【課題】簡易迅速に潤滑油中の異物の性状、大きさを検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置４０Ａは、ディーゼルエンジン１０に供給される潤滑油３２の一部を新油３２Ａとして抜き出す新油分取ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を使用油３２Ｂとして抜き出す使用油分取ラインＬ１２と、新油分取ラインＬ１１および使用油分取ラインＬ１２から抜き出した新油３２Ａ、使用油３２Ｂ中に含まれる異物の外形を画像により検出する検出装置４１と、を有し、検出装置４１で得られた検出結果から使用油３２Ｂ中に含まれる異物を検出し、かつディーゼルエンジン１０の運転継続の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の処理ユニット有する基板処理装置において、基板を精度良く検査或いは処理でき、タクトタイムを向上できる基板搬送装置または基板搬送方法あるいは基板処理システムまたは基板処理方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板を処理する複数の処理ユニットに跨って形成される搬送ステージ上を前記基板を搬送する際に、前記搬送は、前記基板の第１の辺を把持する第１把持搬送体を前記搬送する方向に平行回送移動させ、前記基板の第２の辺を把持する第２把持搬送体を前記搬送する方向に平行回送移動させ、前記第１把持搬送体から前記第２把持搬送体に前記把持を移行させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物を変更する際の洗浄を、従来装置に比べてより簡単に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｋを一列に整列して供給する整列供給装置と、供給された被検査物Ｋを搬送する搬送装置と、その搬送路上に設定された撮像領域内に達した被検査物Ｋの画像を撮像する撮像装置５０と、被検査物Ｋの画像を解析してその良否を判別する画像処理装置と、判別結果にしたがい、被検査物Ｋを良品と不良品とに選別する選別装置とを備える。整列供給装置、搬送装置及び選別装置は、閉塞空間たる搬送空間内に配設される一方、撮像装置及び画像処理装置は搬送空間の外側に配設される。撮像領域と対峙する仕切板７に、透明な部材から構成される窓部６５を設け、撮像装置５０は窓部６５を通して被検査物Ｋの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板が薄くなっても、基板自体の有する歪量を矯正し、基板を精度よく検査できる基板欠陥検査システム及び基板欠陥検査方法並びに、基板自体の有する歪量を矯正し、基板を検査可能範囲に維持して搬送できる搬送装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、基板を載置し前記基板を検査する検査領域に搬送し、前記検査領域に検査光を照射して前記基板を撮像し前記基板の欠陥を検査する基板欠陥検査システムまたは基板欠陥検査方法において、前記基板を湾曲形状に矯正し、前記湾曲形状に沿って配置され複数の光学検査ユニットで前記検査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体の性質や容器表面の情報に左右されることなく効率的に液中異物の有無を検出することができる液中異物検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体を連続的に搬送し、所定の検査位置にて単一の被検査体に対して光を照射するとともに隔離配置された第１及び第２撮像手段により被検査体を同時に撮像し、第１撮像手段によって撮像された第１画像と第２撮像手段によって撮像された第２画像とからそれぞれ所定画素以上のシルエット像の有無を検出し、第１及び前記第２画像に同一のシルエット像が検出された場合には、予め定められた第１及び第２撮像手段の各位置と第１及び第２画像のシルエット像位置に基づいてシルエット像の３次元位置を三角法により測定してシルエット位置情報を得るとともに、シルエット位置情報と容器表面の３次元位置が予め記憶された容器位置情報とを比較してシルエット像が容器表面に位置するか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板を確実に支持バーから離隔し、基板全面を検査できる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【解決手段】
発明は、所定方向に長い複数の支持バーに設けられた複数の吸着孔からエアを吸引して基板を保持し、検査光を前記基板の表面に走査しながら照射して前記基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光し、前記吸引を停止し、前記基板を前記支持バーから離隔して上昇させて前記所定方向と垂直な方向にシフトし、前記基板の全面を検査する基板検査装置または基板検査方法において、前記基板からの離隔は、前記吸着孔から前記支持バーの前記基板の載置面に設けられた溝にエアを供給することによって行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象のビンの中に、正常品のビン（充填時に設定した形状のビン）とは異なるビン（異種ビン：設定外の形状のビン）が含まれているときに、異種ビンが存在することを簡単に検知することに適したビン検査装置を提供する。
【解決手段】立設されているビンに対して上側から装着される検査ヘッドと、予め定められている鉛直方向の異なる位置に設置されていて、前記ビンに対して上側から装着されている状態の前記検査ヘッドの方向に向けて、それぞれ水平方向に検査光を発射する複数個の光電センサとを備えており、前記複数個の光電センサから鉛直方向の異なる位置で、水平方向に発射される複数本の検査光が前記検査ヘッドの上端側で遮光されるか否かを利用して、前記検査ヘッドが装着されたビンが正常品のビンであるか否かを把握するビン検査装置。 （もっと読む）

