【課題】エッチングエンドのタイミングを確実に判別し、エッチングに必要な薬液の使用量を低減する。
【解決手段】エッチング室の入口から導入された処理基板を傾斜した状態で搬送する送りローラと、エッチング室内において送りローラによって搬送される処理基板に向けてエッチングに必要な薬液を吐出する吐出ノズルと、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜上方に位置する一端部に対向する第１センサ、エッチング室内の入口側に設けられ傾斜した状態で搬送される処理基板の傾斜下方に位置する他端部に対向する第２センサ、エッチング室内の出口側に設けられ処理基板の一端部と他端部との間の中央部に対向する第３センサを含むセンサ群と、センサ群に含まれる第１乃至第３センサの各々からの出力信号に基づいてエッチングエンドを判別する演算装置と、を備えたエッチング装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、超音波による洗浄装置および洗浄方法に関するものである。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、超音波を発生する超音波振動子と、超音波振動子に固定されて超音波を洗浄液に照射する超音波照射面が扁平な振動体とを具備する振動体ユニットと、振動体ユニットを回転して超音波照射面に交わる方向を軸として超音波照射面の角度を変える照射面角度制御部と、洗浄対象の基板を保持し基板を回転させる基板回転部と、振動体の超音波照射面を洗浄面に向けて一定間隔を保持しながら振動体ユニットを移動させる振動体移動機構と、超音波照射面と洗浄面との間に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備えるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】充填する除菌液の量を減らしてコスト削減を図るとともに、設置スペースに合わせて向きを自在に変えて設置することができるまな板除菌用袋を提供する。
【解決手段】パルプを材料に用いて作られてまな板２を包む不織布製シート３と、このシート３で包まれた状態でまな板２を収納すべく合成樹脂材料からなる袋本体４とからなり、袋本体４の出し入れ用開口部１３を閉じて袋本体４の密封状態を保持するジッパー１４を備え、前記シート３で包まれたまな板２を袋本体４の中で除菌液に浸した状態を保持するようにした。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物から剥離して洗浄水の液面に浮遊した油分を効果的に除去することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】ガラスリング１８の内周面１８Ａと接触する洗浄水Ｗの液面の縁部Ｅが、液面の一般部Ｇに比べて鉛直方向で高くなっている。このため、洗浄槽１２に供給された洗浄水Ｗによって溢れ出た洗浄水Ｗ及び洗浄水Ｗの液面に浮遊した油分Ａは、回収筒３４に流れ込む。このように、液面に浮遊する油分Ａが効果的に、回収筒３４に流れ込んで回収される。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたパターンの破損を回避しつつ、基板に対する洗浄能力を低下させずに洗浄を行うことができる。
【解決手段】基板上を複数の領域に区切り、領域毎にその位置情報とパターン情報を取得する情報取得部１１と、位置情報とパターン情報に基づいて、領域毎に基板に薬液を吐出するときの処理条件を決定する条件決定部１２と、基板に薬液を吐出する吐出部１５と、吐出部１５を基板の一端から他端への第１方向に向かって基板に対して相対的に移動する位置制御部１３と、位置制御部１３により移動される吐出部１５が基板上の領域の上方を通過するとき、前記処理条件に従って吐出部１５から吐出される薬液の圧力を調整する吐出調整部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板面内や基板間の処理のバラツキを低減することができるとともに、製品性能や製造歩留を向上させる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 処理基板１が収容される槽ＴＫと、処理槽ＴＫ内に液体、気体、又は液体と気体との両方を送り出す送出機構ＴＢ、Ａと、処理基板１に対して、液体、気体、又は気体と液体との両方が槽ＴＫ内へ送り出される位置と対向する位置から槽ＴＫ内の液体、気体、又は気体と液体との両方を排出する排出手段１０、２０、３０、４０と、を備えた基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】処理液を効率的に利用しつつ処理性能を向上させることのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供することである。
【解決手段】
処理液を基板Ｐの表面に向けて吐出して基板Ｐの全幅にわたって処理液を吹付ける第１ノズルユニット１０と、第１ノズルユニット１０より基板Ｐの搬送方向の下流側に当該第１ノズルユニット１０と向き合うように配置され、処理液を基板Ｐの表面に向けて吐出して当該基板の全幅にわたって処理液を吹付ける第２ノズルユニット２０とを有し、相互に向き合う第１ノズルユニット１０及び第２ノズルユニット２０から吐出される処理液が基板Ｐの表面上でぶつかりあって基板Ｐの幅方向に延びる処理液の盛り上がり部分Ｍが形成されるように第１ノズルユニット１０及び第２ノズルユニット２０からの処理液の吐出方向が設定された構成となる。 （もっと読む）

