【課題】洗浄対象となる基板近傍にて光触媒反応を利用してＯＨラジカルを潤沢に発生させることによって、基板上に付着した有機物等のパーティクルを効果的に除去することのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理対象である基板Ｗ上の被処理面Ｗ１を洗浄する第１のノズル１１と、被処理面Ｗ１上に液を供給する第２のノズル１２と、を備え、第１のノズル１１は、被処理面Ｗ１に対向し液に接触する光触媒１１ａと、光触媒１１ａを保持する保持部材１１ｂと、保持部材１１ｂを透過して光触媒１１ａに光を照射する光源１１ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】多孔質セラミックからなる保持テーブルの保持部の孔に詰まった研削屑を効果的に除去して保持部の吸引力を回復させることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】研削加工したワークを保持テーブル２０の保持部２１上から搬出した後に保持部２１に水とエアとの混合流体を供給して保持部２１から吹き出させることにより、保持部２１内を洗浄し、保持部２１内の孔に詰まっている研削屑を除去する。 （もっと読む）

【課題】水分濃度が低い有機溶媒を処理部又は被処理体に供給して処理を行うことにより、被処理体や処理部の腐食を抑えること。
【解決手段】イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）の供給源３０からＩＰＡを貯留タンク３に供給し、貯留タンク３内のＩＰＡを、水分除去フィルタ４及び濃度測定部５を備えた循環路３２を介して循環供給する。ＩＰＡは、循環路３２内を循環させることにより、水分除去フィルタ４により徐々に水分が除去される。そして、濃度測定部５により測定された水分濃度が０．０１重量％以下であるときには、中間タンク６にＩＰＡを送液する。中間タンク６からは、処理チャンバ１１に水分濃度が０．０１重量％以下のＩＰＡが供給され、処理チャンバ１１では、当該ＩＰＡを高温、高圧状態として、ウエハＷの処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】ダウンフローを発生させるための機構を簡素化した処理装置を提供すること。
【解決手段】ダウンフローを発生させる気流発生手段１５０と、循環経路部材２００内に配設され、ダウンフローを発生させる気体に含まれるミストを気体から分離させるミスト分離手段２４０と、循環経路部材２００内に配設され、ミスト分離手段２４０によって分離されて液化したミストを回収する廃液口２１３と、を有し、ダウンフローを発生させる気体を処理チャンバー１００と循環経路部材２００との間で、循環させるようにした。 （もっと読む）

【課題】残存物の除去を考慮する必要がなく且つ装置の大型化を招くことなく、シリンダボアの内周面に仕上処理を施すことが可能なシリンダボアの内周面処理装置を提供する。
【解決手段】回転制御部５５と移動制御部５６とは、シリンダボア１７の内周面１７ａから所定距離となる仮想円周面上で噴射ノズル１１を移動させ、噴射ノズル１１は、シリンダボア１７の内周面１７ａに向けて低圧の流体と高圧の流体とを同時に噴射してキャビテーション気泡を発生させ、シリンダボア１７の内周面１７ａに仕上処理を施す。 （もっと読む）

【課題】メガソニック洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】メガソニック洗浄方法として、洗浄対象体と区分される空間で、メガソニックによって洗浄液を起電させてマイクロ空洞を生成させる。生成されたマイクロ空洞のうち、安定な振動のマイクロ空洞のみを洗浄対象体がロードされた空間に移動させる。また、前記安定な振動のマイクロ空洞を利用して前記洗浄対象体の表面を洗浄する。前記方法によると、洗浄対象体内のパターンの損傷を防ぎ且つ洗浄対象体表面のパーティクルを効果的に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向の省スペース化が実現できる基板液処理装置のミスト回収機構を提供すること。
【解決手段】ミスト案内カップの周縁端領域の上方に設けられた液体案内上部カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内中央カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内下部カップと、を備える。各カップの鉛直方向位置は、３つの回収状態を選択的に実現できるように制御される。各回収状態で回収される液体は、第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクにそれぞれ案内されるようになっている。第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクは、径方向に並ぶように配置されている。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある歯車のようなワークであっても、切屑、切粉等の異物および油分をきれいに除去することができ、また空圧源だけでも作動させることができる、装備および設置が容易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留するタンク１０と、洗浄室４０内に回転軸を支持することにより回転自在に設けられたワーク保持具４６と、回転軸に設けられたフィン４８に対し圧縮空気を噴射することによりワーク保持具を回転動させる。ワークＷに相対するように洗浄室内に設けた対物ノズルと、洗浄液を吸引して対物ノズルに圧送する空圧作動式給液ポンプ２０と、圧縮空気を供給する空圧源とからなり、回転動用ノズルから圧縮空気を所定時間噴射することによりワークを回転させると同時に、空圧作動式給液ポンプを作動させて対物ノズルから洗浄液を所定時間噴射し、その後は対物ノズルの流入路が空圧源に切換えられて圧縮空気が所定時間噴射される。 （もっと読む）

