【課題】スローアウェイチップや棒状切削工具等のワークを効率よく精度良く検査することができる工具欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク１２をチャック用部材１６により支持する支持装置１８と、ワーク１２の検査面を照明するリング照明３２と、照明されたワーク１２を撮像するカメラ２６を有する。カメラ２６により撮像された画像を表示する表示装置３０と、カメラ２６により撮像されたワーク１２の検査像を画像処理する画像処理装置２８を備える。リング照明３２から照射された照射光を、ワーク１２の検査面の背面側及び周囲で反射させる背面反射板２２を備える。リング照明３２は、ワーク検査面に対して斜め方向から照明光を照射するように設けられ、支持装置１８と背面反射板２２は白色系の同一色に形成されている。画像制御装置２８は、カメラ２６で写したワーク１２の画像を基にワーク１２の輪郭を抽出する抽出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】安定した測定を簡便に行うことができる基板保持装置を提供する。
【解決手段】本実施の形態にかかる基板保持装置は、試料５０の端部が載置される載置台１２と、載置台１２に設けられ、試料５０を吸着する第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂと、試料５０の下側において移動可能に設けられ、試料５０に対して気体を噴出する噴出口４６を有する吸着台１８と、を備え、第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂのＯＮ／ＯＦＦを切換える切換部１５ａ、１５ｂと、を備え、切換部１５ａ、１５ｂが、試料５０に対する吸着台１８の位置に応じて、第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂの一方をＯＮし、他方をＯＦＦするものである。 （もっと読む）

【課題】フィルムの表面の凹凸を高精度に検査できるようにする。
【解決手段】フィルム検査装置は、フィルムＦを非接触の状態でガイドするガイド部材３と、フィルムＦの表面Ｆａに検査光を照射する照明手段と、フィルムＦａの表面Ｆａを撮像する撮像手段とを備えている。ガイド部材３は、フィルムＦの裏面Ｆｂに対向するガイド面３１、複数の空気室３２、およびこれらの空気室３２からガイド面３１に至る連通路を有している。さらに、フィルム検査装置は、複数の空気室３２内の圧力を個別に制御する圧力制御手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜におけるピンホール等の検査方法を提供する。
【解決手段】電解質膜の一方の面に調光薄膜を接合し、水素ガスを電解質膜の他方の面側から供給する。電解質膜にピンホール等の欠陥部があると、水素ガスが電解質膜の一方の面へ漏洩するから、該一方の面に調光薄膜を接合しておけば、欠陥部の漏洩水素ガスで調光薄膜が水素化して反射率が局部的に変化する。すなわち調光薄膜の局部的な反射率の変化の有無を目視等して電解質膜の欠陥部の有無を迅速に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】照明波長の1/10程度の大きさの欠陥で発生する散乱光の分布は等方的となる。このため，多方向で検出した信号を加算することによりSN比が向上して微小欠陥検出が可能となる。一方で散乱光分布が異方性となる欠陥では，多方向で検出した信号を加算することでSN比が低下し，検出感度を低下させることとなる。半導体基板の欠陥検査においては，欠陥の種類に関係なく，高感度検査が必要である。
【解決手段】多方向で検出した散乱光の検出信号を加算して微小欠陥の検出を行うとともに，各検出信号を個別に処理することによって，異方性欠陥の見逃しを回避することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】外周面に螺旋状の凹部または凸部を有する長尺物をその軸方向に移動させながら長尺物の外周面を撮像する際に、撮像位置における長尺物の上下方向及び水平方向の位置を安定させることのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】各ガイド部材３１，４１は互いに周方向に間隔をおいて配置されてホースＨの外周面に当接し、各ガイド部材３１，４１の当接面３１ｂ，４１ｂは螺旋状の凹部ＳＰ（または凸部）のピッチＰの２倍よりもホース軸方向に長く形成されるとともに、ホースＨの外周面との摩擦係数が０．１２以下の低摩擦係数材料から形成されているので、各ガイド部材３１，４１が螺旋状の凹部ＳＰ（または凸部）を乗り越える際にホースＨが上下方向及び水平方向に移動することがなく、ホースＨは各ガイド部材３１，４１上を円滑に移動する。即ち、撮像位置におけるホースＨの上下方向及び水平方向の位置を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】透明又は半透明の板状体の欠陥を、板状体の裏面の状況を反映することなく高精度で検出できる板状体の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＡ面、Ｂ面を有する透明又は半透明の板状体Ｗに、光源１２からの光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラ１６によって撮像する。光源１２からの光の入射角度θ１をＢ面に対して全反射となる角度以上とする。また、Ａ面に入射した光が板状体Ｗの裏面Ｗ３によって反射される反射光を含むことになる裏面反射光領域Ｗ２を除く検査領域Ｗ１のみを、ＣＣＤカメラ１６によって撮像することで、映像に裏面Ｗ３の粗さ等が反映されるのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】略円形断面を有する長尺物の外周面に線状光が照射されて成る照射線を撮像装置によって撮像する際に、撮像装置側から見た照射線の輝度を長尺物の幅方向に亘って略均一にすることのできる長尺物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】ホースＨの外周面には複数の照射装置１０の線状光によって一本の照射線Ｌが形成され、各撮像装置５０は各照射装置１０のうちホースＨの周方向に隣り合う任意の２つの照射装置１０に対してホースＨの周方向の略中央に配置されているので、各撮像装置５０側から見た照射線Ｌの輝度をホースＨの幅方向に亘って略均一にすることができ、各撮像装置５０の光感度調整を容易且つ適切に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 検査用回転ディスクの周囲のどの位置に配置されても、ワークを脱落させたり詰まらせることなく搬送溝に確実に供給（収納）する。
【解決手段】 外周にワークＣが配される搬送溝ｖ１が形成された検査用回転ディスクＩＤ１と、検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１にワークＣを供給する供給手段Ｆと、検査用回転ディスクＩＤ１の外周に配置される第１のガイド用ディスクＧ１を備え、上記第１のガイド用ディスクＧ１は、その外周に上記検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１を覆うガイド溝Ｇｖが形成されて、検査用回転ディスクと同一方向に回転する。 （もっと読む）