【課題】より簡素な構成によってダウンフローを発生させること。
【解決手段】スピンナ洗浄装置１は、ワークを保持するスピンナテーブル３０と、鉛直方向を回転軸としてスピンナテーブル３０を回転させるモータ４２と、スピンナテーブル３０に保持されたワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズル５０と、スピンナテーブル３０を収容するケーシング２０と、モータ４２に接続された羽３６Ａを備え、羽３６Ａは、モータ４２によってスピンナテーブル３０が回転する際に同時に回転し、ケーシング２０内にダウンフローを発生させる。 （もっと読む）

【課題】ワークを治具により姿勢制御可能な洗浄装置において、省スペースで安定した治具を提供することを目的とする。
【解決手段】治具２は、外枠３と、基台１０と接続可能な接続台４と、ワークＷを保持するための支持台５と、リンク機構とを備える。リンク機構は、外枠３に一端が回転可能にジョイントされ、他端が支持台５に回転可能にジョイントされた２つのリンク６ａと、接続台４にヒンジ８ｂにより回転可能にジョイントされたロッド８ａを備えた２つのエアシリンダ８とを有する。この構成により、エアシリンダ８のロッド８ａが動作することで、リンク６ａが回転すると共に、ワークＷの中心を回転中心としてワークＷの姿勢制御をすることができる。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易でメンテナンス作業も容易な超音波洗浄システムを提供する。
【解決手段】 超音波洗浄槽１１内の液体に洗浄容器２０の一部が接触し得るように支持する容器支持部材としてのローラ部材１３，１４を超音波洗浄槽１１外に備えてなる。従って、洗浄容器２０をローラ部材１３，１４に支持させた状態で回転させると、超音波洗浄槽１１内の液体を介して洗浄容器２０内に超音波が照射され、洗浄容器２０内の被洗浄物の汚れを除去することができる。本発明によれば、ローラ部材１３，１４が超音波洗浄槽１１外に配置されているため、ローラ部材１３，１４のシール対策は簡易でよく、メンテナンス作業も容易で、製造コスト、メンテナンスコストの低減に寄与する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの動作を簡単に教示することができる基板処理装置およびティーチング方法を提供する。
【解決手段】記録開始指令が制御部４に入力されると、ＣＰＵ２３は、記録開始指令が入力されてからの経過時間をタイマー２５によって計測させる。さらに、ＣＰＵ２３は、ノズルの位置を検出するエンコーダ２２の出力と経過時間とをメモリー２４に記憶させる。そして、記録終了指令が制御部４に入力されると、ＣＰＵ２３は、エンコーダ２２の出力と経過時間の記憶を終了させる。記録開始指令の発生から記録終了指令の発生までのエンコーダ２２の出力は、経過時間と関連付けられて１つの動作データとしてメモリー２４に記憶される。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム屑に付着している油脂分、水分を、環境負荷なく、かつエネルギー消費量を抑え、効率的に除去し、アルミニウム屑の溶融リサイクル使用でのアルミニウムの回収率を高めるとともに環境改善を図る。
【解決手段】付着液が随伴したアルミニウム屑を洗浄槽内に投入し、アルミニウム屑の充填層に溶剤を通過させて、アルミニウム屑を洗浄する工程を含むアルミニウム屑の処理方法であって、上記洗浄槽内のアルミニウム屑を洗浄中、又は洗浄後に加温し、次いで、アルミニウム屑の顕熱にて前記アルミニウム屑に付着した溶剤を後工程の真空乾燥工程において蒸発できる程度の付着量以下まで減少させた後、当該アルミニウム屑を真空乾燥工程においてアルミニウム屑を加熱することなく前記付着した溶剤を減圧下において蒸発させて乾燥させることを特徴とするアルミニウム屑の処理方法。 （もっと読む）

【課題】自動車部品等、ワーク表面、鋳物中子孔内部、ネジ穴内部等に残留した切粉、切削油等の異物を除去する洗浄装置であって、洗浄効率が高い。
【解決手段】開口部２を備えた洗浄室３と、洗浄室３内に設置されたワーク把持冶具４と、洗浄室３外に設置された、冶具４をサーボモータで回転駆動する駆動ユニット５と、洗浄ノズル６と、洗浄液を洗浄室３外に排出する排液口７とから構成され、洗浄室内の体積をワーク体積の５倍以下に定め、洗浄室内の流速を高める。 （もっと読む）

