【課題】正確に検出対象ガスの濃度を検出しつつ省電力化及び小型化を図ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】センサ部２は、検知対象ガスと接触燃焼して温度が変化する。加熱回路３が、検出対象ガスと接触燃焼する温度にセンサ素子を加熱する。ＣＰＵ５１が、加熱回路３の加熱時に測定したセンサ部２の温度Ｔ_ONと、加熱回路３の非加熱時に測定したセンサ部２の温度Ｔ_OFFと、の差（Ｔ_ON−Ｔ_OFF）に基づいて検出対象ガスの濃度を検出するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の微小な欠陥を検出することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定物（半導体ウェハ１０上に設けたレジスト膜１２）の静電容量を測定する静電容量センサ１５と、前記被測定物の底面と前記静電容量センサとの間の距離を測定する測長センサ２０（測定光源２１，受光部２２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】センサの個数を増やしたり、配線を複雑化したりすることなく、大型の構造物の亀裂発生の連続監視を確実且つ安価に行い得る亀裂検出装置を提供する。
【解決手段】二枚の非導電性薄膜１６，１７の間に導電性薄膜１８を挟み込んで形成される薄膜状センサ１９の前記導電性薄膜１８を、薄膜状センサ１９の長手方向へ延びる波状のパターンとし、該波状のパターンとした導電性薄膜１８の両端に、電気抵抗値監視用の制御器２０から延びる通電配線２１，２２を接続し、前記薄膜状センサ１９を構造物２３の被検査箇所２３ａに貼り付け、前記導電性薄膜１８に通電して電気抵抗値を監視することにより、前記被検査箇所２３ａの亀裂発生に伴う前記導電性薄膜１８の破断による電気抵抗値の増加に基づいて前記被検査箇所２３ａの亀裂発生を検出する。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく熱絶縁性・熱衝撃に優れた耐久性を有するガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部１１および加熱手段を設けた被支持基板部１０が、複数の架橋部２０によって支持基板部３０に支持してあるガス検知素子Ｘであって、１つの架橋部２０では、被支持基板部１０に対する架橋部２０の延出方向と、支持基板部３０に対する架橋部２０の延出方向とを、異なる方向に設定してある。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】温度変化による抵抗変化を含まずに半田バンプ接続部の微小な抵抗変化を高い分解能により正確に検出可能とする。
【解決手段】マザーボード１０に実装されたＢＧＡパッケージ１２について、変形応力によるダメージを受け易い監視バンプ２０−１１と、変形応力によるダメージを受けにくい基準バンプ２０−１２を選択し、監視バンプ２０−１１に第１定電流源３０から一定電流を流すと共に、基準バンプ２０−１２に第２定電流源３２から同じ値の一定電流を流す。半田バンプ抵抗測定装置２８は、第１定電流源３０からの一定電流により監視バンプ２０−１１に発生する第１電圧から第２定電流源３２からの一定電流により基準バンプ２０−１２に発生する第２電圧を差し引いた差電圧を、監視バンプ２０−１１の抵抗変化を表す抵抗変動電圧として直流電圧計３４に表示する。
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【課題】送電線に転位が生じない方法により、送電線を実運用にできるだけ近い状態のもとで、送電線に断面積の変化が生じていても、熱影響が比較的小さい送電線を含めて、送電線の熱履歴の状況を正確に測定する方法を提供する。さらに、その測定結果に基づき、送電線の余寿命を正確に判断する余寿命測定方法を提供する。
【解決手段】残留抵抗比を用いて、送電線の熱履歴を測定することを特徴とする送電線の熱履歴測定方法。熱履歴が加えられていない試料に、一定温度で所定時間の熱履歴を加えて、加熱経過時間と残留抵抗比の変化を、予めマスターデータとして求めておき、測定対象の送電線から得られた試料の残留抵抗比と、前記マスターデータにおける残留抵抗比との一致点を求め、それに対応した加熱時間から、前記測定対象送電線の余寿命を判定することを特徴とする送電線の余寿命測定方法。 （もっと読む）

