本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置で使用するミラーであって、基板及び反射コーティングを備え、反射コーティング自体はさらに第１層群及び第２層群を備えるミラーに関する。この場合、第２層群は、基板と第１層群との間に配置される。さらに、第１層群及び第２層群の両方が、上下に配置された複数の交互の第１層及び第２層を備え、第１層は第１材料を含み、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線に関する第１材料の屈折率は、第２層に含まれる第２材料の屈折率よりも高い。この場合、第１層群は、２１個以上の数の層を備えるよう構成されることで、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線の照射時に第２層群に達する放射線が２０％未満となるようにし、第２層群は、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する。これにより達成されるのは、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する第２層群が、ミラーの反射率特性に大きな影響を及ぼさないことである。 （もっと読む）

【課題】光取出し効率が高く、かつ明室コントラストの良好な有機電界発光装置及び有機電界発光装置の製造方法の提供。
【解決手段】陽極と、発光層と、陰極とを少なくとも含む有機電界発光部と、前記発光層から発光される光の光路を制御する四角錐プリズムとを少なくとも有し、前記四角錐プリズムの頂点を含む頭部領域の少なくとも一部に、反射層と、該反射層上に光吸収層とを有する有機電界発光装置である。四角錐プリズムが、頂点と底面の四隅とを結ぶ４本の稜線により画成された４つの三角形からなる４つの辺を有し、前記四角錐プリズムの頂点を含む頭部領域を構成する４つの辺の少なくとも１つに反射層と、該反射層上に光吸収層とを有する態様などが好ましい。 （もっと読む）

液体または気体の流体を含む保持部（１）に取り付けるための区域（２．３）と、非動作位置から可逆的に変形できる中央区域（２．１）とを含む変形可能ダイアフラム（２）と、取付け区域（２．３）と中央区域（２．１）との間の中間区域のダイアフラム（２）を動かして流体（４）を移動させるための作動手段とを有する光学デバイスに関する。作動手段は、複数のアクチュエータを受け取り、中央区域（２．１）を囲む連続圧電冠状部を含み、少なくとも中間区域（２．２）でダイアフラム（２）に取り付けられ、作動手段（５）と、それが取り付けられているダイアフラム（２）とが、少なくとも１つの圧電バイモルフ（Ｂ）を形成し、作動手段（５）が、ダイアフラムの中間区域（２．２）から中央区域（２．１）の方にまたは逆の方に流体（４）の移動をもたらし、中央区域（２．１）をその非動作位置に対して変形させるように作動の間半径方向に収縮または拡大する。
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【課題】太陽光線などの平行光線が得られないときであっても、投影した反射光で鮮明な意匠文様を確認でき、加えて、投影に用いる反射光の性質もすぐに確認可能であり、色彩を有する投影の際にその色具合がすぐに判明するような魔鏡を提供する。
【解決手段】鏡面（１）上に肉眼で認められる可視可能な意匠文様（２）と肉眼で凹凸が認められない可視不能な微細な凹凸からなる意匠文様（３）を施した魔鏡面（４）を有する鏡面（１）を用いた魔鏡とした。 （もっと読む）

【課題】投射光を効率よく反射し、生産性が高い反射型スクリーンの製造方法、および反射型スクリーンを提供する。
【解決手段】反射型スクリーンの製造方法は、スクリーン基材２の基材表面２Ａに投射光を反射する反射膜３を形成する反射膜形成工程と、複数の凹部５を有するように反射膜３を変形させる反射膜変形工程と、凹部５の反射膜３の一部を剥離する反射膜剥離工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】誘電体多層膜でなる増反射膜を用いた液晶表示装置において、液晶に印可される
電圧が小さくなるといった問題（電圧損失の問題）を解決することを目的とする。
【解決手段】スイッチング素子に電気的に接続された金属膜上の誘電体多層膜の積層数を
２層（第１の誘電体膜１０５、第２の誘電体膜１０６）と少なくし、さらに、第１の誘電
体膜の膜厚１０５を第２の誘電体膜１０６の膜厚よりも薄くすることによって、電圧損失
の問題を解決する。 （もっと読む）

