【課題】光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及びしわを発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができる基板への光学フィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１内で、繰出部８から繰り出された光学フィルム１２を巻取部１１にて巻き取る間に、この光学フィルム１２の移動域で、移動装置４０により基板１０を光学フィルム１２と同期させて移動させ、圧着装置５０を同様に光学フィルム１２に同期させて移動させる。そして、この光学フィルム１２の移動中に、保持部材６１，６２が光学フィルム１２を静電チャックし、圧着プレート５１が光学フィルム１２を基板１０に対して押圧する。 （もっと読む）

【課題】 ２枚の基板の貼り合せ後に、該基板を基板保持部から確実に剥離させ、基板の貼り合せ精度を向上させること。
【解決手段】 チャンバ１２内にて対向して配置された第１と第２の基板保持部１５、１８の基板保持面１５ａ、１８ａにそれぞれ保持した２枚の基板１、２を貼り合せる基板の貼り合せ装置１０において、第１と第２の基板保持部１５、１８の少なくとも一方に前記基板保持面１５ａ、１８ａとは交差する方向に貫通して設けられた貫通孔２１に当該基板保持面１５ａ、１８ａに対して突没可能に挿通され、前記基板１、２を吸着保持する吸着部２３を備えた基板受渡しピン２２と、前記貫通孔２１と前記基板受渡しピン２２との間に配置され、前記基板保持面１５ａ、１８ａに保持された基板１、２との間で閉空間５１を形成するシール手段５０と、前記閉空間５１にガスを供給するガス供給手段６０と、を有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及び皺を発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができるフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼付装置１は、ステージ１１に基板２が載置され、保持部材１５により搬送されたフィルムをチャック部材１２により保持する。チャック部材１２は平板状に形成された圧着部材１３の圧着面を複数個に分割する各領域に対応して設けられている。そして、チャック部材１２により光学フィルム３を保持した状態で、フィルム３がステージ１１上の基板２に対して所定位置にあるときに、圧着部材１３により、チャック部材１２を介して光学フィルム３を基板２の上面に圧着する。 （もっと読む）

【課題】剥離体とキャリアフィルムとの接触部での安定性が増し、貼り付け時の気泡を抑制できる液晶表示素子の製造システムおよび液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】粘着剤を含む偏光フィルムのシート片が形成されている長尺のキャリアフィルムを巻き掛けることで、前記偏光フィルムから前記キャリアフィルムを剥離する剥離体と、前記剥離体で剥離された前記キャリアフィルムを巻き取る巻取手段と、前記偏光フィルムの前記粘着剤の粘着面と液晶パネルとを貼り付ける貼付手段とを有し、前記剥離体は、前記キャリアフィルムが接する当該剥離体の面のうち、当該剥離体先端を境にして少なくとも上流側の面が、前記キャリアフィルムの搬送方向に対して凸状の曲面となっており、さらに、前記剥離体の凸状の曲面が前記キャリアフィルムを押し上げるように配置される。 （もっと読む）

【課題】運動性能の向上した基板ステージ装置を提供する。
【解決手段】 基板ステージ２０は、Ｘ軸方向に関する位置を個別に制御可能であってＹ軸方向に関して互いに分離して配置される第１Ｘテーブル２４ａと第２Ｘテーブル２４ｂとを含み、Ｘ軸方向に沿って移動するＸ粗動ステージ２３ｘと、基板Ｐを保持し、Ｘ粗動ステージ２３ｘに誘導されて少なくともＸ軸方向に沿って移動する微動ステージ３０と、Ｙ軸方向に関して第１Ｘテーブル２４ａと第２Ｘテーブル２４ｂとの間に配置され、微動ステージ３０を下方から支持し、微動ステージ３０と共に少なくともＸ軸方向に沿って移動可能な重量キャンセル装置５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、縦型平面部材の左右面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができる自動研磨・洗浄装置に関するものである。
【解決手段】本発明の自動研磨・洗浄装置は、大型太陽電池あるいは大型液晶画面等の縦型平面部材の左右面を同時に研磨および／または洗浄をすることができる。前記縦型平面部材は、前記研磨・洗浄中に、砥粒および／または香料の入った研磨液および／または洗浄液が掛けられて研磨・洗浄が簡単で、かつ、素早く行える。本発明の自動研磨・洗浄装置は、縦型平面部材に合った素材から構成されている複数組のブラシ組立により、左右面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができるようになっているため、前記縦型平面部材の左右両面の研磨および／または洗浄を迅速、かつ、効率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】移動体に用力を伝達するためのケーブルの撓みを抑制する。
【解決手段】Ｘケーブルガイド装置５０は、２つの中間ガイドユニット５１を有しており、ケーブルＣの長手方向中間部の２箇所を保持している。中間ガイドユニット５１は、Ｘ軸方向に移動可能、且つケーブルＣを保持する中間支持部材５４がＹ軸方向に移動可能となっており、Ｘ粗動ステージ２３ＸのＸ位置に対応して、２つの中間支持部材５４それぞれが互いに反対の方向に駆動されることにより、ケーブルＣの撓みが抑制される。 （もっと読む）

