【課題】内容物の位置ズレを高精度に検出できる分包シート検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】分包シートの外面に照射光を照射可能な光源と、前記光源から照射された照射光が分包シートの外面で反射された反射光を受けて映像信号を発生させる撮像手段４と、撮像手段４から出力される前記映像信号にエッジ強調処理を行なうことでシール部を強調するとともに、強調されたシール部において、分包シートの外端からポケット部とシール部との境界までの距離をシール長を計測するシール長計測装置６と、分包シートに照射するＸ線を照射可能なＸ線源７と、このＸ線照射に伴うＸ線透過量を検出するＸ線検出器８と、シール長の情報を入力してポケット部の位置と適合する検査領域を設定し、Ｘ線検出器８で検出されたＸ線透過量に基づいて、検査領域における内容物を検査する判定手段９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１Ａと赤外線カメラ１Ｂとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ１Ａ，１Ｂと基板Ｓとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第１照明部２Ａと、カメラ１Ａの光軸１１に沿って赤外光を照射する第２照明部２Ｂとを設ける。カメラ１Ａでは、第１照明部２Ａからの光に対する基板Ｓからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ１Ｂは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて５段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】高い指向性を有する照明光束を物体に照射することができる照明装置を実現する。
【解決手段】照明装置は、幅Ｐを有する発光領域１１から発光する光源１０と、該光源からの発散光束が入射する入射面を有し、該入射面からの光束を物体に向けて照射する光学部材２とを有する。入射面のうち発光領域の中心からの距離ｄが最も短い入射点から発光領域の幅方向両端を見込む角度θが、以下の条件を満足する。θ＝２tan^−１{(Ｐ／２)／ｄ}≦α。但し、αは入射面の幅をＤとしたときの光学部材から射出する光束の開き角度で、α＝２tan^−１{(Ｄ／２)／ｂ}である。また、ｂは入射面から、光学部材の焦点距離ｆに応じた発光領域の像位置までの距離で、光学部材のパワーを１／ｆとしたときに、ｂ＝１／｛（１／ｆ）−（１／ｄ）｝である。 （もっと読む）

【課題】正常粒（白色粒）から異常粒（半透明粒）を選別する。
【解決手段】色彩選別機では、蛍光灯５６、５８が消灯されると共に、蛍光灯６０、６２が点灯されて、フロントカメラ５２が選別粒Ｇを透過する透過光によって選別粒Ｇを撮影すると共に、リヤカメラ５４が選別粒Ｇによって反射される反射光によって選別粒Ｇを撮影する。また、第１背景板４０の第１背景面４０Ａが黒色にされると共に蛍光灯６０、６２によって照明されず、フロントカメラ５２が撮影する第１背景面４０Ａの光量レベルが、フロントカメラ５２が撮影する選別粒Ｇの正常粒（モチ米）の光量レベル以下にされている。さらに、第２背景部８４の第２背景板９０が発光可能にされて、リヤカメラ５４が撮影する第２背景板９０の光量レベルが、リヤカメラ５４が撮影する選別粒Ｇの正常粒の光量レベル以上にされている。このため、正常粒から異常粒（ウルチ米）を選別できる。 （もっと読む）

【課題】パレットの平板の被検査部の外観態様によらず、その破損の有無を検知することができるようにする。
【解決手段】パレット検査装置２００は、検査対象であるパレット１０を支持するパレット支持部２２１，２２２と、パレット支持部２２１，２２２に支持されたパレット１０の平板１１の被検査部に対し、その幅方向両側の斜め方向から検査光を照射するように設けられた一対の光源２２８と、一対の光源２２８から検査光が照射された平板１１の被検査部の画像を取得する画像取得部２２９と、を備える。一対の光源２２８は、画像取得部２２９で外観態様が消去された平板１１の被検査部の画像が取得される検査光を出射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】エンボステープのポケットに収納された状態等の電子部品の傷や欠け等の外観検査を精度よく行うことができる電子部品検査装置および電子部品検査方法を提供する。
【解決手段】電子部品１３に対して直交する方向から第１照明光を照射するとともに、電子部品に対して斜め方向から第２照明光を照射し、電子部品１３とこの周りの部位とにコントラスト差を生じさせて、電子部品１３の輪郭を検出する工程を行う。電子部品１３に対して斜め方向から第３照明光を照射して電子部品１３の表面を検査する工程を行う。 （もっと読む）

