【課題】簡単な装置構成で実施可能であり、微細パターンが形成されている基板をその微細パターンに悪影響を与えることなく短時間で洗浄するための基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが表面に形成された基板としてのウエハＷの洗浄処理を、ウエハＷの表面に所定の加工を施す処理チャンバからウエハＷの洗浄を行う洗浄チャンバへ搬送する搬送ステップと、洗浄チャンバ内においてウエハＷを所定温度に冷却する冷却ステップと、超流動体としての超流動ヘリウムをウエハＷの表面に供給し、ウエハＷの表面から超流動ヘリウムを流し出すことによって微細パターン内の汚染成分を押し流す超流動洗浄ステップにより行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄準備が煩雑で且つ多数本のチューブ状器具の洗浄が困難な従来の洗浄装置の課題を解消する。
【解決手段】複数本のチューブ状器具Ｔが、長軸に沿って収容可能に形成された筒状容器であって、筒状容器の一端側に洗浄液が供給される供給口２０が形成されていると共に、供給口２０から供給されてチューブ状器具Ｔの各内腔を洗浄した洗浄液が排出される排出口２２が筒状容器の他端側に形成されている洗浄容器１４と、洗浄容器１４が挿入される洗浄槽内に設けられ、洗浄容器１４の一端側を着脱可能に把持する把持部と、前記把持部に把持された洗浄容器１４の供給口２０に、洗浄水を供給する洗浄水の供給手段と、チューブ状器具Ｔ内に洗浄水が通液されるように、筒状容器１４の内圧を所定圧力に調整する圧力調整手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】実際の洗浄状態における洗浄圧力のまま洗浄部位に対する洗浄ノズルの位置を正確に調整することができる洗浄機のノズル狙い位置調整装置およびその方法を提供する。
【解決手段】調整用ターゲット３を被洗浄物２０に取り付け、ノズル部２の取付固定位置３５と調整用ターゲット３の中心軸３０が洗浄機のＸ軸上に配置されるように調節する。洗浄圧力を実際の洗浄状態の圧力と同じ圧力に設定して、洗浄液を洗浄ノズル５から調整用ターゲット３に向けて噴射する。洗浄液は円錐８に当たった後、円錐８の斜面に沿ってあるいは円筒７内周面に沿って進み、洗浄液吐出孔１０から円筒外部へ吐出される。ＮＣにより洗浄ノズル５の狙い位置を洗浄機のＸ、Ｙ、Ｚ軸、および旋回方向へ移動させ、洗浄液が各洗浄液吐出孔１０から均等に吐出するように調整する。洗浄液吐出孔１０から均等に洗浄液が吐出される位置座標を洗浄ノズル５の狙い位置原点として、ＮＣにより各洗浄部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、液体を貯留した槽の底部に沿って流れる噴射流の直進性に優れ、槽の底部に堆積した異物が巻き上がらないように噴射流を形成することができるノズル及びそのノズルを提供することにある。
【解決手段】本発明のノズル１は、液体を貯留した槽９内で噴射流を形成するノズル１であって、前記槽９の底部に対して斜めに噴き付ける第１の噴射流Ｆａを形成する第１の噴射孔５ａと、前記第１の噴射流Ｆａよりも、前記槽９の底部に対して浅い角度となる方向に第２の噴射流Ｆｂ，Ｆｃを形成する第２の噴射孔５ｂ，５ｃと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】農薬が付着した農薬散布機などをより効果的に洗浄できるようにする。
【解決手段】アルカリ性の水を用いて農薬散布機などの被洗浄物を洗浄した後、酸性の水を用いて被洗浄物を洗浄する。前記アルカリ性の水はｐＨ１０以上が好ましい。また、消石灰を水に溶解又は懸濁させたものが好ましい。前記アルカリ性の水に前記被洗浄物を３０〜１２０分間接触させるのが好ましい。前記酸性の水はｐＨ６以下が好ましい。前記農薬としては除草剤が好適である。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部に形成された処理膜を除去する基板処理装置において、基板単位の処理時間を短縮し、処理膜形成のスループットを向上すると共に、歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板Ｇを基板搬送路に沿って平流しに搬送する基板搬送手段２１と、前記基板搬送手段により第一の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第一の除去手段５ｂと、前記第一の除去手段により前記両側縁部の処理膜が除去された基板の搬送方向を、前記第一の搬送方向に直交する第二の搬送方向に転換する搬送方向転換手段７と、前記基板搬送手段により第二の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第二の除去手段６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】
