【課題】基板上に処理液が存在するか否かについて、簡易な構造で検出し、製品の歩留まりの悪化を抑えること。
【解決手段】スピンチャック２に静電センサ５４Ａ〜５４Ｃを埋設する。静電センサ５４の静電容量は、基板であるウエハＷ上に処理液が存在すると、存在しない場合に比べて大きくなる。従って静電センサ５４Ａ〜５４Ｃにより、スピンチャック２上のウエハＷ上に処理液が存在するか否かについて検出することができる。従って所定のタイミングでウエハＷ上に処理液が存在するか否かについて検出することによって、処理液ノズル４からの処理液の吐出や、基板上における処理液の拡散の異常を速やかに検出できるため、これらの異常に直ちに対処でき、製品の歩留まりの悪化を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】経時変化や故障、人為的ミス等により所定の閾値を超えた場合に当該事実を自動報知することが可能な極めて実用性に秀れた超音波強度監視装置の提供。
【解決手段】洗浄液１が貯留される洗浄槽２に該洗浄液１に超音波振動を付与する振動部３が設けられ、この超音波振動が付与される洗浄液１により被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置に設けられる超音波強度監視装置であって、前記洗浄槽２に接合部材を介して設けられ前記超音波振動を感知して前記洗浄槽２に伝達される超音波強度を検出する超音波強度検出センサ４と、この超音波強度検出センサ４と接続され該超音波強度検出センサ４で検出した前記超音波強度が所定の上限閾値若しくは下限閾値を超えた際、この上限閾値若しくは下限閾値を超えたことを報知する報知機構を有する制御部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来、洗浄室内のテーブルにワークをセットし、ワークの全周面を、上下・左右側面・下面の四方向に設けた洗浄、乾燥ノズルを、公転と自転を介して、一気に洗浄、乾燥する構成であり、洗浄等のエリアーが広く、効率的な洗浄等が図れる。しかし、構造上で、小型のワーク、小ブロックの洗浄等は構造上で適する。しかし、大型ワークの洗浄、乾燥と、オーバーホールに関しては、必ずしも、十分とは考えられない。

【解決手段】 本発明は、ワークの全周面を、上下・左右側面・下面の四方向に設けた洗浄、乾燥ノズルを、公転と自転を介して、一気に洗浄、乾燥する構成であるが、この公転を、フレームに設けた回転枠体でする構造として、その洗浄、乾燥エリアーの拡大を図り、大型ワークの洗浄、乾燥と、オーバーホールに有効な、全面洗浄装置を帝位供する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成および制御で、洗浄液を激しく沸騰させて、被洗浄物を効果的に洗浄する。
【解決手段】洗浄槽３には、洗浄液が貯留され、その洗浄液に被洗浄物２が浸漬される。減圧手段５は、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧する。加熱手段７は、洗浄槽３内の洗浄液を加熱する。給気手段６は、被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の洗浄液中に気体を導入する。加熱手段７により洗浄液を設定温度まで加熱した後、減圧手段５により洗浄槽３内を減圧して洗浄液を沸騰させ、この沸騰中に給気手段６により洗浄液中に気体を導入する。これにより、洗浄液を激しく沸騰させて、被洗浄物２の洗浄効果を増すことができる。 （もっと読む）