【課題】平面表示パネルの画素周期のレベルで画像中における平面表示パネルの表示領域に相当する領域の位置を決定することができる平面表示パネルの画像の位置決め方法を提供する。
【解決手段】一色の画素のみを発光させて液晶パネルを撮像して画像Ａを取得する。次に、画像ＡについてＸ方向の輝度プロファイルＦｘを求め、極小点の座標ｘ_ｍｉｎを求め、配列周期Ｐｘを求める。そして、パネル領域のＸ方向の端部の座標ｘ_ｅｎｄとして、最も外側に位置する極小点から配列周期Ｐｘだけ外側に離隔した位置の座標を算出する。一方、Ｙ方向の輝度プロファイルＦｙを求め、極大点の座標ｙ_ｍａｘを求め、配列周期Ｐｙを求める。そして、パネル領域のＹ方向の端部の座標ｙ_ｅｎｄとして、最も外側に位置する極大点から、Ｙ方向における発光させた画素の中心とこの画素が属する絵素の外側の端縁との間の距離ｅだけ外側に離隔した位置の座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】視野角依存性が強い被検査面に対し、高精度な検査を可能とする画像検査装置を提供する。
【解決手段】カメラ２Ｂは、被検査面１０ａの中心に正対する位置から離れた位置にあり、被検査面１０ａを斜め方向から撮影する。カメラ２Ｂにおいて、撮影レンズ２１の光軸２１ａ（光学系２２の光軸）は、カメラ２Ａと同様、被検査面１０ａとほぼ垂直な方向とされ、撮像面２３は被検査面１０ａとほぼ平行とされている。また、光学系２２は、撮像素子に対して水平方向にずらされることで、撮像素子の撮像面２３に被検査面１０ａが結像する位置関係が維持されている。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程におけるピンホールの検出検査に関し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる不良検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤投入後に検査を行う第２不良検査装置２１Ｂは、照明装置２２Ｂ、カメラ２３Ｂ及び画像処理装置２４Ｂ等を備えている。容器フィルム３のポケット部にピンホールが存在する場合、照明装置２２Ｂから容器フィルム３に対し照射された光は、ピンホールを通過して錠剤に照射される。そして、錠剤５の表面で乱反射した光がカメラ２３Ｂにより撮像される。これに基づき、画像処理装置２４Ｂにより錠剤表面の明暗が判別され、ピンホールが検出される。 （もっと読む）

【課題】コレットチャック等の保持手段により被検査物に弾性変形が生じて反射光分布が変化しても、それを欠陥として誤検知することなく、微小欠陥を検出することができる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】ロール状の被検査物(13)を支持し回転させる被検査物支持手段と、被検査物表面に光を照射する照明手段(11,12)と、この被検査物表面で反射あるいは拡散する光を検出するラインセンサ(15)を有し、このラインセンサからのラインセンサ出力を処理して被検査物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置(10)を前提として、
複数の照射条件におけるラインセンサ出力を合成して、表面欠陥を算出する演算手段を備えて成り、被検査物の微小欠陥を誤りなく検査することである。 （もっと読む）

【課題】パターンの画像を測定しているパターン付き基板上の位置を正確に決定する方法および装置を提供することである。
【解決手段】基板特性の測定方法は、放射ビームＢがマスクＭＡを通過するように構成されたパターン付きマスクを生成してパターンを取得すること、マスクを使用してパターンが与えられたパターン付き放射ビームでの基板Ｗの照射をシミュレーションしてシミュレーションパターンを獲得すること、パターニングの誤差が発生しやすいシミュレーションパターンの少なくとも１つの位置を決定すること、および、リソグラフィプロセスを使用して前記パターン付き放射ビームで前記基板を照射することを含む。方法は、パターニングの誤差が発生しやすいとして決定された基板上のパターンの少なくとも１つの位置の少なくとも１つの特性の精度を測定し、測定に従ってリソグラフィプロセスを調整することも含む。 （もっと読む）

