【課題】研削砥石や研磨砥石を用いて面取り加工が施されたガラス板等の端面の微細な凹凸の程度、すなわち表面粗さの検査を行うことが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】搬送ライン上を搬送される光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面の表面状態を検査する端面検査方法において、固定配置された撮像手段を用いて、当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面全域をカバーする複数ショット分の画像を連続撮像するステップと、前記連続撮像された複数ショット分の画像を、前記面取り加工が施された端面の表面粗さに相関するデータとして記憶装置に保存するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤの外観検査において、マスター画像を用意することなくパターンマッチングによりタイヤの外観を検査する外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像した撮像画像の中から複数のモデル画像を設定するモデル画像設定ステップと、複数のモデル画像と撮像画像とを繰り返しパターンマッチングし、所定のマッチング率以上の撮像画像の領域をマッチング画像として抽出するマッチング画像抽出ステップと、モデル画像とマッチング画像との差分を演算し、差分画像を作成する差分画像作成ステップと、差分画像を閾値と比較して欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】、マスク上の欠陥とそれがウェハに及ぼす影響、修正による改善の程度まで推定可能な欠陥推定装置と欠陥推定方法を提供する。欠陥判定処理を容易にし、マスク上の欠陥とウェハ像への波及を推定可能な検査装置と検査方法を提供する。
【解決手段】マスク検査結果２０５のうち、欠陥箇所のマスク採取データは、模擬修正回路３００に送られて模擬修正が行われる。模擬修正されたマスク採取データは、マスク検査結果２０５に戻された後、対応する箇所の参照画像とともにウェハ転写シミュレータ４００に送られる。ウェハ転写シミュレータ４００で推定されたウェハ転写像は比較回路３０１に送られ、比較回路３０１で欠陥と判定されると、その座標と、欠陥判定の根拠となったウェハ転写像とが、転写像検査結果２０６として保存される。マスク検査結果２０５と転写像検査結果２０６はレビュー装置５００に送られる。 （もっと読む）

【課題】設定された撮像位置を維持したまま、周長が異なる金属リングの側縁を検査するための画像生成装置を提供する。
【解決手段】画像生成装置１は、第１の一対のローラ６ａ，１０ａ間及び第２の一対のローラ６ｂ，１０ｂ間に金属リング２を挟持し、少なくとも一つのローラを回転させることにより金属リング２を周方向に回転させるローラ６ａ，６ｂ，１０ａ，１０ｂと、金属リング２の側縁２ａを定位置Ｐで撮像するカメラ４と、得られた画像を処理して表示する画像処理装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面に付着した塗膜の影響を受けることなく精度良く不良個所を判定するタイヤの外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を検査して欠陥を抽出するタイヤの外観検査方法であって、タイヤ中心軸回りに回転するタイヤ表面に対してスリット光を照射し、スリット光が照射されたタイヤ表面を撮像手段により撮像して撮像画像を取得する撮像ステップと、撮像画像からタイヤ表面の形状情報を取得する形状情報取得ステップと、形状情報からタイヤ表面の欠陥情報を抽出する形状欠陥情報抽出ステップと、撮像画像からタイヤ表面の色調情報を取得する外観情報取得ステップと、色調情報からタイヤ表面の塗膜情報を抽出する塗膜情報抽出ステップとを有し、欠陥情報と塗膜情報とを比較して塗膜情報に欠陥情報が一部叉は全部重複するときに塗膜情報に基づいて欠陥情報を修正する塗膜除去ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】試験するタイヤのサイズを変更した場合にも、試験準備時間を短縮できるタイヤ側面故障検出装置を得る。
【解決手段】ビデオカメラ２０によって正面からタイヤ１２の側面を撮影する際に、撮影範囲の一方の端で正反射光が撮影範囲に入る位置となるように光ファイバー１８の先端１８Ａをビデオカメラ２０に近づける。これにより、投射された正反射光は、基準高輝度部位に発生すると共に、タイヤ１２の側面に局所的な微小な膨らみがあるその他の高輝度部位の輝度が、周辺の輝度に比べて高くなる。このため、パソコン２４で基準高輝度部位とその他の高輝度部位とのタイヤ周方向の距離、及びその他の高輝度部位の輝度から、タイヤ１２の側面の故障を検出する。 （もっと読む）

