【課題】軸状ワークを、外周の径方向張り出し部をテーブルで受け支えて吊り下げ姿勢で搬送しながら選別のための検査を行う検査装置について、検査の高速化と高精度化を図ることを課題としている。
【解決手段】回転テーブル２、吸着装置１０、回転駆動機構２０、ワーク突き上げ機構３０、および検査機４０を有し、吸着ヘッド１１とワーク突き上げピース３１が検査部５に対向して配置され、回転テーブル２が間欠的に回転して外周の切欠き溝に受け入れたワークＷを検査部５に移動させ、検査部において、ワーク突き上げ機構３０がワークＷをそのワークの頭頂部が吸着ヘッド１１に吸着・保持される位置まで下から突き上げ、回転駆動機構２０が吸着ヘッド１１と一緒にワークＷを回転させて検査機４０による検査が行われるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ピントが合わせやすく、撮像漏れがなく、しかも、短時間で円筒の外部表面、又は、円筒形状の穴の内部表面を２次元的に撮像することが可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】この撮像装置１は、ラインカメラのように線ではなく、エリアカメラ３１の撮像面で面により反射光を捉えているので、ピントが合わせやすく、しかも、エリアカメラ３１の場合、一定の幅で画像を取り込むことで、ハイライト部分が若干移動しても確実にハイライト部分を受光できるので、明るさが一定した均質な画像が得られる。従って、この撮像装置１を用いると、ラインカメラを用いた従来の撮像装置に比べて、ピントが合わせやすく、しかも、光量むらを発生させずに円筒形状の穴の内部表面を二次元的に撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】参照画像と光学画像との高精度な位置合わせを行う方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パターン検査装置は、残差２乗和演算による光学画像と参照画像との位置ずれ量を取得するＳＳＤアライメント演算部３１０と、最小二乗法により、前記光学画像と前記補正された参照画像との合わせ位置からの位置ずれ量を演算する最小二乗法アライメント演算部３２０と、前記光学画像と前記残差２乗和および前記最小二乗法を用いて補正された参照画像とを比較する比較回路１０８と、を備え、前記ＳＳＤアライメント演算部３１０による演算を最初として、前記ＳＳＤアライメント演算部３１０と前記最小二乗法アライメント演算部３２０は、交互に同回数だけ複数回演算を繰り返し、比較回路１０８は、複数回演算が繰り返された結果得られた位置に補正された参照画像と前記光学画像とを比較することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定誤差を最小限にしてステージ位置を正確に測定することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】測長システム１２２は、ＸＹθステージ１０２の位置をレーザ干渉計２０１とリニアスケール２０２を用いて測定する。レーザ干渉計２０１で測定された測定値は、位置演算部２０３で位置成分のデータに変換された後、ローパスフィルタ２０４を通過する。リニアスケール２０２で測定された測定値は、位置演算部２０３で位置成分のデータに変換された後、ハイパスフィルタ２０５を通過する。ローパスフィルタ２０４を通過したデータと、ハイパスフィルタ２０５を通過したデータとは、加算器２０６で加算されて合成される。 （もっと読む）

【課題】微視的電気特性の測定で得られた知見に基づき開発される、濃度ムラや白抜けを発生しない、放電あるいは放電による帯電現象を利用する部材を得ることができるための放電ムラ観察方法を提供する。
【解決手段】ローラ部材１に対し、表面に半透明、もしくは透明な電極２を有し、電極面が前記ローラ部材表面に接触又は非接触となるように配設される透明電極基板７を備え、前記透明電極基板７と前記ローラの芯金との間に電位差を設け、前記透明電極基板７と前記ローラ部材１との間に設けられた電位差によって発生する放電光を、前記透明電極基板の背面に配設される撮影装置３によって撮影し、前記ローラ部材に発生する放電ムラを観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
試料全面を短時間で走査し，試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】
光源から発射されたパルスレーザをパルス分割し、パルス分割したパルスレーザを回転しながら一方向に移動している試料の表面に照射し、パルス分割されたパルスレーザが照射された試料からの反射光を検出し、反射光を検出した信号を処理して試料上の欠陥を検出し、検出した欠陥に関する情報を表示画面に出力する欠陥検査方法において、パルス分割したパルスレーザの光強度の重心位置をモニタし、モニタしたパルス分割されたパルスレーザの光強度の重心位置を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来は、熟練した作業者がスポット光の位置合わせを実施していた。人手での調整は時間がかかるため、調整の自動化が求められていた。自動化のためには装置構成をモデル化し、位置合わせを実施することになる。しかし、実際には、装置毎の機差や外乱によりモデル通りにスポット光は動かない。そのため、モデル単体では調整に時間がかかり、調整時のバラつきが生じる場合もある点については従来技術では配慮がなされていなかった。
【解決手段】第１の重み付けを行って光の傾きを調整し、第２の重み付けを行って光の前記基板上での位置を調整する。さらに、光の傾きのずれを測定し、ずれに応じて粗調整と、微調整とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査装置および方法において、映り込みの発生を抑制して、有効な検査範囲の拡大、良好な欠陥の検出が可能な照明角度を選択できるようにすること、また照明角度の制限を減らすことによって、ムラ欠陥と正常部との画像コントラストの向上が期待でき、結果的にムラ検出能力を向上すること
【解決手段】基板表面に周期性パターンが形成された基板を検査対象とし、前記基板に照明光を複数の照射角度で照射し、前記周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法であって、前期周期性パターンとそれ以外の周辺パターンとの位置関係と、照明光の照射角度から、映り込みが生じる位置を予測することにより、映り込みが生じない位置で検査することを特徴とする周期性パターン検査方法。 （もっと読む）

