【課題】簡単な構造で処理槽の中央部と壁側との超音波出力を調節可能にし、超音波振動子ごとに超音波出力を調整して音圧分布の均一化を図る超音波処理装置を提供する。
【解決手段】超音波発振器より超音波出力を入力することが可能な超音波振動子３を処理液２で満たされた処理槽１０底面の輻射板１２に外側底部の設置面１２ｂから配置させて励振させることで処理液２中の被洗浄物１を洗浄する超音波洗浄装置であって、処理槽１０の輻射板１２に中央の中央部Ａ及びその周囲の壁側Ｂからなる設置面１２ｂを設定し、この設置面１２ｂ内で処理槽１０の洗浄状態に応じて、超音波発振器により中央部Ａに低い超音波出力を入力して励振させる超音波振動子３Ａと、壁側Ｂに高い超音波出力を入力して励振させる超音波振動子３Ｂとを各々分けて備える。 （もっと読む）

【課題】小径貫通穴３ａを有する部品３に付着した加工残留物を確実に除去するとともに、部品３の洗浄工程による部品３の滞留をなくした小径貫通穴洗浄方法およびその装置を提供する。
【解決手段】小径貫通穴３ａを有する部品３の小径貫通穴３ａに、高圧噴流を噴射するノズル１を、一対一対応で接触させ、ノズル１から高圧噴流を噴射させる。 （もっと読む）

【課題】処理液バルブのリーク故障や吸引手段の故障を検出して、基板処理不良を抑制する。
【解決手段】この基板処理装置は、基板Ｗに処理液を吐出するノズル１２と、ノズル１２に接続された処理液供給管２５と、処理液供給管２５に介装された第１および第２処理液バルブ２８Ａ，２８Ｂとを備えている。第１処理液バルブ２８Ａとノズル１２との間に設定された分岐位置３６には、処理液吸引管３２が処理液供給管２５に分岐接続されている。処理液吸引管３２には吸引装置３４が接続されており、その途中部には吸引バルブ３３が介装されている。処理液供給管２５は、分岐位置３６とノズル１２との間において、鉛直方向に沿う液面検出部４０を有している。この液面検出部４０に設定された液面検出位置４２には、液面センサ４１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】水中洗浄に際し、除去した異物が再度被洗浄物に再付着するのを防止する。
【解決手段】被洗浄物１０を挿入して水中に配置する洗浄槽１と、被洗浄物１０の配置位置下方側で前記洗浄槽１に設けられた仕切り板３と、仕切り板３上方で、洗浄槽１に配置された被洗浄物１０に水流を噴出して被洗浄物１０の異物１１を洗浄する洗浄ノズル２と、洗浄槽１内で仕切り板３の上方側から下方側に向けて水流を生じさせる強制水流装置（送水管５）を備え、仕切り板３には、強制水流装置で生じさせた水流が通過する開放部３ａを設け、仕切り板３の少なくとも一部を下方から上方に向けた水流の通過が可能なフィルター３ｂで構成する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物がたとえ複雑形状を有する場合であっても、被洗浄物表面上の汚染物質を十分に除去できる洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】純水にオゾンを溶解させたオゾン水に紫外線を照射して洗浄液を得るための紫外線照射処理槽６、紫外線照射処理槽６内で得られた洗浄液を供給する管路１５および洗浄液を被洗浄物に接触させるための手段７を備え、オゾン水に紫外線を照射して洗浄液を得た直後に、当該洗浄液を被洗浄物に接触させる。 （もっと読む）

