物体（１６）の表面（１７）を光学的に検査するために、所定周期（３６）で少なくとも広範囲に連続的に変化する光度配列（３４）を形成する所定数の明るいストライプおよび暗いストライプ（３０，３１，３２，３３）を備えるパターン（２６，２８）を準備する。前記光度配列（３４）が前記表面（１７）にあたるように、ストライプパターン（２６，２８）に対して相対的な第１位置に物体（１６）を位置決めする。第１位置に配置した撮像ユニット（４２）により、表面（１７）にあたる光度配列（３４）を含めて表面（１７）の第１画像（６６）を撮影する。次いで表面（１７）に対して相対的に光度配列（３４）をずらし、表面（１７）の少なくとも１つの別の画像を撮影する。画像に関係して、表面（１７）の特性を決定しる。本発明の一態様によれば、光度配列（３４）を空間的に定置に保持し、表面（１７）を有する物体（１６）をずらす。第２位置に配置した撮像ユニット（４４，４６，４８）により、さらに少なくとも１つの別の画像を撮影する。第１および第２位置を、相互に所定間隔をおいて設け、この所定間隔は所定距離に等しい。
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【課題】 欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、欠陥の散乱光像を明確に捉えることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥検査装置１においては、ステージ３によって支持されたガラス基板Ｓの内部に透過照明装置５によって光が照射され、ガラス基板Ｓの内部がカメラ６によって撮像される。このとき、ガラス基板Ｓの内部に照射される光の照射方向が変化するように制御装置８によって透過照明装置５が制御される。これにより、内部欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、内部欠陥による散乱光を強くすることができ、その内部欠陥の散乱光像を明確に捉えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】表面疵の過検出を抑制して表面疵を精度良く検出することが可能な表面疵検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面疵検査装置１００は、渦流探傷又は漏洩磁束探傷を行うことによって被検査材Ｂに存在する表面疵候補を検出する探傷装置１と、探傷装置によって表面疵候補が検出された場合に、当該表面疵候補を含む被検査材表面の所定領域を撮像する撮像手段２と、撮像手段で撮像した前記所定領域の撮像画像に対して、表面疵に対応する画素領域を抽出するための所定の画像処理を施す画像処理手段３とを備える。画像処理手段は、前記画像処理によって表面疵に対応する画素領域が抽出された場合に、前記所定領域に表面疵が存在すると判定する。 （もっと読む）

【課題】投影画像について画像処理を施すことで物体間の隙間や文字等に紛れた透明物体を識別可能な物体識別方法、物体識別装置を提供する。
【解決手段】画像処理部５は、投影画像について不透明領域と透明領域とに２値化する２値化手段６と、２値化後に不透明領域で囲まれた透明領域のうち面積が予め設定されている透明物体２ａの面積の範囲内にある透明領域を検査領域として抽出する検査領域抽出手段７と、抽出された検査領域ごとに基準点を設定し、基準点と検査領域の外周縁上の各点とを結ぶ複数本の探索線の長さをそれぞれ求める測距手段８と、検査領域の周方向に探索線を順次走査したときに測距手段８で求めた探索線の長さの変化が予め設定されている透明物体２ａの形状に対応する検査領域について、透明物体２ａを表すものと判断する識別手段９とを有する。 （もっと読む）

