【課題】従来の超音波洗浄器の機能は、洗浄槽内の負荷条件が変化するとそれに伴い出力電力が変化するため、洗浄斑が発生していた。これを解決する手段として出力電力を一定に保つためにマニアルで周波数のチューニングを行っていた。このため自動装置に連動した超音波洗浄器で洗浄する場合の対応が困難であった。
【解決手段】洗浄層内の負荷条件が変化しても負荷条件に適合した周波数チューニングを自動的に行う機能を備え、かつ出力の高周波電流と電圧の位相を一致させる機能と一定の供給電流が得られるための定電流制御機能を備えることにより、安定した出力電力が供給出来ることにより、洗浄斑を防止できることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ペットボトルの洗浄破砕に伴って生じる汚水を処理し、不都合なく再度洗浄に利用できるペットボトルの洗浄破砕装置への循環型給水装置を提供する。
【解決手段】ペットボトルが洗浄水とともに供給され水と混在して破砕されるバッチ式の洗浄破砕装置に、破砕されたペットボトルチップが水とともに流送されて水が排除されてから遠心分離機に掛けられる脱水装置と、こうしてペットボトルチップから分離された汚水が送られ振動により水中のゴミが除去される振動分離装置と、さらに送られた汚水が濾過される活性炭吸着塔と、ここでの活性炭での処理水が送られるとともに、途中で消失した不足分の清水が補充される濾過水貯水タンクと、濾過水貯水タンクで補充水と混和された洗浄水を洗浄破砕装置に供給する濾過水移送ポンプとを循環して配置してなり、脱水装置では、脱水されたペットボトルチップを搬出側の袋詰め装置に圧送パイプで送る風圧送り装置が具備されている。 （もっと読む）

【課題】 太陽光発電及び太陽熱発電システムで使用される太陽電池パネルや反射鏡などの板状部材を、作業性が高く、かつ経済的に清掃するための清掃ロボットシステム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 太陽光発電用パネル又は太陽熱発電用反射鏡の平面状あるいは曲面状の板状部材４ａ、４ｂを清掃する清掃ロボットシステム１であって、清掃の対象となる前記板状部材４上を走行する機能と清掃する機能を有した多数の清掃ロボット２と、前記清掃ロボット２を第１の板状部材４ａから第２の板状部材４ｂへ移動させる搬送機能を有しているアレンジロボット３とを備えており、前記清掃ロボット２が、前記板状部材４に吸着しながら清掃を行うための吸着機構を有しており、多数の前記清掃ロボット２と、前記清掃ロボット２よりも少ない数の前記アレンジロボット３が協働して、太陽光発電又は太陽熱発電プラントに設置された板状部材４を清掃する。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンが形成された基板に対しても適切に洗浄することができる基板処理装置、および、基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、単一の基板Ｗを水平姿勢で保持する保持部１１と、微細気泡を含んだ気泡含有洗浄液を基板に供給する洗浄液ノズル１５と、洗浄液ノズル１５によって基板Ｗに気泡含有洗浄液を供給させて基板を洗浄する制御部１９と、を備える。気泡含有洗浄液によれば、基板面に与える衝撃を抑制しつつ、微細気泡の表面張力によって基板Ｗ上のゴミ、塵埃、その他の異物を除去することができる。したがって、基板Ｗに形成されたパターンを破壊することなく、基板を好適に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】外部機器からの信号を用いることなく流体による作業工程の良否を独自に判断する流体作業監視装置を提供する。
【解決手段】制御部と、記録手段と、洗浄液の循環経路の所定の部位に臨ませて設けた流体の状態を検出するための少なくとも一つのセンサとを有し、前記記録手段には予め外部機器が実行する流体による複数の作業工程の種別特徴と良否判定に用いる作業工程の種別に応じた所定の基準値が格納されており、前記制御部は前記センサの経時的な出力変化と前記作業工程の種別特徴とを比較観察し、現在行われている流体による作業工程の種別を外部機器からの信号を用いることなく独自に判定する工程種別判定手段と、前記センサの出力が作業工程の種別に応じた所定の基準値を充たす状態が一定時間継続したかどうかにより、当該作業工程の良否を独自に判断する作業工程良否判断手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】水蒸気と水とを組み合わせて照射する洗浄方法において、水分子の浸透時間に制限されず対象物を傷めることなく確実に洗浄する方法の提供。
【解決手段】水蒸気供給部Ａ、純水供給部Ｂ、水蒸気流体調整部Ｃ、混相流体照射部Ｄ、ウェハ保持・回転・上下機構部Ｅを有する構成であって、混相流体照射部Ｄの混合部１４４は、照射ノズル１４１の上流側に設置されており、該混合部１４４及び照射ノズル１４１は内壁面が略連続的な曲面を形成するとともに、該混合部１４４内壁面の一部に水導入部を有し、該照射ノズル１４１は、ノズル上流側からノズル出口へと向かうに従って縮径し、更に、最小断面積となるのど部を境に、拡径する末広構造を有し、前記混合部１４４内を流動する水蒸気に水を混合して、前記ノズル１４１の出口から混相流体として噴射することにより、対象物に液滴が衝突する際のキャビテーションを制御する。 （もっと読む）