【解決手段】 洗浄システム１は、クランクケース２を支持したパレット３を洗浄位置Ｂまで搬送する搬送手段６と、クランクケース２を洗浄する洗浄手段７とを備えている。
パレット３には固定通路１２を設けてあり、その一端にフレキシブルチューブ１３の一端１３Ａが接続されている。フレキシブルチューブ１３の他端１３Ｂは、クランクケース２の油穴４の開口に接続されている。上記パレット３が搬送手段６により洗浄位置Ｂの液槽２２内に浸漬されると、固定通路１２と吐出通路２４とが重合して相互に連通する。その後、ポンプ２３から吐出される洗浄液が吐出通路２４、固定通路１２およびフレキシブルチューブ１３を介してクランクケース２の油穴４に直接給送される。
【効果】 クランクケース２の油穴４を効率的かつ確実に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながら、従来の複数の洗浄槽を設けた従来の洗浄装置に匹敵する効果の高い洗浄が可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽、シャワーノズル、排液口、洗浄液貯液槽、及び、洗浄液貯液槽内の洗浄液をシャワーノズルに循環供給する循環洗浄手段を備えている洗浄装置であって、貯液槽・循環手段の組合せを複数備え、かつ、複数の貯液槽・循環手段の組合せ中から１つの貯液槽・循環手段の組合せを選択して選択された貯液槽に排液口からの洗浄液を供給させるとともに、選択された循環洗浄手段のみを稼働させて洗浄を行い、同様に繰り返す、組合せ選択手段を備えている洗浄装置において、前記組合せ選択手段が切替の際に、前記循環洗浄手段を停止させた後に、前記シャワーノズル付近の前記配管中の洗浄液を該配管が接続された洗浄液貯液槽に逆送し、その後所定時間後に、次の貯液槽・循環手段の組合せに切替える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 高圧水噴射洗浄装置において、製造ラインで要求されるクリーン度への対応が容易であること、均一な洗浄を可能にすること、構造を簡単にし、コストダウンを図れること、ならびに洗浄時の装置の振動を低減することである。
【解決手段】 洗浄対象物を洗浄装置本体に対し一定速度で移動させながら、高圧水噴射ノズルから一斉に高圧水を前記洗浄対象物に噴射させて洗浄する装置で、洗浄対象物を横切る長さ以上の長さを有する支持フレーム６の一面に、複数の高圧水噴射ノズル７ａを洗浄対象物に向けかつ間隔をあけて配列し、支持フレーム６の両端延長部１１をその延長面に直交する駆動軸１５を介して偏心回転可能に支持するとともに、駆動軸１５を駆動装置１７にて回転させることにより支持フレーム６が偏心回転するように構成し、回転円運動する各高圧水噴射ノズル７ａから高圧水を一斉に噴射させるようにしている。 （もっと読む）

