【課題】洗浄対象物が微細な穴や凹部を有していても洗浄ムラの発生を高精度に抑制でき、乾式クリーニングにおける洗浄能力向上に寄与できる洗浄媒体を提供する。
【解決手段】平行四辺形の洗浄媒体ＰＣ−１は、使用前の状態において微細な穴の内部に進入できる鋭角部ＳＣを有しているとともに、その面形状内に、一辺に平行に形成されたライン状の割れ誘導部ＬＹを複数有している。洗浄中に繰り返し加わる衝突等の応力により、割れ誘導部ＬＹを境界に破断し、分離した分離片には、新たなエッジ及び鋭角部ＮＳＣが形成される。これにより、洗浄プロセス中全体に亘って、微細な穴の内部の汚れを除去できる洗浄能力が維持される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、清掃布によって、ローラの表面を清掃する場合に、ローラの表面の空気の層又は空気の流れを乱さないこと。
【解決手段】 清掃布６をローラ２の表面に押し付ける押圧体９を搭載した清掃ユニット３をローラ２の長手方向に沿って移動可能にサポートバー４に支持し、清掃ユニット３をローラ２の長手方向に移動させてローラの表面を清掃するローラ清掃装置１であって、ローラ２の回転方向を基準にして、押圧体９の下流側に配置され、ローラ２の長さと略同一の長さで、ローラ２の表面付近の空気の層又は空気の流れの部分的な乱れをローラ２の長さ方向に拡散させる拡散体２７を有する拡散手段１０を備え、清掃ユニット３によってローラ２の表面５の近傍の空気の層又は空気の流れが部分的に乱れることに対して、拡散手段１０によって乱れた空気を拡散しローラ２の長手方向に均一化を行う。 （もっと読む）

【課題】ロール洗浄部材の形状の最適化を図り、基板表面を高い洗浄度で効率的に洗浄して、基板表面に残存するディフェクト数を低減できるようにする。
【解決手段】表面に多数のノジュールを有し基板の直径のほぼ全長に亘って直線状に延びて基板表面との間に洗浄エリアを形成するロール洗浄部材と基板とを共に一方向に回転させつつ、ノジュールと基板表面とを互いに接触させて該表面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法において、洗浄エリア（長さＬ）上のロール洗浄部材１６と基板Ｗの相対回転速度が相対的に低い順方向洗浄エリア（長さＬ_ｆ）では、洗浄エリア上のロール洗浄部材と基板の相対回転速度が相対的に高い逆方向洗浄エリア（長さＬ_ｉ）よりも少ない面積でノジュール１６ａと基板Ｗの表面とを互いに接触させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス面を傷付けることなく、ガラス面上の撥水性油膜を確実に除去することのできる撥水性油膜を除去する方法及びその方法に用いる油膜除去剤組成物を提供する。
【解決手段】ガラス面上の撥水性油膜を除去する方法であって、少なくとも片面側に極細繊維を含む不織布層又は布層を設けたワイパーを準備し、前記ワイパーに平均粒径が０．１μｍ〜１０μｍの炭化ケイ素化合物と、平均粒径が５μｍ〜５０μｍの珪藻土と、分散成分とを含有する油膜除去剤組成物を染み込ませ、次いで、前記油膜除去剤組成物を染み込ませたワイパーで前記撥水性油膜が付着するガラス面上を摺動することで前記ガラス面上の撥水性油膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】足場を組むことなく、地上から高い場所まで広範囲にわたり、建物の外装に付着した生物汚染を除去できる生物汚染の除去方法の提供。
【解決手段】建物の外装に付着した生物汚染を除去する方法であって、２ｍ以上の長柄に取り付けられた圧送ローラーを用いて殺菌剤を外装に塗布する殺菌剤塗布工程と、前記殺菌剤塗布工程の後に、２ｍ以上の長柄に取り付けられた圧送ローラーを用いて外装に塗布された殺菌剤を水洗浄する洗浄工程とを含むことを特徴とする生物汚染の除去方法。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストや設備投資の増大、さらにはガラス基板の生産性低下を極力招くことなく、ガラス基板の有効面を効果的に清浄化することができる技術を提供する。
【解決手段】搬送されるガラス基板Ｇの有効面に対し、洗浄液２１を供給しつつ、洗浄ヘッド１５を回転させながら押し当てることにより、ガラス基板Ｇの有効面に付着した異物を取り除く洗浄工程において、洗浄ヘッド１５または洗浄ヘッド１５を保持する第１保持部材１３の少なくとも一方の膨張収縮を利用して、ガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を調整する。具体的には、洗浄ヘッド１５がある程度摩耗したときに、洗浄液２１の供給温度を上昇させて、洗浄ヘッド１５または第１保持部材１３の少なくとも一方を熱膨張させ、洗浄ヘッド１５の摩耗によって低下したガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を再度高める。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 回転機構を持たない基板処理装置であっても、基板と接触する部位を清掃することができる基板処理装置の清掃装置を提供する。
【解決手段】 清掃装置２は、処理されるウエハＷと同じ外形のベース４００と、ベース４００の下面の周縁部に下向きに植設された清掃具であるブラシ４０２と、ブラシ４０２を動かす駆動源の振動発生装置４０４とからなり、ハンド１１上で清掃装置２の振動発生装置４０４が振動してブラシ４０２が振動し、ハンド１１のウエハ支持部材８１の支持面８６ａを清掃する。 （もっと読む）