【課題】キャップを開栓することなく、極めて容易に且つ精度よくキャップの巻締め状態を検査することができ、しかも極めて安価であり、特に抜き取り検査用として好適に使用される検査装置を提供する。
【解決手段】ボトルマーク３７とキャップマーク２９との位置関係を検出することにより、ボトルとキャップとの巻締状態を検出する検査装置において、ボトル・キャップ組立体１の上方に、その垂直中心軸Ｌから外れた位置に配置され且つ垂直中心軸Ｌを中心として公転可能に配置されたカメラ３を備え、カメラ３によりボトル・キャップ組立体１を斜め上方から撮影しながらカメラ３を少なくとも３６０度公転させて、ボトル・キャップ組立体１の１周分の像を撮影し、撮影された画像中のボトルマーク３７の像の位置とキャップマーク２９の像の位置とから、ボトルマーク３７とキャップマーク２９との相対位置を検出し、該相対位置からキャップの巻き締め角度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置のフットプリントを低く抑える。
【解決手段】液晶パネルユニット１０を固定する検査ステージ２０に対向して撮像手段４０を設ける。検査ステージ２０は、撮像手段４０の中心軸Ｃを通る線型軸Ｙに沿って平行移動させ及びその線形軸Ｙ上に設けた回転軸Ｄ周りに回転移動させる２軸のステージ駆動手段２１を備え、ステージ制御手段２２によって制御される。撮像手段４０はその中心軸Ｃ周りに回転できるようカメラ駆動手段４１を備え、その回転がカメラ制御手段４２によって制御される。ステージ制御手段２２は前記２軸の各移動によりパネルユニット１０から画像を取得しようとするショット位置を撮像手段４０の中心軸Ｃ上に位置合せする機能を有し、カメラ制御手段４２は撮像手段４０を回転させて、各ショット位置におけるパネルユニット１０の液晶電極端子１１の向きに対して撮像手段４０が常に一定の向きとなるように方位合せする機能を有する。 （もっと読む）

深紫外線を少なくとも部分的に透過する対象物の透過率マッピングのための装置および方法。この方法は、対象物の連続領域の配列の異なる領域を照明するように広帯域深紫外線を方向付けるステップと、放射線源に対して対象物の反対側に配置される光学式検出器を使用して対象物から出てくる広帯域深紫外線を検出するステップと、光学式検出器からの信号を処理して、対象物の連続領域の配列の異なる領域を通して放射線の透過率を測定するステップと、を含む。
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【課題】光透過性の材料により形成された物品において、異物の全体または一部が埋入されているか異物が表面に付着しているかを判別することを可能にする。
【解決手段】光透過性の材料により形成された物品ＢをＴＶカメラ１１により撮像し、微分手段２５により微分画像を生成する。第１のエッジ抽出手段２６は物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆと物品Ｂの表面に露出する異物Ｆとの輪郭線が併せて抽出される第１の閾値を適用してエッジを抽出し、第２のエッジ抽出手段２７は物品Ｂの表面に露出する異物Ｆの輪郭線が抽出され物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆの輪郭線が抽出されないように第２の閾値を適用してエッジを抽出する。判定手段２８は、第１のエッジ抽出手段２６により抽出したエッジの長さと第２のエッジ抽出手段２７により抽出したエッジの長さとの差分が規定した判定閾値以下であるときに物品Ｂの表面に異物Ｆが付着していると判定する。 （もっと読む）

【課題】赤外線サーモグラフィを使用して改善された欠陥検出及び解析を提供する。
【解決手段】信号発生器（３３０）からのテストベクタにより、テスト対象デバイス（３０５）の各部分を加熱して欠陥を識別する際に有用な熱特性を生成する。テストベクタは、欠陥とそれを取り囲む部分との間の熱コントラストを高めるように調節されるので、赤外線（ＩＲ）撮像装置（３１５）は改善されたサーモグラフ画像を取得することができる。ＡＣ及びＤＣテストベクタを組み合わせることにより、電力伝送を最大化して加熱を加速する。改善された画像に数学的変換を適用することにより、欠陥検出及び解析をさらに加速する。欠陥アーチファクトを解析して該当する欠陥の位置を正確に特定する欠陥位置特定アルゴリズムを採用する。 （もっと読む）

