【課題】被研磨体を安定的に研磨できる、研磨装置を提供すること。
【解決手段】吊り機構８０と、吊り機構８０に吊るされた上定盤４０と、上定盤４０に対向する下定盤３０と、上定盤４０及び吊り機構８０を軸継ぎ手５５を介して昇降させるピストンロッド５４及びシリンダ５２を有する昇降機構５０とを備え、上定盤４０と下定盤３０との間に配置された被研磨体を研磨する研磨装置であって、ピストンロッド５４に連動するフランジ部１２０と、吊り機構８０とフランジ部１２０との間に介在する制振機構１００とを備えることを特徴とする、研磨装置。 （もっと読む）

【課題】この発明は、加工物からウェハをスライスするためのワイヤソーのためのワイヤスプールに関する。
【解決手段】固定的に接合された砥粒でコーティングされたソーイングワイヤ７が、ワイヤスプール１に単層状の態様において巻付けられる。この発明はシングルカットワイヤソーおよびマルチプルワイヤソーに適用可能である。 （もっと読む）

【課題】パイプ状部材の何ヵ所のメッキ部位を削り取るのに、手作業で行っていたが、手間が掛かりすぎる非効率性と、精度の悪さの問題を解消する。
【解決手段】装置テーブル１０に、複数のサンダー固定具９を適当なる位置に設け、この各固定具に上下動手段と傾角動手段を設けた、ベルトサンダー３を設ける。さらにテーブルの中央に部材固定具４を設け、この固定具に、さらに研削部材を位置決めして固定するクランプ手段２を設ける。これらに研削部材であるパイプ成型品１を、各ベルトサンダー３の研削するベルト部７と、適切な位置決めをして、クランプ手段２でもって固定して設ける。 （もっと読む）

【課題】高性能なトルクリミッタに関する技術を提供する。
【解決手段】トルクリミッタ２１０は、第２べベルギア２１１と、スピンドル２１３と、第２べベルギア２１１の回転力が伝達されるフランジ２１２と、第２べベルギア２１１とフランジ２１２の間に介在して配置される複数のボール２１４とを有している。ボール２１４は、第１の領域に位置して第２べベルギア２１１とボール２１４とフランジ２１２が一体となって回転することで、回転力をフランジ２１２に伝達する。一方で、スピンドル２１３に所定値以上のトルクが作用した場合には、第２べベルギア２１１とフランジ２１２に相対的な回転が生じて、相対的な回転によってボール２１４が転がりながら第１の領域から第２の領域に移動して第２の領域に位置することで、第２べベルギア２１１からフランジ２１２に伝達される回転力を規制し、これにより、スピンドル２１３に作用するトルクを規制する。 （もっと読む）

【課題】手持ち式でありながらも被加工物に対する加工部の角度を容易に一定に保持することができる手持ち式電動工具を提供する。
【解決手段】回転砥石２よりも前側にチップソー９０の台金９１に当接して工具本体１を面で支持する支持部３０が設けられている。支持部３０の下面にチップソー９０の台金９１に当接する平坦な支持面が形成されている。支持部３０の下面に該下面を前後方向に縦断する逃げ部が凹設され、該逃げ部の左右両側に支持面が各々形成されている。 （もっと読む）

【課題】高性能なトルクリミッタに関する技術を提供する。
【解決手段】グラインダが有するトルクリミッタ２１０は、第２ベベルギア２１１と、スピンドル２１３を有するとともに、第２ベベルギア２１１の回転力が伝達されるフランジ２１２と、回転力がフランジ２１１に伝達される第１の領域と、フランジ２１２に伝達される回転力を規制する第２の領域とを移動するボール２１４を備えている。スピンドル２１３に所定値未満のトルクが作用する場合には、ボール２１４は、第１の領域に位置して、第２ベベルギア２１１とフランジ２１２とボール２１４とが一体となって回転して、フランジ２１２に回転力を伝達する。スピンドル２１３に所定値以上のトルクが作用した場合には、ボール２１４が第１の領域から第２の領域に移動して、第２べベルギア２１１からフランジ２１２に伝達される回転力を規制し、これによりスピンドル２１３に作用するトルクを規制する。 （もっと読む）

【課題】処理槽を安定して支持する。
【解決手段】弾性的に支持された略水平な基板１２と、基板１２を振動させる振動モータ１３（振動発生装置）と、軸線を略鉛直方向に向けた螺旋状の処理槽２０と、処理槽２０を基板１２に固定して支持するための支持部材３０とを備え、基板１２と支持部材３０を介して処理槽２０を振動させることで研磨を行う振動バレル研磨装置において、支持部材３０は、処理槽２０をそのほぼ全長に亘って下から支持する載置部３１を有している。 （もっと読む）

【課題】従来装置と比較してより高い張力で、ワイヤ断線なくワークの切断を素早く実現する。
【解決手段】各溝付ローラ２，３間に巻き付けられた切断用のワイヤ４の一方端が第１ダンサローラ１０を介して供給ボビン５に巻き付けられ、他方端が第２ダンサローラ１３を介して回収ボビン６に巻き付けられて、各溝付ローラ２，３間のワイヤ４の複数列でワーク７を切断するワイヤソー装置１において、各溝付ローラ２，３と第１ダンサローラ１０および第２ダンサローラ１３との間にそれぞれ、第１バッファボビン手段としての第１バッファボビン１４と第２バッファボビン手段としての第２バッファボビン１８がそれぞれ配設され、各溝付ローラ２，３と第１バッファボビン１４との間に第３ダンサローラ１７が配設されると共に、各溝付ローラ２、３と第２バッファボビン１８との間に第４ダンサローラ２１が配設されている。 （もっと読む）

