【課題】本発明は、再分極を行うことなく、赤外線を検出することができる焦電型赤外線検出素子、焦電型赤外線撮像素子および焦電型赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の焦電型赤外線検出素子Ｄは、一対の下部電極層および上部電極層と前記一対の下部電極層および上部電極層間に配置される強誘電体材料とを備える焦電部１１と、前記一対の下部電極層および上部電極層間に所定の電圧値Ｖｉの電圧を印加するための電圧印加部１２と、電圧印加部１２によって前記一対の下部電極層および上部電極層間に前記所定の電圧値Ｖｉの電圧を印加した電圧印加分極状態から自然分極状態までに焦電部１１で生じた電荷量に関係する所定の物理量を測定する測定部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】感度の調整ができる検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、焦電素子１０と、焦電素子１０に接続され、焦電素子１０の出力電圧の電圧感度を調整する感度調整回路３０と、焦電素子１０に接続される検出回路２０とを含む。感度調整回路３０は、感度調整用の可変容量回路４０を含み、可変容量回路４０に並列に接続される可変抵抗回路５０をさらに含む。可変容量回路４０の容量値が小さな値に設定された場合に、可変抵抗回路５０の抵抗値は大きな値に設定され、可変容量回路４０の容量値が大きな値に設定された場合に、可変抵抗回路５０の抵抗値は小さな値に設定される。 （もっと読む）

【課題】支持部材と受光部との間に空間が形成された焦電素子において、焦電素子の機械的強度を向上させる。
【解決手段】焦電素子１０は、受光部６１，６２よりも焦電基板２０の外側を支持する第１支持部３１だけでなく、受光部６１，６２の間を支持する第２支持部３２によっても焦電基板２０が支持されている。このため、第１支持部３１のみで焦電基板２０を支持する場合と比べて、焦電素子１０の機械的強度が向上する。また、焦電基板２０は２つの受光部６１，６２の間に空隙２８を持つように焦電基板２０ａ，２０ｂに分割されており、第２支持部３２は空隙２８を架け渡すように焦電基板２０を支持している。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させた赤外線測定器とその製造方法の提供。
【解決手段】基板１０とセンサ（強誘電体層１３）とを有するセンサ部２を備え、基板２０と赤外線透過薄膜積層体２２，２４とを有して両積層体２２，２４の間に電圧が印加された状態において両積層体２２，２４が光学的に一体化し、かつ、両積層体２２，２４の間に電圧が印加されない状態において両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成されるように構成されたシャッター機構部３を備え、基板１０，２０が対向するようにセンサ部２およびシャッター機構部３が一体化して、両積層体２２，２４が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を規制するように構成している。 （もっと読む）

【課題】焦電素子の分極方向を個別に設定して、検出感度を高くすることができる検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、検出ノードＮＤと第１の電源ノードＶＳＳとの間に直列に設けられる第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎと、検出ノードＮＤに接続される検出回路２０と、第１〜第ｎの焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎの分極方向を個別に設定するポーリング処理を行うポーリング回路３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高くすることができる検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、検出ノードＮＤと、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎと、検出回路２０とを含む。焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎは、第１の電源ノードＶＳＳとの間に直列に設けられる。検出回路２０は、検出ノードＮＤに接続される。第１〜第ｎの焦電素子ＰＹ１〜ＰＹｎは、分極方向が同じ方向に設定される。 （もっと読む）

【課題】高強度の高エネルギー放射光の束の断面におけるパラメータの空間分解測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高エネルギー、高強度放射光のビーム束の断面全体にわたって測定データを空間的に取得する方法および装置に関する。高強度のビーム束の断面内で、検出器の飽和または劣化による測定精度の低下を発生させることなく、高空間分解測定データを取得する放射光測定の新しい可能性を見出すという目的は、本発明によれば、ビーム束（２）の全断面（２１）が遮蔽要素（３）上に結像され、断面（２１）が、少なくとも１つの開口部（３１）の移動を通じて、断面積が小さく、強度が弱い部分ビーム束（２２）へと連続的に分離され、開口部（３１）を通過する部分ビーム束（２２）の測定値が、時間的および空間的に開口部（３１）の位置に関連付けられるように取得され、記憶されることにより達成される。 （もっと読む）

【課題】小形化を図りつつ長期に亘って高い検出精度を維持する。
【解決手段】赤外線センサ３と、高屈折率層１１〜１３を備えてセンサ３と一体的に形成された赤外線シャッター機構２とを備え、各高屈折率層１１〜１３は、赤外線ＩＲを透過可能な導電性材料で形成されると共に、高屈折率層１１，１２の間および高屈折率層１２，１３の間に電圧が印加された状態において各高屈折率層１１〜１３が光学的に一体化し、かつ電圧が印加されない状態において高屈折率層１１，１２の間および高屈折率層１２，１３の間に空気層１６ａ，１６ｂが形成されるように配設されて、各高屈折率層１１〜１３が光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ３に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に各高屈折率層１１〜１３の間に空気層１６ａ，１６ｂが形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ３に対する赤外線ＩＲの入射を規制する。 （もっと読む）

