【課題】基板に描画するパターンの図形の円の弧で構成された部分を複数の直線で近似する際、円の半径に応じた分割角度を簡単な処理で高速に決定する。
【解決手段】基板に描画するパターンの図形の円の弧で構成された部分について、当該円の半径と、所定の半径の円において、円の弧を複数に分割し、分割した各弧の始点と終点を直線で結んで、円の弧を複数の直線で近似したときの近似誤差を、分割角度毎に予め求めたデータとから、近似誤差が許容値以下となる様に最大分割角度を決定し、決定した最大分割角度以下の分割角度で分割し、分割した各弧の始点と終点を結んだ複数の直線で近似して、基板に描画するパターンの図形のベクターデータを作成する。作成したベクターデータから、基板に対し光ビームの照射を開始する位置と、光ビームの照射を終了する位置とを演算で求めて、光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画データを生成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板を確実に支持バーから離隔し、基板全面を検査できる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【解決手段】
発明は、所定方向に長い複数の支持バーに設けられた複数の吸着孔からエアを吸引して基板を保持し、検査光を前記基板の表面に走査しながら照射して前記基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光し、前記吸引を停止し、前記基板を前記支持バーから離隔して上昇させて前記所定方向と垂直な方向にシフトし、前記基板の全面を検査する基板検査装置または基板検査方法において、前記基板からの離隔は、前記吸着孔から前記支持バーの前記基板の載置面に設けられた溝にエアを供給することによって行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶光学素子内部の液晶層の温度をより正確に測定することができ、かつ液晶光学素子の小型化を図ることができる液晶光学素子を提供する。
【解決手段】液晶光学素子は、コモン電極が形成された第１の基板と、複数のセグメント電極が形成された第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間にシール材を介して封入された液晶層と、第１の基板と第２の基板との間、かつ液晶層と接触可能な位置に配置され、該液晶層の温度を検出する温度検出手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】定速搬送装置による光学フィルムの搬送速度の増速を抑え、定速搬送装置による光学フィルムの搬送精度の悪化、及び光学フィルムに対する回収時の過度の衝撃の作用を防止することができる光学フィルムの中間搬送装置を提供する。
【解決手段】帯状の光学シートＳを光学レーザ装置２３，２４により２枚の光学フィルムＳ１に切断する光学レーザユニット２と光学フィルムＳ１を一定速度で搬送する定速搬送装置３との間に設けられた中間搬送装置１として、光学レーザユニット２からの光学フィルムＳ１を上流側装置本体部６で受け取る際に光学レーザユニット２からの送り出し速度よりも若干速い第１の搬送速度で上記光学フィルムを受け取るように加速され、光学フィルムＳ１を下流側装置本体部７から定速搬送装置３に受け渡す際に定速搬送装置３による搬送速度よりも若干遅い第２の搬送速度に減速している。 （もっと読む）

【課題】平面型表示装置の解体作業の合理化、簡素化を達成し得る平面型表示装置の解体方法を提供する。
【解決手段】平面型表示装置の解体方法は、平面型表示装置３０の４辺のそれぞれに解体装置１０，１０Ａ，１０Ｂを配置した後、第１部材移動装置１４を作動させて、第１部材１１を前進端から後進端に向かって移動させ、爪部Ａを、画像表示部３１の表面に対向したフロントキャビネット部３４の先端部と画像表示部３１の表面３２との間に侵入させ、第１部材移動装置１４を更に後進端まで移動させ、フロントキャビネット部３４を破壊して画像表示部３１から取り外す。 （もっと読む）

【課題】接着剤からのアウトガスの発生量を抑えて、短時間で真空引き可能な真空貼合装置及び真空貼合方法を提供する。
【解決手段】一対のワークＳ１、Ｓ２が収容され、真空とすることが可能な真空チャンバ３１と、真空チャンバ３１に接続され、一対のワークＳ１、Ｓ２の貼り合わせ前に、真空チャンバ３１を減圧する真空源と、一方のワークＳ１に供給された水分を付着させる液体付着部２とを有し、真空チャンバ３１を、真空源により減圧することにより、ワークＳ１の接着剤Ｒに付着された水分を気化させることにより冷却する冷却部とする。 （もっと読む）

