【課題】 物品の表面に付着した脂・汚れ等を超音波を用いて強力に洗浄し且つ強く殺菌させることができる超音波洗浄方法を提供する。更に連続的に洗浄殺菌できる設備の費用とそのランニングコストを廉価にできるようにする。
【解決手段】 酸素と窒素を高濃度に溶存させた洗浄水Ｗを貯えた洗浄槽２の水面下に発振面が対向するように上下一対の超音波振動子４を配置し、同超音波振動子の発振面間の狭間領域７に酸素と窒素を高濃度に溶存させた洗浄水の一部を邪魔板８で水量・流速を抑えて略５０ｃｍ／分の流速で流入させる。洗浄槽２の側面を開口し、同開口を介して被洗浄物Ａを通過させる搬送コンベヤ３を配置し、同開口から洗浄水を排出させ、同開口の内側に洗浄槽２へ供給する洗浄水を噴出して水カーテンＷａを形成して開口からの大量の排水を抑え、又開口から落下した洗浄水を下方で受水槽１で受けてポンプで洗浄槽２へ圧送して洗浄水を循環的に使用する。 （もっと読む）

【課題】
加工作業により被加工物に付着残留した加工油を簡易な方法により減量除去し、これを再利用可能とするとともに、被加工物の洗浄のために必要となる洗浄溶剤を少なくするか又はゼロとすることにより、ランニングコストを低くするとともに、地球環境への負荷を軽減する。
【解決手段】
被加工物12の加工作業に使用した加工油と同じ加工油4を、前記加工作業時の油温よりも高温に加熱して粘度を低下させ、この加熱した加工油4を、前記加工作業により加工油が付着した被加工物12に接触させることにより、被加工物12に付着している加工油の粘度を低下させ、その付着量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等の製造に用いる基板、例えばフォトマスク用基板、フォトマスクブランク、フォトマスク、あるいはそれらの製造中間体等を洗浄した場合に、異物の発生を極めて少なくすることができる基板の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、超純水により基板を洗浄する際に超純水を噴出するための超純水噴出ノズルと、該超純水噴出ノズルから超純水を噴出して基板の洗浄を行う基板洗浄室とを有する、基板の洗浄を行うための洗浄装置であって、少なくとも、超純水による基板の洗浄の前後の待機中に前記超純水噴出ノズルを待機させるための、前記基板洗浄室とは隔壁により仕切られた超純水噴出ノズル待機室を有し、該待機室は、排水機構と前記超純水噴出ノズル待機室から前記基板洗浄室へのミスト拡散防止機構を具備するものであることを特徴とする基板の洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 気泡を含んだ洗浄水（含気水）を洗浄水槽の底部から噴射させるとき、気泡による曝気と水流が洗浄水槽の全体に亘って均一に分散するように噴射させることで、洗浄対象食品を全体的に満遍なく下から煽って、効果的な洗浄を行なうことができ、更に、コスト、メンテナンス、コンパクト化の面で有利になるようにした食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 内部に洗浄水を収容させる洗浄水槽２と、オーバーフロー用スクリーン筒部２２と、底部スクリーン部材２８と、濾過水槽７と、循環ポンプ８と、含気水噴射装置５とを備え、含気水噴射装置５は、循環ポンプと洗浄水槽の底部室２９との間に配管した圧力水管５１の先端に噴射ストレーナ６を取り付けると共に、その圧力水管の途中に曝気用泡発生装置を設けている。 （もっと読む）

【課題】
多層膜成膜した基板を、回転させながら基板に裏面側から処理液を供給する基板処理方法では、基板の回転数を一定にした従来の基板の周辺処理方法では、周辺部の多層膜のエッチングレートの差により、庇（ひさし）が発生し、次工程への汚染拡散の原因となる。
【解決手段】
処理対象の層を変更し、基板処理液を変更するごとに基板の回転数を増加させながらエッチングすることで、外周のエッチング領域を外側に狭めていくエッチング処理が出来、周辺部の庇の発生を防止し、汚染拡散のない周辺洗浄が可能となる。 （もっと読む）

【課題】レジストパターン及び乾式及び湿式エッチング残渣除去能力に優れ、アルミニウム及び／または銅を含む金属配線の腐食防止力に優れるだけでなく、基板の処理枚数が増えて経済性に優れたレジスト剥離液組成物及びこれを用いたレジストの剥離方法を提供する。
【解決手段】本発明はレジスト剥離液組成物及びこれを用いたレジストの剥離方法に関する。前記レジスト剥離液組成物はレジストパターン及び乾式及び湿式エッチング残渣除去力に優れ、特定のポリオール化合物を含むので、アルミニウム及び／または銅を含む金属配線の腐食防止力に優れる。また、特定のアミド化合物を含むので、多数の基板を処理することができ、原価節減に大きく寄与する。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置において、洗浄作業を効率よく行うことができるとともに、洗浄ムラを抑制することができるようにする。
【解決手段】 洗浄装置１は、洗浄液４を入れる洗浄槽２と、洗浄槽２に入れられた洗浄液４中に被洗浄物２０を浸漬させて保持する被洗浄物保持部３と、洗浄液４中に超音波Ｓを出射する超音波振動子５と、超音波出射領域５ａに対向して、超音波Ｓの出射方向に対して傾斜角をつけて配置された超音波反射板７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄと、を備える。 （もっと読む）

