【課題】基板をエア浮上搬送する際に基板浮上機構間の乗り移りで発生する基板のばたつきを抑え、超高分解能カメラの被写体深度から外れない基板浮上機構を備えた基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板を搬送する基板搬送部と搬送された基板の欠陥を検査する欠陥検査部とを具備する基板検査装置において、基板搬送部に設置された基板を浮上させる複数の基板浮上機構を有し、基板浮上機構が欠陥検査部において搬送方向に対して互い違いに配置されており、互い違いに配置された基板浮上機構間で基板の表面を撮像して欠陥を検出する欠陥検査装置を具備することを特徴とする基板検査装置。 （もっと読む）

【課題】回転ドラム上に落下させた粉粒体への異物混入を高精度で検出する粉粒体異物検査装置及び異物検査方法を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明し、少なくとも当該透光性回転ドラム表面の色を調光する光源色を調光可能な調光照明部２２を有する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて前記照明機構の光源色を調光する光源色調整部３１と、前記カラー撮像装置で撮像したカラー画像情報に基づいて異物の混入を検出する異物検査部３１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】空樽などの略円筒状の外周面を有する容器であっても高い検査性能を達成し得る外観検査装置を提供する。
【解決手段】容器の外観を検査するための装置（２０）において、略円筒状の外周面を有する容器（１）を自転させる回転機構（３）と、自転時に容器（１）の外周面の側方に位置するように固定された少なくとも１つのラインカメラ（５ａおよび５ｂ）とを設け、回転機構（３）により容器（１）を自転させながら、ラインカメラ（５ａおよび５ｂ）で容器（１）の外周面を撮像し、これにより得られた容器（１）の外周面の画像データに基づいて外観検査の合否を判別するように構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業で誤差の少ないピンのずれ検査装置の提供。
【解決手段】金型に立設された鋳抜きピン３の曲がり等のずれを検査するものであって、ピン３と平行に設けられたボアピン５を挿通する案内部材１１と、案内部材１１を介して一体的に結合され第一プレート６、第二プレート７と、金型４側の第一プレート６に配設されてプレート６，７を金型４に対して位置決めする支持ピン１０と、各プレート６，７のそれぞれに穿設される第一及び第二嵌合孔１６，１７と、各嵌合孔１６，１７のそれぞれに隙間Ｓ１を介してピン３の軸直交方向で移動可能に嵌合すると共にピン３を挿通するための挿通孔８ｈ，９ｈを有する第一及び第二検査指示部材８，９と、各プレート６，７に各嵌合孔８ｈ，９ｈのそれぞれを取り囲むように設けられて各検査指示部材８，９の軸直交方向の移動量を判定するための第一及び第二判定溝１８，１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】板状体のエッジ部の欠陥を検出することができる板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、板状体１１の出射面１２側から撮像して得られた画像をデジタル処理することで板状体１１の欠陥を検出する。板状体１１の出射面１２に隣接している入射面１３に、板状体１１の内部を透過した透過光が入射面１３から出射されるように光を照射し、透過光を結像させることにより板状体１１の画像を得る。 （もっと読む）

【課題】金属析出板の表面を撮影し、撮影された表面の小塊の大きさと面当たりの分布比率に応じて自動で金属析出板の等級を判定できる電解精錬された金属析出板の表面検査装置を提供する。
【解決手段】電解精錬された金属析出板１０の表面検査装置は、検査しようとする金属析出板１０を撮影して検査する検査部２００と、前記検査しようとする金属析出板１０を検査部にロードするローディングロボット３００と、検査部２００で検査済みの金属析出板１０をアンロードするアンローディングロボット４００と、アンローディングロボット４００によりアンロードされた金属析出板１０を移送させるコンベヤ部１００、及び前記検査部２００と、これらの各部の作動を制御し、前記検査部２００で撮影された前記金属析出板１０のイメージを用いて前記金属析出板１０に小塊の大きさ及び分布により前記金属析出板の等級を判定する制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に含まれる異物を選択的に容易かつ確実に排除することができる異物排除装置を提供する。
【解決手段】異物排除装置１は、検査対象物９中に混在する異物を検出して該異物を排除する装置であって、ドラム１０、対象物供給部２０、第１撮像部３１、第２撮像部３２、解析部６０、分離部７０および加圧エアーノズル８１を備える。分離部７０は、ドラム１０から検査対象物９が落下する前に、加圧エアーノズル７１によりドラム１０の上方から検査対象物９に加圧エアーを吹き付けて、ドラム１０から検査対象物９を分離させ落下させる。加圧エアーノズル８１は、すなわち、ドラム１０から検査対象物９が落下しているときに、異物通過時に選択的に加圧エアーを噴射して、検査対象物９のうち異物を含まない部分と異物を含む部分とに分別する。 （もっと読む）

