【課題】 復元性に優れ長期使用でも「へたり」が少なく、研磨対象物の装着にエアーが残留することがなく、研磨対象物との吸着性が良好で、軽くて取り扱い易いバッキング材を提供する。
【解決手段】 定盤に固定し研磨対象物を保持するバッキング材において、５０％圧縮時の応力が０．０２〜０．１３ＭＰａである樹脂発泡体Ａの片面に、長径が７μｍ以下の微細な開孔を有する連続通気型発泡ウレタンシートＢを貼着し、樹脂発泡体Ａの他片面で定盤に固定し、連続通気型発泡ウレタンシートＢの片面で研磨対象物を保持する。 （もっと読む）

【課題】シリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等の高精度研磨特性が得られる仕上げ研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨シートａとクッションシートｂを有する研磨パッドであって、研磨シートａは湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタンシートまたは不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたポリウレタン含浸不織布であり、クッションシートｂは多孔質架橋ポリウレタンシートであり、その多孔質架橋ポリウレタンシートの圧縮弾性率が０．０５ＭＰa以上０．２０ＭＰａ以下で、かつ５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４以上であり、研磨シートａとクッションシートｂとの間にプラスチックフィルムｃが介在されてなる研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】容易にマウントフランジの端面修正を行うことのできるフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】フェイシングデュアルダイサーにおけるフランジの端面修正方法であって、第２スピンドル側６２から延出して第１フランジ６４の端面に対面するように研削部材９８を配設するステップと、研削部材９８が第１フランジ５６の端面に接近する方向へ第２切削手段８と第１切削手段６とを相対移動させて第１フランジ５６の端面６６を修正するステップと、第２ハウジング６０側から研削部材９８を取り外すとともに、第１ハウジング５４側から延出して第２フランジ７２の端面７４に対面するように研削部材９８を配設するステップと、第２スピンドル６２を回転させつつ、研削部材９８が第２フランジ７２の端面７４に接近する方向へ切削手段６，８とを相対移動させて第２フランジ７２の端面７４を修正するステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】研削ブラシの自己磨耗による先端部の拘束力低下を防止することができるだけでなく、全長の初期寸法が比較的長い研削ブラシであっても腰の強さの低下を防止して研削作業を行うことができるブラシ研削装置を提供する。
【解決手段】研削ブラシ３の外周を覆って撓みを規制すると共に、研削ブラシ３の先端部を突出させて収容するブラシ収容部材５を設ける。ブラシホルダ２とブラシ収容部材５内の研削ブラシ３とをブラシ軸４で連結する。ブラシ収容部材５の下端開口の口径を拡縮させることにより研削ブラシ３に対する拘束力を可変させる拘束力可変手段８を設ける。拘束力可変手段８による研削ブラシ３の拘束が解除されているとき、ブラシ軸４で研削ブラシ３をブラシ収容部材５から押し出す。 （もっと読む）

【課題】研磨ディスクを簡単で速かに着脱し、作業時の振れ現象を最小化するとともに、研磨ディスクの緩み現象を防止するための安全キーをなだらかに作動させることができるハンドグラインダーの研磨ディスク着脱装置を提供する。
【解決手段】駆動軸１１を持つグラインダー本体１０と、第１ハウジング２１Ａ及び第２ハウジング２１Ｂにそれぞれ分割されているカプラー２０と、駆動軸１１に締結され、上端部外周面に係合突起４２ａを持つ結束ユニット４０とを含んでなり、研磨ディスクＤの揺れ現象を吸収するために上側にふくらんでいる環状のリーフスプリング３１が装着され、前記第１ハウジング２１Ａには、その両側に凹んでいる一対の収容溝が設けられ、安全キーが搭載され、前記第２ハウジング２１Ｂには、フランジが下向きに形成されているとともに前記安全キーが水平方向にスライド移動できるように案内溝が備えられる。 （もっと読む）

