【課題】運転日時、運転内容、洗浄結果などを履歴として残し、所望により確認することのできる洗浄管理機能を搭載した洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄装置１の運転情報記憶部２８には、運転日時、消毒効果を示すＡ０値、運転時間（運転に要した時間）を含む運転情報が、運転ごとに記憶される。操作パネル２４にて指定された運転についての運転情報を運転情報記憶部２８から取得して、少なくとも運転日時、Ａ０値、運転時間を出力する。洗浄インジケータの結果についても、運転情報として同様に管理するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】水量不足にならず、かつ無駄な水をなくすことを目的とする。
【解決手段】洗浄装置は、給水手段による給水時に、第１の水位計の測定結果に基づいて第１の洗浄水タンク内の水位が所定水位より低いと認識した場合に、第２の水位計に基づいて第２の洗浄水タンクが満杯になったと認識しても、第１の洗浄水タンクの水位が所定水位より高くなる所定水量をさらに給水手段に給水させる制御手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）

【課題】簡便で低コストな信頼性の高いｐＨ計洗浄装置およびｐＨ計の洗浄方法を提供する。
【解決手段】廃液処理設備から分岐したｐＨ測定槽に付設されたｐＨ計の洗浄装置であって、ｐＨ計洗浄槽と、該ｐＨ計洗浄槽の底部に洗浄液を取り出す開閉式底蓋と、洗浄液を回収する洗浄液回収槽と、該洗浄液回収槽の底部にはｐＨ計挿通口と、洗浄液を排出するドレン口と、ドレン口に接続したドレンパイプとを設けたことを特徴とするｐＨ計洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Ｗを上方から洗浄槽１内に収容し、略水平方向に延在する管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６から基板Ｗの両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６の端部側に形成される通気路に遮蔽板Ｄ３，Ｄ６を配設する。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の液体の加温時の温度ムラをなくして、その後の減圧時に洗浄槽内の液体を均一に沸騰させ、これによりムラのない確実な洗浄または濯ぎを図る。
【解決手段】被洗浄物２が浸漬された洗浄槽３内の液体を設定温度まで加温後、洗浄槽３内を減圧して液体を沸騰させる動作を含んで、被洗浄物２の洗浄または濯ぎを図る装置である。洗浄槽３内の液体を加温中に液体を流動させる液体流動手段を備える。液体流動手段は、洗浄槽３内の液体への外気導入手段（液相給気手段）９とされる。 （もっと読む）

【課題】通常洗浄コースと節水洗浄コースとを適切に活用できる洗浄機を提供する。
【解決手段】本発明は、被洗浄物が収容されると共に被洗浄物の洗浄及び濯ぎが行われる洗浄室３を備える洗浄機１において、洗浄室３内に洗浄タンク４から洗浄水を供給することで被洗浄物の洗浄を行う洗浄工程と洗浄室３内に濯ぎ水を供給することで被洗浄物の濯ぎを行う濯ぎ工程と洗浄室３から洗浄タンク４内に回収された濯ぎ水を排水する濯ぎ水排水工程とを行う通常洗浄コースＣ１と、洗浄工程及び濯ぎ工程を行うと共に洗浄室３から洗浄タンク４内に回収された濯ぎ水を次回の洗浄工程の洗浄水として用いる節水洗浄コースＣ２と、のうちいずれか一方のコースを実行するマイコン２１を備え、マイコン２１は、節水洗浄コースＣ２の次に通常洗浄コースＣ１を実行する場合において洗浄工程を行う前に洗浄タンク４内の水を排水させる機能を有する。 （もっと読む）

【課題】長尺状の被洗浄物の洗浄に適した洗浄システムおよび方法を提供する。
【解決手段】洗浄水６０を収容する、上下方向に延びた洗浄槽であって、底壁部に超音波振動子１４により振動する主振動領域１５を含む洗浄槽１１と、洗浄槽１１の内部に配置され、長尺状の被洗浄物３０を収容する洗浄かご２０とを有する洗浄システム１である。洗浄かご２０は、当該洗浄かご２０の周囲を断続的に構成し、被洗浄物３０の側方を支持する側方支持部材２９と、当該洗浄かご２０の底部を構成し、被洗浄物３０の一方の端を支持し、主振動領域１５から離れた状態で対向して配置される板状の補助振動板であって、洗浄水６０を介して伝播される超音波振動を被洗浄物３０に印加する補助振動板２１とを含む。 （もっと読む）