【課題】投射光を効率よく反射し、生産性が高い反射型スクリーン、および反射型スクリーンの製造方法を提供する。
【解決手段】投射光Ｌ１を透過し、複数の凹部６を有する第１面、および第１面と反対側の第２面を有するシート状のスクリーン基材２と、投射光Ｌ１を反射する反射膜３と、投射光と異なる方向から入射する外光Ｌ２を吸収する吸収膜４と、を備え、第２面には、反射膜３が形成され、凹部６の一部には、所定方向から入射する投射光Ｌ１を反射し、外光Ｌ２を吸収するように、第２面に形成された反射膜３とは異なる吸収膜４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高熱負荷状態でのEUV波長域での使用に適した、反射光学素子を提供する。
【解決手段】本発明は、ＥＵＶシステムで用いる反射光学素子（１０）に関するものであり、少なくとも部分的には基板材から製造されるベース体（１）と、当該ベース体内に配置された、冷却媒体（７）が流れる少なくとも１つの冷却チャネル（６）とを備える。本発明では、５０W/mKよりも大きい熱伝導率を有する材料を基板材として備え、反射光学素子は、基板材に適用され、研磨加工可能なアモルファス材料を含む研磨層を備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、効率的に光束を分離することができる薄膜光学素子及びその製造方法を提供する。
また、前記薄膜光学素子をハーフミラーとして配置したデジタルカメラにおいて、ハーフミラーに起因する上述した諸問題を解決することができるデジタルカメラを提供する。
【解決手段】薄膜ミラー４０１のフィルム３０２に厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂を用い、光硬化型接着剤３０３によってフィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定することで、入射光束の一部を反射し、残りを透過させる可動ハーフミラーを構成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の発光点から出射される光束を用いて画像を形成する画像形成装置、レンズアレイ、アレイ鏡、光学ユニット及び光源ユニットを提供する。
【解決手段】ＬＥＤから出射された光束を、アレイ鏡ＡＭの反射鏡ＭＲで一旦反射させることにより、レンズアレイＬＡＹのレンズ部ＬＳへの入射光の入射角を変更でき、これによりレンズ部ＬＳのパワーの一部を反射鏡ＡＭに負担させることで、レンズ部ＬＳの曲率を弱めて設計の自由度や製造容易性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】色彩及び模様の多様性を備えるとともに色彩及び模様を好適に表出させることが可能な、意匠性に優れた光反射体を提供する。
【解決手段】例えば、釣りの疑似餌Ｇにおける眼球として好適に用いられる光反射体Ｒを、反射面１１を貝殻Ｓにより構成してなる基材１と、この基材１を覆うように設けられ中央部分２１の厚みＷａが周縁部分２２の厚みＷｂよりも大きい透明隆起層２とを具備するものとした。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化が可能であり、光学的な調整が容易な光走査装置及び該光走査装置を用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】光ビーム２０１Ａ〜２０１Ｄを射出する光源手段と、前記光ビームを偏向して主走査領域を走査させる偏向面を有する振動ミラー１０６と、前記光源手段から射出される光ビーム２０１Ａ〜２０１Ｄを反射して振動ミラー１０６の偏向面に入射させる入射ミラー部１１０ａ及び振動ミラー１０６により偏向された光ビーム２０１Ａ，２０１Ｂを一方向に反射して折り返し、残りの光ビーム２０１Ｃ，２０１Ｄを光ビーム２０１Ａ，２０１Ｂの折り返し方向とは反対方向に反射して折り返す分離ミラー部１１０ｂが一体となった入射分離ミラー１１０と、分離ミラー部１１０ｂからの光ビームを被走査面上に導く走査結像光学系とを備え、光ビーム２０１Ａ〜２０１Ｄが入射ミラー部１１０ａで互いに異なる角度で反射され振動ミラー１０６の偏向面に斜入射する。 （もっと読む）

【課題】複数の発光点から出射される光束を用いて画像を形成する画像形成装置、アレイ鏡及び光源ユニットを提供する。
【解決手段】ＬＥＤアレイＬＡＹの各ＬＥＤから出射された発散光の一部は、間接的に反射鏡ＡＭで反射され略平行光束に変換されて出射するようになっている。反射光及び各ＬＥＤからの直接光は、光束の発散度を変更する光学素子を介さず、感光体２０１ａ（又は２０１ｂ、２０１ｃ、２０１ｄ）上に結像され、その上に各ＬＥＤに対応した像ＭＧが形成されることとなる。 （もっと読む）

