【課題】本発明は、新たな知見に基づき、低濃度の水素ガス検知が行える水素ガス検知センサー装置及び水素ガス検知方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガスセンサー素子９と、ガスセンサー素子９に接続されたインピーダンス測定装置１８と、を有する水素ガス検知センサー装置であって、インピーダンス測定装置１８が、ガスセンサー素子９に１ＫＨｚ未満の交流周波数の交流を印加可能であるとともに、ガスセンサー素子９の静電容量測定が可能であることを特徴とする水素ガス検知センサー装置１により、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】室温で動作し水素ガスに対する応答速度が速い水素ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素ガスの検知部となる酸化タングステン膜２と、前記酸化タングステン膜２の前記水素ガスと接触する側の面に設けられた一対の電極３と、前記酸化タングステン膜２の前記水素ガスと接触する側の面に間隔をあけて設けられ前記水素ガスを解離する触媒となる金属微粒子４とを有する水素ガスセンサとする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、校正ガスを蓄えるタンク設備を小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ガスが流れる計測対象装置と、該ガス中の水素濃度を計測する水素濃度計測器と、前記計測対象装置と前記水素濃度計測器とを接続する計測系統とを備えた水素濃度計測システムであって、前記水素濃度計測器の上流側から校正ガスを供給する校正ガス系統を備え、前記水素濃度計測器に供給された校正ガスは、前記水素濃度計測器の下流側から回収され、前記校正ガス系統へ戻されることを特徴とする。
【効果】本発明によれば、校正ガスを蓄えるタンク設備を小型化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被検出雰囲気の絶対湿度の影響を補正して可燃性ガスの検出精度を高めるとともに、部品点数を低減してコスト低減や生産性向上を図った可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】被検出雰囲気内に曝され、被検出雰囲気中の可燃性ガスの濃度に応じて温度が変化する１つの発熱抵抗体と、発熱抵抗体が所定温度に保たれるよう該発熱抵抗体を通電制御し、該発熱抵抗体の端子間電圧を検出するガス検出部１００と、可燃性ガスの濃度と端子間電圧との間の第１関係に基づき、端子間電圧から被検出雰囲気内の可燃性ガスの濃度をガス濃度算出値として算出する濃度算出手段３ａと、被検出雰囲気の温度を検出する主温度検出手段３ａ、５０と、ガス濃度算出値又は端子間電圧と、被検出雰囲気の温度との間の第２関係に基づき、主温度検出手段によって検出された温度からガス濃度算出値又は端子間電圧を補正する補正手段３ａと、を備えた可燃性ガス検出装置１である。 （もっと読む）

【課題】外部との接続端子部に加わる力による破損を防止し得るガスセンサ、及び耐熱性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。ここで、スペーサ４の溝４ｂの底面までの厚み（貫通孔４ａ深さ）は、外側に突出する電極ピン７ａ、８ａの長さよりも若干低くなるように設定され、電極ピン７ａ、８ａの先端部が、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に若干突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。そして、スペーサ４の各アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃを支える側の略全面を覆うように押さえ部材６を密着させ、スペーサ４と押さえ部材６により、前記アウトリードを挟み込むようにして保持している。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子への水の付着を低減することができるガスセンサを提供する。
【解決手段】筒型のハウジング２０内に形成されるガス検出室２５と、ハウジング２０の鉛直方向上部の開口を閉塞するベース部３０と、ベース部３０の鉛直方向下方に位置するように、ベース部３０に固定されるガス検出素子４０，４０と、ガス検出室２５に検査対象ガスを導入するガス導入口２４と、ベース部３０で結露した水を、ベース部３０から鉛直方向下方に導く結露水案内部材５０Ａと、を備えた。結露水案内部材５０Ａは、円筒体５１からなり、円筒体５１の鉛直方向下端がガス検出素子４０よりも下方に位置するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】実装する際の外部との配線の自由度を高めるとともに、外部との接続端子（アウトリードや電極ピン）に加わる力による破損を防止し得るガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。そしてこの電極ピン７ａ、８ａの先端部は、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。このアウトリード５ａ、５ｂ、５ｃは、スペーサ４の面に平行な方向に延出されると共にこの面と平行な方向に曲げ加工された折り曲げ部を少なくとも一ヶ所設けた構成である。そして、このアウトリードはスペーサ４の表面に形成された溝部４ｂ内に配置された構成である。 （もっと読む）