【課題】粉体のワークは高速に移動させるとワークが舞い上がってしまう点、及び粒体のワークは隣接させずに個々に分離して検査することができずに誤検知率が高い点、こうした不具合なく高速かつ全量のワークの検査を行うことができない点を解消する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、ワークＷを表面上に吸着させることで受け取って、回転させて検査位置から良品・不良品の排出箇所へ搬送するために、筒状体４Ａの周面表裏を貫通する複数の微細な孔４ａが形成され、さらに、該筒状体４Ａの内部の空気を吸引する吸引機構４Ｃが接続された回転吸引搬送機構４と、回転吸引搬送機構４の外周面を覆ってワークＷを把持する通気カバー４Ｂと、回転吸引搬送機構４の周面外側に設けたカメラ５と、を備えることとした。 （もっと読む）

【課題】開口から形成された２つのリングを備えたフレームを有するコンパクトな表面検査光学ヘッドを提供する。
【解決手段】検査される表面（２０）に対して垂直な方向を取り囲んだ第１の組の開口（１２ａ）が、マイクロスクラッチの検出に有用な散乱照射線を集めるために使用されるファイバ（４２）に接続され、パターン化された表面上の異常を検出する。さらに、検査される表面に対して低い高度角度の開口の第２のリング（１２ｂ）は、パターン化された表面上の異常検出を行う。開口のこのようなリング（１２ｂ）は、パターン回折や散乱によって飽和される検出器（４４）からの信号出力が捨てられるように収集スペースを方位角で区分し、飽和されていない検出器の出力のみが異常検出のために使用される。 （もっと読む）

【課題】防眩効果を奏する製品を成形するための金型に関して、たとえその金型によって製品を成形しなくても、製品に得られるであろうムラを金型から把握することができるようにする。
【解決手段】金型ムラ検査装置１０１は、表面に形成された凹凸形状によって防眩効果を奏する製品を成形するための金型１の表面のムラの検査装置であって、金型１の被検査面１ａに向けて投光するための投光ファイバ１１と、被検査面１ａからの反射光７２を受光しうる１以上の受光ファイバ１２と、前記１以上の受光ファイバ１２が受光する光の強度を検出するための検出部２０と、前記１以上の受光ファイバ１２を被検査面１ａに平行に移動させるための移動部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスク上に繰り返し発生した欠陥をスタンパの経時的変化による劣化により発生した欠陥と、プロセスの不良により発生した欠陥とを識別して、スタンパの経時変化により発生した欠陥を検出する。
【解決手段】試料上に塗布されたレジストに微細なパターンを転写するためのスタンパの不良を検出するパターンドメディア用スタンパの検査方法において、表面に塗布されたレジスト膜にスタンパの微細なパターンが転写された試料に光を照射し、光が照射された試料からの反射光を分光検出し、分光検出して得た検出波形から欠陥を抽出し、抽出した欠陥のうち複数の試料上の同じ位置に発生した欠陥についてスタンパに起因する欠陥と、レジスト膜のパターンを形成するプロセスに起因する欠陥とを弁別し、スタンパに起因する欠陥の個数が予め設定した個数を超えたときに警告を通知するようにした。 （もっと読む）

【課題】
レーザ光源と受光センサのみの簡易な装置で容易に極細のパイプ形状を含む丸棒の外周面の疵や汚れ等の表面欠陥を検出することができる丸棒検査装置及び丸棒検査方法を提供することにある。
【解決手段】
パイプ形状を含む丸棒の軸に略垂直に外周面に平行光であるレーザ光を照射するレーザ光源と、丸棒の軸断面視で、丸棒の軸におけるレーザ光の入射方向とのなす角度が９０度を超え１８０度未満になるように設けられた受光センサとを備え、レーザ光の外周面での反射光を受光センサで受光し、受光した光のレベルから外周面を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の方法では、膜種が同じで、膜厚が異なる場合等は再度の実測が必要となり、検査条件を設定するのに時間がかかってしまう。
【解決手段】複数の検出光学系がそれぞれ、検光角を変える光学素子と、前記検光角を制御する検光角制御部と、を有し、処理部は、前記複数の検出光学系毎の、前記検光角と、前記検光角に対応した信号対雑音比と、前記基板の膜種と、前記基板の膜厚との関係を保存したデータベースを有し、前記データベースを更新していく。さらにＳＮＲ閾値を設ける。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面内を均一な検出感度にて検査することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体移動ステージ、照明装置と、検査座標検出装置、光検出器と、Ａ／Ｄ変換器と、異物・欠陥判定部、を有する。照明装置は、検査座標検出装置によって得られた照明スポットの半径方向の位置に基づいて、照明スポットの円周方向の寸法を変化させるように構成されている。照明スポットが被検査体上を外周部から中心部に移動する間に、照明スポットにおける照射光量密度が一定となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物及びスライダの損傷を回避して、微小な欠陥を検出することが可能な平滑面検査装置を提供する。
【解決手段】測定対象物３を支持するステージ２６と、ステージ２６を回転させるスピンドル４と、測定対象物３に光を照射する光源５と、測定対象物３からの散乱光を信号化する光検出部８と、散乱光７を第１の欠陥の情報に変換する信号処理部１１と、第１の欠陥の情報を記憶する第１のメモリ部１２とを有する第１のパートと、第１の欠陥よりも小さい第２の欠陥を検出し、接触センサが搭載されたスライダ９と、スライダ９を浮上させるロード・アンロード機構と、第１のメモリ部１２に記憶された第１の欠陥の情報に基づいて、ロード・アンロード機構２２を制御するスライダ制御部１４と、接触センサ信号処理部１６で変換された第２の欠陥の情報を記憶する第２のメモリ部１７とを有する第２のパートとを備える。 （もっと読む）

