【課題】
検出画素ずれおよび画素割れによる影響を回避し、概略同一の領域から発生する散乱光同士を加算可能にする欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
被検査対象物の所定の領域に照明光を照射する照明光学系と、前記照明光学系の照明光による該被検査対象物の所定の領域からの散乱光を複数画素で検出可能な検出器を備えた検出光学系と、前記検出光学系の検出器により検出した散乱光に基づく検出信号について、該被検査対象物の表面に対して垂直な方向の変動に起因する画素ずれを補正する補正部と前記補正部により補正された検出信号に基づいて該被検査対象物の表面の欠陥を判定する欠陥判定部とを備えた信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】円筒体９０（９０’）の種々の径サイズに容易に対応しながら、高い検査精度を確保する。
【解決手段】円筒体９０（９０’）の両側端部の内周面９２に一対の基準部２０，２０を接触させ、前記円筒体９０（９０’）と前記一対の基準部２０，２０との接触部分が前記円筒体９０（９０’）の内周面９２上で周方向にずれていくように前記円筒体９０（９０’）を回転させ、前記円筒体９０（９０’）の内周面９２と前記一対の基準部２０，２０との２つの接触部分を通る仮想的な直線に対し、前記円筒体９０（９０’）の外側から対峙する基準線上またはその近傍に対して表面状態の検出を行う。 （もっと読む）

原石の画像を取得し、前記画像の定量的な解析を行い、原石の特性の尺度を得るシステムである。当該システムは、原石を観測位置に支持するサポート構造を有する。照射構造は、原石を照射するように配置される。照射構造は、観測位置に向かうように配向された、複数の指向性光源を有し、サポート構造および照射システムは、回転軸の周りを、相互に対して回転可能であり、原石は、複数の回転位置の各々において、1または2以上の指向性光源によって照射され、回転軸は、原石の選定されたファセットに対して垂直である。回転位置の各々での原石の画像を取得するため、原石に向かって画像化装置が配向され、この画像化装置は、回転軸に平行なまたは前記回転軸に一致する画像化軸を有する。個々の光源からの個々のファセットによる反射に対応する画像において、スパークル領域を同定し、該スパークル領域の特性に基づいて、原石の定量的尺度を提供する画像プロセッサが提供される。

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【課題】車両ボデーとなるワーク等に行った塗装における塗装不良の検出を、簡易な構成の機器を用いて確実に行う。
【解決手段】光源２０３は、ワークＷＫの表面の撮像を行うカメラ２０２の光軸ＡＸを軸回りに取り囲むように、複数配置される。これらの光源２０３は、制御回路チップ２０４の制御によって一つずつ順次点灯し、ワークＷＫの表面に様々な方向から光を照射する。カメラ２０２は、光源２０３が一つずつ順次点灯するその都度に、ワークＷＫの表面を撮像する。画像処理装置１０４は、カメラ２０２から送信された画像データを受けて画像処理を行い、その処理結果をモニタ１０５に出力する。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも１つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥を低減する一方で、転写後に欠陥を生じさせるおそれのあるパターンを予め拾い出して検査する検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたマスクの光学画像データを得る。設計パターンデータから光学画像に対応する参照画像データを作成する。設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、パターンの重要度情報に基づいた多値の解像度で示される画素値を有する領域画像データを作成する。領域画像データの各画素の画素値によって定まる複数の閾値または複数の欠陥判定処理方法の１つを用いて、領域画像データが示す領域内の光学画像データと参照画像データとを比較して画素毎に欠陥判定する。設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、ＭＥＥＦが所定値以上の箇所の画像データを作成する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ネジ山のいかなる変形も良好に認識できる検査装置を提供することである。
【解決手段】この発明に係るネジ山の検査装置は、回転するネジの外表面を部分的かつ連続的に照明する光源部２と、ネジからの反射光を受光する撮像センサ５と、ネジの回転情報と撮像情報に基づきネジ山の形状を認識する画像処理部６を有する構造において、前記撮像センサは、ネジ山形状が正常のときは前記反射光を認識することはないが、ネジ山に不所望な凹凸が存在する場合のみ当該凹凸に起因する反射光を受光できる領域を少なくとも観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学的透明材料の光学品質を簡略かつコスト効率的な方法で量的かつ質的に迅速に特性評価できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】光源からの光ビーム９で透明材