【課題】従来の半導体パターン検査装置において、シミュレーションで求められた危険箇所に対して、その検出感度を最適化したい要望がある。しかし、設計データとパターン検査装置を結びつけたツールがない。あるいは、その実施に膨大な時間を要し、製造現場での運用には無理があった。
【解決手段】本発明では、検査装置から出力した複数の検査・画像・特徴量データ、及びレビューＳＥＭ画像だけでなく、シミュレーションから求めた危険箇所の座標情報、及びその部分のＣＡＤ情報を取り込む。これらの情報を並べて表示するデータ処理装置により、危険箇所の検出率の観点から検査装置の検査条件のチューニングを容易にする。また、レビューＳＥＭで読み取ることが出来る座標データを出力して容易に定点観察機能を従来のレビューＳＥＭで実現できるようにする。これによりシミュレーションデータ、検査装置、レビューＳＥＭの連携を容易にする。 （もっと読む）

【課題】複数層に形成された検査対象物の各形成状態を検査する場合において、品質上問題の生じる可能性の低い領域や検査不可能な領域について、虚報の出やすい領域を除外したり、あるいは閾値を緩くしたり、判定アルゴリズムを変更したりすることで虚報を抑えられるようにする。
【解決手段】配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４を形成したプリント基板２を検査する場合、配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４の設計データで囲まれた領域を膨張処理し、これによって生成された配線パターン２１やパッド２２の設計データに対する膨張領域と、レジスト２３の設計データに対する膨張領域とを重ね合わせる。そして、その重ね合わさった重複領域４３を他の内側領域４１や外側境界領域４２における検査方法と異なる判定アルゴリズムで検査する。あるいは、その重複領域４３については、検査を行わないようにする。 （もっと読む）

【課題】円板状の部品の表裏判別を比較的簡単な構成でもって、高速かつ正確に安定して行うことができる表裏判別装置を提供する。
【解決手段】部品１の周側面を垂直方向から照明手段２によって照明し、部品１の中心軸の真上方向から撮像手段５で撮像した画像データに基づいて外周円算出手段８で部品１の外周円の中心座標と半径を算出する。そして、この外周円の情報から、表裏判別マークエッジ点抽出手段９で表裏判別マークのエッジ点を全周にわたって抽出していく処理を表裏２枚の画像データに対して行い、こうして抽出された表裏判別マークのエッジ点の総数の大小を表裏決定手段１０で比較して部品１の表裏を決定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の変更に容易に対応することができるとともに、検査の効率を高める。
【解決手段】ワーク搭載用のステージ２が９０度おきに回転可能に配備されたインデックステーブル１を回転させることによって、ワークの搬入、前処理、検査、搬出の各処理を並列で実行する。各ステージ２は検査位置Ｃに到達するまで固定されているが、検査位置Ｃに停止すると、ステージ回転機構３０が装着されて回転可能になる。検査の際には、ステージ２の回転と検査用撮像部５の位置および姿勢を変更する制御とを組み合わせながら、複数の撮像ポイントに検査用撮像部５の光軸を合わせて撮像を行う。この制御に必要な制御データは、１段階前のテーブル１が停止したときの前処理位置Ｂで検出されたワークのずれ量に基づいて補正される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、生コンクリート骨材の粒度を簡単で、かつ、正確、迅速、安価に測定することにより、生コンクリート骨材の品質を確認することができる生コンクリート骨材粒度測定方法および生コンクリート骨材粒度測定システムに関するものである。
【解決手段】本発明は、所定範囲の粒径からなる生コンクリート骨材をデジタルカメラによって撮像したものを、白黒からなる２値化した画像に変換し、前記画像を走査することにより、等価円直径からなる前記生コンクリート骨材の粒度分布を算定して、前記生コンクリート骨材の品質を画像解析するものである。 （もっと読む）

【課題】色の再現性に幅（ばらつき、色ムラおよび／または色あせ）のあるシート状物品における汚れ、破れ、形状不良等の欠陥検査において、模様を欠陥と判定せず、かつ、黒汚れ、非黒よごれおよび破れの判別が可能な検査方法および装置の提供。
【解決手段】複数の異なる色領域を有する検査板と、ＲＧＢ成分からなる複数のラインを撮像可能なカラーカメラとを提供し、検査板上を通過させたシート状物品のＲＧＢ画像データを取得し、Ｒ成分画像、Ｇ成分画像およびＢ成分画像を合成した合成画像を取得し、当該合成画像において変色領域を検出し、変色領域の色が予め記憶した欠陥種別の設定パラメータの範囲に属するかにより欠陥種別を判定することを特徴とするシート状物品の検査方法およびその装置。 （もっと読む）