【課題】安定した稼働を実現でき、気泡やゴミ等の混入がなく、高い精度での貼り合せが可能な貼合装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】一対のワークＳ１、Ｓ２を貼り合わせる押圧装置５が、ワークＳ１、Ｓ２を保持する部分を収容可能な真空チャンバ５１を有し、真空チャンバ内５１に設けられた真空計と、電圧値と、これに対応する圧力を算出するための複数の多項近似式とを記憶した記憶部と、電圧値及び多項近似式に基づいて、真空計からの電圧値に対応する多項近似式を選択する式選択部と、選択された多項近似式に基づいて、圧力を算出する圧力演算部を有する。 （もっと読む）

【課題】近接露光を行う際に、保持領域の近傍におけるパターンの転写精度を向上させる。
【解決手段】第１主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、四角形状である第１主表面上の、転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、第１主表面の対向する二辺の近傍に、露光機がフォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、保持領域は、保持領域内の平坦度指数Ｆｓｘとし、保持領域外の平坦度指数Ｆｅｘとしたとき、Ｆｓｘ≦Ｆｅｘを満たす。 （もっと読む）

【課題】マスクをプリアライメントする際に、マスクとマスクが接する面との間の摩擦によってマスクが損傷するのを防止することが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗに対してマスクＭを介して露光用光ＥＬを照射し、基板ＷにマスクＭのパターンＰを露光する近接スキャン露光装置１は、マスクチェンジャー１２０のマスクトレー部１２１は、マスクＭの下面にエアを供給して、マスクＭを浮上させるエア供給機構１２５と、浮上したマスクＭの端面と当接して、マスクＭを位置決めするマスク用位置決めピン１９６と、浮上したマスクＭの端面をマスク用位置決めピン１９６に向けて押圧する押圧機構１９８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きとヘッド部の傾きとを容易に判別して、光ビームの歪みを抑制し、描画精度を向上させる。
【解決手段】光ビーム照射装置２０から照射される光ビームを受光する受光装置５１をチャック１０に設け、光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａを回転する回転機構２８を設ける。回転機構２８によりヘッド部２０ａを回転する前と回転した後に、光ビーム照射装置２０から照射された光ビームを受光装置５１により受光する。ヘッド部２０ａを回転する前後の、受光装置５１により受光した光ビームの位置の変化から、光ビーム照射装置２０の空間的光変調器２５の傾きとヘッド部２０ａの傾きとを判別し、判別結果に基づき、空間的光変調器の傾き又はヘッド部２０aの傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】
液晶露光装置において、フォトマスクの変形に伴うガラス基板上のパターンの変形を避けて液晶パネルの品質を向上させると共に、フォトマスクとガラス基板間の圧力変動によって生じるマスク変形が小さくなるまで待つことなく露光開始可能とすることで生産性をも向上する。
【解決手段】
フォトマスク５１１と対向するガラス基板５１３を支えるチャック５１５の裏面にひずみ測定手段６０１を設置し、フォトマスク５１１とガラス基板５１３との間隔を調整するときの圧力変動を前記ひずみ測定手段６０１で測定し、このひずみ値が、予め設定したひずみ値になり、かつ、その時間微分値が負の値をとるときにフォトマスク５１１のパターンをガラス基板５１３に転写する。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板が薄板の場合でも基板たわみによる基板と基板受けピンとの干渉がない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】処理装置間で基板の受け取り、受け渡しを行う基板搬送ロボットであって、基板の裏面に接して基板を支持する基板支持体Ａを固定して備えたロボットハンドと、基板の裏面に接して基板を支持する基板支持体Ｂを有する基板たわみ防止手段を備えたロボットハンドと、を有することを特徴とする基板搬送ロボット。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの天井面などに処理液や蒸気などが付着しない枚葉式の基板処理装置を提供する。
【解決手段】ハウジング１と、前記ハウジング１内に基板３を保持する保持手段２と、前記基板３の処理面３ａに対して処理液を供給する供給手段８と、前記ハウジング１内に気体を取り込む取り込み口１ａと、前記ハウジング１内の処理液の蒸気を当該ハウジング１から排出する排出口１ｃとを備え、前記保持手段２は前記処理面３ａを前記ハウジング１の底部１ｂに向けて前記基板３を保持し、前記取り込み口１ａから前記排出口１ｃへ向かう気流を形成し、前記気流によって処理液の蒸気を当該ハウジング１から排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照射光の広域な波長に亘って安定した低反射率を得られ、安定した二重露光防止作用と良好な露光作用を得られるとともに、液晶ディスプレイの軽量化と大型化に対応し、設備費と反射率の低減を図れるとともに、基板ステージの機能低下や故障を未然に防止し、低反射率の液晶基板保持盤を確実かつ安価に製造できる、液晶基板保持盤およびその製造方法を提供する。
【解決手段】母材１１表面に低反射率の材料からなる溶射皮膜１２を形成したこと。前記溶射皮膜１２の表面に透明または半透明の基板Ｗを保持可能な支持部１３を形成した液晶基板保持盤であること。前記溶射皮膜１２をアルミナとチタニアを含有する複合材料（Ａｌ₂Ｏ₃−α％ＴｉＯ₂）で形成したこと。前記溶射皮膜１２表面の全反射率を、光の波長３６０〜７４０ｎｍの範囲に亘って９％以下に形成したこと。 （もっと読む）