【課題】紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置を提供する。
【解決手段】本発明の紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置は、イソプロピルアルコールでＰＣＢを洗浄除去した例えば紙素子１１を投入する洗浄籠１２と、前記洗浄籠１２内に洗浄水１３を供給する洗浄水供給部であるシャワー部１４と、洗浄後のＩＰＡを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水１５として排出する洗浄槽１６と、洗浄排水１５中のＩＰＡの残量を判定する判定器１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内の微粒子を捕捉する際に使用する洗浄表面を備えた部材が開示される。
【解決手段】微粒子は、パターン状に配置された複数の突起によって捕捉される。センサを用いて、パターン内の汚染物微粒子を検出できる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の流水及び振動により洗浄部位を良好に洗浄することができると共に内部空間内の洗浄液を速やかに貯液タンクに戻して洗浄液の漏れを抑制することができる。
【解決手段】開口部Ｋが閉口して循環用ポンプ６の吸引圧により内部空間Ｒが負圧状態になったとき貯液タンク３内の洗浄液Ｗを給液管４を経て内部空間に供給すると共に内部空間内の洗浄液を排液管５を経て貯液タンク内に戻し、開口部が開口して内部空間の圧力が常圧に近い負圧又は常圧状態になったとき給液管から内部空間への洗浄液の供給を停止すると共に内部空間内の洗浄液を排液管を経て貯液タンク内に戻す液給排機構７を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】スイッチを作動させるためのセンサ用磁石が設けられた揺動部材を確実に揺動させることができるようにした検出装置提供することにある。
【解決手段】装置本体を構成するブラケット２２及び支持部材２５と、装置本体に中途部が揺動可能に支持された揺動部材２７と、揺動部材の一端部に設けられ搬送される基板が当たることで揺動部材を中立位置から揺動位置に揺動させる検知ローラ３１と、揺動部材の他端部に対向して設けられ磁界の変化に応じて信号を出力するリードスイッチ３８と、揺動部材の他端部に設けられ揺動部材とともに揺動することでリードスイッチに与える磁界を変化させるセンサ用磁石３３と、揺動部材の他端部の揺動方向の一方と他方の少なくともどちらかに対向して設けられ上記揺動部材が揺動したときにセンサ用磁石との間で揺動部材を中立位置に戻す磁気反発力を発生する反発用磁石を具備する。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄器または超音波振動子を用意せずに、電子機器で超音波洗浄を行うことができる洗浄可能な電子機器およびその洗浄方法を提供する。
【解決手段】電子機器が、防水機能を有する筺体と、筺体内部に設けられている機能デバイス６と、超音波発生デバイス７と、筺体の枠の超音波発生デバイス７と隣接する位置に設けられている超音波放出口４とを有している。 （もっと読む）

【課題】基板処理部に対する処理液の供給流量を調整するときの調整時間を短縮することができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、基板Ｗを処理液で処理するための処理ユニット６と、処理ユニット６に処理液を供給するための処理液供給配管１４と、処理液供給配管１４に介装され、開度を変更するためのモータ２４を有するニードルバルブ１５とを備えている。処理液供給配管１４およびニードルバルブ１５は、流体ボックス７内に収容されており、この流体ボックス７によってニードルバルブ１５全体が覆われている。制御部８がモータ２４を制御してニードルバルブ１５の開度を変更することによって、処理ユニット６に対する処理液の供給流量が変更される。 （もっと読む）

【課題】管状の医療器具の内部を効果的に洗浄でき、他の医療器具が汚染されず、洗浄作業者が心地よく使用でき、コンパクトで、効率のよい洗浄性能を有する医療器具用卓上洗浄装置の提供。
【解決手段】超音波発振手段を備える洗浄槽と、給水経路と、循環経路と、廃液経路を備え、管状の医療器具等を洗浄対象とし、洗浄槽から洗浄対象物を介し吸引タンクに繋がる吸引経路を備え、洗浄対象物の接続部と吸引タンクとの間にバルブを設け、吸引ポンプを前記吸引タンクに連結し、洗浄槽内に洗浄液を滞留し、吸引ポンプで吸引タンク内を負圧とし、洗浄対象物と吸引タンクとの間のバルブの開放で、洗浄槽と吸引ポンプの圧力差によって急激に移動する洗浄液により吸引経路に配置された洗浄対象物の内部の汚物等を吸引しタンク内へ押し流し、循環洗浄を可能とする医療器具用卓上洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】薬液処理後の基板を水洗処理する場合に、純水の使用量を節減し、排液量を少なくし、処理時間を短縮することができる装置を提供する。
【解決手段】基板搬送方向における長さが基板Ｗの寸法より短くされた置換水洗室１０、置換水洗室内において基板を一方向へ連続して搬送する搬送ローラ、置換水洗室内の入口付近に配設された入口ノズル１６、入口ノズルより基板搬送方向における前方側に配設された高圧ノズル１８、および、置換水洗室内の出口側に配設されたエアーノズル２２を備えて置換水洗部２を構成した。置換水洗室１０内へ基板Ｗが搬入される前に入口ノズル１６および高圧ノズル１８からの洗浄水の吐出を開始し、置換水洗室内から基板が搬出された後に入口ノズルおよび高圧ノズルからの洗浄水の吐出を停止するように制御する。 （もっと読む）

