【課題】製品品質の検査システム及びその方法を提供する。
【解決手段】製品品質の検査システムは、検査機具と、撮影装置及び検査モジュールを含む。前記検査機具は検査対象としての完成品を位置決めするためであり、撮影装置をその上に架設し、両者の位置の対応関係を恒に変わらぬよう保持し、検査モジュールはデジタル信号の処理を行う。 （もっと読む）

【課題】所望の結晶体を自動的に判別することができ、良好な結晶体の回収率が高い結晶体の選別装置を提供する。
【解決手段】選別装置は、3台のカメラ1,2,3と、3つの照明1r,2r,3rと、カメラによる撮影画像を用いて結晶体の品質の良否を判定する判定部を有する演算処理装置と、結晶体D1が載置される供給ステージ6と、上記判定部により良品と判定された結晶体D2が貼付される貼付ステージ7と、一つの結晶体D1を保持して、ステージ6からステージ7に搬送する吸着コレット5(保持手段)とを具える。品質判定の予備工程として、照明1rや照明2rで照らした結晶体D1をカメラ1で撮影し、得られた画像を用いて結晶体D1の載置方向や特定の面の面積を検出する。照明1r,2rとして、結晶体D1に対する透過率が70％未満である低透過性光源を用いることで、良好な画像を取得することができ、良好な結晶体の回収率が向上する。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージを用いた安価且つ簡素な構成の基板検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板（１０）を浮上させて支持する浮上ステージ２と、この浮上ステージ２の上方に位置し、被検査基板（１０）に暗視野照明光を射出する光源と、浮上ステージ２上に位置し、視野照明光を散乱反射させる散乱反射部２ａと、被検査基板（１０）を落射暗視野観察する光学系（３）と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】対象物の状態を検査する装置を安価に提供する。
【解決手段】搬送機構２によって搬送される対象物９の状態を検査する検査装置１に、ＣＰＵ１０と、ＲＯＭ１１と、カラーセンサ１６とを設ける。カラーセンサ１６は、赤色光、緑色光、青色光の光量をそれぞれ出力する市販のセンサであり、当該対象物９からの反射光を受光する位置に配置される。ＣＰＵ１０は、カラーセンサ１６から得られた出力値と予めＲＯＭ１１に記憶している正常時の基準データとを比較することにより、対象物９の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板浮上機構の組み付け工数を減らし、精密な加工を含めた装置全体の価格を削減することができる基板浮上機構の取り付けおよび高さ調整機構を提供すること。
【解決手段】空気の吹き出し及び吸引によって基板２を一定の高さに浮上維持する基盤浮上機構３と、前記基板浮上機構３の高さを個別に調整する高さ位置調整機構４と、前記基板浮上機構４の一側面からはみ出した前記基板５の片端部を固定する基板把持機構５と前記基板浮上機構３の一側面と隣接して設けられ、前記基板把持機構５を介して前記基板２を搬送方向Ｘに沿った方向に搬送する基板搬送機構６と、前記基板浮上機構３へ空気の供給および前記基板浮上機構３からの空気の吸引を行う浮上制御部Ａと、前記基板２の表面検査を行う検査部Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】ピックアップ機構などの振り分け装置を用いることなく、低コストで良否の判定結果に基づく振り分けを行えるようにした自動検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象であるプリント基板を保持するステージ２、このステージ２によって保持されたプリント基板をカメラ４３の画像取得領域４６まで移動させる移動機構３とを備え、カメラ４３によって撮影された画像に基づく良否の結果に基づいて検査対象物を回収部５する自動検査装置１において、ステージ２を左右一対の保持体要素２１で構成し、これら保持体要素２１間の距離をカメラ４３による判定結果に基づいて画像取得領域４６の後段で拡大させるプリント基板を落下させる平行リンク機構２０を設ける。 （もっと読む）

