【課題】安価に、高い感度を有する赤外線検知素子を容易に実現できる赤外線検知素子、及びその赤外線検知素子を備えたセンサ、並びに赤外線検知素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】赤外線検知素子１は、一方の側に複数の熱電素子１９が配置され、他方の側に切欠部５が形成された板状の素子であり、切欠部５の周囲を構成する主としてＳｉ基板３からなるＳｉ基板部１７と、Ｓｉ基板部１７より薄膜で切欠部５を覆う熱絶縁薄膜部１５とを備えている。この赤外線検知素子１は、熱絶縁薄膜部１５とＳｉ基板部１７とに跨るように、複数の熱電素子１９と複数の配線部２１とが配置されるとともに、熱電素子１９と配線部２１とは、熱絶縁薄膜部１５とＳｉ基板部１７とに交互に配置された接点２３を介して直列に電気接続されており、更に、熱電素子１９は、エピタキシャル成長した熱電薄膜からなる。 （もっと読む）

【課題】高い感度を有する赤外線検知素子を容易に実現できる赤外線検知素子、及びその赤外線検知素子を備えたセンサ、並びに赤外線検知素子の製造方法を提供すること。
ること。
【解決手段】切欠部３を有するＳｉ基板部７と、Ｓｉ基板部７より薄膜で切欠部３を覆う熱絶縁薄膜部５とを備えた赤外線検知素子１に関するものである。この赤外線検知素子１では、中間酸化膜８上にて、熱絶縁薄膜部５とＳｉ基板部７とに跨るように、エピタキシャルＳｉ層１５を介して複数の熱電素子９が配置されるとともに、各の熱電素子９は配線部１１により直列に電気接続されている。また、熱電素子９は、エピタキシャルＳｉ層１５上に形成されたエピタキシャルチタン酸ストロンチウムを含む熱電薄膜１９から形成されている。 （もっと読む）

【課題】検出したい対象物投影エリア形状に対応したメンブレン形状を有するサーモパイルセンサ型赤外線検出器の提供。
【解決手段】異なる二種の電極材で構成された熱電対をメンブレン上に温接点、ヒートシンク上に冷接点となるように配置し、その熱電対を直列に接続し、その上に絶縁保護膜を設けたサーモパイルチップに於いて、ドライエッチング工法によりダイアフラム加工を行う際、正方形又は長方形の四角形状、あるいは丸形形状以外の多角形形状にてメンブレンを形成する。 （もっと読む）

放射電磁エネルギーを検出するための光検出器が、光子トラップ（205, 305, 405, 605）内において少なくとも部分的に配置された少なくとも１つのボロメータナノワイヤ（100）を備える。該少なくとも１つのナノワイヤ（100）は、少なくともある黒く染められた表面（110）を有する。該黒く染められた表面は、遠赤外線光から可視光までの範囲に及ぶ放射電磁エネルギーを吸収するよう構成されている。
（もっと読む）

本発明は、各基本検出微小部位が、関心対象の放射を感知する隔膜（２）を備えた微小検出器を含み、各基本検出微小部位が、基板（１）と、該放射を透過させる窓として使用される上部壁（５）と、側壁（４）とによって形成されるマイクロキャビティまたはマイクロカプセル内に設けられる複数の基本検出微小部位からなる電磁放射検出器であって、隔膜（２）が、導電層（１７）を含む少なくとも２つの支持アーム（６）によって基板（１）の上方に懸垂され、アーム（６）の端部が、側壁（４）内に固定される電磁放射検出器に関する。
（もっと読む）

【課題】簡単な構造で良好な温度補償性能を実現することができ、各感温素子の出力を取り出す引き出し線等の取り扱いが容易な非接触温度センサを提供する。
【解決手段】赤外線検知用感温素子１２および温度補償用感温素子１４が実装されたフレキシブルプリント配線板１６と、フレキシブルプリント配線板１６の導体パターン３２と樹脂フィルム３０を挟んで反対側の表面部分に貼り付けられた補強板１７を備える。導光口５４が形成された天板５２と蓋側壁部５６とを有する蓋部分５０と、底板４２とケース側壁部４６とを有し蓋側壁部５６の内側面に嵌合するケース部分４０をと備える。組み付け状態で、フレキシブルプリント配線板１６の周縁部分及びリード線２０が、蓋部分５０とケース部分４０との間に挟持される。補強板１７がケース側壁部４６の内側面に当接し、フレキシブルプリント配線板１６の位置決めをし、赤外線検知用感温素子１２が導光口５４側に位置する。 （もっと読む）