【課題】撮像対象領域の設定を正確かつ効率良く行うとともに、必要以上の撮像が行われるのを防止できるようにする。
【解決手段】ワークＷの表面の凹凸欠陥を検査するのに先立ち、毎時の撮像対象領域を定めながら、その領域を撮像するのに必要なカメラ１の位置および撮像方向を設定する。この設定処理では、ワークの表面形状を三角平面の集合体として表したＣＡＤデータを用いて被検査面全体の法線方向ヒストグラムを作成し、そのヒストグラムから撮像中心点の法線方向に対する角度差が所定の許容値以内になる平面を抽出することにより、検査可能範囲を認識する。また、検査に必要な強度の反射光の進行方向のばらつきを示す角度を特定し、その角度に基づく値を許容値として設定することにより、検査可能範囲の認識精度を確保する。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルムの破損、垂れ、及び変形を防止するだけでなく、偏光フィルムにクランピングした跡が残らず、偏光フィルムの商品価値を高めることができる多段階方式の偏光フィルム検査装置。
【解決手段】偏光フィルム検査装置は、偏光フィルムを吸着支持するように複数の第1吸着プレートが一定間隔で設けられた第1移送ステージと、第1移送ステージに吸着されない部分を撮影するように第1移送ステージの往復区間に配置された第1光学手段とを有する第1スキャン部と、第1スキャン部を通過した偏光フィルムを渡される垂直移送プレートを有するリフト部と、リフト部から渡された偏光フィルムの、第1スキャン部で撮影された部分を吸着して支持するように複数の第2吸着プレートが設けられた第2移送ステージと、第2移送ステージに吸着されない部分を撮影するように第２移送ステージの往復区間に配置された第2光学手段とを有する第2スキャン部とを具える。 （もっと読む）

【課題】リードフレームの最終検査における各種の不良項目の検査を、同時かつリアルタイムに高い信頼性の下で行うことが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】板状金属製品の検査装置であって、板状金属製品に照明光を照射する複数種類の照明手段と、板状金属製品を撮像する複数の撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給する供給部と、複数の撮像手段により板状金属製品を撮像して得られた画像データを用いて板状金属製品に存在する不良を検出し良否判定する検査部と、検査部によって良否判定された板状金属製品をその良否により仕分けして排出する排出部と、検査装置全体の動作制御を行う制御部とを備え、各撮像手段が搬送手段と同期を取りつつ各撮像手段の撮像位置に到達した板状金属製品の撮像を行うことを特徴とする板状金属表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】光透過性の材料により形成された物品において、異物の全体または一部が埋入されているか異物が表面に付着しているかを判別することを可能にする。
【解決手段】光透過性の材料により形成された物品ＢをＴＶカメラ１１により撮像する。第１のエッジ抽出手段２８は、濃淡画像に対して物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆと物品Ｂの表面に露出する異物Ｆとの輪郭が併せて抽出可能する閾値を用いて二値化した二値画像からエッジを抽出する。第２のエッジ抽出手段２９は、微分画像に対して物品Ｂの表面に露出する異物Ｆの輪郭線が抽出され物品Ｂの内部に埋入された異物Ｆの輪郭線が抽出されないように設定した閾値以上の画素からエッジを抽出する。判定手段３０は、第１のエッジ抽出手段２８と第２のエッジ抽出手段２９とで抽出したエッジの長さの変化率が規定した判定閾値以下であるときに除去可能な異物Ｆが物品Ｂに付着していると判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種穀類粒の硝子率を客観的、かつ、正確に測定評価できる簡略安価な構成からなる穀類粒の品質評価システムを提供する。
【解決手段】本発明の品質評価システム１は、穀類粒を切断する穀粒切断器３と、切断された任意数の穀類粒をその断面側を光走査側として列設配置するトレイ６と、トレイ６に列設配置した穀類粒の各断面を光走査して各穀類粒の断面画像を取得する撮像装置１０と、取得した各穀類粒の断面画像に対する輪郭抽出処理と、輪郭抽出画像に対する表皮部輪郭除去処理と、表皮部輪郭除去後の各輪郭画像に対する硝子質部、半硝子質部、粉状質部の各面積を算出する面積算出処理と、算出した硝子質部と半硝子質部との面積の和の表皮部輪郭除去後の輪郭画像の全面積との比較演算を各輪郭画像毎に行い各穀類粒毎の硝子率を算出する処理と、の各処理を行う画像分析処理手段と、画像分析処理手段の処理結果を出力するプリンタ４０と備える画像処理及び評価装置２０と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】海苔が傾斜姿勢で撮像手段に搬送された場合であってもシンプルな判別処理によって欠けの有無検査が行える海苔の外観検査方法及びその装置を提供することを技術的課題とするものである。
【解決手段】各海苔画像を搬送方向（撮像画素Ｐの配列方向）に対して同方向になるように画像回転処理を行った後に、該海苔画像について、四辺の外辺接線となる水平接線及び垂直接線から任意画素内側に検査領域線を設定し、該検査領域線で囲まれた検査領域内に欠けがあるか否かを判別するようにしたので、海苔の欠け判別は、海苔周縁部分の凹凸形状の影響を受けずに海苔の全周縁部分に亘って的確に行え、また、前記検査領域線は、撮像画素Ｐの配列方向に沿った単純な垂直基準線及び水平基準線によって構成することができる。このため、シンプルな判別処理によってよって広い検出範囲の海苔の欠け判別が行えるようになる。 （もっと読む）

