【課題】可燃性ガスの濃度測定や漏洩検知等に用いられるガス検出器において、耐久性と検出精度とを高いレベルで両立させる。
【解決手段】ガス検出器は、シリコン製半導体基板６１上に、発熱抵抗体７１と、その発熱抵抗体７１を内包するように形成される絶縁層６７とが少なくとも積層されたガス検出素子６０を備えており、可燃性ガスに応じて変化する発熱抵抗体７１の温度及び抵抗値に基づき、可燃性ガスを検出する。上記のガス検出素子６０において、可燃性ガスが含まれる環境中に接する最表面に、ガス不透過性の酸化膜からなる保護層６４を設ける。これにより、耐アルカリ性が確保されるとともに、保護層６４が不透過性を有することからその保護層６４に環境中の不純物（有機シリコン）が侵入することが抑制され、ひいては出力が安定し、かつ正確なものとなる。 （もっと読む）

【課題】 熱容量が小さい煤検出センサを提供すること。
【解決手段】 煤検出センサ１００は、表層部に溝１４を有する基板１２と、その基板１２に梁部１６ｂを介して支持されているとともに前記溝１４上に配置されている検出部１６ａと、その検出部１６ａに設けられているとともに間隔を置いて配置されている一対の検出電極２４ａ，２４ｂと、その検出部１６ａに設けられているとともに前記間隔に配置されている導電性配線３２を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも単純な構造でガス検出部への水分の浸入を防止して水による異常作動を防ぐことができるガスセンサを提供すること。
【解決手段】外部からガス導入用開口部２Ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室２Ａを有するセンサ筐体２と、ガス検出室２Ａ内に配置され、被検知ガスの濃度を検出するためのセンサ素子４と、ガス導入用開口部２Ｂに設けられたフィルタ６とを備え、フィルタ６は、防爆性および防水性を有するフィルタである。 （もっと読む）

【課題】被毒量の検出精度を向上させることが可能なガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガスセンサ装置１は、接触燃焼式ガスセンサ２１の一部である基準領域が有極性ガスを燃焼させる燃焼温度以上となるように、接触燃焼式ガスセンサ２１に基準電圧を印加し、この電圧印加によって駆動させられた接触燃焼式ガスセンサ２１からの出力を取得する。また、ガス検出装置１は、接触燃焼式ガスセンサ２１の基準領域を含む拡大領域が有極性ガスを燃焼させる燃焼温度以上となるように、接触燃焼式ガスセンサ２１に基準電圧よりも高い電圧を印加し、この電圧印加によって駆動させられた接触燃焼式ガスセンサからの出力を取得する。被毒量検出部１４は、このようにして取得された２つの出力に基づいて、基準領域における被毒量を検出する。 （もっと読む）

【課題】駆動回路及び消費電力の増加を抑制しつつも、ガスを解析することが可能なガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガスセンサ装置１の接触燃焼式ガスセンサ２１は、第１の触媒が塗布された第１領域３１、及び、第１領域３１の外側において第１の触媒とガスに対する反応が異なる第２の触媒が塗布された第２領域３２を有している。そして、ガス検出装置１は、第１の触媒が塗布された第１領域３１を燃焼させた後、第２触媒が塗布された第２領域３２を燃焼させて、同一の燃焼式ガスセンサ２１から２つの出力電圧を取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、熱応力変形に強い接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】支持基台２２に設けられた陥没部２７と、ダイアフラムＤと、を連結し、ダイアフラムＤを支持する複数のブリッジ１４のうち、電極端子１３への電圧の印加に応じてヒータ素子２６からの熱を第二ブリッジ１４Ｂに伝導するダミー部材Ｃを第二ブリッジ１４Ｂに搭載することにより、第一ブリッジ１４Ａと第二ブリッジ１４Ｂの膜構成の違いによる応力のバランスを緩和できる。また、電極端子１３に電圧を印加すると、ヒータ素子２６が加熱し第一ブリッジ１４Ａ及び、第二ブリッジ１４Ｂに伝達する熱を均等化することにより、経時変化によるブリッジ１４の反りやねじれ等の歪みによる破損を緩和できる。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの加熱クリーニングの条件をより適切な条件に自動更新させて行く。
【解決手段】加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、第１の湿度センサおよび第２の湿度センサの加熱クリーニングを行う。何れかの湿度センサが加熱クリーニングを終了した後、今回加熱された側の湿度センサからの加熱後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件（加熱間隔、加熱時間、加熱温度など）を変更する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い湿度の連続計測を可能とする。寿命を短くすることなく計測値の精度を高める。
【解決手段】加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、第１の湿度センサおよび第２の湿度センサの加熱クリーニングを行う。第１の湿度センサを加熱クリーニングすると（例えば、ｔ５点）、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサを計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサからの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサからの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。第２の湿度センサを加熱クリーニングした場合も同様にして実測値の切り替えを行う。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの残りの寿命を適確に予測する。
【解決手段】残り寿命確認スイッチＳＷ１を設ける。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、下記の（Ａ）式に従って、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、標準加熱周期Ｔｓと、標準加熱時間ｔｓと、耐用期間Ｔｔｌｕとから、下記の（Ｂ）式に従って残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めるようにしてもよい。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ） （もっと読む）