【課題】画素感度を維持したまま、画素領域の機械的強度を高め、従来よりも容易に製造可能なイメージセンサを提供する。
【解決手段】イメージセンサは、半導体基板と、半導体基板内に設けられた空洞部の上に配置され、入射光によって生じた熱エネルギーを電気信号に変換する第１の画素と、第１の画素と前記半導体基板との間に接続され、該第１の画素を前記空洞上に支持する支持部と、空洞部を介すことなく前記半導体基板上に固定設置された第２の画素とを備え、複数の前記第１の画素および複数の前記第２の画素が二次元配置されることによって画素領域を成し、第２の画素の各々は複数の前記第１の画素に隣接している。 （もっと読む）

【課題】従来の手法では、検出対象物の放射率に合わせサーモパイル型赤外線検出装置にて出力調整を行う事で検出温度を算出する為、検出対象物の変化、あるいは検出対象物の放射率が変化すると検出対象物の測温精度が低下するという課題がある。また、別基板にて具備されたフォトインタラプタにて検出対象物の反射率を測定する事により検出対象物の放射率を算出し、サーモパイル型赤外線検出装置からの検出出力への補正を行う手法に於いては、別々の領域を測定している事から、片方の測定領域が汚れ等により、放射率が変化した場合、補正にズレが発生し、誤検出が問題となっている。
【解決手段】本発明は、検出対象物の反射率を測定する事により検出対象物の放射率を算出する為のフォトインタラプタをサーモパイル型赤外線検出装置と同一基板上に具備しサーモパイル検出領域と同一の領域を検出する事により測温精度を向上する事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】校正されやすく、低製造コスト、省エネルギーという長所を持つ温度センサーモジュールを提供する。
【解決手段】環境の温度をセンサーするための第一温度センサー、及び鼓膜の温度をセンサーするための第二温度センサーが設けられており、前記第一温度センサーは熱ダイオードで、第二温度センサーは、サーモパイル型の熱センサー又は相補型金属酸化物半導体の製造工程技術により作られた赤外線温度センサーであり、両者は共に半導体材料で作られているため、物理的特性が一致しており、違った温度の環境に同時に出入りしても、両者の温度の昇降速度が同じである。 （もっと読む）

【課題】温度検出部が空洞部を介して中空に保持される第１素子と温度検出部が残存する犠牲層上に配設される第２素子とを備える構造において、第２素子の温度検出部の温度を正確に基板に追従させ、かつ、犠牲層の除去時の不具合を未然に防止することができる熱型赤外線検出器及びその製造方法の提供。
【解決手段】赤外線を検出する第１素子１ａと環境温度を補正する第２素子１ｂとが回路基板２上に形成される熱型赤外線検出器において、第１素子１ａの温度検出部１４は、空洞部１５により回路基板２から熱的に分離され、第２素子１ｂの温度検出部１４は、空洞部に残存するダイアモンドライクカーボンからなる第１犠牲層５上に形成され、第１犠牲層５により回路基板２と熱的に接続され、温度検出部１４の出力信号が電極配線９を介して読出回路２ａに伝達され、該読出回路２ａで出力信号の差分が検出される。 （もっと読む）

【課題】検知できる測定対象物の投影幅を小さくすることが可能であり、測定対象物サイズの選択自由度を向上させた測定対象物の位置測定システムを提供する。
【解決手段】測定対象物と光センサと光学系とを有する光熱エネルギー検出による測定対象物の位置測定システムにおいて、光センサは、複数の光検出素子の行又は列の配列方向が、測定対象物の一方向に対して４５度傾斜されるよう測定対象物と対向して配置されて、光センサと測定対象物との相対的な位置関係が変化することによる、光センサの検出エリア内での測定対象物の一方向の輪郭を、周辺との温度差を追従することで検出する。 （もっと読む）

