疵と認定することを防止して、鋼板表面の画像の輝度を均一にする方法を提供すること。
【解決手段】 鋼板表面に照射した照明光の反射光をラインセンサーカメラにて撮像し、これに基づいて鋼板表面の画像を構成し、当該鋼板表面の画像を処理して疵検出をするにあたり、ラインセンサーカメラが時々刻々捉える線画像の対応する画素ごとに輝度の線画像の加算平均処理を実施して得られる画像輝度情報をつくり、対応する画素ごとに当該画像輝度で基準輝度値を割った値をラインセンサーカメラが時々刻々捉える線画像の対応する画素ごとに乗じた線画像情報を用いて鋼板表面の画像を構成する方法であって、対象鋼板の切り替え時においては、前記加算平均処理における加算回数を少なくし、鋼板中央部分においては、前記加算平均処理における加算回数を多くする。 （もっと読む）

【課題】目視検査員が表面欠陥検査装置の検査情報を参照する場合に視点の移動を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送される帯状の被検査体の移動量を検出する移動信号発生器１０５と、前記被検査体の表面に存在する欠陥を検査すると共に、移動信号発生器１０５からの信号に基づいて検出された欠陥の位置を検出する表面検査部画像処理部２０１と、前記被検査体の近傍或いは表面に欠陥がある旨の表示を行うモニタ１２１，画面投射器１２２と、前記画像処理部２０１により検出された欠陥の位置情報、及び前記移動量センサからの移動量情報に基づいて、前記表示部に対して前記欠陥がある旨の表示出力を指令する結果出力部２０７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 受光素子の画素サイズと電極パターンの繰り返しピッチとの関係が整数倍でなく、位相ずれを有する場合でも、この位相ずれによる各画素データの信号品質の低下を抑制し、画素サイズに対して微小な異物を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】 パターンピッチが３００［μｍ］で画素サイズが１４［μｍ］の場合には、パターンのピッチを画素サイズで除することによって得られるパターン相当の画素数は約２１．４である。この画素数に第１の整数として５を乗じると、その値は１０７となるので、５個のパターンで疑似パターンを形成することによって、疑似パターンと画素との間の相対的な位置関係がほぼ同位相となる。差分データ作成手段３０はこの疑似パターンの隣接するもの同士の画素を用いて、差分データＶを作成する。しきい値作成手段５０は、差分データＶから欠陥検出時のしきい値Ｔを作成する。欠陥検出手段８０，９０は差分データＶとしきい値Ｔとを比較して欠陥の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検査物２２をＴＶカメラ２４により撮影し、この撮影画像に対して画像処理を施すことにより被検査物２２の表面の欠陥を検出するようにした金属表面の欠陥検出方法において、面取り量の大きさに依存せず良好な検査が行えること、微小傷などの小さな欠陥も確実に検出できること、及び面粗さに依存せず良好な検査ができることを目的とする。
【解決手段】 被検査物２２の表面の検査領域を複数個の微小領域に分割し（ステップ３）、この微小領域のそれぞれにおいて輝度に関する標準偏差を測定し（ステップ５）、この標準偏差と予め測定し登録しておいた欠陥のないマスターワークにおける標準偏差との相関度を算出し（ステップ１２）、この相関度を予め設定しておいた欠陥検出用のしきい値と比較することにより（ステップ１４）、被検査物２２の表面の欠陥の有無を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 欠陥のある検査対象の画像情報の保存件数を増やせ、かつ再現性の良い画像処理装置を提供する。
【解決手段】 検査対象である複数の部品４０を載置したトレイ３０をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。欠陥有りと判定したときは、その欠陥有りとする一部分の部分的欠陥画像データ７０のみを切り出し、取り込み画像データ全領域１００での部分的欠陥画像データ７０の座標を示す付属情報８０を部分的欠陥画像データ７０に関連付けて複合データ９０としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、正常全画像データ２００を読み出し、それに付属情報８０の座標データに基づいて部分的欠陥画像データ７０を画像合成し、表示する。 （もっと読む）

【課題】 どの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを早く理解させることの支援となる画像処理装置を提供する。
【解決手段】 例えば搬送されている検査対象である容器をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。そして、欠陥有りと判定したときは、その欠陥のある検査対象の画像データ１００とその欠陥に関連する付属情報２００とを関連付けて複合データ３００としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、保存されている画像データ１００と付属情報２００とを読み出して同時的に表示し、表示された付属情報２００に基づいてどの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを直ちに認識できる。 （もっと読む）

【課題】 固定パラメータによらないで、機器や部品の諸特性の経時的変動に追従してホワイトバランスパラメータをリアルタイムで調整する欠陥検査装置を得る。
【解決手段】 検査対象に隣接して基準板１１を設け、この基準板の白領域と黒領域を検査対象の撮像と同時に撮像し、基準板の画像データをＲＧＢ毎に抽出して、基準板画像入力部１２を介してホワイトバランスパラメータ算出処理部１３にてホワイトバランス補正データを生成し、ＲＧＢ濃度変換部にて各色信号のホワイトバランスを調整する。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）