【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】 比較的製造が容易で、信頼性が高く高感度で長寿命の接触燃焼式ガスセンサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 相互に熱隔離した検知素子１及び参照素子２を対にして備える接触燃焼式ガスセンサにおいて、検知素子１は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を混合した反応膜１ａを備え、参照素子２は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を含まず前記反応膜１ａと熱容量が等しい非反応膜２ａを備え、検知素子１及び参照素子２に、各々の電極線４に繋がる端子５を備える接触燃焼式ガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】水素濃度を測定するガス濃度測定装置において、水素濃度の測定精度の低下を抑制する。
【解決手段】燃料ガスに含まれる水素のガス濃度を測定するガス濃度測定装置であって、燃料ガスの温度を検知する温度検知部として機能する温度補償抵抗体４４と、通電されて発熱する発熱部として機能する加温抵抗体４３と、加温抵抗体４３の温度が温度補償抵抗体４４の温度よりも一定温度高くなるように、加温抵抗体４３への通電量を制御する測定用制御回路５１と、温度補償抵抗体４４および加温抵抗体４３それぞれを収容する収容室４１ａが内部に形成された収容部４１と、水素流路１０４ａを流れる燃料ガスを収容室４１ａへと導く細孔部４１ｂと、を備え、細孔部４１ｂは、その流路断面積が水素流路１０４ａの流路断面積および収容室４１ａの流路断面積よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】放熱特性がよく、組み立て精度に優れ、低コスト化したガスセンサを提供しようとすること。
【解決手段】マウントベース２には一対の電極ピン５と、一対の電極ピン６がピンステイ３、４を介して植立固定されている。電極ピン５には、例えば、検知素子（感ガス素子）７が固定され、電極ピン６には例えば、補償素子８が固定されている。キャップ１には、検知素子７と補償素子８の間に配置され、相互の断熱をするための熱遮蔽板１ａが設けられている。そして、この熱遮蔽板１ａが設けられたキャップ１をマウントベース２の上方より被せて固定してガスセンサが構成される。熱遮蔽板１ａはキャップ１に設けられているため、キャップ１と接触状態にある。 （もっと読む）

【課題】水素濃度測定装置において、測定対象ガスの組成である湿度の変化による測定誤差を補正して高精度な水素濃度測定を実現する。
【解決手段】原子力発電所の水素と酸素との再結合器の出口から取得したサンプリングガス１を流すサンプリングライン２に水素濃度測定器１２の水素濃度検出器７を設置し、その設置位置の上流側に酸素濃度測定器１１の酸素濃度検出器５と圧力測定器１０の圧力検出器４と湿度測定器９の湿度検出器３とを設置し、各測定器による測定結果が補正演算部１３に入力されるようにし、その補正演算部１３で、酸素濃度と圧力と湿度に対する水素濃度の補正値との相関から各測定結果に対応した水素濃度測定値の補正値を測定した水素濃度測定結果に加減して水素濃度測定の精度を向上する。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度が低い場合であっても検知感度が高く、且つ応答性に優れ、更にケイ素化合物等の被毒物質により被毒されにくい接触燃焼式ガスセンサ用の検知用素子を提供する
【解決手段】本発明に係る検知用素子１は、測温抵抗体と触媒燃焼体２とを備える。前記触媒燃焼体２が可燃性ガスの燃焼反応を促進する触媒活性を有する。前記触媒燃焼体２上で可燃性ガスが燃焼するとそれにより生じる熱で前記測温抵抗体が加熱されて前記測温抵抗体の電気抵抗値が変化する。この電気抵抗値の変化によって前記可燃性ガスが検知される。前記触媒燃焼体２が、樹枝状又はひげ状の電着物から構成される。 （もっと読む）