【課題】どのような環境に設置された湿度センサでもその劣化を診断することができるようにする。
【解決手段】加熱クリーニングの終了後の湿度計測値Ｐを初期値Ｐ０として記憶する。加熱クリーニングを行う毎に、加熱クリーニングの終了後の湿度計測値Ｐと初期値Ｐ０との偏差ΔＰ（ΔＰ＝｜Ｐ−Ｐ０｜）を求め、この偏差ΔＰが閾値ΔＰｔｈよりも大きくなった場合に、湿度センサの劣化と判定する。洗浄クリーニングを行う場合にも同様にして湿度センサの劣化を判定することができる。閾値ΔＰｔｈに代えて許容湿度範囲Ｗを用いたりしてもよい。 （もっと読む）

【課題】軽量小型で、防爆性を有する可燃性ガスセンサを実現することのできる技術を提供する。
【解決手段】可燃性ガスセンサＧＳ１は、センサチップ１と、センサチップ１を搭載するステム２と、上部と側部とを有し、側部の最下部がステム２の外周と溶接された金属キャップ６とを含み、ステム２と金属キャップ６とによってセンサチップ１を囲んでいる。金属キャップ６の上部には、例えば直径が０．５〜３ｍｍの穴８が形成されており、金属キャップ６の内側にその穴８を覆う、例えば穴径が１〜４μｍ、厚さが０．３〜１ｍｍの防水透湿性素材９が断熱材１０によりかしめている。 （もっと読む）

【課題】ユーザ側での湿度センサの交換を簡単かつ安価に行えるようにする。
【解決手段】キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２を設ける。キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされると、ヒータ３への通電を行って、湿度センサ１を加熱する。この湿度センサ１の加熱中、湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１に基づいて、湿度センサ１の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に対してオフセット調整処理を施す。湿度センサ２についても同様にして、低湿度基準値を不揮発性のメモリ８−４に記憶させ、その基準値を用いてオフセット調整処理を施す。 （もっと読む）

【課題】ガス検出室内のオフガスに生じる、半径方向の温度差を小さくし、オフガスを加熱するヒータの消費電力を抑えるとともに、ガス検出室内でのオフガスの結露を好適に防止する水素センサを提供することを課題とする。
【解決手段】ガス検出室２５を形成する有底の円筒型のケース２０の開口部を閉塞するベース部３３に縁部３３ａを形成し、ベース部３３を、縁部３３ａを介して結露防止ヒータ５１で加熱する。そして、ガス検出室２５内のオフガスを、ケース２０の半径方向の温度差を生じないように、ベース部３３で加熱する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子において結露を防止するガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスを検出するガス検出素子３１と、ガスが取り込まれるガス検出室２５を有すると共に、その内壁面に取り付けられたガス検出素子３１を収容する素子収容部と、素子収容部の内外へガスを通流させるガス通流部４３と、ガス検出室２５の内壁面に沿って設けられ、ガス検出室２５内を加熱するヒータ５１と、を備える水素センサ１であって、ガス検出素子３１とガス通流部４３との間にガス検出素子３１へガスを通流させる通流孔６１ａを有し、ガス通流部４３を通過したガスが、ガス検出素子３１に直接当たることを阻止する阻止部材６１を備えることを特徴とする水素センサ１である。 （もっと読む）

