【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】 基板の保持部が撮像部の撮像領域に写り込まず、基板にキズや汚れを生じさせず、基板の位置ずれを起こすことなく、基板の検査を行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 検査対象となる基板を保持して、一方向に移動させながら検査を行う基板検査装置及び方法であって、
基板移動部は、基板が光源と撮像部の撮像領域を通過するように、基板を保持して移動させる第１の基板移動部と、基板の光源と撮像部との間を通過した部分を保持して移動させる第２の基板移動部とを含んで構成され、
基板又は基板移動部の移動中の位置を検出する基板位置検出部を備え、
検出位置情報に基づいて、基板を第１の基板移動部と第２の基板移動部とで共に保持して移動させながら検査を行うこと特徴とする基板検査装置及び方法 （もっと読む）

【課題】基板の反転を必要とせず、且つ基板の周縁部にダメージを与えないように基板の裏面を洗浄することの可能な基板洗浄装置等を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、裏面を下方に向けた状態の基板を裏面から支えて保持する２つの基板保持手段（吸着パッド２、スピンチャック３）を備え、支える領域が重ならないようにしながらこれらの基板保持手段の間で基板を持ち替える。洗浄部材（ブラシ５）は基板保持手段により支えられている領域以外の基板の裏面を洗浄し、２つの基板保持手段の間で基板が持ち替えられることを利用して基板の裏面全体を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】光学補償素子の姿勢を良好に調整できるプロジェクターを提供する。
【解決手段】プロジェクター１は、入射した光束を変調する光変調装置と、光変調装置を介した光束の位相差を補償する光学補償素子６と、光学補償素子６が取り付けられ、光学補償素子６の位置を調整する調整部材７と、調整部材７を支持する支持部材８とを備える。調整部材７は、互いに離間する方向に突出する一対の腕部７２を有する。支持部材８は、一対の腕部７２の先端７２１にそれぞれ対向する一対の起立部８２１，８２３を有する。腕部７２及び起立部８２１，８２３のいずれか一方には、いずれか他方に向けて突出する突起部７２２、及び突起部７２２が挿通される挿通孔８２１Ａ，８２３Ａを有し、挿通孔８２１Ａ，８２３Ａに突起部７２２が挿通された状態で支持部材８に対して調整部材７を回転可能とする係合構造が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ターンテーブルを用いて、ワークの位置決めと貼り合せと効率良く行うことができるとともに、安価で小型の貼合装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ターンテーブルの少なくとも一ポジションに一対のワークを撮像する検出装置４が設けられ、撮像された画像に基づいて、一対のワークにおける方形の４頂点のうち３点を、それぞれ抽出する３点抽出部６６３と、抽出した３点のうち、方形の対角線の両端を構成する２点の中点を、ワークの重心として算出する重心算出部６６４と、抽出した３点のうち、方形の一辺を構成する２点に基づいて、ワークの傾きを算出する傾き算出部６６５と、重心及び傾きに基づいて、位置決め部の制御量を算出する位置決め演算部６７０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上の場所によってばらつきのないより均一な膜のパターニング形状を得るエッチング方法およびエッチング処理装置、を提供する。
【解決手段】エッチング方法は、１断目エッチング処理槽６１において、温度ｔ１を有するエッチング液を用いて、金属膜の表層を除去する工程と、金属膜の表層を除去する工程の後に、２〜４段目エッチング処理槽６２〜６４において、温度ｔ１よりも高い温度ｔ２を有するエッチング液を用いて、金属膜をパターニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の下面に非接触で基板を搬送し、基板を高速かつ安定的に移動させながら、基板の汚染やローラー痕の生成なく、基板の上下両面又は下面のみに処理を行う、非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板の上面と下面の両方又は下面のみに、水による洗浄処理、薬液による化学的処理、水によるリンス処理又は空気、窒素ガスといった気体による乾燥処理のいずれかの処理を行う、複数の基板処理ユニット７、８、９を備えてなる基板処理装置が、基板１の下面に向かって水、薬液、空気、窒素ガスといった流体を噴出して、基板１を浮上させ、基板１の下面に非接触でその位置を保持する、複数配置された基板浮上ユニット１０と、基板１の左右両側のエッジ部に水平方向から接触して、基板１を移動させる複数配置された搬送ローラー１２を有する基板搬送ユニットと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】湾曲する性質のシート製品をハーフカットし、切断されていない部材を剥離しながら、粘着剤を介してシート製品を基板に貼り合わせる際に、そのハーフカット後の搬送中に、切断されたシート製品が捲れる問題を解消し、好適にシート製品を基板に貼り合せることができるロール原反を提供する。
【解決手段】偏光子を有する光学部材を粘着剤を介して基板に貼り合わせて光学表示ユニットを形成するのに用いられる長尺のシート製品を巻回してなるロール原反であって、シート製品は、光学部材と、光学部材の一方表面に前記粘着剤を介して設けられる離型フィルムと、離型フィルム面と反対面に設けられる表面保護部材と、を有し、外力が作用していない状態において、前記長尺方向に前記離型フィルムを内側にして湾曲する構成であるシート製品を巻回してなる。 （もっと読む）