【課題】偏光膜を有する光学的パネル組立体の連続的製造方法を提供する。
【解決手段】偏光膜は、連続ウェブ状の熱可塑性樹脂基材上にＰＶＡ系樹脂層を形成した積層体に対し、空中補助延伸とホウ酸水中延伸からなる２段階延伸により、ＰＶＡ系樹脂層を１０μｍ以下の厚みにする延伸と、ＰＶＡ系樹脂膜に二色性物質を吸着させる吸着とを行うことによって形成される。該偏光膜を有する光学フィルム積層体に、粘着剤層を介してキャリアフィルムを剥離可能に貼り付けて形成したキャリアフィルム付光学フィルム積層体に対し、光学パネルの長辺寸法又は短辺寸法の一方に対応する所定の長さ方向間隔で、幅方向に、光学フィルム積層体の側からキャリアフィルムの面に達する深さの複数のスリットを形成し、長さ方向に隣接する２つのスリット間に、光学フィルム積層体のシートを形成する。 （もっと読む）

【課題】スジ不良発生を抑制できる液晶表示素子の連続製造システムおよび液晶表示素子の連続製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】キャリアフィルム搬送手段と、キャリアフィルムから偏光フィルムのシート片を粘着剤とともに剥離する剥離手段と、キャリアフィルムを巻き取る巻取手段と、シート片を粘着剤を介して液晶パネルに貼り付けて液晶表示素子を形成する貼付手段と、少なくとも前記キャリアフィルムから前記シート片を剥離し終える剥離完了時点において、当該キャリアフィルムを前記剥離手段の先端よりも前記貼付手段側に張り出させながら折り返すように、前記巻取手段及び前記貼付手段を制御する速度制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークチャックの経路出口における熱媒体の温度が所定になるように冷却水の流量を制御し、ワークチャック各部の温度を均一にして、分割逐次露光においても高精度で基板を露光することができる露光装置を提供する。
【解決手段】蓄圧器８０を接続したワークチャック２０に設けられ、並列接続されて熱媒体Ｗを通過させる複数の熱媒体流路２１，２２，２３と、これらの熱媒体流路の出口側にそれぞれ設けられ、熱媒体Ｗの出口温度Ｔｗｏ１，Ｔｗｏ２，Ｔｗｏ３を測定する温度センサ３１，３２，３３と、複数の熱媒体流路２１，２２，２３にそれぞれ設けられ、これらの熱媒体流路を通過する熱媒体Ｗの流量Ｇｗ１，Ｇｗ２，Ｇｗ３を制御する流量調整機構４１，４２，４３と、を備え、これらの温度センサにより測定される熱媒体Ｗの各々の出口温度に基づいて、流量調整機構が熱媒体Ｗの流量を制御し、ワークチャック２０の温度を所定の温度に調整する。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で液晶セルの両面に光学フィルムを良好に貼り合せることができる光学表示装置製造システム及び光学表示装置製造方法を提供する。
【解決手段】幅方向に対して直交方向に吸収軸Ｂ１が延びるように第１光学フィルムＦ１１を巻回した第１ロール原反Ｒ１から、前記直交方向に第１光学フィルムＦ１１を送り出し、切断して液晶セルＷの一方の面に貼り合せる。幅方向に吸収軸Ｂ２が延びるように第２光学フィルムＦ２１を巻回した第２ロール原反Ｒ２から、その幅方向に対して直交方向に第２光学フィルムＦ２１を送り出し、切断して液晶セルＷの他方の面に貼り合せる。これにより、液晶セルＷを回転させるための機構などを設けることなく、第１光学フィルムＦ１１と第２光学フィルムＦ２１をクロスニコルの関係で貼り合せることができる。 （もっと読む）