設置型洗浄機を置けない狭い厨房や、床面に洗浄液を流せない厨房内での配膳車に移動し、配膳車の側面や、扉、及び食品庫内を洗浄液で洗浄し、その排水を排水溝又は、排水層に流し込んで床面に洗浄液を飛散させないようにし、さらに、各部品を整理して収納できることにより、狭い厨房や、洗浄できない床面の厨房で使用出来る配膳車洗浄機。
【解決手段】
土台２の下に自在輪３と回転して開く自在輪を有する土台補助板５があり、配膳車保護板２０に密着できる水受け板１５とカーテン水受け板８が、水受け固定台１６に接続しており、カーテン水受け板８のワイヤー１２を固定するワイヤー固定金具１４と、スプリング１８を固定する第一固定板１７がそれぞれの側面支柱１３に固定されていて、側面支柱１３の上部には、カーテンを取り付けて回転及び上下して移動できるカーテン取り付けユニット２５と、上部支柱２４を備えていることを特徴とした配膳車洗浄機。 （もっと読む）

【課題】樹脂容器の表面およびその内部に含まれる不純物を洗浄する樹脂容器の洗浄方法およびその方法により洗浄された樹脂容器を提供する。
【解決手段】本発明は、樹脂の表面張力の値よりも１０ｍＮ／ｍ以上低い表面張力の値を有する溶剤を用いて、樹脂または樹脂からなる樹脂容器を浸漬洗浄することを特徴とする樹脂容器の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】物質、そして好ましくはホトレジスト、を支持体から除去する。
【解決手段】３つのオリフィスノズルからの液体のスプレーの方向を変える。ａ）ｉ）十分な圧力下で液体源から液体を供給され、そこから液体の流れを噴出する第１オリフィス１２４；ii）ガス源からガスを制御された圧力で供給されてガスの流れを噴出し、少なくとも部分的に液体の流れを偏向させる、第１ガスオリフィス１３０；iii）第２ガス源から第２ガスを制御された圧力で供給されてガスの流れを噴出し、少なくとも部分的に液体の流れを偏向させる、第２ガスオリフィス１４０、を有するノズルを装備し；そしてｂ）中央オリフィス１２４からの液体の流れに方向を付与するように第１ガスオリフィス１３０及び第２ガスオリフィス１４０の少なくとも１つのガス流の流れを修正することにより、ノズル１２２からの液体のスプレー方向を調節する。 （もっと読む）

【課題】従来の洗浄装置は、超音波振動子などによるキャビテーションを用いて洗浄していたが、洗浄効果が得られないと共に、洗浄時間が長いという課題を有していた。
【解決手段】被洗浄物を収容するための洗浄室１１と、前記洗浄室内１１に設けた２つの電極にパルスパワーを印加しストリーマ放電を発生させる放電手段１６とを設けて、被洗浄物１１を洗浄することを特徴とした洗浄装置である。特に、パルスパワーを印加しストリーマ放電を発生させることで、高い圧力範囲の衝撃波を発生させることができるので、被洗浄物１１に付着した汚れ成分や細菌やウィルスなどを除去する。さらに、水中にストリーマ放電を生成することによってオゾンを生成することができるので、殺菌性能を向上することができるとともに、洗浄水を浄化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置を提供する。
【解決手段】本発明の紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置は、イソプロピルアルコールでＰＣＢを洗浄除去した例えば紙素子１１を投入する洗浄籠１２と、前記洗浄籠１２内に洗浄水１３を供給する洗浄水供給部であるシャワー部１４と、洗浄後のＩＰＡを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水１５として排出する洗浄槽１６と、洗浄排水１５中のＩＰＡの残量を判定する判定器１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型で縦長の円筒状容器の内部の内側面・底面及び底面周縁部に付着している切粉・バリ・油・汚れ等の付着物・残留物を洗浄水で確実に剥離して除去・洗浄する。
【解決手段】 縦方向３０ｍｍピッチに設けた縦６個の噴出ノズル２の列と縦５個の噴出ノズル２の列を３５ｍｍピッチで横方向に各３列設けた噴水ノズル体１を容器Ｂの送り方向に直交する縦方向に５０回／秒で１５ｍｍの振巾で往復動させ、各噴出ノズル２の先端部に容器Ｂの開口面Ｂｆの法線に対し１０°の投入角と容器Ｂの送り方向に４５°と１３５°の反対方向の位相角を有するノズル口２ｎを２つ設け、ノズル口から容器内に傾斜した方向に高圧の水流を噴射して洗浄する。 （もっと読む）