【課題】搭載部材が搭載される表示基板によって構成されるＦＰＤモジュールに対して効率的に処理を行うこと。
【解決手段】ＦＰＤモジュールを組み立てるＦＰＤモジュール組立ラインにおいて、表示基板１が搬送される第１の方向の搬送ラインに沿って配置される、ＡＣＦ貼付ユニット、仮圧着ユニット２００、本圧着ユニット３００のうち、少なくともいずれかの装置に対して、搬送ラインに交差する方向の処理位置に表示基板１を移動し、配置する移動装置を備える。そして、ＡＣＦ貼付ユニット、仮圧着ユニット２００、本圧着ユニット３００のうち、少なくともいずれかの装置が、移動装置によって処理位置に移動された表示基板１の少なくとも３辺に、少なくとも各辺に対する処理時間がオーバーラップするタイミングで所定の処理を行うものである。 （もっと読む）

【課題】納入先等に搬送後、納入先にて高精細なパターニング加工や高精度な貼合が可能なパターン付フィルムの搬送方法を提供すること。
【解決手段】パターン形成時における樹脂フィルムの含水率を基準含水率とした場合に、パターン形成時に至る過程における樹脂フィルムの含水率が当該基準含水率よりも低い場合には、パターン形成後のパターン付フィルムの含水率を常に前記基準含水率よりも低く保持して搬送し、一方で、パターン形成時に至る過程における樹脂フィルムの含水率が当該基準含水率よりも高い場合には、パターン形成後のパターン付フィルムの含水率を常に前記基準含水率よりも高く保持して搬送する。 （もっと読む）

【課題】分解可能な浮上ステージの再組み立て作業における高さ調整を簡便で短時間に行えるようにすること。
【解決手段】このレジスト塗布装置の浮上ステージ１０において、出口側のステージブロックＳＢ_aは、独立して輸送可能な架台ＦＬ_Aの上に多数の支柱１８およびアジャスタ２０を介して取り付けられている。中間の３つのステージブロックＳＢ_b，ＳＢ_c，ＳＢ_dは、独立して輸送可能な架台ＦＬ_Bの上に多数の支柱２２，２４，２６およびアジャスタ２８，３０，３２を介してそれぞれ取り付けられている。出口側のステージブロックＳＢ_eは、独立して輸送可能な架台ＦＬ_Cの上に多数の支柱３４およびアジャスタ３６を介して取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄工程数を減らし、さらに、基板に対する汚染粒子の再付着を防止する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、基板Ｗを搬送する搬送部２と、その搬送部２により搬送される基板Ｗの被洗浄面Ｓに、酸化膜除去可能な液体中に酸化性ガスを溶存状態および微小気泡状態で有する洗浄液を供給する供給ノズル３とを備え、その供給ノズル３は、被洗浄面Ｓ上に到達した微小気泡がサイズ変化を抑えつつ基板Ｗの外縁まで移動する流速で洗浄液を供給する。 （もっと読む）

【課題】光学部材の欠点を効果的に回収する。
【解決手段】第１ローラ４２及び第１ナイフエッジ４１に掛けまわされて回動する無端ベルト４０と、無端ベルト４０が回収対象の光学部材（不良貼合シートＦ１２）と接触するように第１ローラ４２を移動することによって、光学部材（不良貼合シートＦ１２）を無端ベルト４０に付着させる第１移動部４５と、第１ナイフエッジ４１で無端ベルト４０から剥離した光学部材（不良貼合シートＦ１２）を回収する第１回収部４６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液の使用量を低減させながら、パーティクルや異物が基板に固着することを防止して、清浄に基板を洗浄することが可能な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄液を貯留する貯留槽１２と、貯留槽１２に貯留された洗浄液をガラス基板１００の表面に供給するスプレーノズル１と、ガラス基板１００に供給された洗浄液を貯留槽１２に回収する回収槽１９とを備えた第１洗浄部１０１と、下方を向く洗浄液吐出口を有する洗浄液吐出ノズル２と、洗浄液の液溜まりを保持する洗浄液保持面を備えた液溜まり保持部材３と、ガラス基板１００の裏面に純水を供給する裏面洗浄部４とを備えた第２洗浄部１０２と、第１洗浄部１０１におけるスプレーノズル１と、第２洗浄部１０２における洗浄液吐出ノズル２との間に配設されガラス基板１００の表面から洗浄液を除去する上下一対のエアナイフ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 一対の大判透明基板１をエッチングした後でも、以降の工程において安全にハンドリングができ、且つ端面にクラックの入り難い液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の液晶パネルがレイアウトされた大判の透明基板を用いて、複数の液晶パネルを一括して作製する液晶表示装置の製造方法であって、対向する一対の透明基板１の少なくとも一方をエッチングにより薄型化する工程を含むとともに、エッチング工程よりも前に、対向する一対の透明基板の少なくとも一方の基板の外表面の外周部にマスキング処理８を施すこととした。 （もっと読む）