【課題】複数のガイドローラ間に軸線方向への心ズレが存在する場合でも、走行されるワイヤに捩れが生じることを抑制することができて、ワイヤの断線率を低減することができるワイヤソーを提供する。
【解決手段】加工用ローラ２３Ａ，２３Ｂとボビン２２Ａ，２２Ｂとの間に、ワイヤ２１の走行を案内する複数のガイドローラ２４Ａ〜２９Ａ，２４Ｂ〜２９Ｂを設ける。ワイヤ２１の走行経路に沿って配列された複数のガイドローラ２７Ｂ〜２９Ｂ，２７Ａ〜２９Ａのうちで、１つのガイドローラ２８Ａ，２８Ｂを挟んでその両側に位置する２つのガイドローラ２７Ａ，２９Ａ，２７Ｂ，２９Ｂのガイド溝を、ワイヤ２１が溝幅方向に移動することを拘束する第１形状に形成する。残りの１つのガイドローラ２８Ａ，２８Ｂのガイド溝を、ワイヤ２１が溝幅方向に移動することを許容する第２形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】 常時良好な研磨性能が得られるとともに、効率よくバリ取りを行うことができるバリ取り装置を提供すること。
【解決手段】 平板状とされかつ一対の表面にそれぞれ研磨ベルト９が配置される研磨部１０と、前記研磨部１０の各表面にそれぞれ研磨ベルト９を供給する供給部２１Ａ,２１Ｂと、前記研磨部１０を前記表面に沿った方向へ振動させる加振部３０と、を有し、前記研磨部１０は、所定間隔で平行に配置された一対の保持プレート１１と、前記保持プレート１１の先端側に設置された転回部１２と、前記保持プレート１１の基端側の内面側に設置された導入部１３と、前記保持プレート１１の基端側の外面側に設置された送出部１４とを有し、一対の前記研磨ベルト９は、前記供給部２１Ａ,２１Ｂから前記導入部１３に供給され、前記保持プレート１１の間を通して前記転回部１２で転回され、前記保持プレート１１の外側に沿って送られ、前記送出部１４から回収部２１Ｃ，２１Ｄに回収されるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ボビンとメインローラとの間におけるワイヤの走行経路中でワイヤに生じる捩れを減少させることができて、ワークの加工精度を向上させることができるようにする。
【解決手段】ワイヤ１１が巻き付けられる一対のボビン１２Ａ，１２Ｂと、ワイヤ１１が周回される複数のメインローラ１３Ａ等とを備える。両ボビン１２Ａ，１２Ｂとメインローラ１３Ａ等との間には、ボビン１２Ａ，１２Ｂの軸線方向に沿ってトラバース可能なトラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ、ワイヤ１１の張力を調整するダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ、及びワイヤ１１をガイドするガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを設ける。トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂとガイドローラ１８Ａ，１８Ｂとの間のワイヤ１１が一平面上で走行されるように、トラバースローラ１７Ａ，１７Ｂ、ダンサローラ１６Ａ，１６Ｂ及びガイドローラ１８Ａ，１８Ｂを配置する。 （もっと読む）

【課題】被処理物の収納容器が一定の運動を与えられて被処理物の撹拌作用をなす撹拌装置において、蓋体による収納容器の高い密閉性を確保し、蓋体の開閉着脱作業が容易迅速に行える収納容器密閉技術を提供する。
【解決手段】蓋体３により密閉されるバレル槽２を嵌装するバレル槽受け５と、蓋体３を閉止固定する押え金具６と、押え金具６をバレル槽受け５に係合固定する係合固定部７とを備える。押え金具６は、バレル槽受け５に橋絡状に位置決め係合する棒状体の形態とされ、その長手方向中央部に、蓋体３に当接係合可能な締付けボルト部材１０を備え、係合固定部７は、押え金具６の係合端部１１、１１が挿通係合する一対の係合孔２５、２６を備え、一方の係合孔２６は、バレル槽受け５の係合凹部と、バレル槽受け５に弾発的に揺動可能に設けられた仮止め部材３０の係合孔部とからなる。 （もっと読む）

【課題】スピンドルに内側部材を取り付けた上で、ブレーキ装置の作動時にスピンドルに螺合させたナット部材の緩みを阻止する電動工具を提供する。
【解決手段】ブレーキ装置５０を備えた本体１０からスピンドル１６を突出させ、スピンドルに、ブレーキ装置によるスピンドルへの制動に伴い、スピンドルへ一体に設けた押圧部１６Ａ、１６Ｂと干渉してスピンドルの先端側へ押圧される内側部材を備え、スピンドルの先端にナット部材４０を螺合可能として、スピンドルに直交状に貫通させた円盤状工具４５を内側部材とナット部材とで挟持可能としたグラインダ１であって、内側部材を、制動時に押圧部と干渉して円盤状工具側へ押圧される緩み止め部材２０と、緩み止め部材へ一体回転可能且つ着脱可能に組み付けられてスピンドルに貫通され、緩み止め部材への組み付け状態で円盤状工具をナット部材との間で挟持可能なインナフランジ３０とで形成した。 （もっと読む）

