【課題】設備の大幅な改造を要することなく、汚れが付着したロールの表面を確
実に手入れすることが可能なロールの表面の清掃方法と、人手を介さずに手入れ
可能な清掃装置を提供する。
【解決手段】清掃装置は、清掃部材本体部２１、第１のハンドル２２、支持部２
３、第２のハンドル２４（図示せず）、仕上拭き用材巻き付け軸２５、フレー
ム２６からなる清掃部材２と、押付部材本体部３１、ガイドプレート３２からな
る押付部材３とからなる。粗拭き用の不織布研磨材２７を固定した清掃部材本体
部２１を清掃対象ロール４に接触させ、前記ロール４に洗浄液を塗布し、前記ロ
ール４を回転させて表面に付着した汚れを削り落とす。次に、清掃部材本体部２
１を回転させて粗拭き用の不織布研磨材２７の上に仕上拭き用粗布２８を巻付
けて前記ロール４に接触させ、前記ロールに洗浄液を塗布し、前記ロールを回転
させて前記汚れを拭き取る。 （もっと読む）

【課題】間紙に付着している粉塵等の付着物を効果的に除去することができると共に、省設置スペースとし、且つメンテナンスを容易とすることができる間紙クリーニング装置を提供する。
【解決手段】ブラシクリーニング手段４は、縦方向に形成された搬送路３５の左右に対配置された搬送ローラ２１により前記間紙Ｐを縦立させて上方に搬送する間紙搬送手段と、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置されたロールブラシ２３を回転させることにより除塵処理するロールブラシ手段と、前記ロールブラシ手段により除塵処理され、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置された直線ブラシ２４を摺接させて除塵処理する直線ブラシ手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 磁気ディスク用ガラス基板等のスクラブ洗浄に用いられるロールブラシが使用時間の増加に伴って経時劣化し、その洗浄能力が低下する問題がある。しかし、洗浄能力の低下の要因として従来考えられていたものとは異なる要因が見出された。
【解決手段】 ストッパーがブラシの両端をブラシ軸に押圧することによって、ブラシとブラシ軸との密着度が高まり、これらが空転し難くなって、スクラブ洗浄装置が高い洗浄能力を長期間維持することができる。また、ブラシの寿命を延ばすこともできる。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って、被洗浄面に付着した液体を確実に除去、搾取、洗浄することができるロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を、コストを抑えて安価にて提供する。
【解決手段】ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は開口部１０が形成された本体部７、及び前記本体部７の両端に連接される継ぎ手部Ａ８及び継ぎ手部Ｂ９を有し、前記継ぎ手部Ａ８及び／又は前記継ぎ手部Ｂ９は中空部１１が形成され、前記中空部１１は前記開口部１０と連通されてあり、前記本体部７の外周には不織布からなる前記ロール部２が形成されてあると共に、流体拡散溝部１３が形成されてあり、前記流体拡散溝部１３には前記開口部１０に連通する孔部１４が形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面の洗浄性能が高く、耐久寿命が長いガラス基板用洗浄工具を提供する。
【解決手段】洗浄工具１０の砥石片１６は、マトリクスとしての母体樹脂２４と、その母体樹脂２４よりも硬く且つガラス基板４２よりも低強度のフィラー( 薄片状シリカ、マイカ）２２とを含むことから、洗浄に際して砥石片１６によりガラス基板４２を傷つけることなく、ガラス基板４２の表面に付着した封止樹脂が好適に削除されるとともに、ガラス基板４２の表面に付着したガラスカレットが好適に弾き飛ばされるので、ガラス基板４２の表面における高い洗浄性能と長い耐久寿命とが得られる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの周縁部に付着している汚染物質を確実に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハＷを保持して回転させるスピンチャックと、ウエハＷの周縁部を洗浄するためのブラシ１８と、このブラシ１８を回転させるブラシ自転機構とを備えている。ブラシ１８は、ブラシ自転機構により回転させられながらウエハＷの周縁部に当接される。ウエハＷは、回転中のブラシ１８が当接された状態で、その回転方向が時計回りおよび反時計回りに交互に切り換えられる。これにより、ウエハＷの周縁部に付着している汚染物質に互いに逆方向となる二方向の力が与えられるので、当該汚染物質を当該周縁部から確実に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部から汚染物質を良好に除去することができ、処理時間を短縮することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、互いに硬さの異なる第１ブラシ１７および第２ブラシ１８を備えている。基板処理装置１は、スピンチャック３により回転されるウエハＷの周縁部に第１および第２ブラシ１７，１８を当接させることにより当該周縁部を洗浄することができる。硬質の第１ブラシ１７は、ウエハＷの周縁部に強固に付着した汚染物資を比較的短時間で良好に剥離させて除去することができる。また、軟質の第２ブラシ１８は、弾性変形することによりウエハＷの周縁部に密着され、第１ブラシ１７によって除去できない細かな汚染物質を良好に除去することできる。 （もっと読む）