料１を照射して光学的欠陥から散乱光８を生じさせ、前記透明材料を、少なくとも１個の回転角（Ψｓ）を通って前記光学的欠陥中を通過する回転軸を中心に回転させ、回転軸４に対して回転している間に、内部に隔壁、輪状ミラー、輪状レンズを有する検知光学機器６を用いて受光装置３へ導き、散乱角（θｓ）における散乱光強度を測定し、測定された散乱光強度の回転軸を中心とする前記回転角に対する依存度を測定し、及び、予め測定した比較値を用いて光学的欠陥のサイズ及び又は形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥検査をより少ないスペースで行うことを可能とする検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、回転自在なチャック１３を備え、チャック１３の上方に、載置されたウエハＷの回転中心から外縁部に延在する直線領域と平行に配置された照明装置２１を設置し、この照明装置２１の真下にウエハＷの反射光を反射させるハーフミラー２２が固定され、さらにハーフミラー２２の対向側にハーフミラー２２からの反射光を取り込む撮像装置２０が設置され、ウエハＷの回転と共にウエハ表面を撮像する。 （もっと読む）

【課題】従来はウエハの半径方向と楕円形状ビームの長辺とを合わせる方法として、光軸調整用検出器と検査用の検出器を別々に設けられていた。そのため検査用の検出器上で光ビームの長辺と半径方向とが一致していないという問題が発生した。
【解決手段】本発明は、ウエハからの散乱光の検出方法としてマルチアノードの検出器を使用し、欠陥検出用の検出器（マルチアノード）のデータを使用して、ウエハに照射されているビームの形状や半径方向とビーム長辺との回転ズレなどを算出して照射ビームの光軸調整を行う方法を提供する。さらに、上記補正データをもとに、回転や振幅の補正量を検査信号データにフィードバックさせ、検査データの補正を行う手段を設ける。本発明により、光学系の調整や信号処理による微細な補正が可能になるため、欠陥検出の位置精度および欠陥強度（欠陥寸法）の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハの端部近傍を高速に検査可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ウェハ１０を回転可能に支持するステージ１５と、照明系２０と、受光系３０および撮像装置３５と、画像処理部４０と、制御部４５とを備え、受光系３０および撮像装置３５は、ウェハ１０の表面に対する照明光の正反射方向に近くて正反射光を検出しない方向を向くように配設されて、ウェハ１０の端部近傍で生じた散乱光を検出し、画像処理部４０は、撮像装置３５により検出された散乱光の情報に基づいて、ウェハ１０の端部近傍における異常の有無を検査し、制御部４５は、ステージ１５に照明光に対して繰り返しパターンで回折光が検出されない回転角度位置にウェハ１０を回転させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】検査者に無理な姿勢を強いることなく、正面視により目視しやすい条件を簡単に作り出すことができ、大型のＦＰＤ用ガラス板の欠陥部分を無理なく確実に安全に検出することのできる、ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】固定フレーム１０と、前面に、検査対象のガラス板を、垂直に対し５°〜１５°の角度で後傾した斜め立て姿勢で載置することができると共に、そのガラス板を斜め立て姿勢に保持したまま固定フレームに上下方向移動可能及び上下方向回動可能に支持されたステージ５０と、ステージに載置されたガラス板の左右両端面からガラス板の内部に向けて検査光を照射する照明装置７０とを具備する。ステージには、ガラス板の背面を間隔をおいて支持する多数の支持ピン５２が設けられており、各支持ピンの先端にガラス板を左右方向に移動させるのを容易にするためのボールが回転可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】不感領域の影響を小さくして検査精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ステージ１０と、照明系２０と、受光系３０と、複数の受光部および受光部の周囲に設けられて受光しない不感部を有した撮像素子５０と、撮像素子５０を相対移動させる画素補完駆動部３５と、撮像素子５０が複数の受光部同士の間隔よりも小さい相対移動量で相対移動しながら複数の像を撮像するように画素補完駆動部３５および撮像素子５０の作動を制御する制御部４０と、撮像素子５０により撮像された複数の画像における各画素を画素補完駆動部３５による相対移動に応じた順に並べて合成した合成画像を生成する画像処理部４５とを備え、撮像素子５０の撮像面５０ａ上に、受光部の一部を遮蔽する遮蔽部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】通常は高速な検査を行いながら、必要に応じて高倍率の画像に基づく高精度な検査を行うことが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１において、制御部４０は、第１の撮像装置３５にウェハＷの表面全体の像を撮像させ、画像処理部４５で第１の撮像装置３５により撮像されたウェハＷの表面全体の画像において異常を検出した場合に、第１の撮像装置３５よりも高い倍率で撮像可能な第２の撮像装置３６に切り替えてウェハＷの表面における異常が検出された部分の像を撮像させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ表面の傷、膜残滓物等の存在を光学的に且つ的確に検出する。