【課題】均一な洗浄性能を得るとともに、洗浄液供給ノズルと被洗浄基板との間に液膜を形成する際の使用液量を低減することが可能な超音波洗浄ヘッドを備える超音波洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】超音波を、供給される洗浄液に照射することで、被洗浄基板３０を洗浄する超音波洗浄装置１０において、被洗浄基板３０を垂直な姿勢で保持する基板保持手段３１と、洗浄液を供給する複数の超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂを備え、超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂは、超音波を発生させる超音波振動子２１ａ、２１ｂと、洗浄液を噴射する洗浄液供給ノズル２２ａ、２２ｂを備え、複数の超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂは、被洗浄基板３０の洗浄方向に沿って複数設けられており、各洗浄液供給ノズル２２ａ、２２ｂの開口部の中心軸が被洗浄基板３０と超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂの間で交差することを特徴とする超音波洗浄装置１０である。 （もっと読む）

【課題】水垢によって汚染された窓ガラスなどの透明部材を、その表面やハードコート層を損傷させることなく、十分かつ経済的に洗浄可能な洗浄液、および透明部材の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】水溶性フッ素化合物と、酸と、増粘剤および／または乾燥防止剤とを水中に含有することを特徴とする透明部材の洗浄液。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク用基板、フォトマスクブランク、フォトマスクおよびそれらの製造中間体から選ばれるフォトマスク関連基板を洗浄した場合に、簡便な方法で硫酸イオンに対する洗浄効率を上げることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】硫酸イオンにより汚染された、フォトマスク用基板、フォトマスクブランク、フォトマスクおよびそれらの製造中間体から選ばれるフォトマスク関連基板を純水により洗浄するとき、該洗浄に用いる純水に、予め、溶存気体を脱気する脱気工程を行うフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク用基板、フォトマスクブランク、フォトマスクおよびそれらの製造中間体から選ばれるフォトマスク関連基板を洗浄した場合に、微小異物（パーティクル）の発生を極めて少なくすることができる洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】硫酸イオンにより汚染された、フォトマスク用基板、フォトマスクブランク、フォトマスクおよびそれらの製造中間体から選ばれるフォトマスク関連基板を純水により洗浄するとき、該洗浄に用いる純水に、予め、溶存気体を脱気する脱気工程と加温する加温工程を行うフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄能力を有する超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽内の液体に超音波振動を印加して、洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置３０において、洗浄槽３１に取り付けられ、入力される電気信号に基づいて機械的振動を発生させる振動子３２と、振動子３２へ出力する電気信号を、商用電源から入力された交流波形から生成する駆動回路３４とを具備し、駆動回路３４は、商用電源から入力された交流波形を整流する整流回路部４０と、整流回路部４０で整流された波形を平滑する平滑回路部４１と、平滑回路部４１で平滑された直線状の波形に対し、極性の変化が無い所定形状の波形を生成する波形生成部３８と、波形生成部３８によって生成された波形をスイッチングして所定の周波数を有する極性の変化がある電気信号に変換する電力増幅部４２とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】付着物を確実に除去する。
【解決手段】付着物除去装置２は、付着物除去ノズル３を備える。付着物除去ノズル３には、小径オリフィス２１と大径オリフィス２２とが設けられている。液化二酸化炭素１１０は、小径オリフィス２１を通って粒子形成部３１に送られるとともに、大径オリフィス２２を通って粒子形成部３１に送られる。粒子形成部３１には、キャリアガス１００が送られる。粒子形成部３１では、小径オリフィス２１及び大径オリフィス２２からの液化二酸化炭素１１０とキャリアガス１００とから、二酸化炭素ガスと小径ドライアイス粒子１１１及び大径ドライアイス粒子１１２とを含む洗浄ガス１２０がつくられる。洗浄ガス噴出口１５から噴射された洗浄ガス１２０は、流延ドラム２１２の表面２１２ａに吹き付けられる。洗浄ガス１２０により、表面２１２ａに付着した液状付着物Ｘ１及び固形付着物Ｘ２が除去される。 （もっと読む）