【課題】電極間で生じるエレクトロケミカルマイグレーションの評価を行う。
【解決手段】電極２間のインピーダンスを測定し、電極２のアノード及びカソードの電荷移動を考慮した等価回路モデルに基づいて、エレクトロケミカルマイグレーション（ＥＣＭ）の評価を行う。ＥＣＭ評価システム１は、ＥＣＭが評価される電極２を格納する恒温恒湿器３と、電極２間に電圧を印加する電源装置４と、電極２間に流れる電流を計測し、計測結果に基づいて電極２間のインピーダンスを算出するインピーダンス算出手段５、及びインピーダンスの算出結果に基づいて電極２間のＥＣＭ評価を行う評価手段６と、電極２の表面を撮影する撮像装置７より構成される。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上するガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】設置対象物２１に取り付けることにより検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板であって、第１主面２ａ、および第１主面２ａの反対側に位置しておりかつ設置対象物２１に取り付けられるべき第２主面２ｂを有する基体２と、基体２の第１主面２ａに設けられており、かつ検出対象ガスに対して活性であるガス感応体４を載置するための載置部３と、を備える。 （もっと読む）

【構成】 Si基板に設けたキャビティ上に絶縁膜からなる架橋部を設け、架橋部にヒータと感ガス膜とを設ける。架橋部を貫通するホールを設け、感ガス膜が架橋部の表面とホールの少なくとも一部、及び架橋部の周縁を覆い、ヒータがホールを取り巻くようにする。
【効果】 感ガス膜の周囲雰囲気への接触面積を増すことができる。 （もっと読む）

【構成】 Si基板の空洞を架橋するように脚により支持された架橋部に、下層の第１層パターンと上層の第２層パターンとから成るヒータパターンを設ける。第１層パターンと第２層パターンとの間に中間絶縁膜が有り、第１層パターンと第２層パターンは、中間絶縁膜が無い部分で、電気的に直列に接続されている。第１層パターンの一端と第２層パターンの一端とが、Si基板上で第１及び第２のパッドに接続されている。
【効果】 ヒータ抵抗を約２倍にできる。 （もっと読む）

【課題】連続したガス検出ができるとともに、検出対象ガスの濃度によらず接触燃焼式ガスセンサの劣化度合を正確に把握できるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、感応素子を備える接触燃焼式ガスセンサ１５を有しており、感応素子の温度が検出対象ガスを燃焼する高温にされた後に、前記感応素子の温度を、互いに異なる複数の低温駆動時間の中から選択される１つの前記低温駆動時間にわたって、検出対象ガスを燃焼しない低温にして、続いて、高温駆動時間にわたって前記高温にする。そして、感応素子の温度が高温にされる毎に、接触燃焼式ガスセンサ１５の出力を測定する。そして、互いに異なる低温駆動時間が選択されたそれぞれの場合に測定された複数の接触燃焼式ガスセンサ１５の出力に基づいて、低温駆動時間に対する接触燃焼式ガスセンサ１５の出力の傾きを算出する。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガスセンサの劣化が進んだ場合においても、ガス検出の精度の悪化を防止できるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、接触燃焼式ガスセンサ１５において、検出対象ガスを接触燃焼させたときの出力である接触燃焼出力を用いて算出したガス検出値に基づいて、検出対象ガスを検知する。また、検出対象ガスの劣化度合を検出するとともに、検出対象ガスの濃度を予備的に検出して、そして、これら検出した劣化度合と、予備的に検出した濃度と、接触燃焼式ガスセンサ１５の劣化度合、検出対象ガスの濃度、及び、接触燃焼式ガスセンサの非劣化時のガス検出値と劣化時のガス検出値との差分が最も小さくなる低温駆動時間、の関係を示す低温駆動時間関係情報と、に基づいて、検出対象ガスを接触燃焼させるときに用いられる低温駆動時間を設定する。 （もっと読む）

【課題】ダミー部材に接触している測定対象物の濡れを測定可能な濡れセンサ等を提供する。
【解決手段】濡れセンサ１１０は、生物の少なくとも一部の形状を模し、測定対象物９９に接触し、接触した前記測定対象物９９に対して液体を吐出するダミー部材１１１と、前記ダミー部材１１１に形成され、前記測定対象物９９に接触し、前記ダミー部材１１１によって前記液体が吐出された前記測定対象物９９の濡れを測定するための一対の電極１１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来用いられている湿度センサーは、劣化したことを検知することができないため、誤った湿度を算出し続けてしまう。また、補正機能を有する湿度センサーも、湿度センサーを補正している間、湿度の測定ができないという問題があった。
【解決手段】そこで、本件発明では、水蒸気を感知することで自身の電気容量が変化する感湿電極と、感湿電極と同一の材料で感湿電極と同一雰囲気下に存在する基準電極と、からなる感湿素子と、感湿電極から容量値を取得する感湿電極容量値取得部と、取得した容量値から湿度を演算する湿度演算部と、湿度演算部が演算した湿度を出力する湿度出力部と、基準電極から容量値を取得する基準電極容量値取得部と、基準容量値を記憶する基準容量値記憶部と、取得した容量値と基準容量値記憶部に記憶されている基準容量値を比較する容量変化比較部と、比較結果を出力する比較結果出力部と、からなる容量式湿度センサーを提供する。 （もっと読む）