【課題】 卵殻表面に付着する汚れと自然の産物である卵の卵殻の地模様とを精度よく識別できるとともに、操業時にリアルタイムで現在の汚卵判定のしきい値の設定が適切か、汚卵判定が適切に行われているかを確認できる汚卵検査装置を提供する。
【解決手段】 カラーＣＣＤカメラ１で卵を撮影し、画像処理装置４から得られた画像処理情報に基づいて卵殻色を判定するとともに、卵殻色と汚れの種類の組合せ毎に個別に設定された判定基準に基づいて汚卵かどうかを判定する。卵殻表面に汚れが付着していると判定された場合には、モニター６の画像上の当該卵の汚れの付着する部位に汚れの種類に応じた色表示がなされるよう、構成した。 （もっと読む）

【課題】基板と光学系とを相対的にＸ方向及びＹ方向へ移動して基板の検査を行う際、基板の移動範囲を小さくして、装置を小型化する。
【解決手段】半導体ウェーハ１の表面を４つの検査領域に分割する。半導体ウェーハ１をステージによりＸ方向に半導体ウェーハ１の直径（２Ｒ）の半分の距離（Ｒ）だけ移動し、光学系をＹ方向に半導体ウェーハ１の直径（２Ｒ）の半分の距離（Ｒ）だけ移動して、１つの検査領域の検査を行う。１つの検査領域の検査が終了したら、半導体ウェーハ１を９０°回転させて、検査領域を切り替える。これらを繰り返すことにより、半導体ウェーハ１の表面全体の検査を行う。検査装置が半導体ウェーハの移動のために占有する面積は、３Ｒ×２Ｒとなる。 （もっと読む）

【課題】容器の一面と他面との境界部分の凹凸や他面の膨らみや凹凸を検出できて容器の不良を判定可能とした容器の良否判定方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】本発明による容器の良否判定方法は、互いに隣接する一面（前面１１）と他面（左側面１３）とを備えた容器１の良否判定方法において、一面と他面との境界部に沿った線状の主光を境界部近傍の一面に照射する主光照射装置と、境界部に沿った線状の副光を境界近傍の他面に照射する副光照射装置３３と、一面を撮像可能なように固定設置されたカメラ３１と、カメラ３１で撮像された画像を処理して反射光部分と反射光部分以外とからなる画像を生成する画像処理装置３４と、画像を表示する画像表示装置３５とを用い、境界近傍の他面に照射された副光の反射光が画像に含まれている場合には、境界部あるいは他面を不良であると判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
撮像装置からの遠近に関係なく、奥行き変動や高低差の大小にかかわらず、鮮明な画像
を取得でき、該画像を用いて、異物を精度良くでき検出することのできる異物検出装置を
提供する。
【解決手段】
液面の上側又は下側に焦点位置が外部から制御可能な撮像手段を設置し、少なくても撮
像手段の合焦位置に液面の上又は横から液面に対してＬＥＤ照明などの光を照射して、液
面の異物に鏡面反射を発生させる。前記撮像手段の合焦位置は、液体を格納する容器の頭
頂部から尾底部までの範囲で変化させ、その合焦位置で撮像手段からの入力映像を画像処
理部の画像入力手段が取り込み、その中から画像処理部の画像選択手段が液面に合焦した
画像又は液面が最も鮮明な画像を選択し、該液面に合焦した画像又は液面が最も鮮明な画
像を用いて、画像処理部の異物検知手段が前記鏡面反射の発生位置などをチェックして異
物検出を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を検査する際の検査条件値の再現性を向上させることができる光学系駆動機構を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光学系駆動機構は、検査対象物１の面上の一直線又は一点を半径中心とするタイミングベルト１０ａを内歯とする内歯車１０と、内歯車１０の内歯と嵌合しながら回転するタイミングプーリ９と、タイミングプーリ９を回転させる第１のモータ８ａと、タイミングプーリ９の回転に伴い一直線又は一点を中心に回動し、検査対象物１を検査する検査部とを有する。 （もっと読む）