【課題】合成繊維の製造に用いられる紡糸口金の洗浄において、煩雑な設備を用いることなく、複数個の紡糸口金の洗浄を短時間に簡便かつ効率よく行い、しかも良好な洗浄状態を得ることのできる紡糸口金の洗浄設備を提供する。
【解決手段】洗浄液を循環させる手段を有する洗浄浴槽と、複数個の紡糸口金を固定し、かつ、回転するホルダーとを用いて、ホルダーに固定した紡糸口金に洗浄液を吹き付けてホルダーを回転させ、複数個の紡糸口金を同時に洗浄する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で洗浄剤を循環させて再使用することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄剤を貯留するタンク１０と、洗浄剤を被洗浄物１８に向けて噴射するノズル１３と、タンク１０からノズル１３へ洗浄剤を圧縮して吐出するポンプ１１と、ポンプ１１により高圧となった洗浄剤を加熱する加熱器１２と、ノズル１３から噴射されて蒸気となった洗浄剤を冷却して液化させる冷却器１４とを備える。そして、洗浄剤は、油成分を分離する疎油性洗浄剤を用い、タンク１０は、タンク１０内に貯留する洗浄剤から油成分を排出する排出口１７を備える。これによれば、洗浄剤がタンク１０に貯留されると、タンク１０に貯留された洗浄剤中の上層部に油成分が浮上するので、排出口１７にて浮上した油成分をタンク１０から容易に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】アルカリアルミノシリケートガラスからなるガラス円板について、酸化セリウム砥粒を含むスラリーを用いる研磨工程を経て情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法において、酸化セリウム砥粒の残留を抑制し、更に主表面の面荒れを少なくする。
【解決手段】（ＳｉＯ_２−Ａｌ_２Ｏ_３）が６２モル％以下のＬｉ_２Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系ガラスからなる円板を、酸化セリウム研磨工程の跡、硫酸濃度２０質量％以上８０質量％以下、過酸化水素濃度１質量％以上１０質量％以下である洗浄液を用いて５０℃以上１００℃以下の液温にて洗浄し、その後、ガラス円板の主表面をコロイダルシリカ砥粒を含むスラリーを用いて仕上げ研磨する。 （もっと読む）

【課題】比較的少ない量の洗浄液で攪拌機の洗浄を行うことのできる攪拌機の洗浄用装置を提供する。
【解決手段】回転駆動源に連結された回転駆動軸及び回転駆動軸に固定された攪拌翼を有する攪拌機を洗浄液によって洗浄するために用いられる攪拌機の洗浄用装置において、隙間を隔てた内筒及び外筒を有し洗浄液が収容される二重構造容器体と、二重構造容器体の下方側に設けられ内筒の内側空間と隙間とを連通する下側開口部と、二重構造容器体の上方側に設けられ内筒の内側空間と隙間とを連通する上側開口部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

マルチウェルプレート（１０）のサンプルウェル（１２）から残留物質を除去するための方法及び装置。マルチウェルプレート（１０）にあるウェル（１２）は、洗浄液溜め（２０）の洗浄液ウェル（２２）と流体連結するように配置され、それにより、マルチウェルプレート（１０）のサンプルウェル（１２）から残留物質（１４）を除去すべくクリーニング流体が与えられる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲンを含まない酸化剤を用いて、従来のハロゲン型酸化剤並みの高い洗浄能力を備えつつ、環境負荷の小さい洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置Ｍ１は、洗浄対象物１３を洗浄する洗浄装置であって、洗浄対象物１３と対向配置されたカーボンナノチューブ層１１と、カーボンナノチューブ層１１と洗浄対象物１３との間に純水１２を供給する純水供給装置と、カーボンナノチューブ層１１に紫外線Ｌ１を照射する紫外線照射装置と、を有し、前記紫外線照射装置によってカーボンナノチューブ層１１の表面に接する純水１２に紫外線Ｌ１を照射し、これにより生成したオキソニウムイオンを酸化剤として洗浄対象物１３を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの洗浄効果を高めると共に、ワークの取り扱いや乾燥を容易にすることができる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄液１８に浸し、収容したワーク１６に超音波Ｌを照射してワーク１６を洗浄する洗浄装置１０であって、ワーク１６を挿入する開口部１３が形成され超音波Ｌが透過する第１治具１２と、第１治具１２の開口部１３に取外可能に装着される網状の第２治具１４と、で構成されたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの製造ラインやコーティングライン、あるいは輸送ラインなどのフィルム搬送過程においてフィルムへのゴミや埃などの付着を簡便かつ効果的に防止できる装置を提供する。
【解決手段】プラスチックフィルムが搬送される搬送路の下方に空中から落下するゴミや埃などを捕捉する水を収容した水バスを備えたフィルムへのゴミ付着防止装置とする。 （もっと読む）