本発明は、ＥＵＶ波長領域に対する反射コーティングと、基板とを具えるミラーであって、基板の表面領域は反射コーティングの下側でこの反射コーティングに沿って均一に延在しているとともに、基板の表面から見て５μｍまでの深さｄを有している当該ミラーに関するものである。この場合、この表面領域はこの表面領域以外の残りの基板よりも２％だけ高い密度を有する。本発明は更に、上述した表面領域を同様に有する基板に関するものである。本発明は更に、イオン又は電子を照射することにより、上述した表面領域を有する上述したミラー及び基板を製造する方法に関するものである。
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【課題】第一には所望の分光放射分布の波長領域の分光強度を他の領域へ影響を及ぼすことなく調整ができると共に、急峻な分光強度の変化特性にも対応できる光学機構を備えた光源装置を提供すること、更には光源ランプのスペクトル特性の器差や経年変化があってもそれを補正することができる光源装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の分光放射分布の調整が可能な光源装置は、所望の分光放射分布に光源装置からの出力光の分光放射分布を一致させる手段として光源と光学素子が組み合わされたものにおいて、単数または複数の特定波長帯域を透過または反射する斜入射多層膜ミラーを使用して光源からの該特定波長帯域を該斜入射多層膜ミラーの反射、透過により除去する手段と、これに新たに用意した光量が調整された光を前記斜入射多層膜ミラーで透過、反射により合波する手段を備え、前記特定波長帯域の光を適度に補うことにより光源装置の出力光の分光放射分布の調整を可能とした。 （もっと読む）

１つまたはそれ以上の合成画像を生成するように動作する改竄表示セキュリティデバイス、基礎をなす母材からこのデバイスを分離しようとすれば（たとえば無理やり除去しようとすれば）、セキュリティデバイスの１つまたはそれ以上の層が分離または離層し、デバイスは、部分的にまたは全体的に動作不可能になる。本発明のデバイスは、とりわけ、通貨または紙幣、社債券、小切手、トラベラーズチェック、ＩＤカード、宝くじ券、パスポート、郵便切手、および、株券などの保管文書、ならびに、文房具品目およびラベルなどの非保管文書との使用に向けて企図されている。本発明のデバイスは、消費者物品ならびに消費者物品と共に使用される袋または包装との使用に向けても企図されている。
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【課題】Ｘ線領域において用いる光学素子において、入射角度に依存した反射率の低下を防止する。
【解決手段】基板１１にＭｏ層１２とＳｉ層１４の交互層からなる反射多層膜を有する光学素子において、Ｍｏ層１２とＳｉ層１４の層間に拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３を設ける。Ｘ線の入射角度が光学素子の面内で矢印Ａの方向に増大する場合に、拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３の膜厚に同じ方向の分布を持たせることにより、拡散防止効果を増大させて、Ｘ線の入射角度による反射率の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】反射ユニット及び光源を工夫することにより、小型化及び装置コストの低減を図ることができるとともに、上部光源ユニット及び下部光源ユニットの切り換え効果を発揮させることができる。
【解決手段】仕切り位置ｄｐに仕切りミラー２８を備えているので、上部光源ユニット２９と下部光源ユニット３１から出射された光の照射範囲を従来に比較して明確にすることができる。したがって、光源制御部により、画像信号出力部６５から出力される画像に応じて各光源を切り換えることにより切り換え効果を好適に発揮させることができる。その結果、右眼用画像と左眼用画像が混濁して観察されるクロストークを抑制することができ、立体画像を明確に表示させることができる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロミラー構成体（１）であって、ミラー基板（２）に形成される反射面（１１）を有する少なくとも１つのマイクロミラー（３）と、反射面（１１）内でミラー基板（２）に形成される反射コーティング（８）とを備えるマイクロミラー構成体（１）に関する。反射コーティング（８）は、反射面（１１）内に形成され、少なくとも２つの層サブシステムを有し、第１層サブシステムは、非金属材料から構成される交互の光屈折率層及び低屈折率層の周期的配列から構成される層（８ｅ，８ｆ）を有し、マイクロミラー構成体の使用波長に関する反射率に関して最適化され、第２層サブシステムは、マイクロミラー構成体の測定波長に関する反射率に関して最適化され、上記測定波長は使用波長からずらしたものである。本発明は、コーティングを作製する方法であって、コーティングは反射コーティング（８）及び反射防止コーティング（７）を含む方法にも関する。この場合、反射防止コーティング（７）は、特に反射コーティング（８）の層応力を補償する役割を果たす。 （もっと読む）

【課題】振り角の一層の拡大を達成し得るフォトニック結晶を用い、しかも、簡素な構成、構造を有する光反射装置を提供する。
【解決手段】光反射装置１２は、光入射面１３、光反射膜１５が形成され、光入射面１３から入射した光が反射される光反射面１４、及び、光反射面１４で反射された光が出射される光出射面１６を備えており、断面形状が楕円形の空孔１１が内部に配列された２次元以上のフォトニック結晶１０から成り、空孔１１の配列は面心配置であり、且つ、フォトニック結晶１０のｘ軸方向に沿った空孔１１の配列ピッチＰＴ_xとｙ軸方向に沿った空孔１１の配列ピッチＰＴ_yとは異なっており、波数空間上での分散面の形状はアスペクト比４以上の長方形である。 （もっと読む）