【課題】 構造簡単で、容易に脱水カゴを洗浄水槽の内部と外部とで出し入れでき、作業者の労力負担を軽減できる食品洗浄機における脱水カゴ出し入れ装置の提供。
【解決手段】 脱水カゴ９を着脱可能に支持する支持リング２と、脱水カゴの載置台３と、載置台上に載置された脱水カゴから離反して載置台よりも下方に下降した外部下降リング位置３ｂと、脱水カゴが洗浄水槽よりも上方に移動した外部上昇リング位置３ｃと、脱水カゴを支持した状態で洗浄水槽内にセットされた内部下降リング位置１ｂと、脱水カゴが洗浄水槽よりも上方に移動した内部上昇リング位置１ｃと、支持リングを昇降させるシリンダ２０を備え、支持リングが外部上昇リング位置と内部上昇リング位置との間を手動で水平移動可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを小さくすることができ、排気と排液との分離機構を特別に設ける必要のない液処理装置を提供すること。
【解決手段】排気・排液部６は、主にウエハＷから振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップ４１と、排液カップ４１の外側を囲繞するように設けられ、回転カップ３およびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップ４２とを有し、回転カップ３は環状の庇部材３２を含み、排液カップ４１は、庇部材３２の下側で回転カップ３に形成された排出孔３３，３４を通してウエハＷから振り切られた処理液を取り入れて排液口４３から排液し、排気カップ４２は、庇部材３２の上側で排気カップ４２に形成された導入口４２ｂを通して回転カップ３の周囲からの気体成分を取り入れて排気口４５から排気し、排液カップ４１からの排液と排気カップ４２からの排気が独立して行われる。 （もっと読む）

【課題】排出されたプラスチック類を、排出される場所に近い場所で搬送と貯留に適した形態にすることができ、且つリサイクル工場への搬入前の段階で清浄な状態として、特に飲食に関連した用途に使用できるように処理することを可能にする。
【解決手段】プラスチック類を破砕する破砕機１２２と、該破砕された破砕片を洗浄する超音波洗浄機１２６と、該洗浄された破砕片を脱水する脱水機１３０と、を備えて、該破砕機１２２、超音波洗浄機１２６、及び脱水機１３０が、２つの運搬車１９６の脱着可能な荷台１０２Ａ、１０２Ｂに分割されて据付られている。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 処理液に溶解する二酸化炭素の量を、所望の濃度以上に維持し、かつ、二酸化炭素を無駄に消費しないようにした基板洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】 比抵抗計８１が、所望の比抵抗値より高い値を検出するとコントローラ８２は開閉制御弁Ｖ５を開け二酸化炭素が供給される。すなわち、ポンプ２４が、吸込み管２５によって処理液タンク３１から吸い込んだ処理液は、処理液送出管２３、分岐管２７、開閉制御弁Ｖ４、戻し管２８、ミキシングユニット５０、撹拌ノズル６１を経て処理液タンクに戻る処理液循環路を循環する動作を行い、循環動作の途中のミキシングユニット５０にて二酸化炭素を混入する。 （もっと読む）

【課題】ロットの処理不良を防止することができるとともに、ロット間における処理を均一化することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】薬液交換後から薬液処理部ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達した後、薬液処理部ＣＨＢ２にてロットの処理を開始した時間を計時部２７が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部２９が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部２９が判断すると、報知部３３がオーバータイムアラームを報知する。したがって、許容時間内にロットを薬液処理部ＣＨＢ２で処理開始できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上の不要物を良好に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】バキュームチャック１１の上方には、ほぼ円錐形状の遮断板１２が配置されている。遮断板１２の下面１２１には、それぞれエッチング液、純水および窒素ガスを吐出する開口１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃが形成されている。エッチング液、純水および窒素ガスは、ウエハＷの回転半径外方に向かうにつれてウエハＷに近づくように傾斜した方向に吐出されて、それぞれウエハＷの表面のエッチング液供給位置Ｐｅ、純水供給位置Ｐｄおよび窒素ガス供給位置Ｐｎに供給される。 （もっと読む）

【課題】 曝気と水流を洗浄水槽の全体に亘って均一に分散させながら、十分な噴出力によって被洗浄物を全体的に満遍なく下から煽って、かき解すように上下に浮沈させるといった効果的な洗浄を行なうことができる食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 洗浄水槽２と、濾過水槽７と、濾過水槽に設けた循環ポンプ８と洗浄水槽に形成した底部室２９との間に配管した圧力水管５１と、圧力水管の先端に上向きに開口した噴出口５５と、圧力水管の途中に設けた曝気用泡発生装置４と、洗浄カゴ９を備え、洗浄カゴの底部に設けた底部スクリーン９２の中央部分に水流遮断部９２ａが形成され、この水流遮断部の中央部分に水流を通過させるための複数個の通水小孔９２ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡便で低コストな信頼性の高いｐＨ計洗浄装置およびｐＨ計の洗浄方法を提供する。
【解決手段】廃液処理設備から分岐したｐＨ測定槽に付設されたｐＨ計の洗浄装置であって、ｐＨ計洗浄槽と、該ｐＨ計洗浄槽の底部に洗浄液を取り出す開閉式底蓋と、洗浄液を回収する洗浄液回収槽と、該洗浄液回収槽の底部にはｐＨ計挿通口と、洗浄液を排出するドレン口と、ドレン口に接続したドレンパイプとを設けたことを特徴とするｐＨ計洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Ｗを上方から洗浄槽１内に収容し、略水平方向に延在する管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６から基板Ｗの両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６の端部側に形成される通気路に遮蔽板Ｄ３，Ｄ６を配設する。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の液体の加温時の温度ムラをなくして、その後の減圧時に洗浄槽内の液体を均一に沸騰させ、これによりムラのない確実な洗浄または濯ぎを図る。
【解決手段】被洗浄物２が浸漬された洗浄槽３内の液体を設定温度まで加温後、洗浄槽３内を減圧して液体を沸騰させる動作を含んで、被洗浄物２の洗浄または濯ぎを図る装置である。洗浄槽３内の液体を加温中に液体を流動させる液体流動手段を備える。液体流動手段は、洗浄槽３内の液体への外気導入手段（液相給気手段）９とされる。 （もっと読む）