【課題】 表面に付着したゴミの清掃が容易なロールを提供する。
【解決手段】
走行するシートの表面に回転しながら接触するロールであって、棒状の軸と、円筒形状の円筒部と、を備え、前記軸は、前記円筒部の長手方向両端面の中心を貫いて配置され、前記円筒部は、前記軸を回転中心として回転可能であり、前記シート上において製品としての機能を発揮しない部分に接触する前記円筒部表面に、前記シートに転写するための互いに異なる複数の文字、数字、図形、記号のいずれかの形状である記号形状が形成されているロール。 （もっと読む）

【課題】多量の部品の表面に残存している処理液を能率よく拭き取ることができるようにする。
【解決手段】多数の部品Ｗと拭取り材１１とを処理容器７に収容し、処理容器７を回転駆動することにより処理容器７内で部品Ｗを回転攪拌し、これにより部品Ｗ表面の処理液に拭取り材１１を接触させることで当該部品Ｗの表面から処理液を拭き取る。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】高い液体除去機能が発揮されると共に、耐摩耗性に優れたロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は前記ロール部２が外周に形成される本体部７、及び前記本体部７の両端に連接される継ぎ手部Ａ８及び継ぎ手部Ｂ９を有し、前記ロール部２は不織布１７からなる複数の概円環状のロール片４ａ、４ｂが積層されて形成されてあると共に、前記不織布１７は多数の極細繊維２１が束状に形成された繊維束２２と、前記繊維束２２を結合する高分子弾性体２７を有し、前記極細繊維２１は長繊維である。 （もっと読む）

【課題】フラックス等の汚れは勿論のこと、粘弾性汚れも除去でき、洗浄対象物の範囲を拡大できて使用価値を高められる乾式クリーニング筐体を提供する。
【解決手段】筐体４の開口部１８が洗浄対象物２０の表面で塞がれた状態で図示しない吸引装置により吸引がなされると、筐体内が負圧となってインレット２４のインレット用開口２４Ａから外気が流入し、旋回空気流３０が生じて洗浄媒体５が飛翔する。洗浄媒体５は飛翔しながら洗浄対象物２０の表面に衝突する。インレット２４の気流噴射口２４Ｂのノズル５０からは旋回空気流３０を形成する気流よりも流速が大きい圧縮空気流Ａｒ２が噴射され、これにより洗浄媒体５は加速されて高速度で粘弾性汚れ５８に衝突する。 （もっと読む）

【課題】微粉末の摩耗粉や剥離粉が周囲に飛散することがなく、また、剥離時における摩擦熱の発生を抑制できる新規な固着物剥離除去装置の提供
【解決手段】車体等に固着した固着物を剥離除去する固着物剥離除去装置であって、回転駆動手段により回転される取り付け軸３０に取り付けられて当該取り付け軸３０を中心に回転する円板状の剥離部材２０を有し、当該剥離部材２０は、エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）を主体とし、当該エチレンプロピレンジエンゴムに、少なくとも所定量の充填剤と、軟化剤と、白色顔料と、架橋剤とを配合したゴム組成物からなる。 （もっと読む）

