【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】最小限の加熱操作で従来では望むことの出来ない高感度な検出が可能なガスセンサー素子を提供する。
【解決手段】半導体基板上にショットキー電極とオーミック電極とが配置され、ガスの存在を感知したときに生じるショットキー電極とオーミック電極間の電流−電圧特性の変化によってガスの存在を検知する原理のガスセンサー素子であって、ガスセンサー素子は、ショットキー電極と基板との界面に絶縁膜が設けてある。 （もっと読む）

【課題】水による誤作動を防止するガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のガスセンサ１は、外部からガス導入用開口部３ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室３ａを有する素子収納部３と、素子収納部３のガス検出室３ａに配置されたガス検出素子５と、ガス導入用開口部３ｂに設けられた熱伝導性メッシュ部材６と、熱伝導性メッシュ部材６に固定され、熱伝導性メッシュ部材６を水の蒸発温度以上に加熱するヒータ８と、ヒータ８の発熱を制御するヒータ制御手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高速応答性及び検出精度をそれぞれ向上させることができる水素センサを提供することを目的としている。
【解決手段】水素に反応して性質が変化する特性を有する検出部２を備え、検出部２の性質変化を基に空気中の水素濃度を検出する水素センサ１であって、検出部２が、少なくとも一部が屈曲又は湾曲した線状部材２２により構成されている。 （もっと読む）

【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極２ａ，２ｂと、ＣＮＴを誘電泳動してマイクロ電極２ａ，２ｂに架橋したセンサ素子と、ＣＮＴ表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するＰｄ粒子とを備え、マイクロ電極２ａ，２ｂ間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ１であって、表面を修飾するＰｄ粒子が、Ｐｄの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのＣＮＴとＰｄの酸化還元反応で析出するＰｄ粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるＰｄと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したＰｄ粒子とを含むことを主要な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブリッジ回路を用いて被検知ガスの濃度を検出するガスセンサの回路構成を簡素化するとともに被検知ガスを広範囲に亘り精度良く検出することを目的とする。
【解決手段】開閉可能な蓋２９を有するケース３０の内部に配置され、被検知ガスの酸化反応により素子の温度を上昇させ、その温度の変化に応じてその特性値が変化する接触燃焼型センサ素子２３と、被検知ガス雰囲気の温度の変化に応じてその特性値が変化する熱伝導型センサ素子２４と、固定抵抗２５，２６と、をブリッジ接続してガスセンサを構成する。被検知ガスの濃度が所定基準値よりも高いときは、被検知ガスを接触燃焼型センサ素子２３に接触させず、所定基準値以下のときは被検知ガスを接触燃焼型センサ素子２３に接触させる。 （もっと読む）

【課題】移動体に搭載した後でも、適正なガス検出装置が設置されているかを確認することができるガス検出装置の状態確認方法およびガス検出装置の状態確認システムを提供する。
【解決手段】移動体の複数箇所に搭載された、外形形状が略同一の少なくとも２種類のガス検出装置と、該ガス検出装置の設置位置ごとに前記ガス検出装置の種類が記録された管理装置と、を備えたガス検出装置の状態確認方法であって、前記ガス検出装置を前記移動体に搭載するガス検出装置搭載工程と、前記ガス検出装置が、前記ガス検出装置の種類に応じた識別出力を発信する識別出力発信工程と、前記管理装置が、前記識別出力を受信して、前記ガス検出装置の設置位置ごとに前記ガス検出装置の種類の正誤を確認する種類確認工程Ｓ２３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】定電流電源を必要とせずに、異常が断線、短絡のいずれによるものかを短時間で判断して、システムを確実かつ迅速に停止することができ、システムの小型化を図ることが可能となる可燃性ガスセンサ等を提供する。
【解決手段】可燃性ガスセンサであって、
外部環境の変化を補償するための補償器と、可燃性ガスの濃度を検出する検出器と、によってブリッジが形成されてなる検出回路が構成され、
前記検出回路には該検出回路を流れる電流を計測する手段を有する構成とする。
その際、前記検出回路内を流れる電流を計測する手段を、前記ブリッジに直列に挿入された固定抵抗と、前記固定抵抗の両端の電圧を測定する手段と、によって構成することができる。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・ニオブ合金薄膜からなる水素センサ材料、該材料を用いた水素センサ及び水素検知方法等を提供する。
【解決手段】マグネシウム・ニオブ合金薄膜を用いた水素センサ材料であって、マグネシウム・ニオブ合金薄膜の組成が、ＭｇＮｂ_ｘ（０．１＜ｘ＜０．５）であり、上記薄膜の上に、触媒層が形成されているか、あるいは水素を透過する材料上に触媒層が形成され、その上にマグネシウム合金薄膜が形成されており、基板自身が保護層になり、２０℃付近の室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有する、ことからなる水素センサ材料、上記水素センサ材料からなる水素センサ及び該水素センサによる水素濃度計測方法並びに水素検知方法。
【効果】低温作動型の水素センサを提供できる。 （もっと読む）

