【課題】検査装置においては検査速度を向上させるためにウェハ表面に細長い光を照明し、照明領域の像を光検出器で結像して、検査を行う方式も考えられる。しかし、光検出器に照明領域の像を正しく結像させるのは容易ではない。従来技術ではこの点に配慮なされていなかった。
【解決手段】本発明は、光ファイバの束を有する結像光学系を有し、さらに前記光ファイバの束の集光側を回転させる機構を有することを特徴とする。本発明によれば、照明領域からの散乱光を正しく光検出器に結像させることができる。 （もっと読む）

【課題】
試料上の欠陥からの散乱光強度が、欠陥径に応じて微小になった場合には、センサから出力される検出信号にはセンサ素子自身の暗ノイズの占める割合が大きくなり、微小な欠陥の検出が困難となる。また、レーザ光源はパルス発振しているため、センサから出力される検出信号にはレーザ光源のパルス成分も重畳することになり、高精度に欠陥を検査することが困難となる。
【解決手段】
試料の表面にパルス発振してレーザビームを照射する照射手段と、前記照射手段による照射により該試料の表面より発生した散乱光を検出する検出手段と、前記照射手段により照射された該レーザビームに基づき遅延信号を生成し、該遅延信号を用いて前記検出手段により検出された散乱光を処理する処理部とを備えた欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段と、画像計測演算手段が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】シート材の端面を幅方向及び厚み方向から観察する際、いずれの方向も、観察される画像が視野から外れず、常に合焦状態で観察する。
【解決手段】シート材端部の観察装置１又は方法において、観察部３はシート材１０の幅方向端部を視野に含む第１の観察手段３１と、厚み方向端部を視野に含む第２の観察手段３２とを備え、端部位置検出部は、第１の観察手段の観察視野内の基準点とシート材の幅方向端部との幅方向位置ずれ量を検出する幅方向端部位置ずれ量検出部と、第２の観察手段の観察視野内の基準点とシート材の厚み方向端部との厚み方向位置ずれ量を検出する厚み方向端部位置ずれ量検出部とを備え、移動部はシート材の幅方向に相対移動可能な幅方向移動機構４２と、厚み方向に相対移動可能な厚み方向移動機構４１とを含み、制御部９は検出したシート材端部の位置ずれ量に基づいて、幅方向及び厚み方向移動機構を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスクの両側の表面を検査する検査装置において、スループットを高い状態に維持しながら検査を実施することを可能にする。
【解決手段】光学検査ユニット１００Ａ，Ｂと基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて回転駆動部に載置した基板を検査する位置と基板を取出・供給する位置との間を回転して搬送するテーブルユニット２００Ａ，Ｂと基板反転ユニット３００と基板を収納するカセット部と、未検査の基板を取り出してテーブルユニット２００Ａ，Ｂに供給すると共に、両面を検査し終えた基板を収納する基板ハンドリングユニット４００とを備えて構成し、光学検査ユニット１００Ａ，Ｂとテーブルユニット２００Ａ，Ｂとを複数備え、基板反転ユニット３００による基板の反転と基板ハンドリングユニット４００による検査を終えた基板の取出し未検査基板の供給とを交互に行なうようにした。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化を図ることができる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、取込位置Ａにおいて円筒体Ｗをチャックするチャック手段が、メインローラ２０と、メインローラに接離する方向に移動可能なサブローラ３０とをそれぞれ有する一対の挿入支持部１２を備える。円筒体Ｗをチャック際に、一対の挿入支持部１２を、そのサブローラ３０をメインローラ２０に対し上側に配置したサブローラ上向き姿勢として円筒体の両側部内側に挿入し、その挿入状態で、サブローラ３０を上側に移動させて円筒体Ｗの内周面上側に接触させそのサブローラ３０によって円筒体Ｗを搬入側載置具から持ち上げるとともに、メインローラ２０を円筒体Ｗの内周面下側に接触させる。 （もっと読む）

