【課題】カラーハイライト方式の光学系により生成されたカラー画像を用いて、部品電極の浮き不良の検査とはんだ検査との双方を実行できるようにする。
【解決手段】赤色から青色に向かって徐々に波長が変化する光を、その波長の変化が入射角度が変化する方向に沿って生じるようにして基板Ｓに照射し、基板Ｓからの正反射光をカメラ１に入射させ、撮像を行う。生成されたカラー画像を用いた検査では、各部品のはんだ付け部位に対し、照明光の一部に相当する波長範囲に対応する色彩（たとえば青から青緑までの色彩）が現れている領域を抽出し、その抽出結果に基づきはんだ６３の表面状態の適否を判別する。さらに、部品電極の浮き不良を検査する場合には、カラー画像を濃淡画像に変換した後に、変換後の画像からエッジを抽出し、抽出されたエッジ画素の数を検査前に登録された判定基準値と比較する。 （もっと読む）

【課題】保持器及び転動体における潤滑剤の塗布状態の検査を行う際の撮像処理回数を低減させること。
【解決手段】パレット上のベアリングに対して上方から紫外光を照射し、下方から赤色の可視光を照射した状態で、上方からベアリングのカラー画像を撮像する。ボール上の潤滑剤は紫外光を受けて蛍光を発する。そこでボールにおける潤滑剤の付着状態を、撮像画像における、ボール上の潤滑剤付着領域と非付着領域とを色の違いに基づいて判断する。保持器における潤滑剤が塗布されていない領域は、紫外光による励起光と、赤色の可視光との混色により紫色に映し出される。保持器における潤滑剤の塗布されている領域は、赤色の可視光を透過せず、紫外光を受けて蛍光を発するため青色に映し出される。そこで保持器における潤滑剤の塗布状態を、保持器上の潤滑剤付着領域と非付着領域との色の違いに基づいて判断する。 （もっと読む）

【課題】被測定試料のパターン検査を高速に実行できるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定試料のパターンに対応した測定データを生成する測定データ生成部と、被測定試料の設計データに基づいてイメージデータを生成し、イメージデータ上の図形の有無を検出するイメージデータ生成部と、イメージデータ上の図形の有無の情報を格納する図形有無情報格納部と、測定データとイメージデータを比較する比較処理部と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】被検査物の水平方向における傾きを矯正し被検査物を負圧により吸着固定して画像を取得して検査する吸着固定装置の実装スペースを小さくするとともに、装置コストを低くし、被検査物の水平方向における傾きを矯正する時間も短くする。
【解決手段】複数の吸引孔を有する検査テーブル上の被検査物１を吸着して固定する吸着固定装置において、吸着固定動作のときに上下して吸着孔を開閉する複数のボール８と、被検査物の水平方向における傾きを矯正する突き当て板５と、被検査物１が前記突き当て板５に当接したことを検出する検出センサ６と、前記複数のボール８に当接し、前記検出センサ６の検出結果に基づき前記突き当て板５の所定の方向と逆方向に回転駆動するボール駆動ベルト３ｂを備え、吸着動作以外のときに被検査物１の傾きを矯正できるようにした。 （もっと読む）

【課題】落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを利用した検査が、片方のイメージだけを利用する検査装置と同程度の速度で行え、しかも設置面積の増大を招かず、廉価なパターン検査装置の提供。
【解決手段】フィルム状の帯状ワークであるテープ１０（ＣＯＦテープ等）の上面側及び下面側に配置され、テープ１０の上面側及び下面側をそれぞれ撮像するカメラ５ａ及び５ｂと、テープ１０の上面側から照明光を照射する照明装置４とを備えてなる。テープ１０における反射状態を表す落射照明イメージを生成するための落射光照明の機能と、テープ１０における透明度の分布を表す透過照明イメージを生成するための透過光照明の機能とが、１つの照明装置４だけで得られるので、１つの被検査パターンに関する落射照明イメージ及び透過照明イメージが同時に取得できる。 （もっと読む）

【目的】擬似欠陥を低減させるパターン検査を行う装置および方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、パターン形成された被検査試料における光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データと前記光学画像データに対応する参照画像データとを入力し、前記光学画像データの複数の画素値と前記参照画像データの複数の画素値との関係を基に、前記光学画像データの画素値レベルと前記参照画像データの画素値レベルとの少なくとも一方を調整するレベル調整回路１４０と、画素値レベルが調整された前記光学画像データと前記参照画像データとを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】撮像手段の数を少なくしながらも、高精度に検出することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物（Ｃ）の外観を検査する外観検査装置において、
検査対象物（Ｃ）を特定方向から見たときの主検査面を撮像するように設置された撮像手段（３）と、該検査対象物（Ｃ）を前記特定方向とは異なる方向から見たときの副検査面の画像を前記撮像手段（３）に取り込むように該副検査面からの光の方向を変更する変更手段（４，５，６，７）とを備え、検査対象物（Ｃ）の副検査面から撮像手段（３）までの第１光路の光路長に検査対象物（Ｃ）の主検査面から該撮像手段（３）までの第２光路の光路長を合わせるために、該第２光路を冗長させる光路冗長手段（１０，１２）を備えた。 （もっと読む）