【課題】所定の加湿雰囲気下で、電解質膜のプロトン伝導度を測定する場合に、短時間で測定することが可能なプロトン伝導度測定装置を提供すること。
【解決手段】電解質膜におけるプロトン伝導度を測定するためのプロトン伝導度測定装置であって、電解質膜の両面の一部にそれぞれ配置される電極と、電極を押圧し、電極と電解質膜とを接触させるための押圧部材と、を備え、押圧部材は、電解質膜において各電極が重なり合った有効測定領域周辺が、プロトン伝導度測定装置の外部雰囲気に晒されるような形状に形成される。 （もっと読む）

【課題】ガス検出室内での結露の発生を抑制することができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス導入口２２９から被検出ガスを導入するガス検出室２２７と、ガス検出室２２７内に配置され、被検出ガスの濃度を検出可能な検出素子２３１と、検出素子２３１に対して信号の入出力が可能なリード線２３３と、ガス導入口２２９と対向するようにガス検出室２２７内に配置された台座２３４と、を備え、台座２３４の表面２３４Ａにリード線２３３が接続されて検出素子２３１が支持されたガス検出装置において、台座２３４の表面２３４Ａにおけるリード線２３３との接続点２４５を少なくとも覆うとともに、リード線２３３よりガス導入口２２９側の位置まで延設されたカバー部材２５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】被検出雰囲気中の被検出ガスの濃度が湿度に基づき変動することを考慮して、被検出ガスを精度よく検出するようにしたガス検出装置およびガス検出方法を提供すること。
【解決手段】まず、環境温度を検出し（Ｓ１５，Ｓ２０）、続いて、異なる目標温度となるように通電制御された２つの発熱抵抗体における各端子電圧を検出する（Ｓ２５）。Ｓ２５で検出した２つの端子電圧と、Ｓ１５において検出された環境温度とから、２つの端子電圧に対応する各熱伝導率を熱伝導率演算値として演算する（Ｓ３０）。続いて、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値に基づき、湿度を演算する（Ｓ３５，Ｓ４０，Ｓ４５）。そして、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値のうち少なくともいずれか一方と、Ｓ４５で求めた被検出雰囲気の湿度とに基づき、被検出ガスのガス濃度を演算する（Ｓ５０，Ｓ５５，Ｓ６０）。 （もっと読む）

