【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去する基板処理方法および基板処理装置において、スループットの低下を招くことなく、しかも優れた面内均一性でパーティクル等を除去する。
【解決手段】基板Ｗの回転中心Ｐ（０）から基板Ｗの外縁側に離れた初期位置Ｐ（Ｒin）の上方に冷却ガス吐出ノズル７を配置し、回転している基板Ｗの初期位置Ｐ（Ｒin）に冷却ガスを供給して、初期位置Ｐ（Ｒin）および回転中心Ｐ（０）を含む初期領域に付着するＤＩＷを凝固させる。そして、初期凝固領域ＦＲ0の形成に続いて、ノズル７から冷却ガスを供給しながら初期位置Ｐ（Ｒin）の上方から基板Ｗの外縁部の上方まで移動させることによって、凝固される範囲を基板Ｗの外縁側に広げて基板表面Ｗｆに付着していた全ＤＩＷ（凝固対象液）を凝固して液膜ＬＦ全体を凍結する。 （もっと読む）

【課題】製造ライン全体としての滞留状況を早期に検知するためのシステムを備え、効率的にカラーフィルタの製造が可能な多色混流型カラーフィルター製造装置を提供する。
【解決手段】各種処理を行う複数種の処理別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送装置を介して配置され、この処理別処理装置は処理に応じて複数個の個別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置された多色混流型カラーフィルタ製造装置であって、製造ライン内に存在する各種処理工程の基板在荷状況を管理し、分岐／合流箇所での滞留や交互化処理の失敗により顕著化する各工程基板分布の偏りを、分布マップとして視覚化するシステムを備える。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルムのシート片を液晶パネルに貼り付ける際の糊欠け、糊残りによる気泡の発生を抑制できる液晶表示素子の連続製造システムを提供する。
【解決手段】キャリアフィルムからシート片を剥離する剥離手段と、キャリアフィルムを巻き取る巻取手段と、シート片を粘着剤を介して液晶パネルに貼り付けて液晶表示素子を形成する貼付手段と、液晶パネルにシート片を貼り付ける貼付過程において、シート片を液晶パネルに貼り付け始める貼付開始時点からシート片が剥離手段の先端部によりキャリアフィルムから剥離されるまでの間、巻取手段によるキャリアフィルムの巻取速度Ｖ１および貼付手段による貼付速度Ｖ２がＶ１＝Ｖ２となり、液晶パネルに貼り付けられてる最中のシート片が前記剥離手段の先端部によりキャリアフィルムから剥離された後、かつシート片の液晶パネルへの貼り付けが完了する前のある時点においてＶ１＜Ｖ２となるように、巻取手段及び貼付手段を制御する速度制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】筐体の内部における設計自由度を高めること、及び、小型化を図ること可能な投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】投写型映像表示装置であるプロジェクタ１は、映像を表示するために所定の投射方向に光を投射する光学部品である投射レンズ２０と、投射レンズ２０を収納する筐体１０とを備え、所定の設置面９に設置される。設置面９に対向する筐体１０の底面１６には、投射方向に交差する軸を中心として筐体１０に対して回動可能な板状部材５が設けられるとともに、板状部材５が収納可能な収納部４１が設けられている。そして、板状部材５が筐体１０に対して回動することにより、筐体１０の表面である底面１６から設置面９に向けて板状部材５が突出する長さである突出量が変化する。 （もっと読む）

【課題】積層されるシート片間の粘着剤のはみ出し（露出）を生じないようにした液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】２以上のシート片を、シート片ごとに順番に液晶パネル側に積層して液晶表示素子を形成する液晶表示素子の製造方法であって、前記液晶パネルの一方面に積層される２以上のシート片において、次に積層されるシート片の４つの辺のそれぞれが、直前に積層されたシート片の４つの辺の内、積層状態で対応する辺より小さくなるように、前記２以上の連続ロールに巻回されている光学フィルムのフィルム幅が設定され、および前記切断サブステップにおける前記切断間隔が設定される。 （もっと読む）

【課題】粘着層が外部に露出することがない光学フィルム積層体の製造方法及び製造システム、並びに、光学フィルム積層体を提供する。
【解決手段】第１フィルム３１上に積層する第２フィルム３２及び第３フィルム３３の幅を、いずれも第１フィルム３１の幅よりも小さくするとともに、第２フィルム３２及び第３フィルム３３を、いずれも第１フィルム３１に対して幅方向にはみ出さないように、第１フィルム３１上に順次に積層する。これにより、光学フィルム積層体３０の粘着層３２Ａ，３３Ａが外部に露出することがない。 （もっと読む）