【目的】欠陥の検出および検出される欠陥種別の判定を行うパターン検査装置を提供する。
【構成】光源と、偏光状態の異なる第１の検査光と第２の検査光とを発生する検査光発生部を含み、第１の検査光と第２の検査光とを試料の同一面に照射する反射照明光学系と、試料に照射される第１の検査光と前記第２の検査光とを、それぞれ第１の像と第２の像として結像する結像光学系と、第１の像と第２の像とを拡大する拡大光学系と、拡大光学系で拡大される第１の像と第２の像とを撮像する画像センサと、画像センサで撮像される第１の像の画像である第１の検査画像と、第２の像の画像である第２の検査画像とを記憶する記憶部と、記憶部に記憶される第１の検査画像を第１の基準画像と比較し、第２の検査画像を第２の基準画像と比較して欠陥を検出する検出部と、欠陥の欠陥種別を判定する判定部と、を備えるパターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】より早く高精度に発泡体ローラーの表面を測定する。
【解決手段】測定方法は、発泡体ローラー１に光を照射する光源２と、発泡体ローラー１で反射した反射光を受光する受光装置４と、を用いて発泡体ローラー１の表面を測定する。この測定方法は、光源２の光軸Ａと受光装置４の光軸Ｂとの間の角度αを、発泡体ローラー１で反射した反射光の光量が最大になるときの該反射光の光量の７０％以上の光量の反射光が得られるように設定する光軸設定工程と、光軸設定工程で設定した角度αを維持した状態で、光源２から発泡体ローラー１に光を照射して、発泡体ローラー１からの反射光を受光装置４で受光する受光工程と、受光装置４により得られた発泡体ローラー１の表面の画像を解析して、発泡体ローラー１の表面の表面形状を解析する解析処理工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】円柱形物体１を，その軸線１ｂの回りに回転しながら搬送する搬送装置において，その装置の小型化等を図る。
【解決手段】平行に延びるように配設した少なくとも二本の搬送コンベア４，５を備え，この各搬送コンベア４，５を，同じ方向に速度を変えて駆動することにより，前記円柱形物体１を，その軸線１ｂの回りに回転しながら搬送する。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭの欠陥観察方法及びその装置において、ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に欠陥を観察する。
【解決手段】他の検査装置で光学的に検査して検出した試料１上の欠陥の位置情報と他の検査装置の光学的な検査の条件の情報を得、他の検査装置で検出した欠陥をＳＥＭ６で観察するためのテーブル上に試料を載置し、このテーブル上に載置した試料上の欠陥を光学的に検出するための検出条件を得た他の検査装置の光学的な検査条件の情報に基づいて設定し、テーブル上に載置した試料上の欠陥の中から抽出した欠陥を設定した光学的な検出条件に基づいて検出してこの抽出した欠陥のテーブル上での位置情報を得、この得た抽出した欠陥のテーブル上での位置情報に基づいて他の検査装置で検査して検出した欠陥の位置情報を修正し、この修正した欠陥の位置情報を用いてテーブル上に載置した試料上の欠陥をＳＥＭ６で観察する欠陥観察方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】農産物Ａ内部の偏った部分に局所的な障害がある場合でも、的確に検査できる内部品質検査装置を提供する。
【解決手段】本願発明の内部品質検査装置は、農産物Ａを載せた受け皿Ｐを搬送するコンベヤ装置１０の挟んだ一側方に、前記農産物Ａに測定光を照射する投光部４３を配置する。他側方には、前記農産物Ａからの検出光を検出する受光部４４を配置する。前記受光部４４の検出結果に基づき前記農産物Ａの内部品質を検査する。前記コンベヤ装置１０のうち少なくとも前記投光部４３及び前記受光部４４の間に、前記受け皿Ｐを一方向に横回転させる横回転付与手段２３，２４を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物を治具などで掴んだり吸着することなく、円筒状の被検査物を、決まったセンサ位置にて、中心軸の周りで回転させ、全周面にわたって、また必要に応じて端部も同時に、欠陥検査が行えるようにする。
【解決手段】磁性材料からなる被検査物に磁界を印加し、その表面の欠陥部に生じた漏洩磁界の乱れを磁気センサを用いて検出する磁気探傷方法である。被検査物１０は円筒状であって、その外周面が回転用ベルト１２に接触しており、回転用ベルトを介して被検査物に対向している永久磁石１４によって被検査物に磁界が印加されると共にその磁力により被検査物が回転用ベルトに引き付けられ、磁石をセンサ位置に停滞させた状態で回転用ベルトを動かすことにより、被検査物がセンサ位置に止まったままで回転用ベルトとの摩擦力で中心軸の周りに回転し、磁気１６センサによって被検査物の周面を検査する。 （もっと読む）