【課題】測温抵抗体の水滴付着などの異常を正確に検出することができるガス濃度検出装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵが、ステップＳ２の濃度演算により演算されたガス濃度の急激な変化を検出し、その後急激な変化が終了したことを検出する。そして、ＣＰＵが、ガス濃度の急激な変化の終了が検出された後に一定時間以上継続してガス濃度の変動がないときに異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】呼気中の生体ガスを簡便かつ高感度に計測し、定量する方法及びその簡易型測定装置を提供する。
【解決手段】熱電式ガスセンサを用いて呼気中の生体ガス濃度を測定する方法であって、生体ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出することにより呼気中の生体ガス濃度を測定することからなる呼気中の生体ガス濃度測定方法、ヒトの呼気を採取し、該呼気中に含まれる水素又は一酸化炭素等の生体ガス濃度を定量測定する、前記の方法、及びその簡易型測定装置。
【効果】ヒトの呼気中の水素又は一酸化炭素等の生体ガスを高感度に高選択的に計測、測定する方法、及びその簡易型測定装置を提供し、被験者の病態生理学的な解析を簡便かつ高感度に行うことを可能とする新規診断手法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】電力供給開始後、速やかに水素濃度を正確に測定することが可能な接触燃焼式の水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】検知用素子１と補償用素子２とを具備する。検知用素子１への印加電圧を、通常状態と、この通常状態よりも印加電圧が高い高電圧状態とに切り替え可能な測定用回路を具備する。これにより、水素ガスセンサの起動時には、まず検知用素子１に高電圧状態の電圧を印加することで、検知用素子１を急加熱して速やかに検知用素子１の温度を上昇させ、次いで検知用素子１に通常状態の電圧を印加することにより、検知用素子１の温度を水素ガスが検知可能な所定の温度に維持することができる。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘ってガス選択性を有する半導体式ガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部２と、ガス感応部２を被覆する触媒層３とを備える半導体式ガス検知素子Ｒｓであって、触媒層３は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化セリウムからなる群から選択される少なくとも１種の金属酸化物を含む金属酸化物半導体に、セリウム、スズ、アルミニウム、ランタン、ニオブ、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、ネオジム、ガドリニウム、バナジウム、シリコン、マグネシウムからなる群から選択される少なくとも１種の金属元素を固溶させた金属複合酸化物を含有する。 （もっと読む）

【課題】 全体の小型化を図りつつ、測定対象ガスと酸化触媒との接触面積の増大及び酸化反応熱の伝達性を改善して測定感度及び測定精度の著しい向上を実現できる可燃性ガスセンサを提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板２の上面に、異種金属を接合してなるサーモパイル４が形成され、このサーモパイル４の温接点部４ａに、該温接点部４ａの平面に対して直交する縦向き姿勢で複数個のＰｔ担持のＣＮＴ６が互いに平行に並列に配置されている。各ＣＰｔ担持ＣＮＴ６の一端に取リ付けたチオール７の硫黄原子Ｓと絶縁膜５上に施した金メッキ８の金原子Ａｕとが結合してＣＮＴ−Ｒ−Ｓ−Ａｕの構造の成膜がなされ、このような構造の成膜によって、各Ｐｔ担持ＣＮＴ６をサーモパイル４の温接点部４ａに接続している。
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【課題】従来から、薄膜型ガスセンサを構成する梁部は、その薄膜化にともない梁部の耐久性が損なわれ、梁部に亀裂が入ってしまうか、損壊してしまうことがあった。梁部の亀裂はセンサとしての信頼性の悪化を招き、損壊に至るとセンサとして機能しないため、大きな問題であった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、支持基板１１に一端を接続してなる梁部２を有しており、この梁部２は、その先端部または中央部の第１の端面に比べ、支持基板１１に接する部分の第２の端面の方が大きい。このような構成にすることにより、梁部２と支持基板１１との強度が増す。これにより、ガスセンサとしての耐久性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 全体の低コスト化、小型化を図りつつ、周囲温度が変化しても、ドリフトを生じることなく、常に高精度な測定結果を得ることができる可燃性ガスセンサを提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板２の上面に二つのサーモパイル４Ａ，４Ｂが互いに近接して実装されており、それらサーモパイル４Ａ，４Ｂのうち、一方のサーモパイル４Ａの温接点部４ａには、測定対象ガスとの接触により酸化反応熱を発生するＰｔ６が担持されているものともに、他方のサーモパイル４Ｂの温接点部４ｂにはＰｔが担持されてなく、これら両サーモパイル４Ａ，４Ｂによる測定出力の差を演算するように構成している。
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【課題】複雑な演算を伴うことなく、還元性ガスを検出する。
【解決手段】ヒータコイル１２への電圧印加を電圧印加サイクルに従って１サイクル変化させた場合におけるセンサ素子１０の出力信号Ｖｓを取得する。この取得したセンサ素子１０の出力信号Ｖｓから極値出現時刻検知部２４によって極値出現時刻を取得する。ガス種特定部２５によって極値出現時間記憶部２３に記憶された還元性ガスのガス種毎の極値出現時間に対応した値と、極値出現時刻検知部２４が検知した最初の極値の出現時刻に対応した値とを比較して還元性ガスのガス種を特定する。 （もっと読む）