本発明は、熱放射の検知用素子に関し、該素子は、基板と、基板上に取り付けられると共に、導電性材料を有し、開口部のある基板から離れて対向した上面を有する保護ハウジングと、基板上の保護ハウジング内に取り付けられ、熱放射を電気信号に変換するための少なくとも１つの熱検知素子を備える少なくとも１つの検知キャリア、電気信号を読み出すための少なくとも１つの読出回路を備える少なくとも１つの回路キャリア、及び検知素子をカバーするための少なくとも１つのカバーを有する積層部とを備え、検知キャリアは、回路キャリアとカバーとの間に配置され、検知キャリア及びカバーは、検知キャリアとカバーによって画成される、積層部の第１の積層空間が、検知キャリアの検知素子とカバーの間に形成されるように配置され、回路キャリア及び検知キャリアは、回路キャリアと検知キャリアに画成される、積層部の少なくとも１つの第２の積層空間が検知キャリアと回路キャリアの間に形成されるように配置され、さらに第１の積層空間および／または第２の積層空間は真空化され、あるいは真空化することができ、積層部は、基板から離れて対向する積層上面を有し、積層部の積層上面は、保護ハウジングの外側から積層上面に対してアクセスできるように、開口部に嵌合してある。この素子は、運動センサ、存在センサおよび熱画像カメラなどにおいて使用される。 （もっと読む）

【課題】より広いスペクトル範囲を使用するナノワイヤ・マルチスペクトル画像化アレイを提供する。
【解決手段】マルチスペクトル画像化アレイシステム及びこれを形成する方法である。基板及びアンテナグループは基板上に互いに関して配置することができ、これにより、各アンテナグループ間にそれぞれギャップが形成され、異なるアンテナサイズが異なるスペクトル範囲について使用できる。さらに、１つ又は複数のナノワイヤがそれぞれのギャップ中の１つ又は複数のギャップ内に配置でき、これにより、アンテナ及び基板と通信するナノワイヤはマルチスペクトル画像化システムを構成する。当該システムにおいて、ナノワイヤの使用により、熱時定数、したがってアンテナからの読み出しレートを低減する一方、読み出しレートに対して周囲の気体冷却速度を減少させて、マルチスペクトル画像化アレイシステムの製造可能性を増加させる。 （もっと読む）

【課題】非接触型温度センサーを用いて、加熱ローラの表面温度の測定を正確に行うことが可能な定着装置を提供する。
【解決手段】電磁誘導手段により電磁誘導加熱する定着装置であって、赤外線透過フィルタ541と、赤外線フィルタ541を透過した赤外線を検出する温度センサー544と、窓部を有し、赤外線フィルタ541が窓部に嵌合されるように赤外線透過フィルタ541と温度センサー544とを内蔵するケーシング545とを有する非接触型温度センサーユニット54を備え、ケーシング54における赤外線透過フィルタ541の近傍部分は、定着装置内の露点温度よりも高く、前記温度センサーの動作温度の上限を超えない温度範囲内のキュリー温度を有する感温磁性材料551で構成されており、非接触型温度センサーユニット54は、感温磁性材料551が電磁誘導手段により電磁誘導加熱される位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】 取付けが容易でありながら、集光ミラーとセンサホルダーの径方向の位置合わせ精度並びに中心軸方向の位置決め精度を高めてＳ／Ｎ比及び測定精度の著しい向上を実現できる放射温度計を提供する。
【解決手段】 集光ミラー７の外周部にその円周方向に等間隔を隔てて、該集光ミラー７の中心に対する径方向及び中心軸方向にそれぞれ弾性変位可能なばね性を有する複数本のアーム１５を設け、これらアーム１５の径方向のばね性により集光ミラー７とセンサホルダー２との中心軸を一致させるとともに、中心軸方向のばね性により集光ミラー７の狭い開口側の端面７ｂを赤外線センサ１の受光面１Ａに密着させて中心軸方向の位置決めを行うように構成されている。
（もっと読む）