【課題】センサ間の熱による悪影響を防止し、各センサから安定した出力を得ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ファン１６を駆動してドライバから吐き出された呼気を、ハウジング１４の円柱面状の空洞と軸を同一とする円柱状の支柱１８と、ハウジング１４の内面との間に形成された流路２０へ導入する。各種センサは、検出面を流路２０に露出するように、検出面が支柱１８の軸の方向（呼気の流入方向）と平行になるように設けられ、かつ加熱温度特性の異なるセンサは支柱１８を挟んで対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】プラチナ膜をゲート電極に使用するＳｉ−ＭＯＳＦＥＴ型の水素ガスセンサにおいて、プラチナとゲート絶縁膜（酸化シリコン膜）との密着性を維持しつつ、高濃度の水素ガスにさらされても水素被毒を抑制できる特徴をもち、かつ、パラジウム膜をゲート電極に使用するＳｉ−ＭＯＳＦＥＴ型の水素ガスセンサと同程度以上の水素応答強度を実現するデバイス構造を提供する。
【解決手段】ゲート構造において、プラチナ微結晶５間の結晶粒界６（粒界近傍領域７を含む）に酸素をドープした非晶質のチタン、プラチナ−チタン拡散層からなるＰｔ−Ｔｉ−Ｏ領域を形成した構造とする。さらに、結晶粒界６にＰｔ−Ｔｉ−Ｏ領域を有するプラチナ微結晶５の下に、酸素ドープチタン膜３(酸素をドープした非晶質のチタン、非晶質酸化チタン、または、酸化チタン微結晶が混じり合った膜)を形成した構造とする。 （もっと読む）

【課題】濃度補正にあたり、有極性ガスの濃度検出を中断することなく校正作業の煩雑さを軽減することが可能なガス検出装置及び経年変化補正方法を提供する。
【解決手段】ガスセンサ装置１においてセンサ駆動制御部１１は、接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させる高温制御と、接触燃焼式ガスセンサ２１を低温駆動させる低温制御とを繰り返し行う。劣化判断部１５は、算出された濃度が所定濃度以下である場合に、低温制御中における接触燃焼式ガスセンサ２１の出力電圧と、高温制御中における接触燃焼式ガスセンサ２１の出力電圧との出力差分から、接触燃焼式ガスセンサ２１の劣化状態を判断する。 （もっと読む）

【課題】ガス検出部への水分の浸入を防止することができるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガス検出部（１４）を覆う疎水性の第１の膜（１６）と、前記第１の膜（１６）の隣に設けられた、親水性の第２の膜（１７）または吸水性の第３の膜（１８）とを備えている。本発明によれば、ガスセンサの使用時、不使用時共に、水分がガス検出部に浸入・接触しない構造を有する耐水性の優れたガスセンサを実現でき、湿潤雰囲気中にセンサオフの状態で長時間置いた後でも、センサオン時に速やかに正常なガス検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】有極性ガスの濃度に拘わらず、ガス種を特定することが可能なガス検出装置及びガス種特定方法を提供する。
【解決手段】ガスセンサ装置１においてセンサ駆動制御部１１は、接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させる高温制御と、接触燃焼式ガスセンサ２１を低温駆動させる低温制御とを繰り返し行う。ガス種特定部１４は、接触燃焼式ガスセンサ２１の出力に基づいて有極性ガスの種類を特定する。ここで、センサ駆動制御部１１は、所定の時間長だけ低温制御を行う基準期間と、基準期間と異なる時間長だけ低温制御を行う参照期間において、接触燃焼式ガスセンサ２１を低温駆動させ、ガス種特定部１４は、基準期間直後に高温制御された接触燃焼式ガスセンサ２１の出力に対する、参照期間直後に高温制御された接触燃焼式ガスセンサ２１の出力に基づく比率値を求め、求めた比率値からガス種を特定する。 （もっと読む）

【課題】高い精度で煤の検出を行うことができる煤検出装置を提供すること。
【解決手段】煤検出装置１では、触媒反応層２１及び第１電極９に煤を侵入可能とするとともに、煤制限層２７によって第２電極１１に煤が到らないようにしている。よって、３００℃〜５５０℃の温度に制御して、第１電極−酸素イオン導電体界面にて（混合電位反応によって）煤を燃焼させることにより、両電極９、１１間に発生する起電力によって、被測定ガス中の煤濃度を検出することができる。また、第１電極−酸素イオン導電体界面にて煤を燃焼させるので、被測定ガスの流速等の影響を受け難く、精度良く煤濃度を検出することができる。 （もっと読む）