【課題】搬送機構を配置するためのスペースを小さくして装置の小型化を図ることが可能なＦＰＤモジュールの組立装置を提供する。
【解決手段】基板保持部材５２１は、表示基板１Ａを着脱可能に保持する保持部５３１と、第１の回動駆動部と、アーム部５３３と、第２の回動駆動部とを有する。第２の回動駆動部がアーム部５３３をＲ１方向に回動させ、第１の回動駆動部が表示基板１Ａを保持した保持部５３１をＲ１方向と反対のＲ２方向に回動させる。そして、直動駆動部５２２が、アーム部５３３の回動量に応じて基板保持部材５２１を第１の方向Ｘの一方又は他方に移動させることで、保持部５３１が保持した表示基板１を第３の方向Ｙへ搬送する。 （もっと読む）

【課題】水蒸気中の不純物を低減することで基板上の微粒子等を確実に除去すること。
【解決手段】純水ＰＷを加熱沸騰させて水蒸気を発生させる石英ガラス製の水蒸気発生容器１１０と、水蒸気発生容器１１０に純水ＰＷを供給する純水供給部４００と、水蒸気発生容器１１０で発生した飽和水蒸気ＳＶを加熱して過熱水蒸気ＨＶを生成する石英ガラス製の過熱水蒸気生成容器１５０と、過熱水蒸気生成容器１５０で発生した過熱水蒸気ＨＶを基板Ｗの表面に噴射させる基板処理装置３００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】整流環境を妨げることのない偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムを提供する。
【解決手段】本発明の貼合装置は第１基板搬送機構６１と、第１基板搬送機構６１での基板５の下面に偏光フィルムを貼合するニップロールと、基板５を反転させて第２基板搬送機構６２に配置する反転機構６５と、基板５を搬送する第２基板搬送機構６２と、第２基板搬送機構６２での基板５の下面に偏光フィルムを貼合するニップロールとを含み、反転機構６５の基板反転部６７は反転軸Ｍを中心に回転して基板５を反転させる。第１基板搬送機構６１での反転前の基板５の中心を通り、基板５の搬送方向と垂直な直線に対して４５°の傾きを有する直線を含み、第１基板搬送機構６１での反転前の基板５を含む面内に反転軸Ｍが位置し、基板支持部６６ａ・６６ｂは反転軸Ｍに対して線対称に一対備えられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄液としてのキレート過水液の濃度変化を抑制することが可能であり、その結果、使用するキレート過水液の材料費を低減することが可能な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１Ａは、循環路と、濃度センサ２１と、制御部２６とを備える。循環路は、キレート過水液１００を用いてガラス基板２００の洗浄を行なう洗浄槽１０と、キレート過水液１００を一時的に貯留する貯留槽１６と、これら洗浄槽１０および貯留槽１６を接続する送り管１８および戻し管１５とを含んでいる。濃度センサ２１は、キレート過水液１００の濃度を検出するためのものであり、送り管１８に設けられている。制御部２６は、濃度センサ２１によって検出された濃度情報に基づいて所定量の純水を貯留槽１６に供給することでキレート過水液１００の濃度管理を行なう。 （もっと読む）

【課題】ワークへの接着剤の均一な塗布と、接着剤のワークからのはみ出し防止を実現できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】貼り合せ対象となるワークＳに対して接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置において、ワークＳの縁部に接離可能なダミー供給領域部１２を備え、ワークＳ及びダミー供給領域部１２に、接着剤Ｒを供給する供給部１０と、ダミー供給領域部１２を、ワークＳから離れる方向に移動させる移動部１３を有する。 （もっと読む）