【課題】弱酸性ないし弱アルカリ性の電解水を効率よく生成することができる電解水の製造装置を提供する。
【解決手段】電解水の製造装置１０は、陽極電極２２が設けられた陽極室２０と、陰極電極３２が設けられた陰極室３０と、陽極室２０と陰極室３０との間に設けられ、電解質水溶液を収容する中間室４０と、陽極室２０と中間室４０とを隔てる陰イオン交換膜２４と、陰極室３０と中間室４０とを隔てる陽イオン交換膜３４とを含む。陽極室２０と陰極室３０とは隔壁５０に設けられた連通孔５２により連通している。このような電解水の製造装置１０は、洗浄装置等に好ましく適用される。 （もっと読む）

【課題】今回の手指の洗浄と次回の手指の洗浄との間の待ち時間を低減させて洗浄機会の増大化を図ることができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】一対の電極１１１が配設された電解槽１１に原水を供給し、一対の電極１１１を通電状態にすることにより原水を電気分解して洗浄水を生成する生成手段と、生成手段で生成した洗浄水を噴霧させる噴霧手段とを備えた洗浄装置において、生成手段は、電解槽１１の他に一対の電極１１２が配設された他の電解槽１２を備えてなり、該一対の電極１１２を通電状態にすることにより供給された原水を電気分解して洗浄水を生成して該他の電解槽１２に貯留させるものである。 （もっと読む）

【課題】ＰＬＬ回路の中心周波数の調整を簡単に行う。
【解決手段】ＣＰＵ５０の周波数信号発生部７６から、セレクタ回路５９、スイッチ回路６０を介して、ドライブ回路６１に周波数信号を入力する。ドライブ回路６１は、周波数信号と同じ周波数の駆動電圧を、ＢＬＴ４５に印加する。ＰＳＤ回路６９で、駆動電圧と電流の位相差を求める。周波数信号発生部７６から出力される周波数信号の周波数を段階的に可変させ、各周波数における位相差を求める。周波数決定部７４は、周波数毎の位相差を比較し、この中で位相差が最も小さくなる周波数を、ＰＬＬ回路６４の中心周波数として決定する。 （もっと読む）

【課題】簡略且つ小型の構成で洗い残しや洗浄ムラの発生を防止する。
【解決手段】底部フレーム１上に洗浄室６を有する洗浄用ケース１００の底面２に回転軸１１が貫通して下部を駆動装置により駆動し、上端に回転軸の直径方向に延びる回転板１２を固定した回転駆動機構９を設け、下面に備えた自在車輪１６で走行可能な台フレーム１７上に介護用機器を収容可能な篭体１８を備えたケージ台車２００の下部に突出され、ケージ台車が洗浄室に進入する際に回転板の長手方向両側面に係合するガイド板と、ケージ台車の中心が回転軸の軸線上に到達すると回転板の前後端に係合してケージ台車の移動を拘束する係止部材と、係止部材の係合を解除する係合解除フレームとを有する係脱機構を設け、洗浄室内に備えて回転軸の軸線Ｓに向かい且つ洗浄室内の上下をカバーするようカーテン状に洗浄液を噴射する噴射ノズル３４を設ける。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の実施形態は、一般的には、チャンバ構成部品の外部位置洗浄のための方法及び装置に関する。一実施形態では、洗浄化学物質で構成部品を洗浄するためのシステムを提供する。システムは、洗浄プロセス中洗浄すべき１つ又はそれ以上の構成部品を保持するための洗浄槽組立体を含むウェットベンチ装置と、洗浄プロセス中１つ又はそれ以上の洗浄化学物質を洗浄槽組立体に供給するための、洗浄槽組立体と着脱可能に連結された着脱可能な洗浄カートを含む。 （もっと読む）