【課題】保持部材にかかる機械的応力や、ガスの燃焼による熱応力などにより、ガスセンサの検出素子は、損壊してしまっていた。
【解決手段】ガスのセンサ領域Ｒを円形または角部を有しない形状に形成する。また、薄膜熱感知体及びガス感知体を保持する保持部材の上部、中央領域に薄膜熱感知体、ガス感知体を設ける。また、保持部材には、薄膜熱感知体の搭載部を避けて、複数の貫通孔を分散して設ける。このような構成により、支持基板に熱応力や保持部材に機械的応力がかかっても、クラックなどによる損壊の発生を抑える効果が得られる。また、これによって、ガスセンサの寿命も向上する。 （もっと読む）

【課題】過度の発熱が起きず、検知感度の良いガス検知素子を提供する。
【解決手段】センサ領域Ｒ内に複数の梁部で構成する保持部材を、支持基板４１から延設して設ける。梁部に設ける薄膜熱感知体は、センサ領域Ｒの中心領域Ｂから外れた位置に複数設ける。それぞれの薄膜熱感知体は、センサ領域Ｒの中心点Ｃに対して点対称にしてもよく、中心点Ｃから等距離の位置にしてもよい。こうすることで、ガスの到来時に熱が集中せず、また、複数の薄膜熱感知体は同一形状、同一大きさにして熱容量が同一になるようにすれば、ガスの検知の際の感度特性や反応速度特性も向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガス検知素子の薄膜熱感知体の電気特性の劣化を防止し、検知精度を向上させると共に、長寿命を図る。
【解決手段】薄膜型ガスセンサにおいて、保持部材である梁部４３上に設ける薄膜熱感知体４６の両側に、ガス感知体４８を焼結する焼結用ヒータ５６，６６を薄膜熱感知体４６に近接して、平行に設ける。ガス感知体４８は、薄膜熱感知体４６と焼結用ヒータ５６，６６とに平面的に重なって設けており、焼結用ヒータ５６，６６でガス感知体４８を焼結する。また、薄膜熱感知体４６と焼結用ヒータ５６，６６とは、九十九折りの形状に形成することで、配設スペースを小さくすることができ、薄膜型ガスセンサ自体も小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜熱感知体に発生する熱応力を分散させて薄膜熱感知体を搭載する絶縁膜なる保持部材のクラック発生を防止する。
【解決手段】絶縁膜で構成する保持部材上に搭載する薄膜熱感知体４６を、湾曲した折り返し部Ｄを有する九十九折りのパターン形状に形成し、そのパターン幅ｗの断面を、両端に傾斜面４６ｄをもたせた台形形状に形成する。九十九折りの折り返し部やパターンの幅の両端部に直角や鋭角なる角部がなくなり、熱応力が分散して小さくなり、保持部材への熱の影響を抑制して、保持部材のクラック発生を抑える。 （もっと読む）

【課題】感応部の温度が変化しても水素濃度を正確に測定することができ、また酸素がない雰囲気下での検知が可能であると共に、水素検知の繰り返しによる劣化もなく、かつＨ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、ＣＯ_２などの被毒性ガスに対する耐性に優れる水素検知素子を提供する。
【解決手段】金属合金からなる感応部２と、感応部２の金属合金が水素を溶解することにより生じる電気抵抗変化を検出する電気抵抗検出部４と、感応部２の温度を検出する温度検出部５と、電気抵抗検出部４で検出された電気抵抗変化の検出信号を温度検出部５で検出された温度変化の検出信号で補正する補正部６とを備える。そして上記感応部２は、一定の水素圧力において温度上昇に伴い水素溶解量が減少し、且つ一定温度において水素溶解量と水素圧力の平方根が比例関係となる金属合金からなる。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム構造の薄膜ガスセンサにおけるガス選択性を、従来のものより向上させる。
【解決手段】感知層７を、第１層としてドナーとなる＋５価または＋６価の元素を添加したＳｎＯ２層９、その上の第２層として触媒となる元素を添加したＳｎＯ２層１０の、２層構造とするものは既に公知であるが、ガス選択性の点でいまだ不十分なので、この発明では、第２層１０における触媒添加量を１０ｗｔ％を超え６０ｗｔ％以下とすることにより、水素ガス選択性，メタンガス選択性ともに向上させる。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度範囲を限定することなく、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができるガス識別装置を提供する。
【解決手段】ガス識別装置は、識別対象となる可燃性ガスを第１ガスセンサ１０Ａ及び第２ガスセンサ１０Ｂに供給して、各ガスセンサ１０Ａ、１０Ｂの吸着燃焼時の出力を時系列的に取得する。これらの時系列的に取得した出力から、各ガスセンサ１０Ａ、１０Ｂのそれぞれにおける出力の積分値を算出する。これら算出した積分値の比を算出する。算出した積分値の比を、特定の可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報と比較して、吸着性の高い可燃性ガスを識別する。 （もっと読む）