【課題】検査経路を搬送される容器に照射した光が容器壁部を漏光するのを検出して、容器に生じた小孔を検査する場合に、容器の胴部及び底部の両方を同時に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Ｗを保持して周回するとともに搬送する小孔検査検出回転体と、前記容器Ｗの開口部Ｗ１側を支持するとともに遮光する開口部側支持体と、前記容器Ｗの底部Ｗ２側を支持して前記容器Ｗを前記開口部側支持体に押し付ける押圧部材４０と、前記容器Ｗに光を照射する光源と、前記開口部Ｗ１が遮光された容器内部に配置された光センサ５１Ａを有し前記光源が照射した光の漏光を前記容器Ｗの内部で検出する光検出部とを備えた容器検査装置であって、前記押圧部材４０の前記容器Ｗの底部Ｗ２と当接する部分には、光透過性を有する当接部材４１を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
欠陥信号を低下させて欠陥を見逃してしまうことのない欠陥検査装置および欠陥検査方法と提供する。
【解決手段】
表面にパターンが形成された検査対象物に光を照射し、この光が照射された検査対象物から発生する反射、回折、散乱光を集光して第１の遮光パターンを備えた第１の空間フィルタを透過した光による第１の光学像を第１の検出器で受光して第１の画像を取得し、光が照射された検査対象物から発生する反射、回折、散乱光を集光して第２の遮光パターンを備えた第２の空間フィルタを透過した光による第２の光学像を第２の検出器で受光して第２の画像を取得し、取得した第１の画像と第２の画像を統合的に処理して欠陥候補を判定する欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】
複数条件の画像を同時に検出して統合する構成を用いた場合、高レートのデータ転送手段と大容量のメモリや記憶媒体が必要となる。
【解決手段】
複数の撮像条件にて試料の画像データを取得する工程と、前記複数の撮像条件にて取得した複数の画像データを画像記憶部へ格納する工程と、前記複数の画像データのそれぞれより欠陥候補を取得する工程と、前記画像記憶部に格納された、少なくとも２つの撮像条件の前記画像データから、前記複数の画像データのいずれかで検出した前記欠陥候補位置とその周辺を含む部分画像を切り出す工程と、前記欠陥候補に対応する少なくとも２つの撮像条件で取得した前記部分画像を統合処理することで、欠陥候補を分類する工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】キャップの天面または下面を支持台で支持することなくキャップの側面だけをハンドリングしてキャップの天面または下面をフリーにした状態で搬送しつつ、キャップを撮像して外観検査を行うキャップの検査装置を提供する。
【解決手段】複数の樹脂製キャップ１を支持して搬送するスターホイール５の各ポケット５ａに設けられ、樹脂製キャップ１の側面を真空吸着可能な吸着孔２２ｈと、固定側部材３２と回転側部材３４とを有し固定側部材３２と回転側部材３４とが互いに摺接しながら相対回転して、固定側部材３２に形成された円弧状溝３６と回転側部材３４に形成された複数の連通孔３９とが断続的に連通するように構成されたロータリバルブ３０と、スターホイール５により搬送される樹脂製キャップ１に下方から投光するための照明５０と、照明５０から投光され樹脂製キャップ１で反射した反射光を撮影するための撮像装置５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】小サイズの円筒体でもチャック用挿入支持部を不具合なく挿入できる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、メインローラ２０およびサブローラ３０を有する一対の挿入支持部１２を備え、ローラ２０，３０を近接させた挿入支持部縮径状態で、円筒体Ｗの両端部内側に挿入し、その後、ローラ２０，３０を離間させて円筒体内周面に接触させて、各ローラにより円筒体Ｗを回転自在に支持する。そして本装置は、挿入支持部縮径状態で、メインローラ２０の後方に配置されたサブローラ３０，３０の全域が、メインローラ２０に対し軸心方向に重なって配置されるようにしている。 （もっと読む）

【課題】液相中の固形物検出用の装置および方法を提供する。
【解決手段】固形物および液相は、少なくとも部分的に透明な容器に混合物として封入され、装置は、プロセッサユニットおよびデジタル化された画像を、画素値を伴う画素の配列の形で作るためのカメラを備える。装置は、容器を保持し、容器に運動を与えて、それによって運動エネルギーが混合物に伝送されるためのアジテータ装置をさらに備える。カメラは、運動中の混合物の画像を撮影するために容器の透明部分に向けられる。記録段階の間にカメラによって撮影された運動中の混合物のデジタル化された画像は、プロセッサユニットへ伝送される。 （もっと読む）

【課題】検査時間の短縮しつつ、タイヤの内周面を広範囲にわたって検査することができるタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤＴの内周面８を照明する照明部１６と、タイヤＴの内周面８を撮影する第１撮影部１８と、タイヤＴの内周面８の周方向Ｃに沿って湾曲しタイヤＴの内周面８を照らした光を第１撮影部１８へ反射させる鏡３６とを有する検査部２０と、タイヤＴと検査部２０とをタイヤＴの軸回りに相対的に回転させる駆動部とを備え、照明部１６がタイヤＴの内周面８を照明した状態で、駆動部がタイヤＴと検査部２０とをタイヤＴの軸回りに相対的に回転させながら、タイヤＴの内周面８に沿わせて配置した鏡３６で反射したタイヤＴの内周面８からの光を第１撮影部１８が撮影することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜の壜底部のビリ（底ビリ）を精度良く検出できる光学撮像系を備えたガラス壜の検査装置を提供する。
【解決手段】液体が充填されたガラス壜の壜底部を撮像し、得られた画像から欠陥を検出するガラス壜の検査装置において、直立した状態で搬送されるガラス壜の下方に配置され、ガラス壜をガラス壜の底面側から照明する照明３０と、ガラス壜の壜底部の側方に配置され、ガラス壜の底面から上方に立ち上がっていく部分である彎曲した曲面の壜底外周縁１ｅと壜底外周縁１ｅに連なる壜底部１ａとを撮像するカメラ４２とを備え、照明３０は、光源３１と、光源３１からの光を集光する集光レンズ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃと、集光レンズ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃからの光を曲げる角度変更レンズ３３Ａ，３３Ｂとを備え、照明３０は、カメラ４２に近い側にある角度変更レンズ３３Ａからカメラ側の壜底外周縁及び／又は壜底面に光を入射させるようにした。 （もっと読む）