【課題】
加工作業により被加工物に付着残留した加工油を簡易な方法により減量除去し、これを再利用可能とするとともに、被加工物の洗浄のために必要となる洗浄溶剤を少なくするか又はゼロとすることにより、ランニングコストを低くするとともに、地球環境への負荷を軽減する。
【解決手段】
被加工物12の加工作業に使用した加工油と同じ加工油4を、前記加工作業時の油温よりも高温に加熱して粘度を低下させ、この加熱した加工油4を、前記加工作業により加工油が付着した被加工物12に接触させることにより、被加工物12に付着している加工油の粘度を低下させ、その付着量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】 高圧蒸気を微小領域に吹き付け、当該微小領域を拡大させることで被洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置を提供する。
【解決手段】 特定部に開口する槽形状の洗浄槽の開口部をエアカーテンにて閉鎖することとし、洗浄槽内に置かれた被洗浄物に対して高圧蒸気を吹き付けるノズルを、該エアカーテンを超えた洗浄槽内に配置することとする。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置において、洗浄作業を効率よく行うことができるとともに、洗浄ムラを抑制することができるようにする。
【解決手段】 洗浄装置１は、洗浄液４を入れる洗浄槽２と、洗浄槽２に入れられた洗浄液４中に被洗浄物２０を浸漬させて保持する被洗浄物保持部３と、洗浄液４中に超音波Ｓを出射する超音波振動子５と、超音波出射領域５ａに対向して、超音波Ｓの出射方向に対して傾斜角をつけて配置された超音波反射板７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄと、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子機器の機能を損耗させることなく、少量の洗浄液で洗浄できる小型化可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄部と、該洗浄部に連結した精製部と、該洗浄部と一体化及び／又は隣接した乾燥部から構成される電子機器用洗浄装置であって、該洗浄部では洗浄液を用いて電子機器を含む被洗浄物を１工程以上スプレー洗浄することにより該被洗浄物への付着物が除去され、該精製部では該洗浄部から送り込まれた該付着物を含んだ洗浄液から該付着物が分離され、該乾燥部では該被洗浄物の真空乾燥が行われ、該洗浄液として、純水、アルカリ電解水、及びフッ素系洗浄液の内のいずれかを含む洗浄液を１種以上用いることを特徴とする前記電子機器用洗浄装置、及び洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】安定的にしかも安価に、浸水事故にあった電子機器が電気的に動作する正常状態に回復させることを目的とする。
【解決手段】電子機器の回復装置１は、筐体２の上面部に矢印θ方向に開閉される開閉蓋６を備え、開閉蓋６を開けた筐体２の上面部内が電子機器を収容するためのチャンバ８を備える。このチャンバ８内には開閉蓋６の下面部に吊着状態で配設する籠状の収容部９に、例えば携帯電話機１０を収容可能としている。こうして収容部９に携帯電話機１０を収容した状態において、開閉蓋６を閉操作し、電子機器（携帯電話機１０）をチャンバ８内に密閉状態で収容し、チャンバ８内において真空状態で加熱乾燥することが可能となる。これにより、例えば浸水事故にあった携帯電話機１０を、半導体基板や液晶表示装置が電気的に動作する正常状態に回復させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄用治具を用いて電子部品が搭載された基板を回転式洗浄する場合に、基板両面の洗浄を可能としつつ回転中心からの距離に関係なく良好な洗浄品質を確保する。
【解決手段】一端側が洗浄液の入口１１ａ、他端側が洗浄液の出口１１ｂとされている貫通した開口部１１を有するフレーム１０を備え、開口部１１の内面には、基板間に隙間を有しつつ基板の板面と直交する方向に沿って配列するように、複数個の基板２００を取り付け、この基板取り付け状態で、洗浄液を入口１１ａから導入し開口部１１内を流通させて出口１１ｂから導出することにより、複数個の基板２００を洗浄する基板洗浄用治具であって、開口部１１内のうち隣り合う基板２００間の隙間となる位置には、邪魔板２０が設けられており、基板取り付け状態で、開口部１１内にて、洗浄液を板材２０と基板２００との隙間にて流通させるようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークの洗浄効果を高めると共に、ワークの取り扱いや乾燥を容易にすることができる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄液１８に浸し、収容したワーク１６に超音波Ｌを照射してワーク１６を洗浄する洗浄装置１０であって、ワーク１６を挿入する開口部１３が形成され超音波Ｌが透過する第１治具１２と、第１治具１２の開口部１３に取外可能に装着される網状の第２治具１４と、で構成されたことを特徴としている。 （もっと読む）