【課題】連続して被洗浄物を洗浄する場合であっても、被洗浄物の洗浄度が低下することを容易に抑制することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】中間部が狭窄な貫通孔５ａと、この貫通孔５ａの狭窄部５ｂに連通し、貫通孔５ａに入った洗浄水１が狭窄部５ｂを流れることで空気が狭窄部５ｂへ吸引されるガス吸引孔５ｃとが形成され、洗浄水１とともに金属屑２が貫通孔５ａを通過することで、洗浄水１に微細気泡４を生成し、微細気泡４と金属屑２とを混ぜ合わせながら、洗浄水１および金属屑２を外へ出す気泡生成器５を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の処理を良好に行うことができる基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを格納した記憶媒体を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板(2)を処理液(23)で処理する処理槽(24)と、処理槽(24)に第１の薬液(21)を供給する第１薬液供給機構(25)と、第１の薬液(21)と反応して処理液(23)を生成する第２の薬液(22)を処理槽(24)に供給する第２薬液供給機構(26)と、処理槽(24)に接続した循環流路(45)を用いて処理液(23)を循環させる処理液循環機構(27)と、第１及び第２の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、所定の循環流量で処理液を循環させて基板(2)を処理する基板処理装置(1)を用い、第２の薬液(22)の供給を開始するとともに第２の薬液(22)の供給開始に基づいて循環流量を変化させることにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、水処理機器の内部の手の届き難い部分まで洗浄することができる水処理機器用洗浄装置及びその洗浄方法に関する。
【解決手段】本発明による水処理機器用洗浄装置は、水処理機器の流路に洗浄水を循環させるために水処理機器の流路に連結される循環部材と、上記循環部材に連結されて上記水処理機器の流路と循環部材に洗浄水を循環させて上記水処理機器の流路を洗浄する循環モジュールとを含むことができる。本発明による水処理機器の洗浄方法は、循環部材に洗浄水を流入させる洗浄水流入操作と、循環モジュールを稼働して水処理機器の流路に洗浄水を循環させて上記水処理機器の流路を洗浄する循環洗浄操作とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽や洗浄キャリアの表面が侵食されることで発生するパーティクルがフォトマスク基板に付着することを防止しながら、超音波洗浄により基板表面のパーティクルを効率的に除去する。
【解決手段】フォトマスク基板を濾過循環させた洗浄液に浸漬し、洗浄槽や洗浄キャリアの表面からパーティクルが発生しないように、超音波のパワー密度をキャビテーションの発生する閾値以上の初期値とした後、当該洗浄槽での超音波洗浄を終了するまでの間に、超音波のパワー密度をこの初期値から段階的及び／又は連続的低減することを特徴とするフォトマスク基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】限外濾過フィルタの復旧再生工程として実施する逆洗浄を、限外濾過フィルタの閉塞やリークといった異常状態にも効率的に対応できるようにする洗浄方法を提供すること。
【解決手段】複数の限外濾過フィルタを並列に並べて液を通過させる循環機構において、前記複数の限外濾過フィルタの内で順次一つずつの限外濾過フィルタを逆洗浄する工程を含む限外濾過フィルタの洗浄方法であって、前記逆洗浄する工程が、前記複数の限外濾過フィルタの各々の状態を検知する動作と、前記検知された状態に応じて個別に逆洗浄の条件を設定する動作と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な制御で、より確実な洗浄を実現する。
【解決手段】洗浄槽内に貯留した洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄を図る洗浄方法である。加熱工程Ｓ２では、洗浄液を減復圧パルス開始温度まで加熱する。減復圧パルス工程Ｓ３では、洗浄液が減復圧パルス終了温度になるまで、洗浄槽内を減圧し続けて、洗浄液を沸騰させ続ける。その間、洗浄液が所定温度ずつ下がるたびに、洗浄槽内を瞬時に復圧して、洗浄液の沸騰を一時的に中断させる。この復圧時、それまでの沸騰により洗浄液中に生じていた水蒸気の気泡は、瞬時に凝縮する。この凝縮時の圧力波や圧力差で、洗浄液が攪拌および移送され、被洗浄物の洗浄が図られる。 （もっと読む）

【課題】溶存ガス濃度が低濃度（低飽和度）であるガス溶解水を安定して供給することが可能なガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法を提供する。
【解決手段】ガス供給配管３１から気相室１３内に酸素ガスを供給すると共に、真空ポンプ３５を作動し、気相室１３内を真空排気する。また、原水配管２１から液相室１２内に原水を供給する。気相室１３内の酸素の一部は、気体透過膜１１を透過して液相室１２内の原水に溶存し、ガス溶解水が製造される。気相室１３内の酸素の残部は、凝縮水と共に真空ポンプ３５で吸引されて排気配管３３から排出される。ガス溶解水の溶存酸素濃度が溶存ガス濃度計２３で測定され、この測定濃度が目標値となるように、ガス流量制御弁３２の開度が調節される。 （もっと読む）