【課題】外観検査を高精度で行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】各照射装置１０に対してホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像し、各撮像データからホースＨの各幅方向位置と照射線Ｌの高さ方向位置とを対応させた高さ方向位置データをそれぞれ抽出し、各高さ方向位置データを基準データによって減算処理するとともに、減算処理された各高さ方向位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する上で、減算処理対象の高さ方向位置データ及びその高さ方向位置データと撮像順が近い所定回数分の減算処理前の高さ方向位置データをホースＨの各幅方向位置ごとに平均化して基準データを作成する。これにより、ホースＨがうねりを伴っている場合でも、高さ方向位置データからうねり分がキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、構造を簡略して製造コストを低減でき、長距離の流路管の調査にも容易に適用でき、流路管内を調査する際の作業費用を低減でき、未回収物となった流路管内調査装置を容易に回収することを目的とする。
【解決手段】この発明は、筒壁部の軸線方向一端側を端壁部により閉塞し、軸線方向他端側を円錐壁部により閉塞した装置本体を設け、この装置本体は、水平ガイド板及び垂直ガイド板を設け、右側・左側ガイド板を設け、下側ガイド板を設け、装置本体内には、調査対象の流路管内を撮影する撮影手段及び流路管内を照射する照明手段を配設し、撮影した管内画像を記憶する記憶装置及び電源を供給するバッテリを配設し、筒壁部の右側・左側ガイド板よりも下側部分が調査対象の流路管内の流水の水面下に位置するように装置本体の流水に対する浮き姿勢を規制するバランスウエイトを配設したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外周面に布部材を螺旋状に巻付けた状態で加硫されて成る長尺物の外観検査を正確に行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】ホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像することから、ホースＨの輪郭が長手方向に亘って連続的且つ正確に撮像される。また、各撮像データからホースＨの各幅方向位置に応じた照射線Ｌの高さ方向の位置データをそれぞれ抽出し、ホースＨの外周面形状に応じて各幅方向位置ごとに設けられた基準データによって減算処理することから、高さ方向の位置データからホースＨの外周面の円弧形状がキャンセルされる。また、減算処理された各撮像データの高さ方向の位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】この種の流体軸受装置において、循環路を構成する流体流路の形成の良否を適正に判定することのできる判定方法を提供する。
【解決手段】ハウジング７の内周に、予め複数本の軸方向溝８ｃ１を形成した軸受スリーブ８を接着固定して、ハウジング７と軸受スリーブ８との間に複数の軸方向の流路１０を形成してなる軸受部材６（ハウジング７）の一端開口側から光Ｌ１を照射する。この照射光Ｌ１のうち、軸受スリーブ８の内周面８ａを通過し、かつ、ハウジング７の底部７ｂの上底面７ｂ１で反射してその閉塞側から開口側へと軸方向の流路１０を通過する光（通過光Ｌ２）を認識する。そして、この認識に基づき、流路１０の形成の良否に関する判定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワークを走査するＣＣＤカメラにおいて正確な走査結果を得ることができる部品検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の部品検査装置１は機台２と、この機台２の上面の一部に弾性部材３を介して載置されるベース板４と、このベース板４に載置され、ワークＳを搬送する回転搬送ユニット４０と、この回転搬送ユニット４０にワークＳを供給する供給ユニット１０と、前記ベース板４に載置され、回転搬送ユニット４０上のワークＳを走査するＣＣＤカメラ６０とから構成されることを特徴とする部品検査装置である。 （もっと読む）

【解決手段】本発明はさまざまなパワー・レベルの光を用い試料を検査するシステムと方法に関する。試料（１４）を検査するように設定されたシステムは、光を生成するように設定された光源（１０）を備える。また、前記システムは、フル・パワー・レベルとフル・パワー・レベルの凡そ１０％以上である最小パワー・レベルを含む少なくとも二つのパワー・レベル間で、検査中に試料（１４）へ指向される光のパワー・レベルを変更するように設定されたパワー減衰器サブシステム（２６）を備える。更に、前記システムは、試料（１４）からの散乱光に対応する出力を生成するように設定された検出サブシステムを備える。出力は試料（１４）上の欠陥の検出に使用可能である。パワー減衰器サブシステムは、波長板（２００）またはポッケルスセル（２０２）を備え得る。 （もっと読む）