【課題】電解質膜を一対の電極で狭持した電気化学セルの反応ガスのガス濃度を測定するガス濃度測定装置において、ガス濃度の測定精度の向上を図る。
【解決手段】ガス濃度測定装置の演算装置４５にて、電気化学セルの出力信号に発生させる交流信号の周波数を高周波から低周波へと変化させた際に、高周波側の交流インピーダンスＺの実数部および虚数部がなす円弧状の軌跡の頂部に達したときの周波数を基準周波数ｆｏに設定する。そして、設定した基準周波数ｆｏにおける交流インピーダンスＺｏから電気化学セル１０の内部の乾燥に起因する抵抗成分の変化量ΔＺを算出し、算出した抵抗成分の変化量ΔＺに基づいて、基準周波数ｆｏよりも低い低周波帯域における交流インピーダンスを補正する。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】複数の発熱抵抗体を有する可燃性ガス検出装置において、発熱抵抗体の異常の検知精度を向上させる。
【解決手段】通常動作期間（０〜Ｔ１，Ｔ３〜Ｔ１’）は、第１発熱抵抗体３４１を使用して、被検出雰囲気の可燃性ガスのガス濃度Ｘ１を検出し、判定動作期間（Ｔ１〜Ｔ３，Ｔ１’〜Ｔ３’）だけ、第２発熱抵抗体３４２も使用してガス濃度Ｘ２を検出し、両検出結果Ｘ１，Ｘ２を比較することで、第１発熱抵抗体３４１の異常の有無を判定する。しかも、通常動作期間では、第１発熱抵抗体３４１のみ通電し、判定動作期間では、第１発熱抵抗体３４１および第２発熱抵抗体３４２を、一方への通電時には他方が非通電（通電停止）となるように、交互に通電制御を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定ができるガスセンサを提案する。
【解決手段】ガスセンサ１００は、外界雰囲気の検知量を検知する検知用感温素子１０と、温度補償する参照用感温素子２０と、検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０を作動温度に加熱するヒータ３０とを有する検出部５０と、検出部５０が形成される基板６０とを備える。検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０は、ヒータ３０を介して逆側の位置に形成されており、検知用感温素子１０は、検出部５０が外界雰囲気に面する側に形成されており、参照用感温素子２０は、検出部５０が基板６０に面する側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高湿度環境で湿度（水分子）の影響を受けずに使用可能な応答性が良好な熱伝導式水素ガスセンサを実現する。
【解決手段】参照ガスが流れる第１室と試料ガスが流れる第２室を有する恒温ベースと、前記第１室に配置され前記参照ガスに関連する抵抗値を検出する参照側抵抗体と、前記第２室に配置され前記試料ガスの濃度に関連する抵抗値を検出する試料側抵抗体からなり、前記恒温ベースは前記参照側抵抗体と前記試料側抵抗体の温度を所定の温度に維持するような温度に制御され、前記参照側抵抗体と前記試料側抵抗体の抵抗値の差に基づいて試料ガスの濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】パラジウム等のレアメタルを使用せずに、安定的に供給可能な安価な材料を用いて、高感度で応答が速い水素ガスセンサーに供する素子を提供することを目的とする。さらに、本発明は、高感度のセンサー素子を提供することで、小型化された水素ガスセンサーも提供する。
【解決手段】所定距離離間して略平行に配置された板状の第１集電極１０および第２集電極３０の間に、複数本のカーボンナノチューブ２２が配設され、これら複数本のカーボンナノチューブ２２は、隣り合うカーボンナノチューブ２２間を水素ガス４０が流通可能に相互に離間し、第１集電極面１０ａおよび第２集電極面１０ｂそれぞれに対して略垂直に立設し、かつ、該第１集電極１０および該第２集電極３０と電気的に接続されていることを特徴とする水素ガスセンサー用素子。 （もっと読む）

【課題】 通電により加熱された状態で検知対象ガスに感応するガス感応素子を有するガスセンサを具えてなるものにおいて、電源投入後、ガス濃度測定を行うことのできる状態を早期に得ることのできるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 前記ガスセンサを具えたガス検知器において、ガスセンサの起動時にゼロガスが導入されている状態において、センサ出力値が対数関数的に経時的に変化する特定の時間範囲内で選ばれた２つの測定時の各々においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値に基づいて、前記特定の時間範囲内におけるいずれかの測定時を出力補正対象測定時として当該出力補正対象測定時におけるセンサ出力値を予測して、これを補正用出力値として取得し、この補正用出力値に基づいて、前記出力補正対象測定時においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値を補正する機能を有する出力補正機構を具えてなる。 （もっと読む）