【課題】筒体に付着したスケールを、ブラシを用いて効率良く除去することができる筒体用スケール除去装置を提供すること。
【解決手段】先端にブラシ２を支持するロッド１０，４０と、ロッド１０，４０に対して軸中心の回転力を付与するためのモータ１１，４１と、モータ１１，４１の出力軸とロッド１０，４０との間に連結されモータ１１，４１の回転をロッド１０，４０の軸中心の揺動運動へと変換する変換手段１２，４２とを備え、ブラシ２は、揺動運動することによって筒体１に付着したスケールを除去する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、ブラシから異物を確実に除去できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、ブラシ１８およびブラシ洗浄液供給機構５３を備えている。ブラシ１８は、基板に接触する接触面４５,４６を外表面に有し、内方から接触面４５,４６に向けてブラシ洗浄液を供給するためのブラシ洗浄液導入孔４７が形成されている。ブラシ１８は、所定の基板処理位置で接触面４５,４６を基板に接触させて当該基板を洗浄する。ブラシ１８が前記基板処理位置から退避して待機するときの待機位置には、当該ブラシ１８を収容するための待機ポッド２１が設けられている。また、ブラシ洗浄液供給機構５３は、待機ポッド２１の底部５１に設けられており、ブラシ洗浄液導入孔４７にブラシ洗浄液を供給する。 （もっと読む）

【課題】ダイシングフレームｗに付着した糊剤などの汚染物質を、溶剤を使用することなく、高品質且つ能率的にダイシングフレームｗから分離させる。
【解決手段】メラミンスポンジ材からなるロール体１１ａをこれの周面の中心線（中心軸１２）回りへ回転させ、該回転中にダイシングフレームｗの被洗浄面に注水しながら該ロール体１１ａの周面をダイシングフレームｗの上下面である被処理面に押し当てるように実施するものである。 （もっと読む）

【課題】ブラシローラを有する鋼板用洗浄装置に関して、ブラシローラ中央部の洗浄液等の滞留を抑制する。
【解決手段】鋼板１１をその長手方向に搬送しながら洗浄する鋼板１１の洗浄装置１であって、鋼板１１の表裏両面にそれぞれ当接して鋼板１１の表裏面を洗浄液で洗浄する少なくとも一対のブラシローラ３０（３１，３２）を備え、これらのブラシローラ３０を回転することによって鋼板１１は洗浄されるとともに搬送され、ブラシローラ３０は、軸方向中心部に周囲に渡り所定の幅Ｗａを有した帯状の中央ブラシ部７０と、この中央ブラシ部７０によって軸方向において左右に分割された一対の側ブラシ部７１を有し、この側ブラシ部７１は、所定の幅Ｗｂを有し、鋼板１１との接触によって中央ブラシ部７０から鋼板１１の幅方向端部ＲＥＵ，ＬＥＵに向かって洗浄液ＰＯＬを送ることができる螺旋状に設けた。 （もっと読む）