【課題】貼付時に偏光フィルムのシート片が振動することを抑制して貼付気泡の発生を防ぐことを目的とする。
【解決手段】キャリアフィルムからシート片を粘着剤とともに剥離する剥離手段と、キャリアフィルムを巻き取る巻取手段と、シート片を粘着剤を介して液晶パネルに貼り付けて液晶表示素子を形成する貼付手段と、貼付処理の貼付速度（Ｖｈ（ｔ））が、剥離手段で剥離されるキャリアフィルムの搬送速度（Ｖｓ（ｔ））より速く、かつ、貼付位置から剥離手段の先端部までの間で、貼付中のシート片に生じた撓みがなくなるように、貼付速度（Ｖｈ（ｔ））およびキャリアフィルムの搬送速度（Ｖｓ（ｔ））を設定し、および貼付位置から剥離手段の先端部までの距離（Ｌ）が、剥離手段の先端部からキャリアフィルムが折り返された部分である屈曲部までの距離（Ｌｓ）より長くなるように巻取手段および貼付手段の搬送速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】高精細なパターンの欠陥部を簡単な構成で修正することが可能な低価格のパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置１は、レーザ光の照射形状を所定形状に整形するスリット３７と、スリット３７によって整形されたレーザ光を基板１２の表面に集光する対物レンズ２５と、スリット３７の位置を調整し、対物レンズ２５によって集光されたレーザ光の照射位置を欠陥部１３ａに移動させる駆動部３５，３６とを備える。したがって、ＸＹテーブル３によってレーザ光の照射位置を移動させていた従来に比べ、装置構成の簡単化、装置の低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の割れ・欠けだけでなく、ヒビの検出も可能であり、且つ、割れ・欠け・ヒビが発生した工程から次工程に入る前に欠陥を検出し、そのことによって欠陥のあるガラス基板を排除可能な欠陥検査機構を備えた搬送装置を提供すること。
【解決手段】液晶表示装置の製造装置に使用されるガラス基板の搬送装置であって、
前記搬送装置は、駆動力を備えた複数の駆動ローラーと駆動力を備えていない複数の搬送ローラーを備えており、
少なくとも前記搬送ローラーは、荷重測定機構を備えていることを特徴とするガラス基板の搬送装置。 （もっと読む）

【課題】露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、露光対象部材２の搬送方向における露光光の照射領域よりも上流側に第１マーク形成部１７が設けられており、蛇行検出用マーク２ｂを検出し、検出部１４は、露光対象部材２の移動方向に交差する方向の蛇行検出用マーク２ｂを検出し、これに基づいて演算された露光対象部材２の蛇行量を打ち消すように、アライメントマーク形成部１３を移動させ、アライメントマーク２ａを露光対象部材２に対して相対的に直線状に形成する。 （もっと読む）

【課題】基板に描画するパターンの図形の円の弧で構成された部分を複数の直線で近似する際、円の半径に応じた分割角度を簡単な処理で高速に決定する。
【解決手段】基板に描画するパターンの図形の円の弧で構成された部分について、当該円の半径と、所定の半径の円において、円の弧を複数に分割し、分割した各弧の始点と終点を直線で結んで、円の弧を複数の直線で近似したときの近似誤差を、分割角度毎に予め求めたデータとから、近似誤差が許容値以下となる様に最大分割角度を決定し、決定した最大分割角度以下の分割角度で分割し、分割した各弧の始点と終点を結んだ複数の直線で近似して、基板に描画するパターンの図形のベクターデータを作成する。作成したベクターデータから、基板に対し光ビームの照射を開始する位置と、光ビームの照射を終了する位置とを演算で求めて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データを生成する。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、その直後にプライミングローラ１４に所定の回転角で往復の回転運動を行わせてから、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、露光光の照射位置よりも上流側にアライメントマーク形成部１３が設けられており、露光対象部材２に移動方向に対して断続的な指標が付されたアライメントマーク２ａを形成する。検出部１４は、露光対象部材２の移動方向に交差する方向におけるアライメントマーク２ａの指標位置における位置を検出する。そして、検出部１４の検出結果によりアライメントマーク２ａの蛇行量を演算し、アライメントマーク形成部１３を移動させる。又は、検出部１４が露光光の照射位置に対応するように配置されている場合は、マスク１２の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】表示基板の位置を検出する際に表示基板の反りや撓みを矯正して、位置合わせの精度を向上させることができるようにする。
【解決手段】ＦＰＤモジュールの組立装置２０は、表示基板１０を搬送する搬送台４０３と、表示基板１０の縁辺に処理を行う処理ヘッド４０５と、位置検出部４２と、位置検出補助部材４３とを備えている。位置検出部４２は、処理ヘッド４０５と搬送台４０３の間に配置されて表示基板１０の位置を検出している。そして、位置検出補助部材４３は、位置検出部４２によって表示基板１０の位置を検出する際に、処理ヘッド４０５の下刃４４よりも鉛直方向の上方で表示基板１０に当接し、且つ表示基板１０を支持することで表示基板１０の撓み及び／又は反りを矯正する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板を確実に支持バーから離隔し、基板全面を検査できる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【解決手段】
発明は、所定方向に長い複数の支持バーに設けられた複数の吸着孔からエアを吸引して基板を保持し、検査光を前記基板の表面に走査しながら照射して前記基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光し、前記吸引を停止し、前記基板を前記支持バーから離隔して上昇させて前記所定方向と垂直な方向にシフトし、前記基板の全面を検査する基板検査装置または基板検査方法において、前記基板からの離隔は、前記吸着孔から前記支持バーの前記基板の載置面に設けられた溝にエアを供給することによって行なうことを特徴とする。 （もっと読む）