【課題】高感度、長寿命という優れた特徴を有するガス感知体を、さらには、ガス選択性を容易に付与することが可能なガス感知体を、容易に製造することができるガス感知体の製造方法及びガス感知体並びにガスセンサを提供する。
【解決手段】本発明のガス感知体の製造方法は、半導体微粒子を含む分散液から分散媒を除去することにより、未焼結状態の半導体微粒子堆積物を生成し、次いで、この半導体微粒子堆積物に絶縁性物質形成成分を含む溶液を浸透させて絶縁性物質形成成分から絶縁性物質を生成させ、半導体微粒子及び絶縁性物質を含むガス感知体を得る。 （もっと読む）

【目的】検出部以外の部位へのＰＭの堆積を抑制して信頼性の高いパティキュレート検出センサを提供する。
【解決手段】少なくとも被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極１１、１２を形成した検出部１００と、検出部１００を所定の温度に加熱する発熱体１４０とからなるパティキュレート検出素子１０を具備し、検出部１００に堆積した導電性微粒子ＰＭの量に応じて変化する電気抵抗を測定して被測定ガス中のＰＭ濃度を検出するパティキュレート検出センサ１において、パティキュレート検出素子１０の検出部以外の被測定ガス３０１に晒される部位における被測定ガスの温度Ｔ_２を検出部１００における被測定ガス３００の温度Ｔ_１より高くして熱的な壁を形成する熱壁形成手段として第２の発熱体１４１及び、隔壁３２０を具備する。 （もっと読む）