本発明は、熱放射検出用デバイスに関し、このデバイスは、熱放射を電気信号に変換するための少なくとも１つの熱検出器要素が上に配置された少なくとも１つの膜と、膜を支持するとともに、電気信号を読み出す少なくとも１つの読出し回路を支持するための少なくとも１つの回路支持体とを含み、検出器要素と読出し回路は、膜を貫通する電気接点によって電気的に一緒に接続される。さらに、以下の方法ステップを用いてこのデバイスを製造する方法が提供される。ａ）検出器要素および少なくとも１つの電気貫通接続部を有する膜を用意するとともに回路支持体を用意し、ｂ）膜と回路支持体を、膜を貫通する電気接点によって検出器要素と読出し回路が電気的に一緒に接続されるようにして一緒にする。製造作業は、ウェハ・レベルで実施されることが好ましく、機能化されたシリコン基板が互いに積み重ねられ、互いに堅固に接合され、次いで個別の要素に分割される。検出器要素は、集電検出器要素を含むことが好ましい。このデバイスには、動き検出器、存在検出器、および熱画像カメラでの応用が見出される。 （もっと読む）

本発明は、熱放射検出用デバイス（１）に関し、このデバイスは、熱放射を電気信号に変換するための少なくとも１つの熱検出器要素（１１１）を有する少なくとも１つの検出器支持体（１１）と、電気信号を読み出すための少なくとも１つの読出し回路（１２１，１２２）付きの少なくとも１つの回路支持体（１２）と、検出器要素を遮蔽するための少なくとも１つのカバー（１３）とを有するスタック（１０）を備え、検出器支持体およびカバーが、検出器支持体の検出器要素とカバーの間に検出器支持体およびカバーと境界を接する第１のスタック空洞（１４）が設けられるように互いに配置され、回路支持体および検出器支持体が、検出器支持体と回路支持体の間に回路支持体および検出器支持体と境界を接する少なくとも１つの第２のスタック空洞（１５）が設けられるように互いに配置され、第１の中空スタック支持体、および／または第２のスタック空洞が排気され、または排気することができる。さらに、このデバイスを製造する方法が提供される。検出器支持体、回路支持体およびカバーは、シリコンでできていることが好ましい。製造作業はウェハ・レベルで行われる。機能化されたシリコン基板が互いに積み重ねられ、一緒になるように堅固に接合され、その後細分される。検出器要素は、集電検出器要素であることが好ましい。このデバイスには動き検出器、存在検出器および熱画像カメラでの応用が見出される。 （もっと読む）

【課題】空気循環を可能として、内部の赤外線センサーの温度を安定させ、測定温度の正確さを確実にすること。
【解決手段】本体、赤外線センサー、熱放散装置により構成し、放散装置は赤外線センサーの後方または下方に設置され、熱放散装置が本体内の空気を導き出したり、外部の空気を導き入れ可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 各検出素子をプローブの開口に隣接して固定した場合において熱衝撃の影響により正確な体温測定ができなくなることがなく、かつまたコストダウンを実現できる耳式体温計の提供。
【解決手段】 環境温度を検出する温度検出素子２１と、耳腔内の温度測定部位から放射される赤外線を検出する赤外線検出素子２２とをプローブ３に内蔵し体温を測定する耳式体温計であって、プローブ３は、先端が開口された主開口部３１を有した主プローブ体１０３と、主開口部を取り囲むようにその先端が開口され突出形成された副開口部２３１を有するとともに空気層Ｋを形成する副プローブ体２０３とからなる二重管として形成され、検出素子収納体２０を主プローブ体に固定する。 （もっと読む）

【課題】 各検出素子をプローブの開口に隣接して固定した場合において熱衝撃の影響により正確な体温測定ができなくなることがなく、かつまたコストダウンを実現できる耳式体温計の提供。
【解決手段】 環境温度を検出する温度検出素子２１と、耳腔内の温度測定部位から放射される赤外線を検出する赤外線検出素子２２とをプローブ３に内蔵し体温を測定する耳式体温計であって、プローブは、その先端に開口３１を有するように形成された端面部３２と、中空筒状体の内側面部３４と内方に突出する係合部３３を有し、検出素子収納体２０をプローブの開口を塞ぐように固定し、さらに空気層Ｋを形成する。 （もっと読む）