【課題】熱伝導度検出器を用いて、被測定水中に水素とその他の気体が共存する場合であっても、水中に溶存する水素の濃度を正確に、測定する。隔膜型ポーラロ式水素濃度計の管理上の問題点を解消する。
【解決手段】流路と、流路内の水中の溶存水素を除去する水素除去部と、水中の溶存気体による熱伝導度の変化を検出し電気信号に変換する１又は複数の熱伝導度検出器と、水素除去部通過前の水中の溶存気体による熱伝導度の変化を熱伝導度検出器で変換した電気信号及び水素除去部通過後の水中の溶存気体による熱伝導度の変化を熱伝導度検出器で変換した電気信号に基づいて、水中の溶存水素濃度を算出する溶存水素濃度算出手段と、を有する溶存水素濃度測定装置。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサが設けられるセンサブロック内に湿度センサを設けることなく、当該ガスセンサにより得られる可燃性ガス濃度を湿度補正して測定誤差を可及的に低減する。
【解決手段】外部配管Ｚ１に設けた第１温度測定部４及び湿度測定部６と、センサブロック２２内に設けた第２温度測定部５を用いてセンサブロック２２内の測定対象ガスの相対湿度ＲＨ_Ｔを算出し、当該算出した相対湿度ＲＨ_Ｔを用いて可燃性ガス濃度を補正する。 （もっと読む）

【課題】フッ化水素の吸着材が破過する前であることを事前に検知することが可能なフッ化水素含有ガスの検知装置、処理装置及び検知方法を提供する。
【解決手段】ＨＦ含有ガスの検知装置１４Ａは、配管１２内に設けられる絶縁部２１と、配管１２内に設けられる第一の導電部２４と、第一の導電部２４に絶縁部２１を介して設けられる第二の導電部２５と、第一の導電部２４と第二の導電部２５との間に接続された電流計２３とを有し、絶縁部２１は第一の導電部２４と第二の導電部２５との間に設けられている。第二の導電部２５には所定間隔を持った４つのスリット２６が設けられている。ＨＦ含有ガスへの曝露によって絶縁部２１が劣化して孔が生じると第一の導電部２４と第二の導電部２５の間に電気的導通が発生し、電流計２３によって検知される。予め、吸着材１５の破過と絶縁部２１の劣化に関する時間的相関を求めておく事で前記破過の事前検知を行う。 （もっと読む）

【課題】起動直後から出力が安定するガスセンサを提供する。
【解決手段】ガス検出素子１１及び補償素子１２を有する第１直列辺１０と、第１抵抗素子２１及び第２抵抗素子２２を有する第２直列辺２０と、を含み、第１直列辺１０の両端と第２直列辺２０の両端とがそれぞれ接続され入力端子Ｔ１、Ｔ２が構成され、ガス検出素子１１及び補償素子１２の間の第１中間点と第１抵抗素子２１及び第２抵抗素子２２の間の第２中間点とがそれぞれ出力端子Ｔ３、Ｔ４である、ガス検出用のブリッジ回路Ｂと、ブリッジ回路Ｂから出力されるブリッジ回路Ｂの電圧Ｖ_ＯＵＴを補正する補正手段と、を備える接触燃焼式の水素センサ１であって、ガス検出素子１１は、ガスを燃焼させる酸化触媒１１ｃを含む触媒抵抗体で構成され、補正手段は、ブリッジ回路Ｂへの通電開始から所定時間が経過するまで、触媒抵抗体の抵抗値に基づいて、前記ブリッジ回路Ｂの電圧Ｖ_ＯＵＴを補正する。 （もっと読む）

【課題】気体感応型の半導体装置を、補償の手間を少なくする、簡単で確実な信号形成および信号評価に関して改良する。
【解決手段】ゲート電極、および／または、このゲート電極を半導体チャネルから絶縁するゲート絶縁層、および／または、ゲート電極と半導体チャネルとの間に設けられるゲートスタック層が２つの面セクションを有し、この２つの面セクションは、複数の気体に対して異なる感度を有する。 （もっと読む）

【課題】外部との接続端子部を保護し、接続端子部に加わる力による破損を防止し得る構造のガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。そして、スペーサ４の各アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃを支える側の略全面を覆うように押さえ部材６を密着させ、スペーサ４と押さえ部材６により、前記アウトリードを挟み込むようにして保持している。スペーサ４上に押さえ部材６を重ねて配置した後、バネ性ホルダ１２の各押さえ部材係止片１２ｂの先端部の両側に形成された係止片部１２ｂ_１を折り曲げ、押さえ部材６の背面にそれが当接し、各押さえ部材係止片１２ｂのバネ力によって、押さえ部材６をスペーサ４に押圧して強固に保持する。 （もっと読む）

【課題】酸素を含有する空気中で、低濃度の水素を検出可能な水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】板状の圧電体１１、圧電体１１の表面の一部に配置されたパラジウム―プラチナ合金からなる薄膜状のガス感応部３２、及びガス感応部３２に接するガスの水素濃度に依存するガス感応部３２の物性の変化を検出する検出部として機能する櫛歯状の電極２２を備える水素ガスセンサを提供する。 （もっと読む）