【課題】、環境温度による影響を受け難いガス検知素子を提供する。
【解決手段】被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応部１２を備え、自己加熱可能なガス検知素子１であって、ガス拡散性と少なくともガス感応部１２が到達する温度に対する耐熱性とを有する保温部材１３で、ガス感応部１２を被覆してある。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化物半導体ガスセンサの製作時に、工程が複雑であるという問題を解決すると共に、高感度、高選択性、速い応答速度及び長期安定性のような優秀なガス反応特性を有する静電容量型環境有害ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による静電容量型環境有害ガスセンサは、絶縁基板と、前記絶縁基板の同一平面上に一体形に形成された金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線と、前記金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線上にコーティングされた酸化物感知層とを備え、これは、金属層を蒸着した後、金属電極とマイクロ薄膜ヒータ加熱線が互いにインタデジタルトランスデューサを成すように金属層をエッチングし、引き継いで、酸化物感知層を形成することによって製造される。このような静電容量型環境有害ガスセンサは、製造時に工程優秀性を確保することができ、高感度、高選択性、高安定性及び低電力の優秀な特性を有することができる。 （もっと読む）

【課題】高温側部と低温側部との分離が良好にでき、ノイズが少なくて精度がよく、要求される広範囲の濃度測定が可能な熱電式ガスセンサの提供を課題とする。
【解決手段】被検出ガス成分と触媒材６０との触媒反応によって発生した熱を、熱電素子４０による熱電変換効果により電気信号に変換し、この電気信号を検出信号として被検出ガスのガス濃度を検出するようにした熱電式ガスセンサであって、相互に空間的に隔離された２つのメンブレン１０、２０の一方に前記熱電素子４０の低温側部を設けると共に、他方のメンブレン２０には前記触媒材６０と前記熱電素子４０の高温側部とを設けることで、熱電素子４０を２つの隔離されたメンブレン１０、２０間にブリッジさせて配置した。 （もっと読む）

【課題】電気化学装置に用いられる電気化学セルが備える電解質膜にピンホールが発生したことを、他の故障と分離して精度よく検出する。
【解決手段】燃料電池システムは、電気化学装置としての単セルを積層した燃料電池スタックと、各単セルのセル抵抗を測定する抵抗センサと、各単セルのセル電圧を測定する電圧センサと、燃料電池システムを制御する制御ユニットとを備える。制御ユニットのＣＰＵは、各単セルのセル抵抗、および、セル電圧の各値を同期して順次取得し、セル抵抗の時間的変化率ΔＲ／Δｔ、および、セル電圧の時間的変化率ΔＶ／Δｔを、それぞれ算出する。そして、ＣＰＵは、ΔＲ／Δｔが正から負に変化し、かつ、ΔＶ／Δｔが負から正に変化した場合に、単セルが備える膜電極接合体の電解質膜にピンホールが発生したと判断する。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度測定や漏洩検知等に用いられ、被検出ガスが導入される検出空間３９を加熱するようにしたガス検出器１０において、性能をより一層向上させる。
【解決手段】ガス検出器１０において、検出空間３９内に配設されたガス検出素子６０の温度測定回路（図示せず）により、その検出空間３９内の温度（以下、検出空間温度）を測定するとともに、サーミスタ２８により、検出空間３９に導入される前の被検出ガスの温度（以下、導入前温度）を測定し、検出空間温度が少なくとも導入前温度以上となるように発熱体５０，５１の発熱量を制御することで、過剰な加熱を抑制して効率化を図るとともに検出空間３９内の温度を安定させる。これにより、省エネルギー性や検出精度がより一層向上する。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度測定や漏洩検知等に用いられるガス検出器において、耐久性と検出精度とを高いレベルで両立させる。
【解決手段】ガス検出器は、シリコン製半導体基板６１上に、発熱抵抗体７１と、その発熱抵抗体７１を内包するように形成される絶縁層６７とが少なくとも積層されたガス検出素子６０を備えており、可燃性ガスに応じて変化する発熱抵抗体７１の温度及び抵抗値に基づき、可燃性ガスを検出する。上記のガス検出素子６０において、可燃性ガスが含まれる環境中に接する最表面に、ガス不透過性の酸化膜からなる保護層６４を設ける。これにより、耐アルカリ性が確保されるとともに、保護層６４が不透過性を有することからその保護層６４に環境中の不純物（有機シリコン）が侵入することが抑制され、ひいては出力が安定し、かつ正確なものとなる。 （もっと読む）