トランスデューサー、それを製造するシステム及び方法は、圧電ピラーの複合物を利用する。一実施形態において、本発明は、音響エネルギーを発生させるための装置であって、圧電物質で造られる複数のピラーを含んでおり、ピラーは、隣接したピラー間に空間が存在するように離隔方式で配列されており、ピラーは、幅と、上面と底面との間で延びる高さとを有しており、ピラーの高さは、ピラーの幅よりさらに大きく、空間は、複合アセンブリーを形成するように弾性物質で満たされている。
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【課題】微細気泡を利用したシャワー及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】気体が溶解された溶解水を生成し、溶解水に微細気泡を発生させて洗浄効率が高く、且つ人体に無害なシャワー用水を提供するシャワーが開示される。シャワーは、圧力タンクと、先端部が給水管に直結され、末端部が前記圧力タンクの上端に連結され、用水を前記圧力タンクの内部に噴射させる用水供給管と、前記圧力タンクの内部に配置され、前記用水供給管により噴射される前記用水に前記圧力タンクの内部の気体を混合して前記用水に前記気体の溶解された溶解水を生成する溶解槽と、先端部が前記圧力タンクの下端に連結され、前記圧力タンクに貯留された前記溶解水の排出経路を提供する溶解水供給管と、前記溶解水供給管の末端部に結合されるシャワーヘッドと、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板を効率良く洗浄しながらも基板へのダメージを低減することができる二流体ノズルおよび該二流体ノズルを用いた基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル３０１において、液体吐出口３２７を環状で且つスリット状に開口させるとともに、液体吐出口３２７の開口面積を１．８ｍｍ^２以上かつ３６ｍｍ^２以下に設定している。このため、従来ノズルに比べて単位時間当たりの供給液滴数を増加させ、基板Ｗを実用的かつ効率的に洗浄することが可能となる。しかも、液体吐出口３２７のスリット幅を０．１ｍｍ以上かつ１．０ｍｍ以下の範囲に設定しているので、基板Ｗへのダメージ発生に寄与する比較的大きな粒径の液滴が生成されるのを抑制することができる。したがって、基板Ｗを効率良く洗浄しながらも基板Ｗへのダメージを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】純水と窒素ガスとを衝突させて純水の液滴を形成して供給する液滴供給方法、液滴を供給する二流体ノズルおよび液滴を基板に供給して基板処理を施す基板処理装置において、液滴の微粒化を高める。
【解決手段】液体吐出口３４２から純水が吐出されるとともに、液体吐出口３４２を挟み込むように設けられた気体吐出口３４１、３４３から窒素ガスが吐出され、純水と窒素ガスとの衝突によって純水の液滴が形成される。このように互いに異なる２経路で、しかも挟み込むように窒素ガスが純水の液流れに吐出されて純水に対してせん断力が作用する。しかも、いずれの気体吐出経路においても、窒素ガスが純水の液流れに対して直角に吐出されるため、上記せん断力がさらに高められる。その結果、微細な液滴が形成される。 （もっと読む）

【課題】
複チャンバ型デポジションピン洗浄ステーションを開示する。
【解決手段】
この洗浄ステーションは、複数の洗浄管によって接続された下方チャンバおよび上方ドレーンベースンを含んでいる。洗浄液は下方チャンバに提供されており、洗浄管を通過して上方ドレーンベースンに流入する。洗浄管は洗浄サイクル毎に１本の管を備えた１本のデポジションピンを洗浄するように設計されている。 （もっと読む）

【課題】複数の被洗浄物を連続的により少ない液量でより確実に洗浄でき、かつ軽量化及び小型化可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】外周壁と底部を備え前記外周壁と前記底部とで形成された空間に液体を貯留する洗浄槽と、付勢されて振動し前記洗浄槽を振動させる振動子と、前記空間に設けられ回転軸を中心として所定方向に回転する搬送部とを備え、前記空間に供給された被洗浄物の少なくとも一部の部位を前記液体に浸漬させ、前記被洗浄物を前記搬送部により前記底部上で前記所定方向に回転移動させると共に前記振動子により前記洗浄槽を振動させて前記液体により前記被洗浄物を洗浄し、前記洗浄した被洗浄物を前記洗浄槽の外部に排出するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 ストレーナに装着された円筒型のフィルタの目詰まりを解消するために、ストレーナからフィルタを取り外して洗浄する際に、簡単な構造でフィルタを回転させることができて、洗浄水のフィルタに対する噴射位置を確実に変更して短時間で洗浄できるフィルタの洗浄装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ５を遊嵌させる主洗浄管３の長手方向に沿った多数のノズル3aから噴射される洗浄水W₃の噴射方向を鉛直上向きとし、副洗浄管４の長手方向に沿った多数のノズル4aから噴射される洗浄水W₄の噴射方向と鉛直下向きとするとともに、主洗浄管３の中心を通らない方向とする。主洗浄管３にフィルタ５を遊嵌させ、ノズル3a、4aから洗浄水W₃、W₄を噴射すると、洗浄水W₃によりフィルタ５が主洗浄管３から浮き上がり、洗浄水W₄によりフィルタ５が回転させられて、洗浄される。 （もっと読む）