【目的】参照画像生成モデルの精度をより向上させることが可能なパターン検査方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査方法は、サンプル光学画像データと設計画像データを入力し、参照画像作成モデル関数の複数の係数を取得する工程（Ｓ１０２）と、複数の係数の１つを用いて作成された参照画像データと被検査試料の実光学画像データとを比較して、欠陥候補パターンを検出する工程（Ｓ１０８）と、欠陥候補パターンを含む参照画像データについて、残りの係数を用いて、作成された残りの係数分の参照画像データと欠陥候補パターンを含む実光学画像データとを比較する工程（Ｓ１１２）と、複数の係数分の各参照画像データと欠陥候補パターンを含む実光学画像データとの複数の比較結果のうち、所定の条件に沿った比較結果を出力する工程（Ｓ１２０）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最小限の操作で基板検査装置が撮像した最新の画像データを表示させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供すること。
【解決手段】基板検査装置の撮像した最新の画像データを表示させるための表示指示を入力するだけで、基板検査装置を特定するための基板検査装置識別子がデータベースサーバに送信され、これを受信したデータベースサーバが、基板検査装置識別子に基づいて画像データベースを検索し、現在時刻から見て最新の画像データを基板検査装置に送信する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の微細な部分に対し、迅速かつ正確な検査を行うことのできる、優れた検査方法と、それに用いられる装置を提供する。
【解決手段】電子部品をステージ上に載置し、微分干渉顕微鏡４４とＣＣＤカメラ４５を組み合わせてなる撮像手段４０を、Ｘ方向移動手段４６によって移動させて位置決めし、初回に検査する電子部品に対しては、上記微分干渉顕微鏡４４の対物レンズを、Ｚ方向調整手段４７によって進退させて複数の画像を連続的に撮像し、その画像データから最適焦点距離を算出してピント合わせを行った後撮像し、次回以降の電子部品に対しては、前回以前に記憶された最適焦点距離から導出される予測最適焦点距離にしたがい自動的にピント合わせを行った後撮像し、得られた画像データから、その撮像部位の良否を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】 自動タイヤ検査装置においてタイヤに上リムの荷重負担を与えないようにして、上リムの荷重によるタイヤの変形を防止して、変形によるリム組みしたタイヤの偏心を防止する。
【解決手段】自動タイヤ検査装置のタイヤリム組機構において、下リム３０上に水平に取り付けられたタイヤＴの上面に取り付ける上リム２０を、主軸１０側に取り付けた上リム引き上げ機構（上リム引き上げリング１２，上リム式上げ用シリンダ１４，シャフト１６）により予め主軸１０側に引き上げて主軸１０に固定しておく。その状態で、下リム３０を上リム２０まで上昇させて上リム３０をタイヤに固定し、リム組みされたタイヤＴを主軸１０に固定する。この状態で上リム引き上げ機構のみを下降し、主軸１０を回転させてタイヤＴの外観検査を行う。また、上リムコネクタ２２の上面と主軸１０の上リム取付部１０ａの下端面間に、位置決めピンと位置決め穴からなる位置決め手段を備える。 （もっと読む）

【課題】基板パターンの何れか一辺が搬送方向と平行となっている基板の回折光観察において、合焦不良欠陥などの観察方向によって欠陥検出感度が不安定である欠陥に対して、欠陥検出感度を向上させるための基板検査装置および基板検査プログラムを提供すること。
【解決手段】繰返しパターンが表面に形成された基板を搬送する手段と、搬送された基板に対して線状の照明光を照射する手段と、照明された基板の線状領域の画像を撮像する手段と、照射される照明光の照射方向を、搬送される基板の搬送方向と一致する第１の方向と、搬送方向に対して所定の角度を有する第２の方向とで切替える手段と、繰り返しパターンの縦横サイズが縦方向と横方向とで異なる長さである場合、照射方向を第２の方向に切替え、縦横サイズの短い方から発生する回折光が取り込めるように、照射する照明光の照明角度と撮像するための撮像角度とを調整する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検査部品（ワーク）の全ての面が多面的（多角度的）にガラスを介さずに直接撮像されるとともに、外観検査装置に供給された姿勢のまま、ワークが排出される部品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査部品２０を吸引して搬送する少なくとも３つの回転円盤Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４と当該部品２０を撮像する複数の撮像カメラＣとを備える部品の外観検査装置であって、上記部品２０を載置状態で搬送する複数の回転円盤Ｄ２，Ｄ４は、それらの上面Ｄ２ａ，Ｄ４ａが同じ高さであり、かつ、駆動軸Ｊ２，Ｊ４が上向きとなる駆動手段Ｍ２，Ｍ４に連結され、上記部品２０を吊り下げ状態で撮像するために配される回転円盤Ｄ３は、その前後の搬送用の回転円盤Ｄ２，Ｄ４と平行であり、かつ、駆動軸Ｊ３が下向きとなる駆動手段Ｍ３に連結される。 （もっと読む）

【課題】発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を１度の検査で得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】投光装置の光源及びシリンドリカルレンズ４を通した光を発泡体ローラー１に投光する。そして、発泡体ローラー１における反射光Ｐを撮像装置１１で撮像すると共に、発泡体ローラー１を透過した透過光を反射板２で反射させて、撮像装置１１で撮像する。 （もっと読む）

【解決手段】外周面に円弧状曲面を有する搬送基体２１と、搬送基体２１の外周に沿って公転運動する多数の錠剤保持プレート２４１を有する錠剤搬送手段と、各錠剤保持プレート２４１に形成された切欠き凹状の錠剤保持凹部２４２とを具備してなり、扁平錠剤ｔを錠剤保持凹部２４２を通して搬送基体２１の円弧状曲面上に直立状態で載置し、錠剤保持プレート２４１の公転運動により、扁平錠剤ｔを錠剤保持凹部２４２で保持しながら搬送基体２１の円弧状曲面上を転がして又は滑らせて、搬送するように構成した錠剤の搬送装置を提供する。
【効果】扁平錠剤を効率的かつ安定的に搬送できるだけでなく、比較的単純な機構により清掃作業性の向上を図ることができるため、装置の稼働率を向上させ、錠剤の生産性及び品質の向上を図ることができる。更には、構造が単純であるため、構成部材の加工コストを抑えられ、錠剤搬送装置をより安価に提供することができる。 （もっと読む）