【課題】スローアウェイチップや棒状切削工具等のワークを効率よく精度良く検査することができる工具欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク１２をチャック用部材１６により支持する支持装置１８と、ワーク１２の検査面を照明するリング照明３２と、照明されたワーク１２を撮像するカメラ２６を有する。カメラ２６により撮像された画像を表示する表示装置３０と、カメラ２６により撮像されたワーク１２の検査像を画像処理する画像処理装置２８を備える。リング照明３２から照射された照射光を、ワーク１２の検査面の背面側及び周囲で反射させる背面反射板２２を備える。リング照明３２は、ワーク検査面に対して斜め方向から照明光を照射するように設けられ、支持装置１８と背面反射板２２は白色系の同一色に形成されている。画像制御装置２８は、カメラ２６で写したワーク１２の画像を基にワーク１２の輪郭を抽出する抽出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】安定した測定を簡便に行うことができる基板保持装置を提供する。
【解決手段】本実施の形態にかかる基板保持装置は、試料５０の端部が載置される載置台１２と、載置台１２に設けられ、試料５０を吸着する第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂと、試料５０の下側において移動可能に設けられ、試料５０に対して気体を噴出する噴出口４６を有する吸着台１８と、を備え、第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂのＯＮ／ＯＦＦを切換える切換部１５ａ、１５ｂと、を備え、切換部１５ａ、１５ｂが、試料５０に対する吸着台１８の位置に応じて、第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂの一方をＯＮし、他方をＯＦＦするものである。 （もっと読む）

【課題】フィルムの表面の凹凸を高精度に検査できるようにする。
【解決手段】フィルム検査装置は、フィルムＦを非接触の状態でガイドするガイド部材３と、フィルムＦの表面Ｆａに検査光を照射する照明手段と、フィルムＦａの表面Ｆａを撮像する撮像手段とを備えている。ガイド部材３は、フィルムＦの裏面Ｆｂに対向するガイド面３１、複数の空気室３２、およびこれらの空気室３２からガイド面３１に至る連通路を有している。さらに、フィルム検査装置は、複数の空気室３２内の圧力を個別に制御する圧力制御手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】光ケーブル用スペーサに付与した着色トレーサの異常を全長にわたって確実に検出する。
【解決手段】着色トレーサ異常検出装置は、撮影カメラ１１、照明１２、背景用反射板１３、演算装置１４、およびモニター１５を備える。演算装置１４は、撮影カメラ１１で撮影した画像から、着色トレーサのヤケカスやブツの異物を検出する。この演算装置１４では、撮影カメラ１１で撮影した画像を取り込み、その画像データに対して光ケーブル用スペーサ１の進行方向に微分処理を行い、さらに所定のしきい値を用いて二値化処理を行って、得られた二値化データに従って着色トレーサの異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】指輪やネックレスに加工された状態のダイヤモンドを台座などから外すことなく直接検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】試料ホルダー１は、試料２の特定の表面ａが入射光に対して垂直あるいはその近傍になるように試料２の台座２６を保持し、ステージ４に載置される。干渉計を備えたＦＴＩＲ５で発生する赤外光が試料２に入射し、試料２の内部で全反射して前記試料２の特定の表面ａより出射する。この出射した赤外光を半導体検出器８で検出しデータ処理し、赤外スペクトルを得る。 （もっと読む）