【課題】スイッチを作動させるためのセンサ用磁石が設けられた揺動部材を確実に揺動させることができるようにした検出装置提供することにある。
【解決手段】装置本体を構成するブラケット２２及び支持部材２５と、装置本体に中途部が揺動可能に支持された揺動部材２７と、揺動部材の一端部に設けられ搬送される基板が当たることで揺動部材を中立位置から揺動位置に揺動させる検知ローラ３１と、揺動部材の他端部に対向して設けられ磁界の変化に応じて信号を出力するリードスイッチ３８と、揺動部材の他端部に設けられ揺動部材とともに揺動することでリードスイッチに与える磁界を変化させるセンサ用磁石３３と、揺動部材の他端部の揺動方向の一方と他方の少なくともどちらかに対向して設けられ上記揺動部材が揺動したときにセンサ用磁石との間で揺動部材を中立位置に戻す磁気反発力を発生する反発用磁石を具備する。 （もっと読む）

【解決手段】 パレット洗浄システム２は、水平状態のパレット１を起立状態とする起立部Ｃと、パレットに洗浄液を噴射する洗浄部Ｄと、パレットに付着した洗浄液を脱水する脱水部Ｅと、パレットを乾燥させる乾燥部Ｆとを備えている。
このうち、上記乾燥部Ｆは、乾燥手段１９を備えた乾燥室２０と、複数の起立状態のパレットを所定間隔で保持して、該パレットを載置面に直交する方向に搬送する主コンベヤ（第７コンベヤ２２）と、主コンベヤの搬送方向に直交する方向にパレットを移動させて主コンベヤにパレットを供給する供給コンベヤ（第６コンベヤ２１）と、主コンベヤの搬送方向に直交する方向にパレットを移動させて主コンベヤからパレットを排出する排出コンベヤ（第８コンベヤ２３）とを備えている。
【効果】 パレットの洗浄から乾燥までを効率的に行うとともに設置面積を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】フローティングユニットを用いて基板をフローティング状態に維持したままで基板の洗浄工程を行うことによって、基板の垂れによる破損を防止することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置は、基板にプラズマを照射して基板上の異物を除去するプラズマ照射部、基板上に残っている異物を除去する異物洗浄部、基板を洗浄する仕上げ洗浄部、基板を乾燥させる乾燥部と、基板をアンローディングする基板アンローディング部を備え、プラズマ照射部には、プラズマを照射するプラズマ照射ユニット及び基板をフローティング状態に維持させるフローティングユニットを含む。 （もっと読む）

【課題】薬液処理後の基板を水洗処理する場合に、純水の使用量を節減し、排液量を少なくし、処理時間を短縮することができる装置を提供する。
【解決手段】基板搬送方向における長さが基板Ｗの寸法より短くされた置換水洗室１０、置換水洗室内において基板を一方向へ連続して搬送する搬送ローラ、置換水洗室内の入口付近に配設された入口ノズル１６、入口ノズルより基板搬送方向における前方側に配設された高圧ノズル１８、および、置換水洗室内の出口側に配設されたエアーノズル２２を備えて置換水洗部２を構成した。置換水洗室１０内へ基板Ｗが搬入される前に入口ノズル１６および高圧ノズル１８からの洗浄水の吐出を開始し、置換水洗室内から基板が搬出された後に入口ノズルおよび高圧ノズルからの洗浄水の吐出を停止するように制御する。 （もっと読む）