【課題】焦電型の赤外線検出素子及びこれを用いた赤外線検出装置において、画素として用いる赤外線検出素子の受光面積を小さく、膜厚を薄くしても、ノイズの影響を低減化することを目的とする。
【解決手段】基板１１と、支持電気絶縁層１２と、第１の電極１４と、焦電層１５と、第２の電極１６と、を備える。焦電層１５は、受光面積が１×１０^２μｍ^２以上１×１０^４μｍ^２以下であり、膜厚が０．８μｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、Ｐｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（但し０．５７＜ｘ＜０．９３とする）で表される化合物を主成分とする。圧電ノイズを抑え、十分な焦電特性が得られ、高い感度の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】機械的要素の摩耗や、開状態における透過率の低下を招くことなく、十分に広い波長領域の赤外線をチョッピングする。
【解決手段】各高屈折率層３，４，５は、赤外線ＩＲの波長＝λ、屈折率＝ｎ、物理的な厚み＝ｄとしたときに、その光学的厚みｎｄが１／４λとなるように導電性材料でそれぞれ形成されると共に、対向する２つの高屈折率層の間に電圧が印加された状態において２つの高屈折率層がそれぞれ光学的に一体化し、かつ、２つの高屈折率層の間に電圧が印加されない状態においてその光学的厚みｎｄが１／４λの空気層８ａ，８ｂが２つの高屈折率層の間に形成されるようにそれぞれ配設されて、各高屈折率層３，４，５が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させると共に、各高屈折率層３，４，５の間に空気層８ａ，８ｂが形成された状態において赤外線ＩＲを反射する。 （もっと読む）

【課題】選択された領域、とりわけ一次光による対象物照明から二次光が生じる領域を保護ないし減光する、とりわけ眼科用手術顕微鏡を用いた眼科検査ないし手術の際に使用される「赤色反射」照明を行う際に黄斑を有効に保護する方法及び手術顕微鏡。
【解決手段】とりわけ手術顕微鏡等の顕微鏡（１）によって結像されるべき対象物（１６）を照明する方法において、前記対象物（１６）は、第１のスペクトル強度分布を有する一次光と、第２のスペクトル強度分布を有する二次光によって照明され、該二次光は該一次光の散乱から生じ、該二次光の強度は少なくとも１つの波長に関して測定され、測定された強度又は該測定された強度から導出される量が所定の閾値を上回るか又は下回ると、前記二次光のスペクトル強度分布の変化を示す信号が生成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反応速度が速く、戸外での使用やリモート制御が可能であり、かつ、歩留まりが高い光検出装置を提供する。
【解決手段】この光検出装置は、試料から導光された被分析光を分析するための光検出装置であって、擬似位相整合素子２００、ポンプ光源１００、及び光検出部３００を備える。擬似位相整合素子２００は、一端に被分析光を入射する。ポンプ光源１００は、擬似位相整合素子２００の一端にポンプ光を入射する。光検出部３００は、擬似位相整合素子２００の他端側に設けられ、擬似位相整合素子２００で生成した、被分析光とポンプ光の和周波光を検出して電気信号に変換する。 （もっと読む）

【課題】作動試験を簡易に行なうことができると共に装置の小型化が可能な熱源検知装置を得る。
【解決手段】赤外線を検出する焦電素子３と、焦電素子３に入射する赤外線を断続させるチョッパ７と、チョッパ７及び焦電素子３を収納すると共に赤外線入射窓１１を有する筐体１３とを備えた熱源検知装置１において、筐体１３内に熱源検知装置１の作動確認に使用する模擬熱源１５を設けると共に、チョッパ７における焦電素子３に対向する面を赤外線が反射する反射面とし、模擬熱源１５が発する赤外線が焦電素子３に断続的に入射するように構成されていることを特徴とする熱源検知装置。 （もっと読む）

【課題】赤外線を精度良く検出することができ、且つ、コンパクトな赤外線検出センサを提供すること。
【解決手段】内部に気体が存在する筐体２１、筐体２１の内部に配置され吸収した赤外線を熱に変換する赤外線吸収層２２、及び、筐体２１に設けられ筐体２１の内部と外部とを連通させる開口部２３を具備する赤外線吸収部２と、開口部２３の少なくとも一部を閉塞するように、一部のみが筐体２１に固着され、筐体２１への固着部を支点として撓むことが可能な片持ち梁部材３とを備えることを特徴とする赤外線検出センサ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】紫外領域、可視領域、近赤外領域の広い波長範囲に亘って十分な感度を有し、且つ光導電型に起因する問題を解決した分光光度計用検出装置を提供する。
【解決手段】従来、近赤外領域をカバーするＰｂＳ検出器に代えてＩｎＡｓ検出器を採用し、光電子増倍管検出器２０、ＩｎＧａＡｓ検出器２４、及びＩｎＡｓ検出器２５の３つを用い、可動鏡１５及び切替機構２３の移動制御により、測定波長に応じて検出器を切り替える。これにより、全ての検出器が起電力型で電流出力型に統一されるので、バイアス電圧の印加が不要になり、応答の高速性も達成できる。 （もっと読む）