【課題】オゾン水を利用した除菌洗浄装置及び除菌洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象物Ａが漬置き状に侵漬される密封開閉自在なタンク１と、オゾンガスを生成するオゾン発生器２と、オゾン発生器２から供給されるオゾンガスを微小気泡Ｂとして、気密状のタンク１内の水に噴出して混合しオゾン水を生成するオゾン混合機３と、を備え、タンク１内で上記洗浄対象物Ａの侵漬洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】部品や製品などの被洗浄物を洗浄液中に浸積させて洗浄する被洗浄物の洗浄において、被洗浄物から除去した異物を確実に洗浄タンク本体１外に排出することができ、異物の再付着を防止することができる被洗浄物の洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の被洗浄物の洗浄方法は、洗浄タンク本体１の内壁の内、一対の対向する第１の内壁１１と第２の内壁１２のそれぞれに、該内壁の略全体に亘って所定の間隔で洗浄液ｍを通過させる複数の通孔１１ａ、１２ａを設け、通孔１１ａを介して洗浄液ｍを洗浄タンク本体１内に導入すると共に、通孔１２ａを介して洗浄液ｍを洗浄タンク本体１外へ排出することにより、該洗浄液ｍを第１の内壁１１から第２の内壁１２に向かって略水平方向に層流状態で流し、この流れの中途に被洗浄物ｂを配置して洗浄するものである。 （もっと読む）

【課題】超音波振動を利用した加熱部のスケール防止装置において、超音波振動手段に熱損傷を与えることなく、超音波振動を加熱部に伝えて加熱部のスケール付着を予防することを目的とする。
【解決手段】加熱部２が加熱作動中に、水槽１の水位を低下させて超音波振動手段９の設置部と加熱部２との間に空気などの気体を導入して加熱部２から超音波振動手段９への熱伝導を抑制することによって超音波振動手段９の熱損傷を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に所定温度に加熱された処理液を確実に供給することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理液が貯えられる貯液タンク３２と、貯液タンクに貯えられた処理液を基板に噴射するための上部ノズル体３１に給液管路３３を通じて供給する供給ポンプ３４と、給液管路に設けられ上部ノズル体に供給する処理液を所定温度に加熱する第１の加熱ヒータ３７と、上部ノズル体が基板の上面から外れた待機位置にあるときに供給ポンプによって上部ノズル体から噴射される処理液の温度を測定する温度センサ４３と、温度センサが測定した処理液の温度が所定温度であることを検出したときにその検出に基いて上部ノズル体を基板の上方に移動させて上記処理液を噴射させる制御装置を具備する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、改良された海中ネットのためのネットクリーナーを提供する。
【解決手段】
現場対応型の海中ネットクリーナーであって、ネット（２）の表面を自在に移動する滑走シャーシ（１）と、ネットクリーナーに浮力を与えるために滑走シャーシ（１）に設置された浮力手段（３）と、ネットクリーナーをネット（２）の表面と絡めて動作させる駆動手段（４）と、ネットクリーナーをネット（２）の表面に押し付けて接触状態を維持させる推進手段（５）と、ネット（２）の表面から海中汚濁物を剥ぎ取るクリーニング手段（６）とを含んで構成されており、海中のネット（２）をクリーニングするものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内での焼却灰と水の撹拌混合性を高め、塩素除去効率を向上させることができる焼却灰の水洗処理方法及びシステムを提供する。
【解決手段】焼却灰１が供給される洗浄槽２０と、該洗浄槽内にて水に浸漬された焼却灰１を撹拌する撹拌手段とを備える焼却灰の水洗処理装置において、洗浄槽底部に堆積した焼却灰１をすくい上げて洗浄槽内上方に搬送するバケットスクレーパ４０と、該バケットスクレーパが所定間隔で複数取り付けられたコンベア３０とを備え、前記コンベア３０は、灰撹拌時には、バケットスクレーパ４０の灰載置面が上方に向いた状態で上方に移動させ、所定位置でバケットスクレーパ４０を反転させて焼却灰を落下させ、該焼却灰を少なくとも鉛直方向に撹拌し、灰排出時には、バケットスクレーパ４０の裏面で処理灰２を押し出し排出する。 （もっと読む）