【課題】加工物からウェハをスライスする方法を提供する。
【解決手段】加工物（１２）からウェハをスライスする方法は、切断動作中に、加工物に対して、ワイヤソーのワイヤの、平行に配置されたワイヤセクションを移動させて、ウェハを形成するステップを含み、ワイヤセクションは、特定の厚みを有する、溝を有するコーティング（８）を各々が有する２つのワイヤガイドロール（１）間に張設され、前記方法はさらに、温度変化によって引起される一方のワイヤガイドロールのコーティングの長さにおける変化を、コーティングの端部でコーティングに固定されるリング（９）を用いて、センサ（７）とリングとの間の距離を測定することによって、測定するステップと、測定された距離に応じてワイヤガイドロールを冷却するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で加工精度を高め、真円度および面粗度を向上させて油密性を確保するとともに、装置の簡素化により、生産コストを抑制できるメタルシール部の加工方法および加工装置を実現する。
【解決手段】ボデーＢ１に設けたテーパ面状のボデーシートＢ２に、ニードルＮの先端に形成したテーパ面状のシート面Ｎ３を着座させるメタルシール部の加工を、ボデーＢ１の中心軸に対してニードルＮの中心軸を傾斜させ、ボデーシートＢ２中心に対してシート面Ｎ３中心を偏芯配置して行なう。シート面Ｎ３とボデーシートＢ２の間に遊離砥粒を介在させた状態で、ニードルＮに自転運動と、ボデーＢ１の中心軸周りに偏芯回転させるすりこぎ運動を与えることにより、シート面Ｎ３とボデーシートＢ２を同時に仕上加工する。 （もっと読む）

【課題】加工物からウェハをスライスする方法を提供する。
【解決手段】加工物（１２）からウェハをスライスする方法は、切断動作中に、加工物に対して、ワイヤソーのワイヤの、平行に配置されたワイヤセクションを移動させて、ウェハを形成するステップを含み、ワイヤセクションは、特定の厚みを有する、溝を有するコーティング（８）を各々が有するワイヤガイドロール（１）間に張設され、前記方法はさらに、ワイヤガイドロールを冷却し、ワイヤガイドロールの固定された軸受（２）を冷却するステップを含み、ワイヤガイドロールおよび固定された軸受は、互いから独立して冷却される。 （もっと読む）

【課題】粘性の低いクーラント液を切削界面に供給できる、十分な潤滑性と冷却能力を備えているワイヤーソー切断装置を提供する。
【解決手段】２個以上のガイドローラ１２Ａ、Ｂにワイヤーを巻き付けてワイヤー列１５を形成し、ガイドローラ１２Ａ、Ｂを回転させワイヤー列１５を双方向又は一方向に走行させながらワイヤー列１５にワークＷを押し当て当接させ、該ワークＷにクーラント液８を吹き付けてワークＷを鉛直方向に上から下に移動させることにより、ワークＷを多数枚のウェハーに切断するワイヤーソー切断装置Ｚにおいて、ワークＷに向けてエアーを吹き付けるエアーノズル９ａを設ける。エアーノズル９ａは、ワイヤー列１５とワークＷとが当接する切削界面３よりも鉛直方向の下側に配置され、ワークＷの切削界面３に向けて上方或いは斜め上方にエアーを噴出するようになされている。 （もっと読む）

【課題】基板の縁を洗浄するための改良された方法及び装置を提供する。
【解決手段】基板の縁を研磨するように適応される装置及び方法は、研磨膜と、該研磨膜に張力及び荷重をかけて、膜の少なくとも一部分を平面内に支持するように適応されるフレーム５０２と、研磨膜の平面に対して基板を回転して、研磨膜が基板に力を付与し、少なくとも外縁及び第１斜面を含む基板の縁に輪郭合わせし、更に、基板回転時に外縁及び第１斜面を研磨するように適応される基板回転駆動装置と５１０、を備えている。 （もっと読む）

