【課題】金属リングの側縁検査方法において、迅速に金属リング側縁の打痕等の検査を行うことができる検査方法を提供する。
【解決手段】複数の金属リング７が積層された積層リング７ａの側面をカメラ４で撮像する（Ｓ１）。平面照明部９は積層リング７ａの周方向から照明を行う。カメラ４で撮影された画像を２値化処理し（Ｓ２）、傷の検出処理を行う（Ｓ３）。傷の検出処理は、２値化された画像をラベリングし、複数の明部像７ｂの中から単層の積層リング７の画像を選択する。選択された画像の径方向の幅を検出し、その最大値と所定の判定値とを比較する（Ｓ４）。当該最大値が判定値以上の場合、当該積層リング７ａは使用不可であると判定する。 （もっと読む）

【課題】 果菜類の表面部に発生した水腐れ等による腐敗部を検出することが可能となる果菜類の検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象物の全表面のうちの一部の表面部分に検査用光を投射し、その検査用光が検査対象物を透過した後に検査対象物の全表面のうちの前記一部の表面部分を除く他の表面部分から外方に放出される透過光の単位表面部分毎の強さを計測し、その計測結果により検査対象物の単位表面部分が腐敗しているか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の外観を確実に検査することができる外観検査用装置を提供する。
【解決手段】 第１の基台１１は、鏡面状に加工された第１の円錐台面１７を有しており、この第１の基台１１には、第１の円錐台面１７の中心軸線に沿って、円筒状の孔１８が形成されている。この孔１８には、第１の円錐台面１７と同心軸状に、第２の基台１２が配置される。第２の基台１２の先端部は、円錐台形状となっており、鏡面状に加工された第２の円錐台面２１を有している。そして、検査対象物７における外内周の端縁の全周が、第１の円錐台面１７及び第２の円錐台面２１に当接されて配置されている。また、照明器１６には、複数の光源１９が円周上に配列され、検査対象物７の上面７ａ、外周面７ｂ或いは内周面７ｃに対して、直接光を照射する。この状態で検査対象物７をカメラ６によって撮像する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ表面上の欠陥及びエラーを十分なコントラストで提示可能にするウエハ検査方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】 とりわけ露光エラーのようなマクロ欠陥を検出するためのウエハ（１６）の検査方法であって、ウエハ表面（１７）の少なくとも１つの被検領域がビーム源（２２）によって照明され、該ウエハ表面の被検領域の画像がカメラ（７）によって撮像され、該ウエハ表面の被検領域が得られた画像に基づいて検査される方法において、前記ウエハ表面（１７）の前記被検領域は、テレセントリックに照明されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円筒形状部品の表面特性を簡易な構成を有し、効率的に且つ高精度で検査出来る検査装置であって、しかも汎用性があり、低価格の円筒形状部品の表面特性検査装置を提供するものである。
【解決手段】被検査円筒形状部品２を所定の方向に回転させる円筒状駆動回転ローラー３，３’と被検査円筒形状部品２の表面に近接して配置されている被検査円筒形状部品の表面特性を検査する表面特性検査手段４とから構成されている表面特性検査装置１に於いて、被検査円筒形状部品２を所定の方向に回転させながら、被検査円筒形状部品をその回転軸方向に移動させる被検査円筒形状部品移動機構５が設けられている表面特性検査装置１。 （もっと読む）

【課題】光学的検出器によって被検領域の光学的画像を撮像し、被検構造を明確に識別可能とするウエハ検査方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】被検領域の光学的画像の撮像が実行されるウエハ検査方法において、 ウエハに１つの層が形成される前に、第１の光学的画像２５が撮像され、かつ当該層が少なくとも部分的に除去された後に第２の光学的画像２６が撮像されること、及び前記第１の光学的画像と前記第２の光学的画像との対比によって、ウエハ表面の撮像された被検領域が検査されることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、電子素子、特に、フリップチップを検査および回転させるための装置に関する。電子素子は、構成要素（１４）を含み、この構成要素（１４）は、被回転位置（１７）において回転式に装着され、電子素子を回転させるために使用される。第１の受容部（１９）が、構成要素（１４）の外側に固定されて、キャリヤ（１４）の単一の電子素子を受け入れ、構成要素（１４）を回転動作（１５・１６、１５ａ）中動かないようにする。第２の受容部（２０）が、回転点（１７）に対して第１の受容部（１９）と反対側の構成要素（１４）の外側の面に配置されて、構成要素（１４）が１８０°回転（１５・１６）すると、キャリヤ（１１）にそれぞれ面する。また、貫通開口部（２８）は、構成要素（１４）の、受容部（１９）と受容部（２０）との間に配置されて、この配置は、構成要素（１４）が９０°または２７０°回転（１５・１６）すると、貫通開口部（２８）がキャリヤ（１１）に面するように行われる。本発明は、電子素子、特に、フリップチップを検査し回転させる方法に関する。
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本発明は、下地層からのノイズ光を確実に減らすことができ、良好な欠陥検査を行える欠陥検査装置および欠陥検査方法の提供を目的とする。そのため、上層に周期パターンが形成されたレジスト層を有する被検基板１１に対して、照明光を照射する照明装置１３と、照明光の照射により被検基板から発生した光に基づいて、被検基板の像を形成する結像光学系１４とを備える。そして、照明光の波長は、被検基板から発生した光のうち、レジスト層の表面からの光の強度が、レジスト層の下方に形成された周期パターン層の表面を経た光の強度より大きくなるように設定される。 （もっと読む）