【課題】貯留槽内の処理液の温度を槽内で一様にし、また、基板上に形成された膜の厚みが不均一であったり基板上の部位によって膜質の違いがあったりしても、基板面内における処理速度の不均一を緩和することでき、基板の主面全体における処理品質の均一性を向上させることができる装置を提供する。
【解決手段】処理液２０を貯留する貯留槽１０と、貯留槽の上部開口面を閉塞する覆蓋部２８と、貯留槽に貯留された処理液中で基板Ｗを搬送する搬送ローラ２６と、貯留槽の底部に設けられた供給口２２と、覆蓋部に設けられた補助供給口３０と、供給口および補助供給口に処理液を供給する処理液供給管２４、３２とを備えて、ディップ処理を行う装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】基材に残留する微小金属、微小導電性金属酸化物を除去する。
【解決手段】円筒形状の絶縁体１２ｃと、この絶縁体１２ｃの内外周面側に設けられた正電極１２ａ及び負電極１２ｂとで構成された円筒状電極体１２を、基材１１に対向すべく、複数個、隣接して設ける。正電極１２ａと絶縁体１２ｃと負電極１２ｂの、それぞれの基材１１と対向する面の面積をＳ1、Ｓ2、Ｓ3とした場合、Ｓ1／Ｓ2＝０．８〜１００、Ｓ2／Ｓ3＝０．０１〜１．１５の範囲とする。円筒状電極体１２と基材１１間に電解液１３を介在させた状態で、正電極１２ａと負電極１２ｂに電圧を印加する。円筒状電極体１２と基材１１とを相対移動させることで、基材１１の表面に残留する微小な導電性金属酸化物１５を還元反応により除去する。
【効果】基材に残留する微小導電性金属酸化物を、基材の全面に亘って効果的に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物を均一に洗浄しつつ、複数種類の機械部品等の被洗浄物を安価に自動洗浄することのできる自動化された超音波洗浄機を提供すること。
【解決手段】 被洗浄物を回転可能な保持籠に入れ、超音波を用いて複数の槽で洗浄する超音波洗浄機であって、該保持籠を槽間移動せしめる移動機構を備えている自動超音波洗浄機とそれを用いた自動超音波洗浄方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】基材に残留する微小導電性金属酸化物を除去する。
【解決手段】それぞれの対向面に絶縁膜１３ａａ，１３ｂａを形成した正負電極１３ａ，１３ｂを、基材１２との相対移動方向に順に配置した平板状電極体１３の外周部を絶縁体１３ｃで覆う。正負電極１３ａ，１３ｂと、両絶縁膜１３ａａ，１３ｂａの、それぞれの基材１２と対向する端面の面積Ｓ1、Ｓ2、Ｓ3の比を、Ｓ1／Ｓ2＝０．８〜１００、Ｓ2／Ｓ3＝０．０１〜１．１５とする。前記平板状電極体１３の端面を、基材１２に対向すべく，複数個隣接配置する。この平板状電極体１３と基材１２間に電解液１４を介在させた状態で、正負電極１３ａ，１３ｂに電圧を印加しつつ、平板状電極体１３と基材１２とを相対移動させ、基材１２の表面に残留する微小な導電性金属酸化物１２ａを還元反応により除去する。
【効果】微小導電性金属酸化物を、基材の全面に亘って効果的に除去できる。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄装置を提供する。
【解決手段】１又は２枚の平部材５３と、この平部材５３に形成され、平部材５３に平行に走行するフィルム１２の表裏面の少なくとも一方の面側に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄面の大径化に容易に対応できる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波洗浄装置は、洗浄液３９に超音波エネルギーを与える超音波振動子と、前記超音波振動子によって超音波エネルギーが与えられた洗浄液を流す超音波伝搬管３７と、前記超音波伝搬管の下方に配置された、被洗浄物２１を保持する保持機構と、前記超音波伝搬管の側壁に設けられ、前記保持機構によって保持された被洗浄物２１の洗浄面に前記洗浄液３９を吐出するためのスリット又は複数の穴３８と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った洗浄方法を提供する。
【解決手段】収納具の搬送方向に沿って複数配置したノズル１０、１１ごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を複数の被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内に所定量貯水しながら収納具外に排水し、前記貯水した洗浄水中において、ノズルから噴射した洗浄水により、互いに隣り合う被洗浄物の離間した間隔内にある貯水した洗浄水を排除するとともに、前記ノズルから噴射した洗浄水を被洗浄物の表面と裏面に沿って流動させて、前記被洗浄物の洗浄を収納具の搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った洗浄方法を提供する。
【解決手段】収納具の搬送方向に沿って複数配置したノズル１０、１１ごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内に所定量貯水しながら収納具外に排水し、前記貯水した洗浄水中において、前記ノズルから順次噴射した洗浄水の被洗浄物への当接によって接触した互いに隣り合う被洗浄物を順次離間させるとともに、前記離間した間隔内をノズルから噴射した洗浄水を被洗浄物被洗浄物の表面と裏面に沿って流動させて、前記被洗浄物の洗浄を収納具の搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする洗浄方法
行うものである。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った食器の洗浄方法および収納具を提供する。
【解決手段】被洗浄物２８を収納する収納具１４と、前記収納具を搬送する搬送手段と、前記収納具の搬送方向に沿って所定の間隔を与えて複数配置した洗浄水を噴射するノズルと、を備え、前記複数配置したノズルごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内１５に所定量貯水しながら収納具１４外に排水して、前記被洗浄物２８の洗浄を収納具１４の搬送方向に沿って順次行うものである。 （もっと読む）

【課題】搬送される基板を流体によって処理する場合、流体の圧力で基板の搬送状態が不安定になるのを防止した基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を搬送しながら流体によって処理する基板の処理装置であって、
チャンバ３と、チャンバ内に設けられ基板を所定方向に搬送する支持ローラ１４及び駆動ローラ１７と、支持ローラ１４と駆動ローラ１７によって搬送される基板の板面に流体を噴射供給するノズル体６２と、搬送される基板を挟んでノズル体から噴射される流体の噴射方向に対して傾斜して配置され基板の先端が流体の流路に到達する前にノズル体から噴射された流体の一部をその傾斜角度に応じて反射させ、残りを透過させて減衰させる減衰制御部材６５を具備する。 （もっと読む）