【解決手段】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａを撮影して、該ライン２Ａの欠け２Ｂを検査する物品検査方法に関する。
カメラ５が撮影した検査画像Ｇからライン２Ａを示すライン領域Ａを抽出したら、上記ライン領域Ａの外郭となる輪郭線をその形状を保ったまま所定の方向に移動させて、隣接するライン領域Ａとの隙間がなくなるように該ライン領域Ａを拡張させる。
そして上記検査画像Ｇに、拡張させたライン領域Ａに該当しない空白領域Ｂが存在する場合、ライン２Ａに欠け２Ｂが存在すると判定する。
【効果】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａの欠け２Ｂを検査する場合に、モデルデータと撮影した検査画像Ｇとの位置合せを不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の欠陥を精度よく確認することができる外観検査装置を提供すること
【解決手段】
本発明の外観検査装置は、基板７の欠陥を検出する外観検査装置であって、前記基板７の平面に対してそれぞれ斜めに光を照射するとともに前記基板７を挟んで配置された複数の低倍率カメラ用光源３と、これらの低倍率カメラ用光源３の光軸と交差する方向に光軸を有するとともに、前記低倍率カメラ用光源３から照射されて前記基板７から反射または透過する光を撮像する低倍率カメラ４と、前記基板７の平面に対して垂直に光を照射する高倍率カメラ用光源５と、この高倍率カメラ用光源５の光軸と同一の光軸を有するとともに前記高倍率カメラ用光源５から照射されて前記基板７で反射された光を撮像する高倍率カメラ６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンからの散乱光の影響を抑えた方向から照明光の照射を行うことで、基板の端部近傍の欠陥検査をより正確に行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 表面に回路パターンが形成されたウェハ１０の端部近傍に対して、複数の方向から照明光の照射が可能な照明部３０と、前記照明光が照射されたウェハ１０の端部近傍の前記回路パターンからの散乱光を検出する撮像部４０と、撮像部４０を用いて検出された前記回路パターンからの散乱光に基づき、ウェハ１０の端部近傍の検査を行う検査部８０と、各種制御を行う制御部６０とを有し、制御部６０は検査時に前記回路パターンに対して照明部３０により照射する照明光の照射方向を照射可能な複数の方向から選択する。 （もっと読む）

【課題】ワークに対してカメラを任意の位置、姿勢に移動させながら視覚検査を行うことができるものであって、設備全体の小型化を図る。
【解決手段】支持台２上にＹＺロボット３を設け、その前方に回転テーブル４を設ける。ＹＺロボット３は、Ｚ軸移動機構５、Ｙ軸移動機構６、前後（Ｙ軸）方向に延びる光軸Ｏを有しワークＷを撮影するカメラ７を備え、カメラ７を前後（Ｙ軸）及び上下（Ｚ軸）方向に自在に移動させる。回転テーブル４は、ワークＷを載置し、垂直方向に延びる回転軸θ周りに自在に回転させる。カメラ７の先端に１８０度以上の画角を有する超広角レンズ１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】光学画像のパターンと基準画像のパターンとの位置合わせを高い精度で行いつつ、且つ、高速で欠陥検出のできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、光学画像および判定の基準となる基準画像のいずれか一方について、そのＸ方向とＹ方向の移動量をそれぞれα（０≦α＜１）とβ（０≦β＜１）として、αおよびβと光学画像と基準画像の差分の２乗和との関係を表す方程式を求める工程と、この方程式から得られる差分の２乗和が最小となる（α，β）の組から、位置合わせに最適な移動量を求める工程とを有する。この方程式についてαおよびβの偏微分を解くことにより、位置合わせに最適な移動量を求めてもよい。 （もっと読む）