【課題】処理作業の異常時にパネルをバックアップから退避しパネルの変形を防止することが可能なＦＰＤモジュールの組立装置を提供する。
【解決手段】 パネルの作業辺に対して各種処理作業を行う処理ヘッドを有する複数の処理ユニットと、複数の処理ユニットの作業位置にパネルを搬送する搬送ステージと、処理ユニットに配設され、パネルの作業辺を含む少なくとも２つの周縁辺を吸着することによりパネルを保持するパネル保持部と、を備える。そして、パネル保持部に設けられ、各種処理作業またはパネルの搬送の異常時に、パネルを作業位置よりも上昇可能に支持すると共に、異常の解除時に、パネルを作業位置に下降可能に支持するパネル昇降機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】従来の製造装置および製造方法と比較して、製造工程数を削減すると共に、無駄（ロス）になるフィルム原料を削減する（フィルム原料を有効利用する）ことにより、生産性に優れると共に製造コストを抑制することができる液晶表示装置の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】製造装置１は、液晶パネルを搬送するパネル搬送機構１１を備えると共に、上流側から下流側に向かって順に、偏光フィルムを液晶パネルの裏面に貼合する裏面側偏光フィルム貼合機構２、液晶パネルを９０°旋回させる９０°旋回機構３、液晶パネルから偏光フィルム上の保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離機構４、偏光フィルムに輝度向上フィルムを貼合する輝度向上フィルム貼合機構５、液晶パネルを１８０°反転させる反転機構６、偏光フィルムを液晶パネルの表面に貼合する表面側偏光フィルム貼合機構７を備えている。 （もっと読む）

【課題】スペース効率に優れた液晶表示装置の製造システムを提供する。
【解決手段】本発明に係る製造システムは、液晶パネル１に偏光フィルムを貼合する液晶表示装置の製造システムであり、液晶パネル１を搬送する搬送ローラ１０と、液晶パネル１の搬送方向へ偏光フィルムを巻き出す巻出部とを含む貼合機構１１０・１２０が離間した状態で備えており、上記巻出部は偏光フィルムの巻き芯の軸方向に沿って、貼合機構１１０・１２０の間に移動可能であり、貼合機構１１０・１２０の間隔が、偏光フィルムの巻き芯の軸方向に沿った巻出部の長さの１倍以上、２倍未満となるように貼合機構１１０・１２０が配置されている。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）