【課題】光量損失を良好に抑えつつ周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を用いて、適切な照明条件のもとで微細パターンを忠実に且つ高スループットで転写する。
【解決手段】入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子１０。たとえば水晶のような旋光性を有する光学材料により形成されて周方向に変化する厚さ分布を有する。厚さ分布は、ほぼ単一方向に偏光方向を有する直線偏光状態の光を、ほぼ周方向に偏光方向を有する周方向偏光状態の光に変換するように設定されている。周方向に分割された複数の領域１０Ａ〜１０Ｄを有し、この複数の領域において隣り合う任意の２つの領域の厚さが互いに異なる。また、複数の領域において対向する任意の２つの領域は、互いにほぼ等しい旋光角度を有する。 （もっと読む）

【課題】裏面洗浄の際に洗浄液が基板裏面に付着するのを抑制して洗浄効率の向上を図れるようにすると共に、装置の小型化を図れるようにする。
【解決手段】基板Ｇを水平状態に保持する基板保持部１０、基板保持部を鉛直軸回りに回転する回転駆動部２０、基板保持部にて保持された基板の裏面に洗浄液を吐出する洗浄液供給部５０とを具備する基板洗浄装置において、基板保持部は、基板を支持する支持部材１４を立設する環状部材１３と、回転駆動部に連結される中空回転軸１１の頂部に設けられるボス部１２と、ボス部と環状部材とを連結する複数の中空状スポーク１６と、を具備する。洗浄液供給部は、洗浄液供給源５３に接続され、中空回転軸内に遊貫される洗浄液供給筒軸５１と、洗浄液供給筒軸内を流れる洗浄液をスポークの中空部１６ａに案内すべくボス部に設けられる連通流路５４と、スポークの軸方向に沿って設けられる複数の裏面洗浄ノズル５５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 光学特徴の欠陥を識別でき、かつ検査工程においてパネル表面の異物を除去でき、また検査中のパネルに電力が供給できる光学検査装置を提供すること。
【解決手段】 第１方向に延伸する検査台と、前記第１方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも１つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、前記検査台に設置され、前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１スキャナとを有する光学検査装置。前記第１スキャナは、少なくとも１つの載置板に載置される少なくとも１つの物品を検査するために用いられ、前記投入口と前記払出口の間に第２方向に延伸する第１検出器を含む。前記第１スキャナと前記投入口の間に前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１ローラセットを有し、当該第１ローラセットは少なくとも１つの前記物品の表面に力をかけるために用いられる。 （もっと読む）

【課題】エッチングエンドのタイミングを確実に判別し、エッチングに必要な薬液の使用量を低減する。
【解決手段】エッチング室の入口から導入された処理基板を傾斜した状態で搬送する送りローラと、エッチング室内において送りローラによって搬送される処理基板に向けてエッチングに必要な薬液を吐出する吐出ノズルと、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜上方に位置する一端部に対向する第１センサ、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜下方に位置する他端部に対向する第２センサ、エッチング室内の出口側に設けられ処理基板の一端部と他端部との間の中央部に対向する第３センサを含むセンサ群と、センサ群に含まれる第１乃至第３センサの各々からの出力信号に基づいてエッチングエンドを判別する演算装置と、を備えたエッチング装置。 （もっと読む）

【課題】第１の保持体の保持面に保持された複数の部品を、第２の保持体に各部品ごとに対応して予め定めれた所定の移載位置に移載する処理時間の短縮を図れる技術を提供する。
【解決手段】ダイシングテープ６の保持面およびガラス基板８の部品実装面８ａが対向して支持された状態で、ダイシングテープ６に保持された当該部品７がガラス基板８の部品実装面８ａに押圧されることで、当該部品７がダイシングテープ６からガラス基板８の部品実装面８ａに設けられた移載位置に移載されるため、ダイシングテープ６の保持面からの部品７の取り出しと、取り出された部品７のガラス基板８の部品実装面８ａへの移載が同一工程で行われるので、処理時間の短縮を図ることができる。 （もっと読む）