【課題】 少ない水量でもって且つ個別の孔・袋穴の位置を追わないで小径・微細な孔・袋穴の内部を確実に清浄できるようにする。
【解決手段】 物品Ｂを速度１．０ｍ／分で搬送するスラット式のコンベヤ装置Ｃのコンベヤ面の上下それぞれにノズル径０．３ｍｍの噴出ノズル２を搬送方向と直角の縦方向に２０ｍｍピッチで、又送り方向には４８ｍｍピッチで、千鳥状に配置した噴水ノズル体１を配置し、同噴水ノズル体１を搬送方向と直交する縦方向に毎分６００サイクルでもって揺動させながら、噴水させて孔・袋穴の内部を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】処理液の使用量を低減しながらも、基板表面を均一に処理する。
【解決手段】基板１０を所定の搬送方向Ａへ搬送可能に支持する支持機構と、支持機構に対向して配置され、該支持機構に支持されている基板１０の表面に処理液を供給するための供給口と、処理液を基板１０の表面から吸引するための吸引口とを有する複数の処理ヘッド２０とを備え、各処理ヘッド２０は、互いに異なる処理を基板１０に行うと共に、搬送方向Ａに並んで配置されている。 （もっと読む）

本発明は、最終すすぎゾーン（１８）を通って食器（６）を運ぶ運搬装置（４）を有するコンベヤー食器洗浄機（２）であって、前記運搬装置（４）は食器（６）を収容するための多数のコンパートメント（３８）を有するようなコンベヤー食器洗浄機（２）に関する。空のコンパートメント（３８）を検出するために食器センサ装置（４２）が提供される。コンベヤー食器洗浄機（２）の運転中における淡水、ケミカル、及びエネルギーの消費を低減可能にするため、本発明は、空のコンパートメント（３８）の検出に応じて、最終すすぎゾーン（１８）のスプレーノズル（２０、２２、２４）に供給される最終すすぎ液の単位時間当たり供給量を自動的に設定するように設計された制御装置（４４）を提供する。本発明は又、この種のコンベヤー食器洗浄機（２）を運転するする方法に関する。 （もっと読む）

【課題】汚れを除去できると共に、確実に滅菌でき、さらには箸の握り部分を揃えて包装することができると共に、箸の再生日あるいは所定の箸が所定のユーザに配送されているかどうかを容易に知ることができる箸の再生方法を提供する。
【解決手段】使用済みの箸を洗浄する洗浄工程と、箸の頭を揃える箸揃え工程と、箸を消毒する滅菌工程と、箸を乾燥させる乾燥工程と、箸を１膳毎に個別に包装する包装工程とから構成し、箸揃え工程では、箸の頭部と先端部とで異なる重量を利用して揃え、滅菌工程にはオゾン水を適用する。そして、前記包装工程時には、一般的な広告文、図柄等と共に、前記各工程の実施により再生した再生日と再生した箸の配送先のユーザ名の少なくとも１個が印字されている包装紙を使用する。 （もっと読む）

【課題】比較的少量の処理液で基板全体をより均一かつ適正に処理する。
【解決手段】処理液供給装置は、傾斜姿勢で搬送される基板Ｓに対してエッチング液を供給するノズル部材２０を有する。ノズル部材２０は、液収容部２２と、基板Ｓの幅方向に延びかつ基板Ｓとの間に一定隙間を隔てて対向する対向面２０ａと、この対向面２０ａに沿って並ぶ複数の位置にそれぞれ設けられる液吐出口２４と、液収容部２２に収容されるエッチング液を各液吐出口２４にそれぞれ案内する通路２６とを備え、かつ、各液吐出口２４から基板上に吐出される処理液が対向面２０ａに沿って連なりその表面張力により対向面２０ａと基板Ｓとの間に前記幅方向に連続する液膜を形成するように前記対向面２０ａと基板Ｓとの間隔および各液吐出口２４の間隔が設定されている。 （もっと読む）

【課題】切削加工後の部品等を整列移動させて搬送するとともに、この部品等の洗浄を行うことができるコンパクトで且つ騒音の少ない洗浄振動フィーダを提供する。
【解決手段】本願発明の洗浄振動フィーダ１は、洗剤を用いた洗浄液２７を入れた洗浄槽２０に被搬送物６０が供給され、この被搬送物６０は振動によりこの洗浄槽２０の壁の内周面２３に設けられた螺旋形状の搬送路２１を整列移動して排出口２４から、水を用いた洗浄液３７を入れた外部洗浄槽３０に供給される。その後、この被搬送物６０は外部洗浄槽３０の壁の内周面３３に設けられた螺旋形状の搬送路３１を整列移動して搬送され排出口３４から排出される。 （もっと読む）