【課題】熱電式ガスセンサにおいて、センサの感度の高いものを提供すること。
【解決手段】この熱電式ガスセンサは、基板１２と、基板１２の上面に形成された熱電膜１３と、熱電膜１３の上面側の所定箇所に形成された被検出ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱する触媒１６を含んで構成される。基板１２は、セラミックスからなる焼成体である。熱電膜１３は、厚さ方向にて単一の扁平な粒子から構成され、且つ電子伝導度の高い結晶面を含むように配向された部分を有する。熱電膜１３には平面視にて粒子間の一部に隙間が形成され、熱電膜１３と基板１２との境界には側面視にて一部に隙間が形成されている。これにより、基板１２及び熱電膜１３の熱伝導率を小さくでき、触媒反応に対して発生する熱電膜１３内の温度差を大きくできる。加えて、熱電膜１３の電子伝導度が高くなり、熱電膜１３における温度差に対する発生電圧を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】アルコール検知に際して、時間的な拘束を受けることによる煩わしさを軽減することが可能なアルコール検知器を提供すること。
【解決手段】呼気吹き込み口４から吹き込まれた呼気は、一旦呼気室８内に閉じ込められるとともに、その一方で吸気口６から導入された空気は、空気室９内に閉じ込められる。そして、空気室９内に閉じ込められた空気に含まれるアルコールがアルコールセンサ３１により検出される。その後、呼気室８内の呼気及び空気室９内の空気は、呼気室８と空気室９とを含む閉領域内から流出しないように配慮されつつ、該閉領域内で互いに混じり合って混合気となる。そして、このように前記閉領域内に閉じ込められた混合気に含まれるアルコールが前記アルコールセンサ３１により検出される。そして、アルコールセンサ３１による都合２回のアルコール検出の結果を解析することで、アルコール被験者が飲酒状態にあるか否かが特定される。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて可燃性ガス濃度検知装置の小型化を図ることができるとともに、迅速かつ正確に可燃性ガス濃度を検知することのできる可燃性ガス濃度検知方法及び可燃性ガス濃度検知装置を提供する。
【解決手段】吸着燃焼式ガスセンサの発熱抵抗体の電気抵抗値が所定抵抗値になるように、発熱抵抗体に電圧を印加するとともに、その印加電圧値を所定時間ごと検出し、発熱抵抗体への電圧の印加を開始した後、閾電圧値を下回った判定時間（ｔ２）に基づいて、気体中の可燃性ガス濃度を検知する。 （もっと読む）

【課題】シート状や布状や膜状の測定対象物の電気抵抗の測定を正確かつ安定に行なうことができる抵抗測定方法およびその抵抗測定方法が適用された検査部品プロセスを提供する。
【解決手段】第１のステップで、導電板、例えば表面に膜が形成された亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂを２枚用意して、これら２枚の亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂで伸縮可能な導電性材料１０を挟むとともに、２つの亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂの間隔を規制するスペーサ１１を挟み、導電性材料１０の少なくとも片側には、測定対象物、例えば導電性の布を挟みこむ。次の第２のステップで、測定対象物を介在させて導電性材料１０を挟んだ状態の２つの亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂの間の電気抵抗を測定する。 （もっと読む）

【課題】 誘電体試料に対する探針の接触力が常に一定になるようにし、測定後の演算処理を行うことなく誘電率の空間分布の測定や温度依存性の測定を正確に行う。
【解決手段】 試料ステージに載せた誘電体試料の表面に接触させる探針と、探針の周囲に設けられた固定電位の電極と、探針が誘電体試料の表面に接触して生じるキャパシタンスが並列になるように探針および電極に接続されるＬＣ発振回路と、ＬＣ発振回路の発振周波数を測定する周波数弁別器とを備え、ＬＣ発振回路の発振周波数から誘電体試料の探針直下の微小領域の誘電率を測定する誘電率測定装置において、探針と電極とＬＣ発振回路を取り付ける基板と、レールと、レールに沿って鉛直方向に可動するブロックとを備え、基板とブロックを結合し、探針と電極とＬＣ発振回路が一体で鉛直方向に可動する構成である。 （もっと読む）