【課題】長尺フィルムに付着している異物をフィルムを高速で搬送しながら除去する高い異物除去能力を有するフィルムクリーニング装置を提供する。
【解決手段】フィルムを搬送する搬送ローラーと、搬送ローラーにフィルムを接触させるフィルム接触ローラーＡと、搬送ローラーにフィルムを接触させながら搬送し、フィルム表面に付着した異物を転写・保持する異物除去ベルトと、異物除去ベルトを搬送ローラーに巻きつけるように支持する支持ローラーＡと、異物除去ベルトを搬送ローラーに押圧する押さえローラーＡと、異物除去ベルトに転写された異物を転写・保持する粘着ローラーと、異物除去ベルトを粘着ローラーに巻きつけるように支持する支持ローラーＢと、異物除去ベルトを粘着ローラーに押圧する押さえローラーＢと、粘着ローラーに転写された異物を転写・保持する強粘着ローラーと、を備えたことを特徴とするフィルムクリーニング装置。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板上に存在する異物（主としてガラスカレット）の各種サイズ（例えば、１０μｍから１０００μｍの範囲）に適宜対応しうる清掃機能を有するガラス基板表面清掃装置、方法を提供。
【解決手段】 ガラス基板５０を支持し、第一の方向（図３中Ｍ）に前記ガラス基板を搬送するためのガラス基板支持搬送機構２０と、前記第一の方向に対し交差する第二の方向（図３中Ｎ）に前記ガラス基板の表面上で摺動させて、前記ガラス基板表面に付着した異物３００を除去するための清掃ベルト１１を有するガラス基板清掃機構１０とを有するガラス基板表面清掃装置１００であって、前記清掃ベルト１１が、当該表面に複数の三次元構造研磨材塗膜７０と、当該塗膜間に位置する溝６０とを有し、前記溝６０の溝幅６２が前記ガラス基板表面に付着した異物３００の外形幅寸法より広いガラス基板表面清掃装置１００。 （もっと読む）

【課題】逆噴射ノズルにより短時間の浄化作業で異物を効率的に除去し、かつ効率的な脱臭および殺菌効果により衛生状態を改善するオゾン式給水管浄化装置およびオゾン式給水管浄化方法を提供する。
【解決手段】浄化運転時に逆噴射ノズル１５から噴出するオゾン含有水Ｗｆが噴射流Ｓとして給水管６の内壁面１１を隈なく吹き当たるので、ぬめり、水垢などは勿論、管内スケールのうち給水管６の内壁面１１に強く付着した錆瘤などの異物Ｆｍまでも効率的に吹き落とすことができる。これに伴い、給水管６内の全体が効率的に脱臭および殺菌されて給水管６の衛生状態が改善し、給水管６の浄化作業が短時間で終了して作業性が向上する。 （もっと読む）

【課題】２本以上のシリンダを１台のシリンダ洗浄装置で洗浄するために、２つ以上の洗浄パッドを備え、洗浄布を有効に使用し、無駄を少なくするように、それぞれの洗浄パッドを独立して動作させること。
【解決手段】洗浄布供給手段６から洗浄布５を繰り出し、第１のシリンダ１を洗浄する第１の洗浄パッド３を通過し、続いて第２のシリンダ２を洗浄する第２の洗浄パッド４を通過し、その後洗浄布巻取り手段７に巻き取られる。制御手段１２は第１の洗浄パッドに対応した洗浄布の使用状態を保持しており、第２の洗浄パッドに対して第１の洗浄パッドで使用済みとなった部分の洗浄布が使用されないように、第１のパッド駆動手段９、第２のパッド駆動手段１０及び洗浄布駆動手段１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】コンテナ本体と蓋部とが一体となったコンテナをより効率的に十分に清潔になるように清掃することができるコンテナ清掃システム、及びコンテナ清掃方法を提供することである。
【解決手段】底部と複数の側板とを有するコンテナ本体と、コンテナ本体の底部に対向する開放口を蓋う着脱可能な蓋部とから構成されるコンテナを清掃するコンテナ清掃システムであって、前記コンテナ本体と前記蓋部とが一体となった状態で搬入されるコンテナの該コンテナ本体と該蓋部とを分離させる分離機構と、前記分離機構によって前記コンテナ本体と分離された蓋部を清掃する蓋部清掃機構と、前記分離機構によって前記蓋部と分離されたコンテナ本体を清掃する本体清掃機構と、前記清掃された蓋部によって前記清掃されたコンテナ本体の開放口を蓋うように該コンテナ本体と該蓋部とを合体させる合体機構とを有するコンテナ清掃システム。 （もっと読む）

【課題】水道管の周壁に穿設された通水孔の切り口から洗管ピグを保護して、洗管ピグを円滑に且つ安全に圧送できるようにした洗管ピグの挿入方法と洗管ピグの挿入ガイドを提供する。
【解決手段】管内を洗浄するための洗管ピグを水道管３に挿入する方法において、水道管３の周壁に穿設された通水孔３１を取り囲んで水密に装着される分岐ケース５の分岐部５１に挿入ガイド１の筒体１１を挿入して、その筒体１１の先端部を通水孔３１の切り口３１ａに近接させ、分岐ケース５の分岐部５１とそれに接続される仕切弁２３との間に、筒体１１の外周に形成されたフランジ１２を固定し、仕切弁２３に挿入した洗管ピグを、挿入ガイド１の筒体１１を通じて水道管３に挿入する。 （もっと読む）