【課題】 溶接部の溶接品質を判定するのに要する手順を簡単化するとともに、検査者の技量に依存することなく一定の判定精度を確保することができるレーザ溶接評価方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るレーザ溶接評価方法は、溶接部の断面が測定面２２となるように、金属材から試片１５を切り出す切出しステップＳ１０１と、撮像面１１ａ上にスケール１６が配置された撮像用ステージ１１を用意し、測定面２２が撮像面１１ａに対面して接するように、複数の試片１５を配置する配置ステップＳ１０３と、試片をスケール１６と共に撮像手段１２を用いて撮像する撮像ステップＳ１０４と、スケール１６を共通の基準とし、各試片の測定面の画像から各測定項目の物理量を算出する算出ステップＳ１０５と、物理量を評価基準と比較して、溶接部の溶接品質を評価する評価ステップＳ１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウォーム内の硬化物を高い精度で確実に、且つ迅速に除去することができ、ウォーム製品の品質を安定させることができるウォーム内硬化物の除去装置を提供する。
【解決手段】混練押出機６０から吐出されたウォーム３０を搬送する搬送コンベア２と、撮像装置３ａ，３ｂと、撮像装置３ａ，３ｂによるウォーム３０の撮像画像を画像処理し、ウォーム３０内における硬化物３１の有無をウォーム３０と硬化物３１との色の違いに基づいて検出する画像処理機能を有する制御装置４と、制御装置４が硬化物３１を検出した場合に制御装置４から送信される駆動信号に基づいてウォーム３０の落下位置に一時的に硬化物受け皿７をスライドさせることにより、搬送コンベア２の下流側から落下するウォーム３０内の硬化物３１を硬化物受け皿７に取り出して除去する硬化物除去装置６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表示パネルに光を照射して異物検査を行なうための表示パネル検査治具において、表示パネルの載せ替え作業がしやすく、なおかつ、光漏れを抑えることができるようにする。
【解決手段】表示パネル検査治具１０３は、表示パネル１に下方から光を照射するための開口部２と、表示パネル１を載せるための平坦な上面５において開口部２の外周を取り囲むように延在し、表示パネル１の下面のうち外周縁部に沿った枠状の領域に前記上面を当接させて下方から支えるための支持領域１１と、開口部２の外周に近接した位置で支持領域１１に隣接するように上面５に設けられた曲面状に凹んだ取出し用凹部９とを有する。取出し用凹部９は、表示パネル１が載置されたときに表示パネル１が覆う領域に対して支持領域１１を分断しない程度に開口部２寄りに部分的に入り込んで配置されている。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルディスプレイなどに使われる基板の欠陥検査装置などで、上下変動無く安定して搬送を行うための搬送機構における基板把持機構に関するものである。
【解決手段】基板搬送部に設置され基板を浮上させる基板浮上機構と、基板を把持する把持手段と、把持手段を移動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置において、把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねとを備え、少なくとも１以上の把持手段を往復運動させる把持搬送手段を備えた基板搬送装置用把持機構。 （もっと読む）

【課題】ウエーハのスクラッチ検出装置及びスクラッチ検出装置を備えた研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールを有する研削手段とを備えた研削装置であって、ウエーハの研削面に生じるスクラッチを検出するスクラッチ検出手段を更に具備し、スクラッチ検出手段は、ウエーハ１１に対して光ビームを照射する光ビーム照射手段と、光ビームが照射される領域の上部に配設されたフォトディテクタ１０８と、光ビームが照射される領域からの反射光を集光して該フォトディテクタに導く集光手段と、フォトディテクタで検出される光量が所定の閾値を超えた際スクラッチ有りと判定するスクラッチ判定手段１１０とから構成される。 （もっと読む）