【解決手段】 ウエハ１０を保持するウエハ保持部２０と、直線偏光の検査光を生成照射する検査光源３１，３２と、検査光源からの検査光をウエハ１０の表面の検査部分に照射したときの検査部分からの反射光を検出する受光部３３，３４とを備えて表面検査装置が構成される。そして、検査光源からの検査光が検査部分の表面に対してブリュースター角で入射するように検査光源を配置し、且つ、検査光が検査部分の表面から正反射した光を避けて検査部分からの反射散乱光を受光する位置に受光部３３，３４を配置し、この受光部により受光した反射散乱光に基づいて検査部分の欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
ガウシアン分布を有する照明光で検査領域よりも広い領域を照明しても微細な欠陥の位置をより正確に求めることが可能にする光学式の磁気ディスク欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】
光学式の磁気ディスク欠陥検査装置を、複数の画素を並べて配列した検出面を有する検出器を備えた正反射光検出手段と、磁気ディスクの検査領域からの正反射光を検出した検出器の各画素からの出力信号に加えて半径方向に隣り合う１回転前及び１回転後の検査領域をからの正反射光を検出した複数の画素のうちの一部の画素の出力信号も用いて欠陥の位置を求めるとともに欠陥の種類を判定する処理手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】微小な欠陥を検出するために、照明光量を大きくすると、ウェハにダメージを負わせ、感度向上を妨げている。一方、検出範囲を空間的に小さくすると、欠陥以外による散乱光を排除する事ができ、高感度に検出する事ができ、さらに、検出範囲を小さくすることによる検査時間の増大するという課題がある。
【解決手段】本発明の特徴は、試料を移動する搬送系と、試料へ線状照明光を照射する照射光学系と、前記試料の高さを測定する高さ検出系と、複数の画素を有する検出器を備える検出光学系と、前記検出光学系の検出結果を用いて前記試料の異物又は欠陥を検査する処理部と、前記試料の高さを制御する制御部と、を有し前記制御部は、前記高さ検出系の測定結果を用いて、前記線状照明光の変動量が前記画素の大きさよりも小さくなるように、前記試料の高さを制御することにある。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンやエッチング後及び再エッチング後のパターンに関わらず、基準データを用いてＡＰＭ−ＰＥＲ検査法による線幅の検査を行うための基準データの生成方法を提供する。
【解決手段】ＡＰＭ−ＰＥＲ検査法による表面検査装置１００で用いられる基準データの生成方法であって、第１のエッチング工程（第１の工程）により異なる線幅の繰り返しパターンの組が形成された基準用ウエハ１０を複数作成し、さらに、この基準用ウエハ１０に対して異なる条件で第２のエッチング工程（第２の工程）を行い、それぞれの状態の基準用ウエハ１０から較正曲線を求め、これらの較正曲線が同一の曲線上にほぼ一致するエリアを検査対象座標として求める。 （もっと読む）

【課題】搬送テーブル上でワークを正確に位置決めすることができ、かつワークに対する静電破壊や特性劣化を生じさせることのないワークの外観検査装置を提供する。
【解決手段】ワークの外観検査装置３０は、６面体形状のワークＷを搬送するリニアフィーダ１と、リニアフィーダ１からのワークＷが移載されて搬送される搬送テーブル２と、リニアフィーダ１からのワークＷを搬送テーブル２上に移載して整列させる移載整列手段２１と、搬送テーブル２の下面を帯電してワークＷを保持する帯電手段６Ａと、ワークＷの６面を撮像する撮像手段２０とを備えている。移載整列手段２１は、リニアフィーダ１と搬送テーブル２との間に位置する無振動部４と、ワークＷを整列させる整列ガイド７とを有している。整列ガイド７は平面からみて直線状をなすガイド面７ａを含む。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面をカメラにより撮像する外観検査において、検査装置の装置構成を増やすことなく、撮像された検査画像の輝度落ちとして検出された画素を効率良く補間してタイヤの外観検査を行うことができるタイヤの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像して得られた検査画像を画像処理してタイヤ表面のキズの有無を判定するタイヤの検査方法であって、検査画像を構成する画素の輝度落ちを隣接する画素の輝度の変化量が閾値以上のときに輝度落ちとして検出する検出処理ステップと、輝度落ち画素を包囲する少なくとも外側２画素分の輝度の平均値を求めて輝度落ち画素に仮補間したのちに、インペインティング処理により輝度落ち画素の輝度を補間処理する補間処理ステップとを含むようにし、輝度落ち画素と輝度落ち画素を包囲する画素の輝度の標準偏差値の変化量が閾値以内になったときに補間を終了するようにした。 （もっと読む）