【課題】回転によって容器の水平方向から容器の内壁に沿って異物が移動して落下による移動軌跡が長く形成されるようにして、この状態における連写による撮像画像を用いることによって正確な異物の検査を行う異物検査装置および異物検査方法を提供する。
【解決手段】回転装置が、容器の水平軸に対して水平もしくは一定の傾斜角度に容器を保持する容器保持部材及び容器を６０°以上の角度で回転させて、次に静止させる回転動作を実行させる回転制御手段を備え、異物検出手段が、一定の時間で、回転動作毎に連写して取得した撮像画像を用いて形成される異物移動軌跡によって異物の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】径サイズの異なるタイヤの検査に容易に適用可能なタイヤ検査装置及びタイヤ検査方法を提供する。
【解決手段】タイヤ検査装置１は、タイヤＴの検査面Ｔａを撮像する第１撮像部１０と、検査面Ｔａを撮像する第２撮像部２０と、画像データ補正部１０３とを備える。第１撮像部１０は、タイヤの回転軸方向視において、第１撮像部１０の光軸Ａｘ１０が法線Ｎ１に一致するとともに検査面Ｔａを撮像するように配置されており、第２撮像部２０は、第２撮像部２０の光軸Ａｘ２０が法線Ｎ１に平行に検査面Ｔａを撮像するように配置されている。画像データ補正部１０３は、第２撮像部２０によって取得された画像と第１撮像部１０によって取得された画像とを一致させるように第２撮像部２０によって取得された画像を補正する。 （もっと読む）

【課題】１回の円筒状部品の投入により円筒状部品表面の複数の部位を検査することができる新規な表面検査装置の提供する。
【解決手段】基台１０と、投入ステージ、複数の撮影ステージ及び取出ステージを少なくとも含み、基台１０の周りに配設された複数のステージと、夫々の回転軸が平行となるように並設された一対のローラを有し、各ローラ間に円筒状部品を載置して各ローラ４１の回転によって円筒状部品を回転させるローラユニット４０、が同一円周上に所定角度間隔で複数配置され、ローラユニット４０に載置された円筒状部品を各ステージ間で移動させる部品搬送盤３０と、ローラユニット４０の下方に配設されてローラの外周面に接触するローラ接触部を有し、ローラ接触部によってローラを回転させるローラ駆動盤２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】物品の向きを簡易な構成で変更する。
【解決手段】検査品１０の一方の面１１ｂが搬送装置３０の前方側を向き、装着部材２０の第１領域Ｒ１が第１抵抗付与部３３Ａに接触する状態にあると、第１領域Ｒ１と第１抵抗付与部３３Ａとの間における滑りが抑制される。これにより装着部材２０は、時計回りの回転を行いながら前方へ移動する（符号５Ａ参照）。そして符号５Ｂに示すように、第２領域Ｒ２が第１抵抗付与部３３Ａに接触する状態となると、第２領域Ｒ２と第１抵抗付与部３３Ａとの間で滑りが生じ、装着部材２０は回転を停止する。その後、装着部材２０が第２抵抗付与部３３Ｂに接触し、装着部材２０が時計回りの回転を行いながら前方へ移動する（符号５Ｃ参照）。その後、符号５Ｄに示すように、第３領域Ｒ３が第２抵抗付与部３３Ｂに接触するようになり、装着部材２０は回転を停止する。 （もっと読む）

【課題】ワークを支持すると共に回転させるワーク支持具を具備する表面検査装置において、ワーク支持具へのワークの投入を、パーツフィーダを用いて自動化することができるワーク投入装置を提供する。
【解決手段】夫々の回転軸が平行となるように並設された一対のローラ４１間に円筒状のワークＷを支持するワーク支持具４０を有し、ワーク支持具４０に支持されたワークＷをローラ４１の回転によって回転させて表面の検査を行う表面検査装置において、ワーク支持具４０にワークＷを投入するワーク投入装置５０であり、パーツフィーダ（ワークレールＰ）から供給されるワークＷを収容する収容凹部６６を有し、ワーク支持具４０の上方に配置され、ローラ４１の回転軸ａと平行な回動軸ｂで回動して収容凹部６６に収容したワークＷをワーク支持具４０の各ローラ４１間に落下させる回動搬送体６５を備える。 （もっと読む）