【課題】従来方法を改良して従来の手動作業と自動作業とを兼用した検卵装置を提供する。
【解決手段】卵投入部と卵整列部と第１次検査部と無精卵・発育異常卵排出部と優良卵供給部と第２次検査部と、卵取出部とから構成される有精卵自動検卵装置において、前記検卵装置に画像で検卵処理する画像処理システムと画像で検卵処理する画像処理用カメラとを付設しかつ前記システムとカメラを介して検卵部でライトアップしたのち画像処理にて良否判定を行い、該良否判定による不良品を自動的に取り出して卵内血管の発育状態と活力とを人の目視により確認可能とし、かつ複数卵の発育状態を離れた位置で手動操作により画像判定を可能にしたことを特徴とする有精卵検査における自動式兼手動式の検卵装置の提供。 （もっと読む）

【課題】３次元計測に基づく欠陥検出の高精度化および高速化を図る。
【解決手段】欠陥検出処理部１００は、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１を非欠陥点群データ１０１２と欠陥点群データ１０１３とに分類し、欠陥点群データ１０１３が除去された観測点群データ１０１１を使用することで参照点群データ１０１４との位置合わせを行い、その観測点群データ１０１１を参照点群データ１０１４と比較することにより、その観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点を判別し、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１から欠陥点群データ１０１３を検出する。 （もっと読む）

【目的】レチクル厚のばらつきによる透過照明光の焦点ズレを容易に補正することにより、検出感度の高い欠陥検査を行うことが可能なレチクル欠陥検査装置およびレチクル欠陥検査方法を提供する。
【構成】パターンが形成された被測定試料に光を照射して得られるパターン画像を用いて被測定試料上の欠陥を検査するレチクル欠陥検査装置であって、被測定試料の一方の面に第１の検査光を照射する透過照明光学系と、被測定試料の他方の面に第２の検査光を照射する反射照明光学系と、第１の検査光の被測定試料への照射による透過光と、第２の検査光の被測定試料への照射による反射光とを同時に検出可能な検出光学系を有し、透過照明光学系が、被測定試料の厚さに起因する透過光の焦点ズレを補正する、焦点合わせ用レンズ駆動機構を備えることを特徴とするレチクル欠陥検査装置およびこれによるレチクル欠陥検査方法 （もっと読む）

【課題】内面塗装された缶の内面状態を検査するにあたり、従来の検査方法では検出しにくかった塗装欠陥や内面の変化状況を検出可能として内面検査の精度向上を図る。
【解決手段】缶１の内面に施された塗装によって形成された塗膜が乾燥する前に、缶１の内面をカメラ３２によって撮像して缶内面の画像データを得、この画像データに基づいて缶１の内面状態を判断する。塗装後の缶１の内面状態が正常である正常画像データを、濃淡差を表す階調数値に変換して予め保有しておき、この正常数値と、カメラ３２によって得られた検査画像データに基づく数値とを比較して差異を見、その差異が所定範囲内である場合には良品、所定範囲外の場合には不良品と判別する。 （もっと読む）

【課題】外装デザインに関係なく、安定・正確に順序検査を行うことができる手法を提供する。
【解決手段】外装種類の異なる複数個のティッシュカートン２Ａ〜２Ｅに対し、外面に紫外線発光インクにより外装種類表示４０をそれぞれ印刷し、これら複数個のティッシュカートン２Ａ〜２Ｅを、ベルトコンベア１により所定の順序で移送するとともに、移送されるティッシュカートン２Ａ〜２Ｅに対し、紫外線照射装置１３から紫外線を照射するとともにし、この照射により蛍光発光する外装種類表示４０を検出装置１０により順次検出し、この検出結果に基づいて移送されるティッシュカートン２Ａ〜２Ｅの順序を監視するとともに、その監視の結果所定順序とは異なるティッシュカートンを排出するようにする。 （もっと読む）

【課題】豆粒の良否判定の全ての項目に対して、自動的に、かつ確実に良否判定する。
【解決手段】従来の濃度値のレベル判定では、判別できなかった「裂皮」と「へそ」とを明確に判別するため、濃度値のレベル判定に加え、濃度差に応じた山の数、並びに隣り合う山の幅の比に基づいて、「へそ」を特定するようにした。このため、「へそ」であるのに「裂皮」と誤判別することを回避することができる。判別効率、かつ判別精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】被検体からの光を略水平方向に偏向する偏向部と偏向された光を受光する撮像部とが水平支持された画像取込装置において、被検体の大型化に対応し、振動の影響を低減した検査を行うことができるようにする。
【解決手段】基板５０を水平方向に搬送しつつ、撮像領域を撮像して画像を取り込むようにした画像取込装置１００であって、撮像部４と、撮像領域の基板５０上からの光を撮像部４に入射せしめる偏向部５と、撮像部４および偏向部５を支持する水平支持体３と、基板５０の搬送路を跨ぐ状態で架設された梁部を、搬送方向に対する両側側の支柱部で支持してなる門型支柱２とを備え、水平支持体３は、梁部上において、搬送方向の上下流側にそれぞれ張り出した状態で固定され、撮像部４および偏向部５は、それぞれ水平支持体３の一方および他方の張り出し部に分けて配置された構成とする。 （もっと読む）