【課題】光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１０は、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０と、第１姿勢矯正ユニットＢ１０と、第２姿勢矯正ユニットＣ１０と、第１撮像ユニットＤ１０と、第２撮像ユニットＥ１０と、第３撮像ユニットＦ１０と、第４撮像ユニットＧ１０と、第５撮像ユニットＨ１０と、第６撮像ユニットＩ１０と、良品回収ユニットＪ１０と、不良品回収ユニットＫ１０と、制御部１２とを備える。透明テーブルＴの周縁近傍には、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、第１撮像ユニットＤ１０、第２撮像ユニットＥ１０、第３撮像ユニットＦ１０、第４撮像ユニットＧ１０、第５撮像ユニットＨ１０及び第６撮像ユニットＩ１０がこの順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板浮上装置、基板検査装置及び基板検査方法において、簡単な構成で確実にガラス基板の浮上状態を検知する。
【解決手段】基板（Ｇ）に対しエアを吐出するステージ部２と、基板（Ｇ）の浮上状態を、基板（Ｇ）に接触することで検知する検知部（３）と、を備える構成とする。好ましくは、検知部（３）は、ステージ部２の上部に配置される構成とする。 （もっと読む）

【課題】手間と検査時間が掛からず、コストを節約し作業効率をアップでき、検査の正確度を上げて、ベアチップを損壊させない、ベアチップ用両面検査設備を提供する。
【解決手段】搬入装置１、正面画像キャプチャ装置３、透明ガラス４、背面画像キャプチャ装置５、ピックアップ装置６、及びコントローラー７を包含する。正面画像キャプチャ装置３がトレイ１３上の複数のベアチップ２の正面画像１４１を撮影並びに検出し、続いてピックアップ装置６がトレイ１３上の被検査ベアチップ２を取り出し並びに透明ガラス４の上に置き、更に背面画像キャプチャ装置５が下から上に被検査ベアチップ３の背面画像１５１を撮影並びに検査し、最後に検査結果によりピックアップ装置６がベアチップ２を搬出する時に分類する。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの検査対象領域に対する照明光の光量の安定化・均一化を図り、ディスク表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査への適用にも好適なハードディスク検査装置を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク（12）の面に対し、照明装置（112，114,116,118）からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ（102,104）によって撮像する。ディスク（12）の表面側及び裏面側の各検査面に対して、それぞれ１台ずつ光源装置（310,311）を備え、１台の光源装置（310又は311)から光ファイバー（312又は313）を２分岐して、ディスク検査領域に対して２方向（左右）から対称的に照明する。 （もっと読む）

【課題】媒体の選別精度を向上させつつ生産性の低減を抑制すること。
【解決手段】元画像（６）に基づいて画像を媒体（Ｓ）に記録する画像記録部（ＵＹ〜ＵＫ＋Ｔ１＋Ｂ＋Ｔ２＋Ｆ）と、分岐路（３）が接続される検査路（ＳＨ６）と、搬送先を切り替える排出切替部材（Ｇ３）と、媒体（Ｓ）を撮像する撮像部材（４）と、媒体（Ｓ）を搬送する搬送部材（Ｒａ１，Ｒａ２）と、元画像（６）と撮像された画像（７）とに基づいて欠陥があるか判別する画像欠陥判別手段（Ｃ２ｅ）と、搬送部材（Ｒａ１，Ｒａ２）による搬送速度を制御して媒体（Ｓ）を搬送させる搬送速度制御手段（Ｃ２ｇ）と、欠陥があると判別された場合に搬送先を分岐路（３）に切り替える排出切替部材制御手段（Ｃ２ｆ）と、分岐路（３）に搬送された媒体（Ｓ）が排出される欠陥媒体排出部（ＴＲｈｐ）と、を備えた画像形成装置（Ｕ）。 （もっと読む）