【課題】サンプリング単位を従来よりも小さくした場合、欠陥がサンプリング単位を跨る場合が増える。その結果、分類精度が悪化してしまう。
【解決手段】基板を検査する検査装置において、光を基板へ照射する光学系と、前記基板からの光を検出する複数の検出器と、前記複数の検出器ごとの検出結果を閾値処理する第１の処理部と、前記検出器ごとの閾値処理結果の論理和を取る第２の処理部と、前記論理和結果についてラベリング処理を行う第３の処理部と、前記ラベリング処理結果から領域情報を算出する第４の処理部と、前記ラベリング処理結果から指向性情報を算出する第５の処理部と、前記領域情報と前記指向性情報とを使用して欠陥の種類を特定する第６の処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高価な評価機器や顕微鏡を用いることなく、非破壊にて精度高く透明基板の欠陥を検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】オフ角を有する透明基板の欠陥検査装置であって、該欠陥検査装置は、少なくとも、光源と、前記透明基板を透過した透過光を測定する固体撮像素子からなる受光部と、２枚の偏光板と、前記透明基板を載置するためのサンプルステージと、前記サンプルステージおよび前記２枚の偏光板を前記透明基板のオフ角に対応させて前記受光部に対して傾けることができるチルト機構とを備え、前記２枚の偏光板のうち一方は前記光源と前記サンプルステージとの間に、もう一方は前記サンプルステージと前記受光部との間に、少なくとも１枚の偏光板が前記サンプルステージと平行になるように配置され、かつ前記２枚の偏光板は透過軸のズレが３０°以内となるように配置されたものであることを特徴とする透明基板の欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実にアンプルの気泡又はツノの検出ができる気泡又はツノの検出方法及び検出システムを提供する。
【解決手段】気泡又はツノ等の欠陥検出システム１００は、画像処理装置１を含んで構成され、アンプル２と、アンプル配置装置３と、アンプル供給装置４と、カメラ５と、リング状照明６及び撮像処理装置７を有する。アンプル配置装置３は、アンプル２の枝先部２Ａが、水平面２Ｂと間隙１２を置いた水平面５Ｂを備えるリング状照明５に対して、リング状照明５の中心線８に位置するようにアンプル２を配置する。撮像処理装置７によって、天面２Ｃに照射された水平照射光９に基く天面に形成された気泡１４又はツノ等の欠陥による乱反射光によってアンプル２の天面２Ｃを撮像し、画像処理装置１によって天面２Ｃに形成された欠陥についての撮像画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】ナットの表面で反射した反射光からナット表面の傷の有無を検出する部品傷検出装置の提供。
【解決手段】所定位置に配置された被検査部品に光を照射する投光装置２７ａ，２７ｂを配置するとともに、被検査部品の反射光を受ける位置にＣＣＤカメラ２９ａ，２９ｂを配置し、被検査部品の反射状態を画像情報としてＣＣＤカメラ２９ａ，２９ｂで取り込み、この画像情報から被検査部品表面の傷の有無を判定するように構成した部品傷検査装置１であって、被検査部品を載置して回転させる回転台を設け、回転台２４ａ，２４ｂが回転する間ＣＣＤカメラ２９ａ，２９ｂにより所定回転角毎被検査部品の反射状態を取り込むように構成してある。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、本高速でパターンドメディア表面やスタンパのパターン形状の整形不良を検査できるパターン形状検査装置または検査方法並びにパターンドメディアディスク製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は、パターンが形成された被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させ、前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を斜め方向から照射し、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する０次反射光を検出し、前記検出された０次反射光を一定の波長幅を有するチャンネル分光データを得、該チャンネル分光データが設定許容範囲内に存在するか判断し、前記判断結果を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子部品の稜線部までも明瞭に撮像することできる外観検査装置を得る。
【解決手段】矢印ａ方向に間欠的に回転駆動される搬送テーブル２０に形成された凹部２１に直方体形状の電子部品１２０を１個ずつ収容し、該電子部品１２０の外観をＣＣＤカメラ７０で撮像する外観検査装置。凹部２１は搬送テーブル２０の上面及び外周面に開口しており、凹部２１の側面２１ａとテーブル２０の上面とからなる稜線部には傾斜面２１ｂが形成されている。また、外周ガイド部材３０の側面３０ａとテーブル２０の上面とからなる稜線部には傾斜面３０ｂが形成されている。この傾斜面２１ｂ，３０ｂによって照明光ｙが電子部品１２０の稜線部にまで隈なく届くことになる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面欠陥を簡便に高い信頼性をもって検査し得る手段を提供すること。
【解決手段】検査対象である半導体ウェーハの表面に向かって光源部から検査光を照射すること、ウェーハ表面の検査光が照射された照射領域からの散乱光を検出すること、ならびに、検出された散乱光に基づきウェーハ表面の欠陥の有無および／またはその程度を評価すること、を含む半導体ウェーハの表面検査方法。前記検査光をウェーハ表面に対して斜め方向からウェーハ半径以上の幅をもって入射させることにより、前記ウェーハ表面に、ウェーハ半径以上の幅を有しウェーハ中心を含む照射領域を形成し、前記ウェーハおよび光源部の少なくとも一方を移動させることにより前記検査光をウェーハ全面に走査させる。 （もっと読む）