【課題】粉粒体から障害物質を効率的に除去するとともに、難溶性の炭酸塩が析出してスケールによる配管の詰まりやポンプの故障等の虞を低減することができる粉粒体処理システムを提供する。
【解決手段】
粉粒体を洗浄しながら微粒物と中粒物に分級する湿式選別手段２から排出された微粒物と洗浄排水を固液分離する微粒物分離手段４と、微粒物分離手段４で固液分離された洗浄排水を湿式選別手段２へ返送する第一の循環経路３と、湿式選別手段２で分級された中粒物を再洗浄する再洗浄手段５から排出された洗浄排水を再洗浄手段５へ返送する第二の循環経路７と、再洗浄手段５に新規水を供給する新規水供給経路８と、再洗浄手段５から排出された洗浄排水の一部を、洗浄水として第一の循環経路３に供給する洗浄排水供給経路９と、湿式選別手段２から排出された洗浄排水に含まれる特定物質を除去するための炭酸イオンを生成する炭酸イオン生成手段６を備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の洗浄液に被洗浄物を浸漬して、洗浄槽内の減圧と復圧とにより被洗浄物の洗浄を図る洗浄方法において、被洗浄物が管状部を有していても、その管状部内の洗浄を効果的に図る。
【解決手段】被洗浄物４は、管状部３の一端に洗浄補助具１を設けて、洗浄を図られる。洗浄補助具１は、洗浄槽８内の減圧時に洗浄液の沸騰による蒸気を溜める一方、洗浄槽８内の復圧時に前記蒸気の凝縮により、管状部３を介して洗浄液の流入を受ける。洗浄槽８内の減圧と復圧とにより、被洗浄物４の管状部３に洗浄液が流通するので、被洗浄物４の管状部３内は効果的に洗浄される。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で実施可能であり、微細パターンが形成されている基板をその微細パターンに悪影響を与えることなく短時間で洗浄するための基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが表面に形成された基板としてのウエハＷの洗浄処理を、ウエハＷの表面に所定の加工を施す処理チャンバからウエハＷの洗浄を行う洗浄チャンバへ搬送する搬送ステップと、洗浄チャンバ内においてウエハＷを所定温度に冷却する冷却ステップと、超流動体としての超流動ヘリウムをウエハＷの表面に供給し、ウエハＷの表面から超流動ヘリウムを流し出すことによって微細パターン内の汚染成分を押し流す超流動洗浄ステップにより行う。 （もっと読む）

【課題】浄化設備において浄化対象物の浄化が不十分になったり、装置コストや消費動力の無駄を招くことを回避する。
【解決手段】浄化装置Ｎによる浄化により浄化対象物Ａにおいて得られる浄化効果ｊａと相関を有する能力指標値αを定義し、浄化装置Ｎが浄化対象物Ａに及ぼす浄化作用の大きさを能力指標値αにより数値表現する。また、浄化装置Ｎの複数種の浄化作用因子Ｐ，Ｌ，Ｑ，θと能力指標値αとの相関関係を内部相関関係Ｆとして求め、複数種の浄化作用因子Ｐ，Ｌ，Ｑ，θの選定値に対する能力指標値αの対応値を内部相関関係Ｆに基づき演算したり、浄化効果ｊａと能力指標値αとの相関関係を外部相関関係Ｋａとして求め、能力指標値αの選定値に対する浄化効果ｊａの対応値を外部相関関係Ｋａに基づき演算する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体が、例えば、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有した場合であっても、凹凸部に付着した異物を被洗浄体から除去することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄水１の中で、異物が付着した被洗浄体４に向かってマイクロバブル６を噴射して異物に吸着させ、異物を被洗浄体４から分離させ、マイクロバブル６が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物を浮上させて、被洗浄体４を洗浄する洗浄装置であって、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、マイクロバブル６を噴射するマイクロバブル噴射器３と、被洗浄体４を保持するハンド部５ｃを有しているととともに、被洗浄体４を移動させるロボットアーム５と備え、ロボットアーム５は、被洗浄体４を移動させて、被洗浄体４とマイクロバブル噴射器３との相対位置を変えながら、マイクロバブル６を被洗浄体４に衝突させる。 （もっと読む）