【課題】 一酸化炭素濃度センサの自己診断を行うことにより、安全性を向上させることにある。
【解決手段】 ガス発生源１からのガス中に含まれる一酸化炭素を酸素により酸化し窒素酸化物を一酸化炭素により還元する酸化触媒４と、酸化触媒４の二次側のガス中の一酸化炭素濃度を検出する一酸化炭素濃度センサ３２とを備える有害物質低減システムであって、一酸化炭素濃度センサ３２と診断ガスとを接触させる診断ガス接触手段３３と、診断ガスとの接触時に前記一酸化炭素濃度センサ３２の出力が設定値以下の時前記一酸化炭素濃度センサ３２を異常と判定する判定手段８とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水による誤作動を防止するガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のガスセンサ１は、外部からガス導入用開口部３ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室３ａを有する素子収納部３と、素子収納部３のガス検出室３ａに配置されたガス検出素子５と、ガス導入用開口部３ｂに設けられた熱伝導性メッシュ部材６と、熱伝導性メッシュ部材６に固定され、熱伝導性メッシュ部材６を水の蒸発温度以上に加熱するヒータ８と、ヒータ８の発熱を制御するヒータ制御手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】細胞電気生理センサの測定精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そしてこの目的を達成するため本発明は、筒部品８と、この筒部品８の空洞９内に挿入されたセンサチップ１０と、このセンサチップ１０と所定間隔を置いて筒部品８の空洞９内に配置され、筒部品８の内壁と接合または一体化された構造体１１とを備え、センサチップ１０は、筒部品８の軸方向に貫通する導通孔１５を有し、構造体１１は、筒部品８の軸方向に貫通し、センサチップ１０側の開口部を出口１６Ａとする貫通孔１６を有し、この貫通孔１６の出口１６Ａとセンサチップ１０の導通孔１５とは対向しているとともに、貫通孔１６の出口１６Ａ外周には、構造体１１と筒部品８内壁との間で形成される空間を有するものとした。これにより本発明は、導通孔１４近傍の気泡を低減でき、結果として細胞電気生理センサの測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドを構成する個々のＣＮＴ−ＦＥＴにばらつきが有っても、ばらつきのない測定値が得られるようにすること。
【解決手段】ＣＮＴ−ＦＥＴバイオセンサ装置１は、ソース−ドレイン間にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を形成したカーボンナノチューブ電界効果トランジスタ（ＣＮＴ−ＦＥＴ）でなるセンサヘッド２と、濃度が未知の蛋白質又はＤＮＡを測定して得られた上記センサヘッド２の出力値から上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する演算部３とを備え、上記演算部３は、濃度の変化に対して同一出力しか得られない濃度の上記蛋白質又はＤＮＡを予め測定して得られた上記センサヘッド２の出力値を記憶する記憶部３０を備え、上記記憶部３０に記憶された出力値を用いて、上記センサヘッド２の出力値を校正して、上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】電解質膜の一方の面に検知膜を接合し、検知膜を水素化したのち、酸素ガスを電解質膜の他方の面側の空間に供給する。電解質膜に欠陥部があると酸素ガスが一方の面へと漏洩して、欠陥部近傍の検知膜が脱水素化して電気抵抗が変化する。該変化を検知して欠陥部の有無を検査する。さらに電解質膜の他方の面に空気極を接合し、検知膜と空気極との間に電気回路を接続し、検知膜を水素化し、空気極側の空間に供給した酸素ガスをイオン化し、加熱された電解質膜を透過させて検知膜を脱水素化する。検知膜は酸素イオンの多寡に応じて電気抵抗が変化するので、検知膜の複数の領域ごとに電気抵抗を測定すれば、酸素イオン伝導性の均一性を検査することができる。電解質膜等に電気回路を接続するか否かで、欠陥部の検査と酸素イオン伝導性の均一性の検査を選択できる。 （もっと読む）

【課題】安全性を損なうことなく、低電力化を図ったガス漏れ警報器の制御装置及び該制御装置を有するガス漏れ警報器を提供する。
【解決手段】所定温度に加温されることによりガスの検知が可能になるガス検知手段１０によって検知した設置空間のガス濃度が予め定めた所定値を超えたときガス漏れを警報するが、ガスメータ２にて計測したガス流量が当該ガス流量によるガス漏れが継続しても設置空間のガス濃度が爆発下限界に達しない流量範囲にある場合、ガス検知手段１０の所定温度への加温を停止する。 （もっと読む）

【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極２ａ，２ｂと、ＣＮＴを誘電泳動してマイクロ電極２ａ，２ｂに架橋したセンサ素子と、ＣＮＴ表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するＰｄ粒子とを備え、マイクロ電極２ａ，２ｂ間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ１であって、表面を修飾するＰｄ粒子が、Ｐｄの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのＣＮＴとＰｄの酸化還元反応で析出するＰｄ粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるＰｄと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したＰｄ粒子とを含むことを主要な特徴とする。 （もっと読む）