【課題】 洗浄レーンの洗浄液回収口を通して洗浄液貯留槽内に回収される洗浄液に混入した磁性粉等を良好に取り除くことができる電着塗装用洗浄液循環装置を提供する。
【解決手段】金属製のカバー部材１を電着塗装する前に、予め、ボルト孔３の周囲に非塗装部６を設ける磁力式マスキング冶具１０をカバー部材１の一側面に吸着させる。この状態でカバー部材１をハンガー３２に吊り下げて洗浄レーン３０に移送しながら、洗浄液貯留槽６０から洗浄液を洗浄レーン３０内の洗浄ノズルパイプ３５に供給し、噴出口３６からカバー部材１に吹き付けて洗浄する一方、洗浄レーン３０の洗浄液回収口４１から洗浄液を回収して洗浄液貯留槽６０に戻す。洗浄液回収口４１と洗浄ノズルパイプ３５との間には、磁性粉除去フィルタ７１と異物を除去する異物除去フィルタ８０とが配設されている。 （もっと読む）

【課題】無酸素で、低温で、瞬間的に、微細間隙内部洗浄も可能な、同時に滅菌処理も可能で、かつ設備価格低廉な水中洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄槽１３内の液化ガス水中放散管１で構成された放散管立体枠２に、液化ガス放散ノズル５が装着された底部放散管３及び側面放散管４を装着し、ボンベ又はタンク等の液化ガス貯留槽８に接続した液化ガス蒸散機９にフレキシブルな液化ガス供給管７の一端を脱着可能状態で固着し、側面放散管４の上端に液化ガス供給管７のもう一方端を接続し、前記液化ガス放散ノズル５から低温液化ガスを洗浄槽１３の概中心に向かって放散し、水中複合波動で洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物の任意の部位に対してマイクロバブル（気泡）含有洗浄水を供給でき、さらに、供給時におけるマイクロバブル密度の低下を抑制することができ、その上、設備の簡素化を図ることができる洗浄システムおよび洗浄方法を提供すること。
【解決手段】 自動車ボデー２を洗浄する洗浄システム１において、マイクロバブル含有洗浄水を貯める加圧槽２４と、加圧槽２４内に圧縮ガスを供給するガス供給部２５と、加圧槽２４に連通し、加圧槽２４内の洗浄水を自動車ボデー２に吹き付けるための吹付ノズル２７とを設ける。そして、この洗浄システム１において、加圧槽２４に圧縮ガスを供給することによって、マイクロバブル含有洗浄水の液面を均等に加圧し、その圧力によって、マイクロバブル洗浄水を加圧槽２４から吐出して自動車ボデー２に吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】ユニットバス内部の天井及び壁を自動的に洗浄する。
【解決手段】ユニットバスの天井６に設けた穴からホース２が垂れ下げてあり、ホース２は、洗浄水を供給する給水源４に接続されている。ホース２の先端は旋回体１に接続されている。旋回体１は、独立気泡の合成樹脂発泡体製であり、花びら状である。ホース２に給水源４の水をポンプＰで圧力を２ＭＰａ以上に上げて吐出させると、ホース２が不規則に運動し、複数の翼片１０の間には空間があるため空間を通る空気流が生じ、各翼片に不均一な空気力が作用し、旋回体１が不規則にホース２を中心に旋回運動をすると共に、ホース２をＵ字状に折り曲げるので、噴出孔３が天井６の方向を向き、噴出水は天井６に向かい、天井を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で実施可能であり、微細パターンが形成されている基板をその微細パターンに悪影響を与えることなく短時間で洗浄するための基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが表面に形成された基板としてのウエハＷの洗浄処理を、ウエハＷの表面に所定の加工を施す処理チャンバからウエハＷの洗浄を行う洗浄チャンバへ搬送する搬送ステップと、洗浄チャンバ内においてウエハＷを所定温度に冷却する冷却ステップと、超流動体としての超流動ヘリウムをウエハＷの表面に供給し、ウエハＷの表面から超流動ヘリウムを流し出すことによって微細パターン内の汚染成分を押し流す超流動洗浄ステップにより行う。 （もっと読む）