【課題】樹脂成型品に生じるウェルドラインを明瞭に検出することのできるウェルドラインの検査装置および検査方法を提供する。また、樹脂成型品を効率的かつ高品質に製造する製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂内部まで透過する光を出射可能な光源と、光源から被検査物に照射される光を偏光させる偏光子と、被検査物からの反射光のうち所定の偏光状態の光のみを通過させる検光子と、この検光子を介した被検査物の反射光を受けて撮像を行うとともに焦点位置を被検査物の内部まで移動可能にされた撮像部と、前記撮像部により得られた撮像データから被検査物にあるウェルドラインの分析を行う分析部とを備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】検査体に電磁波を照射して、検査体構造の透過画像あるいは反射画像を得る検査装置に関し、検査体本体と透過率あるいは反射率が異なる構造や内部欠陥を非破壊に行なうための装置を提供する。
【解決手段】タンネット等のダイオード発振器から発生される概ね１０ＧＨｚから１０００ＧＨｚ（１ＴＨｚ）の電磁波を、発振周波数や偏波面等を選択することが出来る平面アンテナへ給電して第一の共振を得て、高純度シリコン等により形成される半球型誘電体共振器により第二の共振を得ると共に、発生された電磁波を集光することによって照射する電磁波の強度を高め、更に検査体に照射する前の電磁波の一部を参照信号として得て照射電磁波の変動をキャンセルすることで検査の信頼性を高め、検査体表面に適切なインピーダンス整合膜を検査装置側に配置することで検査体表面からの電磁波反射を抑制する手段を講じ、検査体の透過あるいは反射画像の明瞭化を実現する。 （もっと読む）

【課題】 光沢のある金属製の棒状ワークの外観検査を高速で正確に検査する。
【解決手段】 第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２による搬送過程において金属製の棒状ワークＣに照明を照射する照明手段Ｒｅと、上記棒状ワークを撮影する撮像手段Ｓ１〜Ｓ６とを備え、第１の回転インデクサＩＤ１の外周に形成された外周溝ｖ１に上記棒状ワークＣの外周表面の半分を露出させる状態で収納し、第２の回転インデクサＩｄ２の外周に形成された外周溝Ｖ２に棒状ワークＣの残りの外周表面を露出させる状態で収納し、上記照明手段Ｒｅを上記棒状ワークの露出表面を囲むように複数の光源が配される円弧型の照明手段Ｒｅとして配し、この円弧型の照明手段Ｒｅによる照明を介して上記外周溝ｖ１（ｖ２）に収納された上記棒状ワークＣを撮像手段Ｓ１〜Ｓ６により撮像する。 （もっと読む）

【課題】容器の軸線が所望の位置に配置され且つ容器が検査のために安定しており且つ検査のために容器の輪郭の妨げられない視野が可能であるように容器を検査ステーションに配置する。
【解決手段】当該アダプタ１８は、前記コンベア構造と係合すると、当該コンベアが前記容器アダプタを検査ステーションへ給送するように操作される。当該容器アダプタは、水平頂面と垂直軸線２２とを有しており、当該容器アダプタの垂直軸線と合致した心合わせ軸線を有している磁石が頂面に取り付けられている。当該検査対象物は更に、前記磁石の頂部に配置される透明なボトル２０を含んでいる。当該ボトルは底部に金属材料を備えていて、前記磁石が、透明なボトルの軸線が前記磁石の心合わせ軸線と合致するように配置されるように前記金属材料上で作動するようになされている。 （もっと読む）

【課題】被検査物の水平方向における傾きを矯正し被検査物を負圧により吸着固定して画像を取得して検査する吸着固定装置の実装スペースを小さくするとともに、装置コストを低くし、被検査物の水平方向における傾きを矯正する時間も短くする。
【解決手段】複数の吸引孔を有する検査テーブル上の被検査物１を吸着して固定する吸着固定装置において、吸着固定動作のときに上下して吸着孔を開閉する複数のボール８と、被検査物の水平方向における傾きを矯正する突き当て板５と、被検査物１が前記突き当て板５に当接したことを検出する検出センサ６と、前記複数のボール８に当接し、前記検出センサ６の検出結果に基づき前記突き当て板５の所定の方向と逆方向に回転駆動するボール駆動ベルト３ｂを備え、吸着動作以外のときに被検査物１の傾きを矯正できるようにした。 （もっと読む）

【課題】落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを利用した検査が、片方のイメージだけを利用する検査装置と同程度の速度で行え、しかも設置面積の増大を招かず、廉価なパターン検査装置の提供。
【解決手段】フィルム状の帯状ワークであるテープ１０（ＣＯＦテープ等）の上面側及び下面側に配置され、テープ１０の上面側及び下面側をそれぞれ撮像するカメラ５ａ及び５ｂと、テープ１０の上面側から照明光を照射する照明装置４とを備えてなる。テープ１０における反射状態を表す落射照明イメージを生成するための落射光照明の機能と、テープ１０における透明度の分布を表す透過照明イメージを生成するための透過光照明の機能とが、１つの照明装置４だけで得られるので、１つの被検査パターンに関する落射照明イメージ及び透過照明イメージが同時に取得できる。 （もっと読む）