【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれるＰＭの濃度を検出するパティキュレート検出素子であって、発熱体によって加熱できない非加熱領域へのＰＭの堆積を抑制すると共に、再生時の加熱時間を短くして、又は、加熱温度を低くして耐久性を向上させた信頼性の高いパティキュレート検出素子を提供する。
【解決手段】被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極１１、１２を設けた検出部１００と、検出部１００を所定の温度に加熱する発熱体１４０とを具備し、被測定ガス６００中の導電性微粒子ＰＭの濃度を検出するパティキュレート検出素子１０において、被測定ガス６００に晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子ＰＭを酸化可能な触媒層２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】イオン濃度の高い特定の液体の漏れをイオン濃度の低い液体と区別して確実にしかも素早く検出する。
【解決手段】第１の電極Ｄ１と、前記第１の電極Ｄ１と所定距離の間隙をおいて設けられる第２の電極Ｄ２と、前記第１の電極Ｄ１と前記第２の電極Ｄ２との間に電流制限抵抗器を介してステップ波形の電圧を印加する電圧印加手段である電圧発生部１２と、前記第１の電極Ｄ１と前記第２の電極Ｄ２との間の電位を経時的に検出する電位検出手段である検出部１３と、検出部１３により検出される電位に基づき特定の液体の漏れを判定する判定手段２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式ガスセンサの感応素子及び補償素子における温度上昇特性の差異によって生じる誤差電位差を小さくして、検出対象ガスの検出感度を向上できるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、吸着燃焼式ガスセンサ回路部１０、並びに、複数の比較回路部２０、を含むブリッジ回路２を備える。ブリッジ回路２には、複数の比較回路部２０のうち１つの比較回路部２０を増幅器６に接続する比較回路部切換器５０が設けられ、そして、吸着燃焼式ガスセンサ回路部１０が備える感応素子及び補償素子の温度が上昇する過渡期間において、所定の比較回路部切換情報に基づき、複数の比較回路部２０のうち、感応素子と補償素子との温度上昇特性の差異により生じるブリッジ回路２の誤差電位差が最も小さくなる比較回路部２０が増幅器６に接続されるように、比較回路部切換器５０を制御する。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式ガスセンサに対する外風の影響を回避して、検出精度の低下を防止できるガス検出装置及びガス検出方法を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、吸着燃焼式ガスセンサの感応素子と複数の固定抵抗器とで構成される、感応素子の温度が上昇する過渡期間における所定の計測タイミングで平衡状態となる、ブリッジ回路２を備える。そして、ガス検出装置１は、感応素子の温度を所定のガス吸着期間低温にしたのちに高温に上昇させて、前記計測タイミングでのブリッジ回路２における中点電位差を濃度電位差として計測し、感応素子に吸着した検出対象ガスが燃焼したあと、感応素子の温度を所定のガス非吸着期間低温にしたのちに高温に上昇させて、前記計測タイミングでの前記中点電位差をベース電位差として計測し、これら濃度電位差とベース電位差とに基づいて、検出対象ガスを検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、このような状況を鑑みてなされたもので、簡易な構成で、従来よりも詳細に薄膜の電気特性の評価を行うことができる薄膜歪み電気特性評価装置及び薄膜歪み電気特性評価方法を提供するものである。
【解決手段】薄膜Ｆを支持する支持部としての試料台支持部２と、薄膜Ｆを押圧し、当該薄膜Ｆを歪んだ状態にさせる押圧手段としてのピエゾアクチュエータ６と、ピエゾアクチュエータ６による押圧により薄膜Ｆが歪む際の薄膜Ｆの電気抵抗（電気特性）を測定する測定手段としての測定制御・解析部７とを備えるようにした。これにより薄膜歪み電気特性評価装置１では、ピエゾアクチュエータ６により薄膜Ｆを単に押圧して歪ませる簡単な構成を用いつつ、当該ピエゾアクチュエータ６による薄膜Ｆの歪ませ初めから、当該薄膜Ｆの歪ませ終了時までの途中過程における当該薄膜Ｆの電気抵抗を測定でき、かくして簡易な構成で、従来よりも詳細に薄膜の電気抵抗の評価を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 油の評価に好適な絶縁油の電気特性測定方法および更新要否判定方法を提供する。
【解決手段】 油入電気機器より絶縁油を採取し、液体電極１内に封入する。液体電極１は恒温恒湿槽２２内に収容されている。液体電極１と測定器２４はケーブルにより接続されている。加熱槽１８により絶縁油を加熱する。恒温恒湿槽２２内は低温低湿度に維持されている。絶縁油の温度と恒温恒湿槽２２内温度間の温度差による水分平衡を利用して、絶縁油から油中水分のみ除去する。電気特性に影響する油中水分を極力減少させることにより、絶縁油の真の電気特性を測定し油の評価を行う。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストであり、ＤＰＦの破損を検出可能なＰＭセンサーを提供する。
【解決手段】排気ガス中の粒子状物質を検出するためのＰＭセンサーであって、車両の排気通路１１に配置され、粒子状物質を付着させる抵抗体２と、抵抗体２の抵抗値の変化を検出して、粒子状物質の付着の有無を検出する検出部３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被検出雰囲気の絶対湿度の影響を補正して可燃性ガスの検出精度を高めるとともに、部品点数を低減してコスト低減や生産性向上を図った可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】被検出雰囲気内に曝され、被検出雰囲気中の可燃性ガスの濃度に応じて温度が変化する１つの発熱抵抗体と、発熱抵抗体が所定温度に保たれるよう該発熱抵抗体を通電制御し、該発熱抵抗体の端子間電圧を検出するガス検出部１００と、可燃性ガスの濃度と端子間電圧との間の第１関係に基づき、端子間電圧から被検出雰囲気内の可燃性ガスの濃度をガス濃度算出値として算出する濃度算出手段３ａと、被検出雰囲気の温度を検出する主温度検出手段３ａ、５０と、ガス濃度算出値又は端子間電圧と、被検出雰囲気の温度との間の第２関係に基づき、主温度検出手段によって検出された温度からガス濃度算出値又は端子間電圧を補正する補正手段３ａと、を備えた可燃性ガス検出装置１である。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式のガスセンサを用いたガス分析装置で、センサ出力の検出値の微分波形から正確にガス種を判定する。
【解決手段】吸着燃焼式のガスセンサのマイクロヒータを一定昇温制御する。１回目の４０ミリ秒の間に、マイクロヒータを一定昇温制御しながら抵抗値を高速サンプリングする。最初に余分なガス成分、水分等を焼き飛ばす。その後の１０秒間マイクロヒータを１００℃に保ち、測定ガスを吸着させる。次に、マイクロヒータを一定昇温制御しながら抵抗値を高速サンプリングする。計測値を微分して微分波形を求める。微分波形をウェーブレット分解・合成し、ノイズを除去する。ノイズを除去した微分波形と基準ガスの微分波形との相互相関をとり、相関係数を求める。複数の基準ガスを選択しながら、相関係数を閾値と比較し、閾値以上の場合にその基準ガスのガス種を測定ガスのガス種とする。異なる吸着時間または吸着温度を設定して同様に相関係数によりガス種を判定する。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式のガスセンサを用いたガス分析装置で、計測ガスのセンサ出力の微分波形においてノイズを低減するとともに、濃度の違いによるセンサ出力の微分波形に十分な差異がでるようにする。
【解決手段】吸着燃焼式のガスセンサのマイクロヒータを含むブリッジ回路に印加するブリッジ電圧を制御する。ガスセンサのマイクロヒータを４０ミリ秒間一定昇温制御する。予備燃焼工程でガスセンサの余分なガス成分、水分等を焼き飛ばす。１０秒間のガス吸着工程でガスセンサに計測ガスを吸着させる。サンプリング工程でセンサ出力を高速サンプリングする。予備燃焼工程、ガス吸着工程、サンプリング工程の１サイクルを４回繰り返し、センサ出力の４回分の値を同じサンプリングタイミングで積算する。積算した値で微分波形を求める。 （もっと読む）