【課題】超音波エネルギが調整可能な超音波洗浄ユニットを有する洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄基板を回動させる保持台と、前記被洗浄基板表面に洗浄液を供給し、前記洗浄液の膜を形成する洗浄液ノズルと、前記洗浄液の膜中に超音波を照射する超音波照射ユニットと、を含み、前記超音波照射ユニットは、超音波発生源と、前記超音波発生源で発生された超音波エネルギを伝達する媒体と、前記洗浄液の膜中に挿入され、前記洗浄液の膜中に、前記媒体を伝達された超音波エネルギを放射する放射部材と、を含み、前記媒体は、前記超音波エネルギの伝搬経路に配置された一または複数の振動伝達ブロックよりなる超音波伝達部を含み、前記一または複数の振動伝達ブロックは、前記超音波エネルギの伝搬経路上に、保持手段により保持されて配置され、前記保持手段は、前記一又は複数の振動伝達ブロックの各々を、個別に着脱自在に保持し、前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離が可変である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、間接加熱部の伝熱効率の低下を抑制することができる蒸発濃縮機の洗浄方法、蒸発濃縮機の洗浄装置、排水処理方法及び排水処理装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、少なくとも水性塗料を含む排水を加熱する間接加熱部を備え、前記排水中の低沸点成分を含む水を蒸発させ、高沸点成分を濃縮する蒸発濃縮機の洗浄方法であって、前記蒸発させた低沸点成分を含む水の少なくとも一部を回収し、該低沸点成分を含む水で前記間接加熱部を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面に沿って斜めに載置される可撓性対象を効率よく洗浄でき、しかもコンパクトな洗浄装置を提供する。
【解決手段】 傾斜面と直交するように配置される平行な第１、第２縦レール４、５と、第１、第２縦レール４、５に沿って走行可能な第１、第２フレーム６、７と、第１、第２フレームを連結する横レール９と、横レール９に沿って傾斜面に沿って横行するノズルフレーム１１とを備え、横レールは、傾斜面に平行で間隔を開けて位置する水平上片及び水平下片と、これらを連結する起立片とを有し、ノズルフレーム１１の上部には、水平下片の上面に接する上部ローラ１６と水平下片の下面に接する下部ローラ１７とが設けられ、ノズルフレーム１１は、上部ローラ１６と下部ローラ１７が横レール９を挟持することにより支持される。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持する専用の台が不要にし、洗浄の死角となる部分を少なくする。
【解決手段】円筒状のワークＷを挟み込む位置に配置し、ワークＷの回転軸線と平行な軸線回りに回転し、ワークＷの外周面に接触する少なくとも３個以上の円筒状のローラ５２、５３、６３、６７と、少なくとも３個以上のローラ５２、５３、６３、６７のうち少なくとも１個を回転駆動する流体モータ８８、８９と、ワークＷに向けて流体を噴出させるノズル２０、２１、２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】化学洗浄中に発生する微細な固形物を除去し、「洗浄中の酸の消費」，「腐食」、「洗浄後にボイラ本体の滞留部への固形物の残留」を低減し、洗浄後のボイラを清浄度の良い状態にすることができる酸素処理適用ボイラの洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】ボイラ１に対しライン２から洗浄液が供給される。ボイラ１から流出した洗浄液は、ライン３によって遠心分離機４に導入され、粗固形物が分離される。遠心分離機により粗固形物が分離された液の一部は、そのままライン５、ポンプ９を経てライン２に送られる。遠心分離機で処理された液の残部は、ライン６を経てフィルター又は膜７にて微固形物の除去処理が行われた後、ライン８、ポンプ９を経てライン２に送られる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄効率の高いベアリング洗浄装置を提供する。
【解決手段】
２本の回転駆動軸３０、３０の間にベアリング５０を乗せ、回転しつつ支持し、ベアリング５０の内部には、軸線５５に沿ってノズル中空軸１がされる。ノズル中空軸１には、複数のノズル孔１０が形成され、またノズル中空軸１には洗浄液供給装置１６から洗浄液が供給され、該ノズル孔１０から洗浄液を径方向に噴射する。ノズル孔１０は、ノズル中空軸１の周側面上にらせん状に配置され、また駆動装置１５によりベアリング５０の回転方向とは逆方向回転し、ベアリング５０の内周を洗浄する。 また、ノズル中空軸１は駆動装置１５により軸線方向に往復動可能に構成されており、ベアリング５０の軸線５５に沿って往復動しつつ、又回転しつつ、ノズル孔１０から洗浄液を噴射して、ベアリング５０の内周を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ワークの細部まで清浄に、且つ、効率よく乾燥させる乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥装置１は、乾燥室５の側壁９５に設けた投入口１０から投入されたワークＷを、複数の貫通孔を有する底板を備えるバケット４０の底板上に載置した状態で、所定の間隔をおいて無限軌道帯に一列に吊るして複数配置させ、水平移動、下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動、上昇移動の順に該バケットを搬送させて、側壁９５に設けた排出口２０からワークＷを排出させる。ワークＷのバケット４０Ａへの投入に際して、底板のワーク出入口側が高所となるようにバケット４０Ａを傾斜させる投入用バケット傾斜手段と、ワークＷのバケット４０Ｂからの排出に際して、底板のワーク出入口側が低所となるようにバケット４０Ｂを傾斜させる排出用バケット傾斜手段と、乾燥室５の底部からバケット４０の底面に向かって熱風を送る送風手段と、を備える。 （もっと読む）