【課題】研ぎ材を回転させるようにすることによってその片減りを防止できて耐久性を高くすることができ、刃物の往復によって研ぎが行え、使用できる刃物に限定がなくて、しかも水洗いが簡単に行えるＢを、簡単な構造のものとして提供すること。
【解決手段】台座１１と、この台座１１に一端部１２ａが固定されて、他端部１２ｂが互いに交差状態で弾発的に傾動する２本の支持杆１２・１２と、これらの支持杆１２の各他端部１２ｂ上のそれぞれに回転可能に嵌挿されて、表面に研ぎ材１４を固着した研ぎ管１３とを備えて、これらの研ぎ管１３・１３の交差部分に刃物３０の刃部３１を通すことにより、刃部３１の研材１４による研ぎを行えるようにしたこと。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、ワイヤーソー用ローラにおいて、円筒状外層体を芯材から容易且つ確実に離脱することができ、容易且つ低コストでリサイクルできるワイヤーソー用ローラを提供することである。
【解決手段】本発明は、略円柱状の芯材、上記芯材の外周面に外嵌されるウレタン系樹脂製の円筒状外層体、及び芯材と円筒状外層体との間に介在される接着層を備え、上記接着層が、芯材との接着力よりも円筒状外層体との接着力の方が大きいワイヤーソー用ローラである。また、上記接着層が、少なくともポリオール成分とイソシアネート成分とを含む反応性接着剤から構成されているワイヤーソー用ローラである。 （もっと読む）

【課題】デッキ表面が広くても、手動或いは自動による装置の前・後進等の操作が簡単であり且つ研削・研磨圧力の平衡性を保持し、より均一な研削・研磨を効率よく短時間で処理可能にし、作業員の肉体的負担を大幅に軽減可能なデッキ表面の研削・研磨装置を提供する。
【解決手段】走行台車（１００）において、台車本体（１０１）の後部に走行方向操作用のハンドル（１０６）とカウンターウエイト（１０７）を設け、台車本体（１０１）の前部ステージ（１０１Ｆ）の下に昇降ステージ（２００）を平行昇降可能に設け、前部ステージ（１０１Ｆ）に昇降ステージ（２００）の昇降装置（３００）を設け、昇降ステージ（２００）の下面に左右前後上下の揺動を緩衝する第一の緩衝機構を各々介して複数基の研削・研磨作動用の電動モータ、或いは油圧モータ、又はエアーモータ（４０１）を平面的に見て前列と後列に配列し且つ前・後配列の関係を千鳥配列にして設けたことを特徴とするデッキ表面の研削・研磨装置。 （もっと読む）

【課題】つば付き内輪の複数のつば部（面）に対する超仕上加工を、単一（１台）の設備で同時期に一括して自動的に行うことを可能にする超仕上加工ユニットを提供する。
【解決手段】つば付き内輪２の複数のつば部（面）２ｔに対する超仕上加工を、単一の設備で同時期に一括して自動的に行うことを可能にする超仕上加工ユニットＵ２であって、つば部用砥石６０ａを支持するつば部加工ヘッド６０と、つば部加工ヘッドを反転可能に支持し、かつ、その反転軸Ｒ回りにつば部用砥石を所望の角度で反転させる反転機構６２と、反転機構を支持し、かつ、反転機構と共につば部加工ヘッドを所望の方向θに旋回させると共に、微少往復運動（オシレーション）Ｏｓさせる作動装置６４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】内輪及び外輪に対する超仕上加工を１台の設備で自動的に行えるようにし、内輪に対する超仕上加工のためのセットと、外輪に対する超仕上加工のためのセットとの切り換えを全自動で行うことを可能にする。
【解決手段】軌道輪２,４を回転可能に保持する軌道輪保持機構６と、軌道輪の軌道面２ｓ,４ｓに超仕上加工を施す軌道面加工機構とを有し、軌道輪保持機構は、加工対象となる軌道輪の種類に応じて、軌道輪搭載用構造体を回転軸Ａｘに対して接離させる構造体移動手段を備え、軌道面加工機構は、内輪及び外輪軌道面用砥石８ａ,８ｂの双方を支持する軌道面用砥石ホルダと、軌道面用砥石ホルダを移動、旋回させるホルダ移動旋回手段とを備え、加工対象が内輪の場合、内輪軌道面に内輪軌道面用砥石を押し付け、加工対象が外輪の場合、外輪軌道面に外輪軌道面用砥石を押し付けて、オシレーションさせながらトラバースする。 （もっと読む）