【課題】被除塵体に付着した塵埃を確実に除去することのできる除塵装置及び除塵方法を提供すること。
【解決手段】外周面が接着力を有するピックアップローラ１２と、このピックアップローラ１２に接着した塵埃を除去する転着ローラ１３と、当該転着ローラ１３を介してピックアップローラ１２を回転させる駆動手段１５と、ピックアップローラ１２の両側に配置された第１及び第２の除電手段１６、１７とを備えて防塵装置１０が構成されている。被除塵体となるテーブルＴは第１の除電手段１６により除電された後にピックアップローラ１２により塵埃が除去され、その後に、第２の除電手段１７により更に除電される。 （もっと読む）

【課題】小さなスペースであってもワークを十分に効率よく洗浄すること。
【解決手段】両端に配置された上下一対の端ロール１ａ，１ｂと、端ロール１ａ，１ｂ間に配置された上下一対の中間ロール２と、ワークＷに洗浄油を吹付けるための洗浄ノズル４ａ，４ｂと、ワークＷに付着したゴミを除去するブラシ３と、を備え、端ロール１ａ，１ｂ及び中間ロール２がそれぞれ回転することによりワークＷが搬送され、端ロール１ａ，１ｂの回転速度を一定とし、端ロール１ａ，１ｂ及び中間ロール２が同時にワークＷを搬送するときの中間ロール２の回転速度を端ロール１ａ，１ｂと同じとし、中間ロール２のみがワークＷを搬送するときの中間ロール２の回転速度を端ロール１ａ，１ｂの回転速度よりも遅くする。 （もっと読む）

【課題】スクラブ洗浄の際に被洗浄面を均一に洗浄する。
【解決手段】ロール体３は、湿潤状態で弾性を有する多孔質素材によって構成され、ロール体３の回転軸２は、ロール体３の内径部に挿通されロール体３を固定的に支持する。回転軸２を回転させるとともに、回転軸２と略平行に配置された平面状の被洗浄面１１を、回転軸２と略直交する仮想平面内に配置された仮想回転軸１２を中心に回転させることによって、回転する被洗浄面１１にロール体３の外周部分を回転接触させてスクラブ洗浄を行う。ロール体３の外周部分は、被洗浄面１１のうち仮想回転軸１２に近接する内側領域１３に接触する中央領域６と、被洗浄面１１のうち仮想回転軸１２から離間した外側領域１４に接触する外端領域７とを含む。ロール体３が１回転する間のロール体３の外周部分の被洗浄面に対する接触強さは、中央領域６の方が外端領域７よりも低く設定されている。 （もっと読む）

【課題】 ブラシアセンブリ及びこれを有する基板洗浄装置が開示される。
【解決手段】 ブラシを用いて基板を洗浄するための装置において、ブラシアセンブリは工程チャンバー内で回転可能に配置されるシャフトと、前記シャフトの中央部位に配置され、基板を洗浄するための洗浄液の供給を受け、基板の表面と接触して前記基板の洗浄を行うブラシと、前記基板を洗浄する間、前記ブラシに供給された洗浄液が前記シャフトに沿って前記シャフトの端部に向かって流れることを防止するために気流を発生させる送風ユニットを含む。従って、前記ブラシに供給された洗浄液が前記工程チャンバーの外部に漏洩することが防止されることができる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄面に強固に付着した汚れを除去し、洗い残しの発生のない優れた洗浄性能を長期間に亘り発揮すると共に、凍結が防止される洗車機用洗浄ブラシ、及びその洗車機用洗浄ブラシを搭載した洗車機を提供する。
【解決手段】洗車機用洗浄ブラシ１は、ブラシ部２及び軸体３を有し、前記ブラシ部２は前記軸体３の外周部に形成されてあると共に、前記被洗浄面に当接するブラシ片４及び前記軸体３に前記ブラシ片４を固定する固定手段５を有し、前記ブラシ片４は少なくとも片面に凹部８及び／又は凸部９が形成された布帛６、及び合成樹脂発泡体７を有すると共に、前記合成樹脂発泡体７の少なくとも片面に前記布帛６が接合されてあり、前記布帛６に形成された凹部８及び／又は凸部９が前記被洗浄面に当接するよう形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】馬鈴薯などの農産物を回転ブラシで転動させながらブラッシングする際、農産物の両側面に清浄残りが発生し、農産物の全周面を清浄できない。
【解決手段】自転する多数本のブラシローラ７、８を一定の間隔を有して平行に横架し、隣接するブラシローラ間に被清浄体である馬鈴薯Ｐを収容する収容凹部７ａを該ブラシローラの軸方向に隔設して複数設けた無端回動するブラシローラコンベア４の搬送軌道の上方に、螺旋溝３１ａを有する第１螺旋ブラシローラ３１と、逆方向の螺旋溝３２ａを有する第２螺旋ブラシローラ３２を隔設して設け、収容凹部７ａ内で転動している馬鈴薯Ｐが各螺旋溝３１ａ、３２ａに嵌まり込むと共に、第１螺旋ブラシローラ３１と第２螺旋ブラシローラ３２の回転で螺旋溝の間のブラシ部により馬鈴薯Ｐの両側面がブラッシングされる。 （もっと読む）