【課題】正常な膜厚に対して膜厚差が生じている特定周期のスジムラのみを検出する。
【解決手段】本発明の検査装置４は、第１方向から光を照射して検査対象基板Ｐ上に配列した絵素を撮像した画像Ｌと、上記第１方向とは異なる第２方向から光を照射して上記絵素を撮像した画像Ｒとのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出部１２と、画像Ｌ及び画像Ｒのそれぞれにおいて、検査対象基板Ｐ上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔Ｔで検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出部１３と、画像Ｌ及び画像Ｒの両方で検出されたスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出部１４とを備えているので、正常な膜厚の絵素に対して膜厚差が生じている絵素の存在によって生じる特定周期のスジムラのみを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷半田の状態を的確に検査することができる印刷半田検査方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】基板１０に印刷された半田１０ｘの２次元画像を撮像する光学系２０、３０と、当該印刷半田の３次元画像を撮像する光学系２０、３０と、撮像した２次元画像及び３次元画像を処理して、該印刷半田の底部面積、パッド面積等の２次元性状の項目６１を測定すると共に断面積、突起面積、平均高さ、ピーク高さ、体積等の３次元性状の項目６２を測定し、当該測定項目に基づいて該印刷半田の形状を決定し、また、少なくとも２つの前記測定項目をマトリックス状に組み合わせて該印刷半田の形成合否を判定する検査部５０、６０、８０とを備える。これにより、２次元測定と３次元測定をそれぞれ単独で実施するよりも、正確に印刷半田の形状を決定することが可能となると共に正確に印刷半田の形成合否を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】画像処理による自動検査の結果を官能検査の結果と一致させることができる平面表示パネルの検査方法、検査装置及び検査プログラムを提供する。
【解決手段】平面表示パネルを複数回撮像して複数枚の撮像画像を取得し、前記複数枚の撮像画像を加算して平均画像を作成する工程と、前記平均画像を縮小した後拡大することにより、前記平均画像から背景画像を作成し、前記平均画像と前記背景画像との差画像を作成する工程と、前記差画像からムラ欠陥を抽出する工程と、前記抽出されたムラ欠陥をその形状及び大きさに基づいて分類する工程と、を備えたことを特徴とする平面表示パネルの検査方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理による自動検査の結果を官能検査の結果と一致させることができる検査用画像の作成方法を提供する。
【解決手段】液晶パネルを撮像して得られた画像から検査用画像を作成する検査用画像の作成方法であって、液晶パネルの撮像画像を縮小し、端部を折り返し、コントラストを強調して強調画像を作成し、この強調画像についてＸ方向投影画像を作成し、強調画像とＸ方向投影画像との第１の差画像を求め、この第１の差画像についてＹ方向投影画像を作成し、第１の差画像とＹ方向投影画像との第２の差画像を求め、この第２の差画像に対して、大きさが折り返した画像の幅の２倍以下である二次元フィルタを用いて平滑化処理を行って低周波画像を作成し、第２の差画像と低周波画像との第３の差画像を求める。この第３の差画像を検査用画像とする。 （もっと読む）

【課題】フレームを簡単に折り畳んで運ぶことのできるサイズ可変ステージを提供する。
【解決手段】互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできるベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１と、ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１間を橋渡しする少なくとも１本のスライドフレームＳＦ１とを備えている。連結部材Ｃ１１，Ｃ２１は、ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１の縦長方向に沿ってスライドするスライド機構と、ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１に対するスライドフレームＳＦ１の角度を変化させることができる回転機構とが設けられている。さらに、連結部材Ｃ１１，Ｃ２１には、スライドフレームＳＦ１を、前記ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１の縦長方向と直角な水平方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハの微細な欠陥を容易に検査することができる。
【解決手段】検査装置１０には、半導体ウェハ１１のエッジ部分１１Aの図中右横側に、エッジ部分１１Aから対物レンズ７１が配置され、エッジ部分１１Aで反射する光は、対物レンズ７１により集光されて平行光となって接眼レンズ７６に向かう。光源７２により照射された矢印７４の方向の光がハーフミラー７３を通過することにより矢印７５で示されるように向きを変えられ、エッジ部分１１Aの図中右横側の接線と直角に交わる法線方向の光となる。エッジ部分１１Aは、光源８１−１および光源８１−２により、やはり照明され、また、光源から発せられた光が反射板８２−１または８２−２により反射されたことにより得られる光が照射される。接眼レンズ７６に入射した光は、ユーザの目により観察される。 （もっと読む）

【課題】
製品の光学検査時に異物の影響を低下させるために、表面全体を検査するタバコ加工産業の製品の光学検査をするためのコンパクトな構造の装置を提供する。
【解決手段】
少なくとも１つの画像検出装置（５）によって、少なくとも１つの製品（３）の少なくとも一部の少なくとも１つの画像（３１）が記録される、製品（３）が少なくとも１つの画像検出装置（５）の傍らを移送される少なくとも１つの検査ゾーン（９）内でタバコ加工産業の製品（３）の電磁検査、特に光学検査、をするための方法と、分析装置（２６）によって少なくとも１つの検査ゾーン（９）内で少なくとも１つの画像検出装置（５）の傍らを移送されるタバコ加工産業の製品（３）の電磁検査、特に光学検査、をするための装置（１）と、タバコ加工産業の機械において、製品の少なくとも一部の個々の画像（３１）が、製品（３）と画像検出装置（５）の間に存在する異物（１１，１２，１３，１４）の少なくとも１つの異物サイン（２１，２２，２３，２４）の存在を点検される。 （もっと読む）

【課題】画像データから特定周期スジムラの出現傾向の評価を適切に行えるスジムラ評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のスジムラ評価装置１００は、カラーフィルタの光照射されている評価対象面を撮像して得られた撮像画像データから当該評価対象面に発生している周期性を有するスジムラを評価する指標となる評価データを生成する評価データ生成部１２０を備える。評価データ生成部１２０は、撮像画像データに含まれる光分布情報に対して、スジムラの出現方向のベクトルを含む方向を投影方向として一次元投影処理を行う一次元投影処理部１２１と、一次元投影処理された光分布情報からパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部１２２と、算出されたパワースペクトルから、予め設定した周期の区間積分値を算出する積分処理部１２３と、算出された区間積分値中に含まれるノイズ成分を除去するノイズ成分除去部１２４とを有している。 （もっと読む）