【課題】マスクのアライメントマークの位置及び基板の下地パターンのアライメントマークの位置を迅速に精度良く検出して、マスクと基板との位置合わせを短時間で高精度に行う。
【解決手段】マスク２と基板１とのギャップ合わせを行う間、第１の画像取得装置５１の焦点位置をギャップ合わせ後のマスク２の下面の高さへ移動し、第２の画像取得装置５２の焦点位置をギャップ合わせ後の基板１の表面の高さへ移動する。第１の画像取得装置５１によりマスク２のアライメントマーク２ａの画像を取得して、マスク２のアライメントマーク２ａの位置を検出し、第２の画像取得装置５２により基板１の下地パターンのアライメントマーク１ａの画像を取得して、基板１の下地パターンのアライメントマーク１ａの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】小型マスク連続露光において、遮光機構の構造を複雑にすることなく、搬送方向の長さが異なる様々な領域の遮光に対応できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１は、光源と、基板６を搬送する搬送装置と、光源と基板６との間に配置されるフォトマスク３と、遮光板５１〜５４とを備える。遮光板５１及び５２は、フォトマスク３とほぼ平行な同一平面を構成する位置と、軸受７３の中心軸を下端として、遮光板５１及び５２がＺ軸方向に延びる位置との間で開閉自在である。遮光板５１〜５４の射影全体が非露光領域６２に重なった状態で、遮光板５１〜５４が、開口パターン形成領域３０の上方をＹ軸正方向に基板６と等速で移動する。これによって、非露光領域６２が開口パターン形成領域３０の下方を通過する間、非露光領域６２が遮光板５１〜５４によって遮光される。 （もっと読む）

【課題】表示状態の評価を、画素電極やカラーフィルタなどを作製する前の段階で行なうことが可能な散乱反射型の情報表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１０１、剥離層１０２、透明導電膜１０３、マイクロカプセル層１０４、接着剤層１０５、シリコーン離型剤層１０６、透明導電膜１０７、ＰＥＴフィルム１０８をこの順に積層した散乱反射型表示体１２０を作製し、透明導電膜１０３及び１０７間に検査用電圧を印加してマイクロカプセル層１０４の散乱反射状態を変化させて表示状態を検査した後、シリコーン離型剤層１０６と接着剤層１０５との界面を剥離し、画素電極２０１が形成された背面板２０２を、画素電極２０１と接着剤層１０５とが接するように接着する。そして、剥離層１０２に熱を加えて発泡させ透明導電膜１０３を発泡した剥離層３０１から剥離した後、透明導電膜１０３に表面保護層４０２を積層する。 （もっと読む）

【課題】多層構造の上下間での層間ショート欠陥に対する欠陥修正工程の作業効率を著しく向上させつつ、欠陥修正の品質を向上させる。
【解決手段】欠陥修正装置が備える欠陥検出部により多層基板における繰り返しパターン内の欠陥を検出し、欠陥検出部で検出された欠陥が層間ショート欠陥の発生が想定される領域に重なる場合、欠陥修正装置が備える制御部３０１により層間ショート欠陥用の欠陥修正手法に対応するオブジェクトを生成する。そして、生成したオブジェクトを利用して欠陥の修正を実行する欠陥修正部を制御する。 （もっと読む）

【課題】ロール式貼り合せシステムで使用され、光学フィルム積層体が変形するのを防止することができる連続ロール、並びに、液晶表示素子の製造方法及び製造システムを提供する。
【解決手段】温度が２３±５℃、湿度が３５〜８０％の環境下においてロール式貼り合せシステムで使用される連続ロールＲ１，Ｒ２を、当該環境下で光学フィルム積層体Ｆ１，Ｆ２の引き出しを開始する際の当該光学フィルム積層体Ｆ１，Ｆ２の１ｍ^２当たりの水分量が７．８ｇ以下となるように調整する。これにより、連続ロールＲ１，Ｒ２から光学フィルム積層体Ｆ１，Ｆ２が全て引き出されるまでに、偏光フィルムを含む光学フィルム積層体Ｆ１，Ｆ２の水分量が増加して変形するのを効果的に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームの環境情報である発塵数の情報をデータベース化し、各製造処理装置内と各製造処理装置周辺のクリーン度と、製品の品質との関係を求め、求められた関係結果に基づいて品質監視や品質管理の基準を作成可能とする品質管理システムを提供する。
【解決手段】基板の製造処理装置が設置されているクリーンルームの環境情報を監視して環境起因による不良基板の発生を抑制するための品質管理システムであって、
検査結果管理ＤＢと、装置データ管理ＤＢと、実績情報分析ＤＢと、品質監視システムと、工程制御システムを備えたことを特徴とする品質管理システム。 （もっと読む）