【課題】高い検査精度を得る。
【解決手段】本発明は、扁平なワークの表面および裏面の状態を検査する扁平ワークの外観検査装置を対象とする。ワークをその表面側を上向きにして、搬送ラインに沿って下流側に搬送する表面検査用搬送機１０と、表面検査用搬送機１０の上方に設けられ、かつ表面検査用搬送機１０上のワークの表面を撮像する表面撮像装置と、表面検査用搬送機１０から搬出されたワークを裏面側が上向きとなるように反転させるワーク反転装置３１と、ワーク反転装置３１によって裏面側を上向きにしたワークを、搬送ラインに沿って下流側に搬送する裏面検査用搬送機２０と、裏面検査用搬送機２０の上方に設けられ、かつ裏面検査用搬送機上のワークの裏面を撮像する裏面撮像装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像時の画像に異物を写り易くさせ、異物の検出精度を向上させた容器内異物検査装置を提供する。
【解決手段】液体が封入された容器を搬送する搬送手段と、前記容器が搬送される経路の途中に設けられた照明光照射手段と、前記照明光照射手段からの照明光を前記容器に照射し、透過した光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段から得られる画像信号の画像処理によって前記液体に混入した異物を検出する異物検出装置とを備えた容器内異物検査装置において、前記搬送手段の途中に位置する前記撮像手段よりも上流側に位置し、前記搬送手段に結合して構成された容器回転部を有し、前記容器回転部は、前記容器を搬送するコンベアと、該コンベアに沿って前記容器をガイドするための内側ガイド部と外側ガイド部を備え、前記容器搬送時に前記容器を回転させて、前記容器内の混入異物を前記容器外周側に移動させる。 （もっと読む）

【課題】回路パターンが付された基板の検査ないし補修の工数及びコストの削減を図る。
【解決手段】基板９を配置するためのステージ１と、ステージ１上に配置された基板９を撮像する撮像手段２と、基板９に本来付される回路パターンのデータを記憶するパターン記憶手段８と、撮像手段２で得た画像データをパターン記憶手段８に記憶している回路パターンのデータと比較して基板９の不良部を検出しその位置座標を得る不良検出手段６と、ステージ１上に配置された基板９に対して相対移動可能かつ基板９に付された回路パターンを補修可能な補修手段３と、不良検出手段６で得た位置座標に対応する箇所に補修手段３を移動させて不良部の補修を実行させる制御手段７とを具備する検査・補修装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、搬送手段５、撮像部１、観察用補助部材２、液体充填手段７、及び液体除去手段８を備える。搬送手段５は検査対象である光透過性フィルムＡを搬送する。撮像部１は光透過性フィルムＡの一面Ａ１（表面）側からこの光透過性フィルムＡの外観を撮像する。観察用補助部材２は撮像部１で撮像される光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に配される。液体充填手段７は光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に液体４を介在させることでこの光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とを密着させる。液体除去手段８は撮像後の前記光透過性フィルムＡに付着している液体４を光透過性フィルムＡから除去する。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンから特定パターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、を備えているパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像の光学画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、特定パターンを特定検査実行領域に設定する特定検査実行領域設定部と、特定検査実行領域において、光学画像取得部で取得した光学画像のパターン検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンからアシストパターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、を備えているアシストパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、アシストパターンをデセンス領域に設定するデセンス領域設定部と、デセンス領域において、パターンの比較検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】ランプ製造に際してガラス管の検査を効率よく行うことのできる検査装置及び当該検査装置を備えたランプ製造装置を提供する。
【解決手段】冷陰極蛍光灯１を製造するランプ製造装置は、長手方向中央部を含み、塗布液が塗布されることで蛍光体層が形成された塗膜部３３と、一端部を含み、一旦形成された蛍光体層を除去することで形成された塗膜剥離部３２と、他端部を含み、塗布液が塗布されなかった非塗布部３１とからなるガラス管１１のうち、塗膜部３３の検査及び塗膜剥離部３２の検査を行う検査装置４１を備えている。検査装置４１は、ガラス管１１に光を照射可能な照射手段４４、４５と、照射手段４４、４５とはガラス管１１を介して反対側に設けられ、ガラス管１１を透過した透過光を撮像可能な撮像手段４６、４７と、撮像手段４６、４７による撮像に際し、非塗布部３１を保持する案内レール５５及び押え板６１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】シート状機能部品への損傷を抑制しつつ、画像認識によるシート状機能部品の検査精度を向上させることができるシート状機能部品の検査装置を提供する。
【解決手段】自由状態で皺を生ずるシート状機能部品Ｗがセットされるセットテーブル４１と、セットテーブル４１にセットしたシート状機能部品Ｗを押える透明プレート４２と、透明プレート４２越しにシート状機能部品Ｗを画像認識して、シート状機能部品Ｗを検査する認識検査手段４３，４５と、付着した異物によりシート状機能部品Ｗにダメージが生じないように、且つ皺を解消してシート状機能部品Ｗが認識不良とならないように、セットテーブル４１に対する透明プレート４２の押圧接近位置を位置規制する押圧規制手段４４と、を備えたものである。 （もっと読む）