【目的】 適正な精度で試料検査を行う装置、方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された同一被検査試料の、複数の部分光学画像データ同士を比較する試料検査装置において、前記被検査試料の、光学画像データを取得する光学画像データ取得部１５０と、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう比較回路１０８とを備え、比較回路１０８において、所定の領域を示す領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう場合に、前記領域画像データを参照して判定条件を変更し、試料上の欠陥の有無を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの不良要素を検出するのに掛かる時間を低減することができ、また、多品種少量生産の構造において、光学フィルムの検査に掛かる時間を無くすことができる光学フィルム検査装置を提供する。
【解決手段】相対向して離隔するように形成される一対の平面とその平面にそれぞれ形成された複数の噴射口とを備え、平面間に流入された光学フィルムの上下面に空気を噴射し光学フィルムを平らに維持させるクランピング部材と、前記光学フィルムに光を照射する照明部材と、光学フィルムから反射または透過する光を受光して光学フィルムの不良要素を撮影するカメラ部材とを備える。 （もっと読む）

【目的】素子間でのばらつきに起因する測定データの誤差を抑制する検査装置及び方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の検査装置１００は、被検査試料を載置するＸＹθテーブル１０２と、ＸＹθテーブル１０２と相対的に移動する第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の受光素子を有し、これら複数の受光素子を用いて被検査試料の光学画像を撮像するラインセンサ１０５と、第２の方向に画素単位でずらした位置でラインセンサ１０５によって重複して撮像された各画素データを画素毎に累積する累積部１３２と、画素毎に累積された画素データと所定の参照データとを比較する比較部１３９と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、異なる受光素子で撮像された画素データが画素毎に累積されるので素子間の特性のばらつきを平均化することができる。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板のような検査対象物の検査を効率的に遂行できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】プリント回路基板は搬入ユニット１０から検査ユニット３０に移動された後、順次に上面の撮影、反転、下面の撮影が行われ、搬出ユニット２０に移動される。搬入ユニット１０と検査ユニット３０と搬出ユニット２０との間のプリント回路基板の移動は、直角に配置される二つのアーム７２０，７４０を用いて搬入ユニット１０から検査ユニット３０にプリント回路基板の移動及び検査ユニット３０から搬出ユニット２０へのプリント回路基板の移動が同時に行われる。検査ユニット３０でプリント回路基板が載置されるステージ３４０にプリント回路基板の反転のために提供されるフィンガ５１０が挿入される溝を形成し、フィンガ５１０が溝を介して移動することによってプリント回路基板をステージ３４０から持ち上げるか、ステージ３４０上に載置する。 （もっと読む）

【課題】偏光素子の劣化を監視して検査精度の低下を把握することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】光源から照射された光によって被検査物（半導体ウェハ１０）から生じる光を検出する検出部（撮像素子３５）と、前記光源から前記検出部に至る光路（照明光学系２０、受光光学系３０）中に配置された偏光素子２３，３３と、これら偏光素子２３，３３の基準となる基準偏光素子との比較に基づいて偏光素子２３，３３の劣化度を監視するモニター部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】原反ロールから積層フィルムを繰出して保護フィルムを剥離する保護フィルム除去過程と、保護フィルムが剥離されたフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査する第１検査過程と、検査後の積層フィルムからセパレータを剥離するセパレータ除去過程と、セパレータが剥離除去されたフィルム本体を縦方向に向かうフィルム走行径路に導きながら縦向き姿勢のフィルム本体における欠陥の有無を検査して検出データを記憶格納する第２検査過程と、検査の済んだフィルム本体の裏面および表面のそれぞれにセパレータおよび保護フィルムを貼り付けるセパレータ貼付け過程および保護フィルム貼付け過程と、保護フィルムおよびセパレータが貼り付けられた検査済みの積層フィルムをロール巻きするフィルム回収過程とを備える。 （もっと読む）

【課題】自動検査装置において，検査対象物を高速搬送しても，不良判定された対象物を定められた位置で確実に排出する自動検査装置を提供する。
【解決手段】排出機の設置位置の直近、搬送上流側に検査済み対象物を再度検出する排出直前センサを設け、撮像センサで検出しカメラで撮像した対象物を追跡し、その対象物が排出直前センサに到達したときに、排出する対象物か否かを判定して、排出する対象物であれば排出機を動作させて、排出処理するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】表面欠陥検査に基づく塗布現像処理装置の異常検出をより正確により迅速に行う。
【解決手段】先ず、塗布現像処理装置で行われているウェハ処理に関する各種諸元のセンサデータを取得し、記憶する。その後ウェハ処理が終了したウェハの表面の欠陥を表面欠陥検査装置により検査する。表面欠陥検査装置によりウェハの表面欠陥が検出された場合には、当該ウェハの処理に関するセンサデータを評価する。そして、表面欠陥検査装置によりウェハの表面欠陥が検出され、なおかつセンサデータの評価によりセンサデータが異常と判定された場合に、塗布現像処理装置を異常と判定する。この場合、塗布現像処理装置を自動停止する。 （もっと読む）