【課題】スラリに含まれる磁性異物を磁石を有する吸着体により効果的に除去することができ、しかも吸着体に付着した磁性異物を効果的に取り除いて吸着体を繰り返し使用できるようにする。
【解決手段】スラリを収容するスラリ受入槽１１と、非磁性材からなる外被体の内部に磁石を移動可能に備えた吸着体１９と、外被体内の磁石を流体の作用により吸着位置と退去位置とに移動させる流体駆動手段と、吸着体１９を支持し、磁石が吸着位置に移動した吸着体１９をスラリ受入槽１１のスラリに挿入して外被体の外面にスラリ中の磁性異物を付着させた後吸着体１９をスラリから外部に取り出すようにした支持装置１５と、スラリから取り出した吸着体１９内の磁石を退去位置に移動させ磁性異物の付着力を消失させた状態で吸着体１９を洗浄することにより磁性異物を除去する洗浄装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】大きな切粉や保護フィルムに刺さった状態で付着している切粉、更には静電気により保護フィルムに付着したような異物でも効率的に除去できる異物の除去方法を提供する。
【解決手段】搬送される、保護フィルムで表面が被覆されたプラスチックシートの保護フィルムの外面に付着した異物の除去方法であって、粘着性ローラー（Ａ）を保護フィルムで表面が被覆されたプラスチックシートの保護フィルムの外面部に接触させて保護フィルムの外面に付着した異物を粘着性ローラー（Ａ）に付着させ、次いで粘着性ローラー（Ａ）の粘着性よりも高い粘着性を有する粘着性ローラー（Ｂ）を粘着性ローラー（Ａ）に接触させて前記異物を粘着性ローラー（Ｂ）に付着させる異物の除去方法。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って被洗浄面に付着した液体を迅速、且つ確実に除去、搾取、洗浄することができるロールを、コストを抑えて安価にて提供する。
【解決手段】ロールはロール部及び台座を有し、ロール部は台座の外周面に形成されてあると共に、ロール片を有し、台座は外周面にロール部が形成される本体部、及び本体部の両端に連接される継ぎ手部Ａ、及び継ぎ手部Ｂを有し、継ぎ手部Ａから継ぎ手部Ｂの方向に流体が貫通するよう中空部が形成されてあり、中空部には開口面積が最小となる絞り開口部が形成されてあると共に、継ぎ手部Ａ側から絞り開口部に向かうほど開口面積が大から小に変化し、絞り開口部から継ぎ手部Ｂ側に向かうほど開口面積が小から大に変化し、本体部の外壁面に複数の小孔が形成されてあると共に、小孔に連通し、連通路を介して大孔が本体部の内壁面に複数設けられ、大孔は絞り開口部の下流側の近傍に形成されてある。 （もっと読む）