【課題】 ２種類のガスの検出を正確に行え、ヒータの消費電力が大きくなったり、感応センサが大型化するのを抑制できる感応センサを提供する。
【解決手段】 内層にヒータ１７を有するベース１と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の一方の面１ａ上に形成された第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂと、第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂにそれぞれ接続された第１の一対の薄膜配線パターン２３Ａ，２３Ｂと、第１の一対の対向電極１９Ａ，１９Ｂに跨るように形成された第１の感応膜２５と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の他方の面１ｂ上に形成された第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂと、第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂにそれぞれ接続された第２の一対の薄膜配線パターン１２３Ａ，１２３Ｂと、第２の一対の対向電極１１９Ａ，１１９Ｂに跨るように形成された第２の感応膜１２５とを有している。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく熱絶縁性・熱衝撃に優れた耐久性を有するガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部１１および加熱手段を設けた被支持基板部１０が、複数の架橋部２０によって支持基板部３０に支持してあるガス検知素子Ｘであって、１つの架橋部２０では、被支持基板部１０に対する架橋部２０の延出方向と、支持基板部３０に対する架橋部２０の延出方向とを、異なる方向に設定してある。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】アルコール検知に際して、時間的な拘束を受けることによる煩わしさを軽減することが可能なアルコール検知器を提供すること。
【解決手段】呼気吹き込み口４から吹き込まれた呼気は、一旦呼気室８内に閉じ込められるとともに、その一方で吸気口６から導入された空気は、空気室９内に閉じ込められる。そして、空気室９内に閉じ込められた空気に含まれるアルコールがアルコールセンサ３１により検出される。その後、呼気室８内の呼気及び空気室９内の空気は、呼気室８と空気室９とを含む閉領域内から流出しないように配慮されつつ、該閉領域内で互いに混じり合って混合気となる。そして、このように前記閉領域内に閉じ込められた混合気に含まれるアルコールが前記アルコールセンサ３１により検出される。そして、アルコールセンサ３１による都合２回のアルコール検出の結果を解析することで、アルコール被験者が飲酒状態にあるか否かが特定される。 （もっと読む）

【課題】熱電式ガスセンサにおいて、センサの感度の高いものを提供すること。
【解決手段】この熱電式ガスセンサは、基板１２と、基板１２の上面に形成された熱電膜１３と、熱電膜１３の上面側の所定箇所に形成された被検出ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱する触媒１６を含んで構成される。基板１２は、セラミックスからなる焼成体である。熱電膜１３は、厚さ方向にて単一の扁平な粒子から構成され、且つ電子伝導度の高い結晶面を含むように配向された部分を有する。熱電膜１３には平面視にて粒子間の一部に隙間が形成され、熱電膜１３と基板１２との境界には側面視にて一部に隙間が形成されている。これにより、基板１２及び熱電膜１３の熱伝導率を小さくでき、触媒反応に対して発生する熱電膜１３内の温度差を大きくできる。加えて、熱電膜１３の電子伝導度が高くなり、熱電膜１３における温度差に対する発生電圧を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】 誘電体試料に対する探針の接触力が常に一定になるようにし、測定後の演算処理を行うことなく誘電率の空間分布の測定や温度依存性の測定を正確に行う。
【解決手段】 試料ステージに載せた誘電体試料の表面に接触させる探針と、探針の周囲に設けられた固定電位の電極と、探針が誘電体試料の表面に接触して生じるキャパシタンスが並列になるように探針および電極に接続されるＬＣ発振回路と、ＬＣ発振回路の発振周波数を測定する周波数弁別器とを備え、ＬＣ発振回路の発振周波数から誘電体試料の探針直下の微小領域の誘電率を測定する誘電率測定装置において、探針と電極とＬＣ発振回路を取り付ける基板と、レールと、レールに沿って鉛直方向に可動するブロックとを備え、基板とブロックを結合し、探針と電極とＬＣ発振回路が一体で鉛直方向に可動する構成である。 （もっと読む）