【課題】軸状ワークを、外周の径方向張り出し部をテーブルで受け支えて吊り下げ姿勢で搬送しながら選別のための検査を行う検査装置について、検査の高速化と高精度化を図ることを課題としている。
【解決手段】回転テーブル２、吸着装置１０、回転駆動機構２０、ワーク突き上げ機構３０、および検査機４０を有し、吸着ヘッド１１とワーク突き上げピース３１が検査部５に対向して配置され、回転テーブル２が間欠的に回転して外周の切欠き溝に受け入れたワークＷを検査部５に移動させ、検査部において、ワーク突き上げ機構３０がワークＷをそのワークの頭頂部が吸着ヘッド１１に吸着・保持される位置まで下から突き上げ、回転駆動機構２０が吸着ヘッド１１と一緒にワークＷを回転させて検査機４０による検査が行われるようにした。 （もっと読む）

【課題】凝集性が強い粉体であってもホッパーから塊となることなく定量切出しを行うことができる粉体切出装置及びこれを使用した粉体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉体を貯留し、粉体を帯状に切り出す切出用開口を有するホッパー１１と、該ホッパー１１の切出用開口に連接して配設された当該切出用開口の長手方向に対向して回転自在に配設された外周面を凝集性が強い粉体を切出し可能な粗面とした切出ローラ１２を有する粉体切出機構１３と、前記切出ローラ１２を一定方向に回転駆動するローラ駆動機構１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークを支持すると共に回転させるワーク支持具を具備する表面検査装置において、ワーク支持具へのワークの投入を、パーツフィーダを用いて自動化することができるワーク投入装置を提供する。
【解決手段】夫々の回転軸が平行となるように並設された一対のローラ４１間に円筒状のワークＷを支持するワーク支持具４０を有し、ワーク支持具４０に支持されたワークＷをローラ４１の回転によって回転させて表面の検査を行う表面検査装置において、ワーク支持具４０にワークＷを投入するワーク投入装置５０であり、パーツフィーダ（ワークレールＰ）から供給されるワークＷを収容する収容凹部６６を有し、ワーク支持具４０の上方に配置され、ローラ４１の回転軸ａと平行な回動軸ｂで回動して収容凹部６６に収容したワークＷをワーク支持具４０の各ローラ４１間に落下させる回動搬送体６５を備える。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実にアンプルの封止部及び溶閉境界部の検出ができる封止部検出装置及び封止部検出システム及び封止部検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の溶閉境界部検査システム１００は、画像処理装置１を含んで構成され、アンプル２、アンプル配置装置３、アンプル供給装置４、アンプル中心線８Ｂ上に配置されるカメラ５、リング状照明６及び撮像処理装置７とから構成される。アンプル配置装置３は、アンプル２の枝先部２Ａが、水平面２Ｂと間隙を置いた水平面５Ｂを備えるリング状照明５に対して、リング状照明５の中心線に位置するようにアンプル２を配置する。そして、撮像処理装置７によって、封止部２Ｃに照射された水平照射光９に基く、溶閉境界部２Ｄによる乱反射光によってアンプル２の封止部２Ｃを撮像し、画像処理装置１によって、封止部２Ｃおよび溶閉境界部２Ｄについての撮像画像２０を得る。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実にアンプルの気泡又はツノの検出ができる気泡又はツノの検出方法及び検出システムを提供する。
【解決手段】気泡又はツノ等の欠陥検出システム１００は、画像処理装置１を含んで構成され、アンプル２と、アンプル配置装置３と、アンプル供給装置４と、カメラ５と、リング状照明６及び撮像処理装置７を有する。アンプル配置装置３は、アンプル２の枝先部２Ａが、水平面２Ｂと間隙１２を置いた水平面５Ｂを備えるリング状照明５に対して、リング状照明５の中心線８に位置するようにアンプル２を配置する。撮像処理装置７によって、天面２Ｃに照射された水平照射光９に基く天面に形成された気泡１４又はツノ等の欠陥による乱反射光によってアンプル２の天面２Ｃを撮像し、画像処理装置１によって天面２Ｃに形成された欠陥についての撮像画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、生産コストが低い吸着治具を提供することである。
【解決手段】本発明に係る吸着治具は、吸引源に連通されてテストオブジェクトを吸着するために用いられる。互いに対向する第一面及び第二面にそれぞれ積載凹部及び吸着凹部が設けられ、前記積載凹部と前記吸着凹部との間に接続孔が設けられ、前記積載凹部、前記吸着凹部及び前記接続孔が同軸上に設けられる吸着部と、前記吸着部の側面に設けられ、且つ前記接続孔に連通する通気孔が設けられる少なくとも１つの接続部と、前記積載凹部に載置されて前記接続孔を密封する透光板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品の稜線部までも明瞭に撮像することできる外観検査装置を得る。
【解決手段】矢印ａ方向に間欠的に回転駆動される搬送テーブル２０に形成された凹部２１に直方体形状の電子部品１２０を１個ずつ収容し、該電子部品１２０の外観をＣＣＤカメラ７０で撮像する外観検査装置。凹部２１は搬送テーブル２０の上面及び外周面に開口しており、凹部２１の側面２１ａとテーブル２０の上面とからなる稜線部には傾斜面２１ｂが形成されている。また、外周ガイド部材３０の側面３０ａとテーブル２０の上面とからなる稜線部には傾斜面３０ｂが形成されている。この傾斜面２１ｂ，３０ｂによって照明光ｙが電子部品１２０の稜線部にまで隈なく届くことになる。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を低減しつつ、レシピに登録された座標と実際の座標とのずれを自動的に補正する。
【解決手段】基板Ｗにおけるモデルの検査・測定座標を記憶したレシピに基づいて搬送ステージ１３上に載置された基板Ｗにおけるモデルを検査・測定する基板検査・測定装置１０は、搬送ステージ１３上に載置された基板Ｗにおけるモデルの実座標を特定し、特定した実座標をレシピに登録する（ステップＳ１１４、Ｓ４１５）。 （もっと読む）