【課題】
防振機構を有する投射型表示装置において、操作性と防振制御を両立する。
【解決手段】
加速度センサ（１０９）は、プロジェクタ（１００）に加わる振動の加速度を検出する。ＣＰＵ（１０６）は、加速度センサ（１０９）の出力からプロジェクタ（１００）の変位量と方向を計算する。一定以上の変位量の場合、ＣＰＵ（１０６）は、その変位を打ち消すように、レンズシフト部（１１２）を制御してシフトレンズ（１１３）を駆動させる。これにより、被投射面への投射画像の表示位置を静止状態に保つ。プロジェクタ（１００）を位置合わせするモードをユーザが操作部（１１４）で選択した場合、ＣＰＵ（１０６）は、この防振動作をオフにするか弱める。 （もっと読む）

【課題】表示基板の製造ラインで、フィルムに連続して形成された搭載基板を打ち抜いて、表示基板に搭載させる際の精度向上と、製造効率の向上を図る。
【解決手段】搭載基板２０が連続して形成されたフィルムの供給元１１と、搭載基板の打ち抜き部４０との間の所定位置で第１の撮像部６１により搭載基板２０を撮像する。また、打ち抜き部４０で打ち抜かれた搭載基板２０を第２の撮像部６３で撮像する。そして、両撮像部６１，６３で撮像された画像から、打ち抜き部４０でフィルム１０から搭載基板２０を打ち抜く位置を調整する制御を行う。 （もっと読む）

【課題】複数個の検出信号の信号強度に基づいて、各ピクセルにおいて欠陥検出に用いる欠陥強度を求める際に、各検出信号の信号強度が変動することによって生じる各ピクセルの欠陥強度の変動を低減し、欠陥検出の検出精度の低下を防ぐ。
【解決手段】欠陥強度を求めるピクセルについて、そのピクセルの近傍に所定の範囲を定め、この所定範囲内にある検出信号を用いてピクセル近傍の強度分布を補間する関数を求め、この関数の極値（極小値又は極大値）からそのピクセルの欠陥強度を求める。この欠陥強度はそのピクセルで欠陥検出を行うための信号強度であり、欠陥強度と予め定めておいたしきい値と比較することによって欠陥検出を行う。 （もっと読む）

【課題】保護フィルムが薄肉で破断しにくく、かつ偏光板にカールが生じにくく良好な軸精度で液晶セルへの貼合を行うことが可能なロール状偏光板のセットを提供する。
【解決手段】液晶セル４０の背面側に貼合する第１のロール状偏光板７１と、視認側に貼合する第２のロール状偏光板７１´とからなり、第１のロール状偏光板７１は、延伸されたアクリル系樹脂からなる保護フィルム２５と、第１の偏光フィルム２１と、セルロース系樹脂からなる第１の無配向性フィルム２３と、第１の粘着剤層２７と、第１の離型フィルム８０と、をこの順に積層してなる長尺の偏光板である。第２のロール状偏光板７１´は、延伸されたアクリル系樹脂を基材とした防眩性フィルム３４と、第２の偏光フィルム３１と、第２の無配向性フィルム３３と、第２の粘着剤層３７と、第２の離型フィルム９０と、をこの順に積層してなる長尺の偏光板である。 （もっと読む）