【課題】ソーラーパネルの大きさ、形状にとらわれず、設置が容易で、ソーラーパネルの電力変換効率を低下させることも無く、しかも軽量で、屋根に負担をかけない、使用勝手の良いソーラーパネル清掃装置を提供する。
【解決手段】ソーラーパネル１上で本体２ａを自走させる４足歩行手段４と、ソーラーパネル１の大きさや形状を認識するための超音波センサー２５と、ソーラーパネル１の表面を清掃する回転ブラシ５と、４足歩行手段４を駆動するための電源装置７と、超音波センサー２５の出力に基づき、本体２ａが順次走行するよう４足歩行手段４を制御する制御手段８を備えたもので、ソーラーパネル１の周囲に大掛かりなガイド部材は不要で、ソーラーパネル清掃装置２をソーラーパネル１上に置くだけで、自動でソーラーパネル１の大きさ、形状を認識しながら移動を繰り返しソーラーパネル１の全域を清掃することができる。 （もっと読む）

【課題】水負荷の無い空焚き状態、振動素子の異常又は洗浄槽の異常のいずれかを検出することができる超音波発振器を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波発振器は、ｆ１、ｆ２及びｆ３の少なくとも一つの周波数の信号を発生させる信号源９と、前記信号源から発生させた前記信号を整合させる整合回路１７と、整合回路によって整合された信号が入力される振動素子２と、振動素子に入力される信号の電圧値及び電流値を検出する検出回路１０と、検出回路によって検出された電圧値及び電流値を用いて前記信号に対するインピーダンスが演算されるインピーダンス演算器１１と、予め設定されているインピーダンスの異常検出用閾値とインピーダンス演算器によって演算された前記信号に対するインピーダンスを比較することによって洗浄槽又は振動素子の異常を判定する判定部１３と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶剤の回収効率を高めて、溶剤の消費量を低減させるとともに、比較的安価な洗浄装置を提供することができる。
【解決手段】ワークの乾燥作業時において、ファン密閉部２１、洗浄・乾燥槽６、回収器１２及び配管５１〜５３は、外気とは完全に遮断された完全密閉状態を保持する。また、水分分離器１４、液戻槽１６、配管５６，６１及びその他配管も全て外気とは遮断された完全密閉状態であるように保持する。ワークの乾燥作業終了後に、洗浄・乾燥槽６に連設された冷却槽５内で、洗浄籠２及びワーク内の空気を冷却し、残存する僅かな溶剤蒸気を更に低減させ、かつ、冷却槽５内に流出した乾燥経路内の空気も冷却されるようにして溶剤蒸気濃度を更に低減させる。 （もっと読む）

【課題】スピンレスコーター用スリットノズルにおいて、乾燥防止モードでスリットダイ先端がディップ槽の洗浄液の液面に確実に漬かっているかどうかを、人の確認無しに監視可能で、異物の発生を抑制するスリットノズルを提供する。
【解決手段】板状被処理物表面に、塗布液を一定幅で塗布するためのスピンレスコーター用スリットノズルにおいて、一連の塗布動作実行中に該スリットノズルを一定時間以上使用しないときに、該スリットノズル先端を洗浄液に浸漬保持し乾燥を防止するディップ槽（洗浄液の溜り部）の液面を検地する液面センサーを、一定幅の開口を有する該スリットノズル両端の少なくとも一方の外側面に具設してある。 （もっと読む）