【課題】粉体のワークは高速に移動させるとワークが舞い上がってしまう点、及び粒体のワークは隣接させずに個々に分離して検査することができずに誤検知率が高い点、こうした不具合なく高速かつ全量のワークの検査を行うことができない点を解消する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、ワークＷを表面上に吸着させることで受け取って、回転させて検査位置から良品・不良品の排出箇所へ搬送するために、筒状体４Ａの周面表裏を貫通する複数の微細な孔４ａが形成され、さらに、該筒状体４Ａの内部の空気を吸引する吸引機構４Ｃが接続された回転吸引搬送機構４と、回転吸引搬送機構４の外周面を覆ってワークＷを把持する通気カバー４Ｂと、回転吸引搬送機構４の周面外側に設けたカメラ５と、を備えることとした。 （もっと読む）

【課題】基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。
【解決手段】基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反りがある基板でも基板の上面に接触せずに搬送でき、基板の高さより上に搬送用の可動部がない基板搬送装置および基板検査システムを提供する。
【解決手段】
基板検査システム１００は、基板搬送装置１と、搬送される基板Ｗの表面を撮像する撮像装置２と、撮像された画像を検査する検査装置３と、検査結果を表示する表示装置４を有する。基板搬送装置１は、基板Ｗに対して下方からエアを吹き付けて浮上させる浮上ステージ８と、浮上ステージ８に沿って移動可能で基板Ｗの裏面側の側縁部を吸着する吸着部９を備えた移動機構１０を有する。移動機構１０の移動台１０ｄは、吸着部９の近傍に、補助吸着部１１を有する昇降機構１２を備える。反った基板Ｗに対し補助吸着部１１が上昇して側縁を吸着して引き下げて吸着部９が基板Ｗを吸着し、移動台１０ｄが移動して基板Ｗを搬送しつつ撮像装置２で撮像して検査する。 （もっと読む）

【目的】予め歪ませたパターンが形成された被検査対象試料をダイーダイ検査する際に、高精度な検査が可能なパターン検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、複数の同一パターンが形成位置にそれぞれ歪みをもって形成された被検査試料の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データを複数の部分光学画像データに切り出す切り出し部７２と、前記被検査試料に形成されたパターンの歪み量を取得可能な歪情報を用いて、前記複数の部分光学画像データの位置を補正する補正部７４と、補正された前記複数の部分光学画像データ同士を画素毎に比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板を容易に検査することのできるガラス基板の検査用保持冶具を提供する。
【解決手段】柱状部材４３，４４が柱状部材４１の右端近傍部分４１ａ及び柱状部材４２の右端近傍部分４２ａと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４３，４４の位置関係が強固に固定される。また、柱状部材４５，４６が柱状部材４１の左端近傍部分４１ｂ及び柱状部材４２の左端近傍部分４２ｂと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４５，４６の位置関係が強固に固定される。 （もっと読む）