【課題】水による誤作動を防止するガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のガスセンサ１は、外部からガス導入用開口部３ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室３ａを有する素子収納部３と、素子収納部３のガス検出室３ａに配置されたガス検出素子５と、ガス導入用開口部３ｂに設けられた熱伝導性メッシュ部材６と、熱伝導性メッシュ部材６に固定され、熱伝導性メッシュ部材６を水の蒸発温度以上に加熱するヒータ８と、ヒータ８の発熱を制御するヒータ制御手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】電解質膜の一方の面に検知膜を接合し、検知膜を水素化したのち、酸素ガスを電解質膜の他方の面側の空間に供給する。電解質膜に欠陥部があると酸素ガスが一方の面へと漏洩して、欠陥部近傍の検知膜が脱水素化して電気抵抗が変化する。該変化を検知して欠陥部の有無を検査する。さらに電解質膜の他方の面に空気極を接合し、検知膜と空気極との間に電気回路を接続し、検知膜を水素化し、空気極側の空間に供給した酸素ガスをイオン化し、加熱された電解質膜を透過させて検知膜を脱水素化する。検知膜は酸素イオンの多寡に応じて電気抵抗が変化するので、検知膜の複数の領域ごとに電気抵抗を測定すれば、酸素イオン伝導性の均一性を検査することができる。電解質膜等に電気回路を接続するか否かで、欠陥部の検査と酸素イオン伝導性の均一性の検査を選択できる。 （もっと読む）

【課題】未使用の潤滑油を基準とすることなく、対象とする潤滑油の性質のみに基づいて劣化度を評価することができる潤滑油劣化度の評価方法を提供する。
【解決手段】潤滑油の電気特性に基づいて劣化度を評価する潤滑油劣化度の評価方法であって、前記電気特性は、インピーダンスまたはコンダクタンスの温度に対する変化率であり、前記潤滑油は、アルカリ土類金属系清浄剤の含有量が潤滑油全量基準においてアルカリ土類金属量換算で１０００質量ｐｐｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】触媒被毒による感度の劣化を防ぐとともに、低コスト且つ小型化が可能な接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサ１０は、通電から生じる熱によって燃焼する検知対象ガスの燃焼熱に応じて抵抗値が変化する検知抵抗体１１と、前記検知抵抗体１１との間で熱を伝導するように配設され且つ前記検知対象ガスに対して活性を有する触媒を含む触媒層１３と、前記触媒層１３の表面を覆うように配設され、且つ、前記検知対象ガスを浸透するとともに、前記検知対象ガスに対して非活性である犠牲層１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ガスセンサの濃度特性の直線性を改善する。
【解決手段】対象ガスに感応して電気抵抗値が変動する感ガス体１１１と、感ガス体１１１に対して直列に接続された分圧抵抗１１２と、感ガス体１１１に対しては並列に、分圧抵抗１１２に対しては直列に接続された並列抵抗１１３と、分圧抵抗１１２、感ガス体１１１または並列抵抗１１３の両端間の電圧を示す信号を外部へ出力する出力端子１１５とを備える半導体ガスセンサ１１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】手軽に使用可能であって、半導体ガスセンサの劣化による測定精度の低下を抑制することができるガス組成測定器を提供する。
【解決手段】呼気中の対象ガスの濃度を推定して呼気の組成を測定する測定処理を繰り返し行う呼気組成測定器１００を提供する。呼気組成測定器１００は、呼気に曝露される位置に設けられ、対象ガスに感応して値を出力する半導体ガスセンサである測定用センサ１０６と、測定用センサ１０６を校正するための第１〜第３の校正係数を記憶する記憶部１１０と、時間を計るタイマ１０９と、ＣＰＵ１０５とを有する。ＣＰＵ１０５は、二回目以降の測定処理の各々において、測定用センサ１０６の出力値と、第１〜第３の校正係数と、前回以前の測定処理に係る測定期間の長さと、今回の測定処理の開始以前に終了している非測定期間の長さとを用いた演算により、呼気中の対象ガスの濃度を推定する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子を測定対象となる気体または液体中に直接暴露することなく測定可能で、液相中・気相中を問わず安定してセンシング可能なセンシング装置を提供する。
【解決手段】所定の周波数で励振される圧電振動子１０と、圧電振動子１０を電気的に発振させる発振回路２０と、抵抗４０とインダクタンス素子５０とが並列接続または直列接続され、発振回路２０の一部を形成する外部容量検出ユニット３０と、を備え、発振回路２０が、圧電振動子１０と外部容量検出ユニット３０を介して接地され、液体または気体中の静電容量の変化を、位相または周波数の変化として出力する。このような構成により、圧電振動子１０を測定対象となる気体または液体中に直接暴露することなくセンシングを行うことができる。この特徴は種々のセンサに対し大きな効果を与える。 （もっと読む）