【課題】規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することが可能なねじ良否判定方法及びねじ良否判定装置を提供する。
【解決手段】規定トルクを発生させることができるか否かに直接的に係るねじ長を、該ねじ長に比例するねじ部の山部の健全領域（ＯＫ領域）に置き換え、このねじ部の山部の健全領域をねじ部に照射したレーザ光の反射光強度に基き抽出して画像化し、抽出された健全領域の画像に基き、健全領域の面積とねじ部全体の面積とを比較し、健全領域が規定トルクを発生するのに必要な面積を確保していると判別した場合に、ねじ穴が良（ＯＫ）であると判定する。これにより、規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することができる。 （もっと読む）

【課題】目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板２は、被検査基板２を揺動可能に支持する揺動ステージ３上に載置されている。デジタルカメラ７は、実体顕微鏡５に固着された状態では、被検査基板２上の微小な結果を撮像して実体顕微鏡画像を生成し、実体顕微鏡５から取り外された状態では、検査者の目視位置で被検査基板２上の欠陥を撮像してマクロ画像を生成する。実体顕微鏡画像およびマクロ画像は検査制御装置１に取り込まれ、欠陥情報と関連付けて表示される。 （もっと読む）

【課題】被検査対象の外観検査時間を短縮し、さらに、画像を保存するためのメモリ容量を低減する。
【解決手段】被検査対象の外観の合否を判定する外観検査装置１０１において、被検査対象５０または６０を撮像する複数のカメラ１６０ａ及び１６０ｂと、被検査対象の画像に基づいて、被検査対象の外観の合否を判定する検査処理部２３０と、複数のカメラと検査処理部との間に設けられ、かつ、合成画像出力モード及び非合成画像出力モードのいずれか一方を行うイメージ合成／非合成部２２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査試料のパターン検査の精度を高めること。
【解決手段】被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得部と、光学画像を参照画像により補正処理を含むアライメント処理するアライメント処理部と、アライメント処理部で処理された異なった光学画像同士を比較処理する比較処理部と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】従来の人手による薄板状部品の検査作業を高精度で効率よく、自動的に行うことができる薄板状部品の検査装置を提供する。
【解決手段】円筒状周壁内に搬送ディスク３が一定速度で回転可能に且つ停止可能に配備され、搬送ディスク３の外周部でその半径方向に直交する延長線上に撮像部への搬入口５が設けられるとともに、同搬入口５へ誘導するガイド部が搬入口５より搬送ディスク３上に張り出して設けられ、撮像部は搬入口５から投入される薄板状部品Ａを水平状態に受け入れ可能で、この回転十字板７を回転軸７ｂを介して一方向に９０°ずつ間欠的に回転させる駆動機構とを備えるとともに、デジタルカメラが載置板７ｂ上に水平に載置された薄板状部品Ａを撮影可能に回転十字板７の上方に設けられている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、取付部４１と、レーザ光源４２ａ，４２ｂと、受光手段としてのフォトダイオード４３ａ，４３ｂとから構成されるセンサ部４０を用いることで、２つの光源がそれぞれ所定角度に配置され、光ビームを被検査面へ照射し、所定の受光面積を有する２つの受光手段で被検査面からの反射光をそれぞれ受光するようになされる。これにより、回転する被検査物体、例えばカムシャフトのような真円ではない回転体の被検査面からの反射光も確実に検出でき、高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】従来のフィラメント方式の光学外観検査で検出されるキズよりも微小な黒く深い欠陥及び検出し難い光沢のある浅い欠陥傷の安定した検出を可能ならしめる。
【解決手段】
鋼球１の表面傷を検査する外観検査装置において、検査する鋼球１を子午線状に回転する回転装置と、回転装置によって回転する鋼球１の表面を検査するレーザー光学系を設け、回転装置によって順次子午線状に走査される鋼球１表面をレーザー光学系の光源６よりレンズ系７でレーザー光を照射して検査し、鋼球全表面のキズの有無の判定を行うようにした。 （もっと読む）