本発明は、温度に依存した可変抵抗器(R)を有する電磁放射測定要素(3)と熱的接触状態にある、入射電磁放射の熱吸収用外表面(2)を含み、測定要素(3)は、設定温度(T_ref)に等しい電気測定抵抗器の温度を保持するために抵抗加熱手段に加熱パワーを印加するための補正器(14)を備える加熱フィードバックループ(6)内に位置しているボロメータに関する。本発明によると、抵抗加熱手段が測定要素(3)を含み、補正器(14)は加熱パワーの周波数成分(S1)を発生させるように設計され、その加熱パワーが、要素(3)にＤＣを含まない信号を印加するために要素(3)と補正器(14)との間に設けられた結合手段(17)に印加され、この結合手段(17)とは別個の結合手段(19)が抵抗器を所定の直流動作点に維持するために要素(3)とDCバイアス手段(18)との間に設けられている。
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【課題】サーモパイルセンサの特性を効率良く評価する。
【解決手段】固定台１１は、サーモパイルセンサのセンサ素子が形成されたウェーハ２を固定する。この固定台１１とレーザ発振器１２とは、レーザ発振器１２の熱が固定台１１のウェーハ２に伝達されない程度の位置に配置される。光学系１５は、レーザ発振器１２が出力したレーザ光をウェーハ２上に形成されたセンサ素子へと導き、評価対象のセンサ素子にレーザ光を照射する。センサ素子はこのレーザ光を感知して電圧信号を出力する。コンピュータ１８は、プリアンプ１６、ロックインアンプ１７によって増幅されたセンサ素子の出力値に基づいて、ウェーハ２にセンサ素子が形成された状態で、このセンサ素子の特性を評価する。 （もっと読む）

【目的】 光学系を簡素化した上で、受光素子の感度ドリフトあるいは直線性を補正することを目的とする。
【構成】 入射する信号光に対し、回転しながら所定の周期で前記信号光を遮断する光チョッパ盤２と、前記光チョッパ盤２により前記信号光が遮断されている期間に、前記信号光とは異なる基準光を照射する基準光源６と、前記信号光と前記基準光とを受光し、前記信号光の光量と前記基準光の光量とを測定する受光素子５と、前記基準光の光量に基づいて、前記信号光の光量を補正する補正演算回路１３と、所定の基準値と前記所定の光の光量値との比較から補正値を算出する補正値算出回路１２と、を備え、補正演算回路１３は、前記補正値に基づいて前記信号光の光量を補正することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 炎感知器の赤外線センサに内蔵されるフィルタによる検出精度のバラツキを考慮して赤外線センサの出力を所定の値になるように感度調整を行うことを目的とする。
【解決手段】 赤外線の透過帯域の長波長端の分光特性をＣＯ2共鳴放射帯に近似させ、短波長端をＣＯ2共鳴吸収帯よりも短波長側にした赤外線バンドパスフィルタ２が設置された黒体炉１から赤外線を放射させ、その赤外線を利用して炎感知器１１の感度調整を行うようにしたものである。 （もっと読む）

強誘電／焦電センサは、このセンサの強誘電シーン素子（１３４）の電荷出力を、同じ温度について特定の時間にわたってシーン素子（１３４）のヒステリシスループ出力を複数回測定することによって求める技術を利用する。強誘電シーン素子（１３４）に外部交流信号を印加して、素子（１３４）からのヒステリシスループ出力が分極を切替える。出力コンデンサと演算増幅器の組合せなどの電荷積分回路（１３８）を使用して、シーン素子（１３４）からの電荷を測定する。好ましくは、シーン素子（１３４）の強誘電体は、ＳＢＴまたはその誘導体でできており、これを上部電極と下部電極の間に直接配設する。このセンサの周波数は外部交流信号によって生成され、その周波数特性のために、従来方式のエアブリッジによって素子（１３４）をシリコン基板から熱分離する必要がないことがあり、その代わりに好ましくは、ＳＯＧ（スピン・オン・ガラス）によって熱分離する。出力コンデンサ内で過剰な電荷が蓄積されることによってセンサの出力信号電圧が飽和しないように、このセンサは、シーン素子（１３４）に並列な基準素子（１３２）を有する。交流信号の電圧が負のとき、出力コンデンサは、基準素子（１３２）を通して電流を流すことによって放電し、それによって基準素子（１３２）の分極を問い合わせ、これを各サイクルにシーン素子（１３４）の分極と比較し、シーン素子（１３４）の分極から減算する。設定した時間にわたって各サイクルに測定した分極の差を積分増幅器によって加算して、信号出力が得られる。
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