単位面積当たりおよび／または累積的欠陥密度などの複合構造の欠陥特性を測定するためのシステムおよび方法。１つの好ましい実施例では、複合構造の欠陥特性を測定する方法は一般に、複合構造の第１の基準点から欠陥までの第１の距離を測定するステップと、複合構造の第２の基準点から欠陥までの第２の距離を測定するステップと、複合構造の基準領域を確立するために第１の距離および第２の距離を用いるステップと、基準領域内で検知された各欠陥を考慮し、そこから複合構造を表す欠陥特性を生成するステップとを含む。
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光源５８は、レンズ５９によりライン状の平行光に変換され、ビーム・スプリッタ６０に入射される。ビーム・スプリッタ６０は、入射光の半分を反射して光ディスク６５の表面のライン状領域に垂直に入射させ、残りの半分を透過させて光ディスク６５の表面のライン状領域に斜めに入射させる。光ディスク６５の表面に垂直に入射された光の反射光の光量は第１カメラ６２で検出される。この入射光、反射光はともに光ディスク６５の表面に対して垂直であるため、表面に大きな欠陥が生じても第１カメラ６２の撮影において虚像が発生せず、正確な欠陥サイズの検知が可能となる。 （もっと読む）

本発明は、照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法の提供を目的とする。そのため、被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１，１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９，１５とを備える。 （もっと読む）

光透過性を有する容器２に液体３を充填した被検査体１を検査するシステム２０であって，被検査体１を保持し，保持した被検査体１を傾斜もしくは倒立させて再び元の姿勢に戻す反転装置５１と，前記反転装置５１によって傾斜もしくは倒立させて再び元の姿勢に戻した直後の被検査体１を撮像する撮像装置９１〜９６と，前記撮像装置９１〜９６による画像を処理して被検査体１の良否を判定する撮像処理装置１００とを備える。前記反転装置５１は，被検査体１の上端部を保持するチャック５５と，前記チャック５５を水平方向の回転中心軸Ｏ２を中心として回転させるチャック回転機構５６を備える。 （もっと読む）

試料特に（製薬）錠剤を調査するための方法及び装置である。放射体及び/又は試料は、最初は、放射体が所定の距離にあり、試料表面の最初に照射した点の法線方向に位置する。放射体は25GHz〜100THzの範囲で複数の周波数を持つ光を試料の複数の点に照射する。放射体と試料とは相対的に位置を変えることが可能である。ただし、その位置の変更は、放射体と試料との間では所定の距離（試料表面と放射体との）を保存し、放射体は各照射点の法線と一致させ、透過又は反射した光を各点で検出することが可能になるようにする。この特徴的な応用として（製薬）錠剤のコーティングの形状及び組成を画像化するというのがある。
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ウエハ表面上の欠陥を検出する（図１０の工程３０２）ための縁部検査方法（図１０）は、このウエハの周縁を捕捉するデジタル画像のセットを獲得する工程を包含する。この周縁の周りのウエハの縁部が決定される。各デジタル画像は、複数の水平バンドに分割される（図１０の工程３０６）。このウエハの周縁の周りの隣接する縁部クラスター（図１０の工程３１４）が、縁部ピクセルビンに合わせられる。これらの縁部ピクセルビンは、縁部クラスター分析を介して分析され（図１０の工程３１６）、欠陥を同定する。これらの縁部ピクセルビンはまた、ブロブ分析（図２０の工程３１８）を介して分析されて、欠陥を決定する。
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パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
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【課題】安定した高い信頼性を持つ画像データと撮像位置表示手段を用いて高精度の連続した画像データにより目視検査とも対応できる探傷検査方法を提供する。
【解決手段】デジタルカメラで色表示手段であるカラー色票を撮像しモニタに表示する。色再現しているかチェックし、カラー色表の各色が再現していなければ、カメラ設定をチェックする。解像度表示手段であるＬＰゲージを撮像し、２．０ＬＰが分離していなければ、カメラ設定をチェックする。検査対象に探傷処理をした後、検査対象に撮像位置表示手段であるスケールバーを装着し、スケールバーのマークに合わせて撮像する。画像データを全て検査用ＰＣに転送し、検査用ＰＣで欠陥検査を実行する。欠陥検査中に欠陥を発見した場合、その欠陥の位置や大きさ、形状などの欠陥情報を記録し欠陥数などのデータを表示する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】遮光ブーツ等の薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能な薄肉ブーツの検査装置を提供する。
【解決手段】蛇腹形状に成形された伸縮部１０２を備えた薄肉ブーツとしての遮光ブーツ１０１に存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、伸縮部１０２に照明光を照射する照明手段としての照明光源４１、導光ケーブル４２、光案内部材４３、プリズムブロック４４、反射板４５と、伸縮部１０１の照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５２と、撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段としての画像処理装置５１とを有する。 （もっと読む）