【課題】表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーに付着した異物等をコンパクトで安易な装置で良好に洗浄できるローラー洗浄装置を提供することことを目的とする。
【解決手段】
ローラー表面にディンプル状の凹部や溝を有するローラーを洗浄するローラー洗浄装置であって、前記ローラーの下面にローラーと微小隙間を有し、ローラーの下面の一部を覆う洗浄槽と、前記洗浄槽の内方に、洗浄液または圧縮空気のいずれかを噴出する少なくとも１個以上のスプレーノズルと、前記洗浄液を貯蔵する洗浄タンクと、前記洗浄タンクから洗浄槽へ洗浄液を送る搬送手段と、前記洗浄槽から洗浄済みの洗浄液を回収するドレン機構と、
を具備していることを特徴とするローラー洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理液の洗浄処理槽内流れを上向きとし、下向きの流れを最小にすると共に、整流板及び拡散板の開口率と液流のバラツキの関係を明確にし、液流のバラツキをリアルタイムにモニターできる手段を具備した洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄処理装置は、上方向に流れる洗浄処理液を貯留する洗浄処理槽と、該洗浄処理槽内底部に洗浄処理液を流通させる小孔が面内に配列された整流板と、該洗浄処理液供給口の上方と該整流板の下方の位置に洗浄処理液を流通させる小孔が面内に配列された拡散板と、を備えている。さらに、本発明の洗浄処理装置は、洗浄処理槽内壁面に一本ないし複数本の細糸が固定されることにより、洗浄処理槽内壁面近傍の液流が可視化される整流モニター機構を有し、液流のバラツキをリアルタイムにモニターできる手段を設けている。 （もっと読む）

【課題】低コストで貯留槽内の処理液の温度を調整することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理液タンクＴＢ内の処理液は、ポンプＰ２の動作により配管１８，１９，２３を通して簡易式熱交換器Ｓ２に導かれる。簡易式熱交換器Ｓ２により冷却された処理液は、配管２３，２５を通して処理液タンクＴＢに戻される。処理液の温度が予め定められた規定値Ｎ１以下になると、処理液タンクＴＢ内の処理液は、ポンプＰ２の動作により配管１８，１９，２１を通して処理液タンクＴＢに戻される。配管２１は処理液タンクＴＡ内を通過するので、配管２１を流れる処理液は、処理液タンクＴＡ内の処理液によって温調される。 （もっと読む）

【課題】半田付けまたは洗浄が適切に行えるようにする。
【解決手段】加工液体３の液面が作業槽１０の開口よりも下方に設定されるように加工液体３が液槽１に入れられ、調整機構６の高速駆動によって加工液体３の一部の液面が共振器８の作業槽１０の開口よりも上方に調整されて、加工液体３の一部が液槽１から作業槽１０に取り込まれた後、この取り込まれ加工液体が液槽１の加工液体３から分離されて作業槽１０の中で静止し、共振器９が振動子１１から伝達された超音波振動に共振した状態において、加工対象物１４の加工対象部分１６が作業槽１０の加工液体に浸されて半田付けまたは洗浄を受ける。加工液体３の一部を液槽１から作業槽１０に入れるには、液面調整体を加工液体３に入れるか、調整機構６の駆動で上昇した加工液体３をパイプで誘導してもよい。加工液体３の液面を調整する代わりに、ポンプで加工液体３を液槽１から作業槽１０に汲み上げてもよい。 （もっと読む）

【課題】細片を医療用器具から除去するための、効率的かつ安価なデバイス、システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】細片収集システム１００であって、細長本体１１０であって、第一の端部、第二の端部、および該細長本体を通って延びる穴１２７を有し、該細長本体の第一の端部は、密閉状態で閉じられ、そして該細長本体の第二の端部は開口部１１３を有する、細長本体；該細長本体に固定されるキャップ１２０であって、該キャップを通って延びる穴を有する、キャップ；ならびに該細長本体に流体を導入するためのポートであって、該キャップに取り付けられる、ポート、を備える、細片収集システム。 （もっと読む）