本発明は、排気管又は排ガス再循環パイプ内のシート抵抗（チップ）の配置に関する。この場合、シート抵抗は支持体に固定されており、この支持体は、遮蔽部又はケーシングに対してシールされており、この遮蔽部又はケーシングは、排気管又は排ガス再循環パイプに気密に結合されており、支持体と遮蔽部又はケーシングとは、排気管又は排ガス再循環パイプの半径方向外方で、排気管又は排ガス再循環パイプから間隔を保って互いにシールされている。
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【課題】被検出雰囲気中の被検出ガスの濃度が湿度に基づき変動することを考慮して、被検出ガスを精度よく検出するようにしたガス検出装置およびガス検出方法を提供すること。
【解決手段】まず、環境温度を検出し（Ｓ１５，Ｓ２０）、続いて、異なる目標温度となるように通電制御された２つの発熱抵抗体における各端子電圧を検出する（Ｓ２５）。Ｓ２５で検出した２つの端子電圧と、Ｓ１５において検出された環境温度とから、２つの端子電圧に対応する各熱伝導率を熱伝導率演算値として演算する（Ｓ３０）。続いて、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値に基づき、湿度を演算する（Ｓ３５，Ｓ４０，Ｓ４５）。そして、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値のうち少なくともいずれか一方と、Ｓ４５で求めた被検出雰囲気の湿度とに基づき、被検出ガスのガス濃度を演算する（Ｓ５０，Ｓ５５，Ｓ６０）。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガスセンサの経年変化によるセンサ感度の変化を良好に補正することができるガス検知装置およびガス検知方法を提供すること。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサ４１で計測された被検知ガス濃度を表す計測濃度出力を取得すると共にエアベース濃度を表すエアベース濃度出力を取得する濃度出力取得手段１１ａと、記憶手段１２と、計測濃度出力とエアベース濃度出力の差が予め決められた一定値以下の場合に、エアベース濃度出力と、記憶手段１２にある経時量とエアベース濃度出力の関係とに基づいて経時量を取得する経時量取得手段１１ｂと、経時量と、記憶手段１２にある経時量とセンサ感度の関係とに基づいてセンサ感度を求めるセンサ感度取得手段１１ｃと、計測濃度出力とエアベース濃度出力の差にセンサ感度による補正を行って被検知ガスの検知濃度を取得する検知濃度取得手段１１ｄとを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象の状態に応じた出力信号を出力するセンサ素子を設置し、そのセンサ素子の出力信号に基づいて測定対象の流速や濃度等の状態を検知するように構成された計測装置において、簡素化且つ低廉化が可能で、迅速且つ正確に測定対象の状態を検知することができる技術を提供する。
【解決手段】センサ素子６の使用時間を累積して累積使用時間を導出する累積使用時間導出手段２９と、センサ素子６の累積使用時間に基づいてセンサ素子の感度を補正する感度補正手段２５とを備えると共に、センサ素子６の温度を導出する温度導出手段２７を備えて、累積使用時間導出手段２９が、センサ素子６の使用時間をセンサ素子６の温度に応じて補正した温度補正使用時間を累積して累積使用時間を導出する。 （もっと読む）

【課題】呼気中の生体ガスを簡便かつ高感度に計測し、定量する方法及びその簡易型測定装置を提供する。
【解決手段】熱電式ガスセンサを用いて呼気中の生体ガス濃度を測定する方法であって、生体ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出することにより呼気中の生体ガス濃度を測定することからなる呼気中の生体ガス濃度測定方法、ヒトの呼気を採取し、該呼気中に含まれる水素又は一酸化炭素等の生体ガス濃度を定量測定する、前記の方法、及びその簡易型測定装置。
【効果】ヒトの呼気中の水素又は一酸化炭素等の生体ガスを高感度に高選択的に計測、測定する方法、及びその簡易型測定装置を提供し、被験者の病態生理学的な解析を簡便かつ高感度に行うことを可能とする新規診断手法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】定電圧源の不安定性や周囲温度の変動等により影響を受けずに、高精度にガスを検出する。
【解決手段】第１のガス検出装置は、ガス検出部と基準信号出力部と差分検出部と加熱制御部とを備える。ガス検出部は、第１の半導体式ガスセンサと、第１の半導体式ガスセンサに電流を流す第１の定電圧電源と、加熱信号を入力して第１の半導体式ガスセンサを加熱する第１の加熱部と、第１の加熱部の温度を検出する第１の温度センサとを有する。基準信号出力部は、基準信号を出力する。差分検出部は、第１の半導体式ガスセンサを流れる電流値を表す感応信号と基準信号との差を検出する。加熱制御部は、差分検出部で差が検出されると第１の加熱部の発熱量を大きくするように加熱信号を出力する。 （もっと読む）