【課題】張力調整装置や複数のガイドローラを設置する必要がなく、ワイヤソーを簡単かつ小型にすることができ、ガイドローラによりワイヤに捩れが生じるのを抑制することができるとともに、ガイドローラによるイナーシャの問題をなくし、ワイヤの断線率を低減することができるワイヤソーを提供する。
【解決手段】ワイヤ１２を掛け渡す複数の加工ローラ１１Ａ，１１Ｂと、加工ローラ１１Ａ，１１Ｂ間にワイヤ１２を供給する供給側のボビン１３Ａ，１３Ｂと、使用済みワイヤ１２を巻き取る巻き取り側のボビン１３Ｂ，１３Ａとを備える。両ボビン１３Ａ，１３Ｂを軸線方向に沿ってトラバース動作させるトラバース機構１６と、加工ローラ１１Ａ，１１Ｂと両ボビン１３Ａ，１３Ｂとの間のワイヤ１２の張力を検出するセンサ１８と、そのセンサ１８の検出に基づいて、ワイヤ１２の張力を調整する方向に、ボビン１３Ａ，１３Ｂを移動させる張力調整機構１７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】回転定盤に対する研磨パッドの繰り返しの着脱を容易に且つ位置決め精度良く実現することが出来、且つ、各種仕様の研磨装置の回転定盤に対しても大幅な改造を必要とすることなく適用出来る、新規構造の研磨パッド用補助板の提供。
【解決手段】研磨装置１２の回転定盤１４に装着される研磨パッド用補助板１０を下側補助板２０と上側補助板２２で構成し、位置決め手段を上下補助板２２，２０間に設けた。これにより、補助板と回転定盤との間に位置決め手段を設けた従来構造のものに比して、研磨パッド１６の回転定盤１４への中心軸の位置決めを容易に且つ精度良く為し得ると共に、各種仕様の研磨装置の回転定盤１４にも広く適用可能な研磨パッド用補助板１０を実現せしめ得た。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構で加工部の加工直径を調節することができる加工装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ドローバー引張機構９０は、一端が主軸台２０に揺動自在に係止されるレバー９２と、このレバー９２の他端と主軸台２０の間に渡されピストンロッド９４がほぼドローバー６１に平行に延ばされレバー９２を揺動させるレバー揺動シリンダ９５と、レバー９２の途中に揺動可能に止められドローバー６１へ延ばされ軸受９８を介してドローバー６１の一端に連結される連結部材９９とからなり、てこの原理でレバー９２でドローバー６１を軸方向へ移動させるようにした。
【効果】連結部材をレバーの途中に揺動可能に止め、レバー揺動シリンダでレバーを移動させるだけであるので、ドローバー引張機構を簡易且つ安価な機構にでき、装置全体としても簡易な機構で加工部の加工直径を調節することができる加工装置となる。 （もっと読む）

【課題】狭隘な場所に狭い間隔で並設状態に配設している電線管や鋼管などの管材でも容易に素地調整作業を行うことができる素地調整工具を提供することを目的とする。
【解決手段】長尺体１に沿って移動自在に取り付ける移動基体２に、長尺体１に被嵌する被嵌体３を移動基体２に対して往復スライド移動自在に設け、この被嵌体３を移動基体２に対して往復スライド移動する駆動装置４を移動基体に設け、被嵌体３は、一対の被嵌半体３ａ，３ｂからなり一方の被嵌半体３ａに対して他方の被嵌半体３ｂを半割自在に設けた構成とし、この被嵌体３の内側に長尺体１の外周面を包囲して当接する研磨体５を設け、この研磨体５は、被嵌体３が長尺体１を被嵌した際に、この長尺体１の外周面に押圧状態で密着するシート状研磨体５に構成した素地調整工具。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率良く基板を研磨する。
【解決手段】ＣＭＰ装置１は、プラテン２上に薄膜フィルム４が取り付けられ、薄膜フィルム４を覆うように研磨パッド５が固定されている。薄膜フィルム４の外径は研磨パッド５の外径より小さいので、プラテン２の上方には研磨パッド５の段差５Ａが形成される。研磨パッド５の上方には、基板６を保持する研磨ヘッド１０が回転及び往復移動可能に配置されている。基板６の研磨時に、基板６は段差５Ａに押し当てられる。薄膜フィルム４によって、プラテン２から研磨パッド５の上面までの距離が調整されることで、研磨レートが制御される。 （もっと読む）

【課題】製造速度を向上させ、廃棄率を低減させる、面取り部の機械加工システムを提案する。
【解決手段】本発明は、円盤状部品（３１）に面取り部（３２，３４）を機械加工するシステム（１）に関し、このシステムは、研磨手段（４）を有する研削装置（３）と、部品（３１）を固定する装置（５）とを備え、この固定装置は、部品が取り付けられる支持部（１３）を有し、この支持部に回転軸（１６）が組み込まれている。本発明によれば、固定装置（５）は、さらに、面取り部（３２，３４）の角度を規定するように回転（Ｂ）の軸（１６）を方向付ける手段（１５）と、部品（３１）に応力をかけて機械加工を行うため支持部（１３）を研磨手段（４）に近づけるように動かす手段（１７）と、を有する。本発明は、時計の風防の分野に関するものである。 （もっと読む）

【課題】中心軸が鉛直に保持された長尺ノズルの内面加工部を、加工反力によるたわみが小さく、切り屑の影響を受けることなく、精度良く加工することができる長尺ノズル内面加工装置を提供する。
【解決手段】長尺ノズル１の上端に固定された駆動部１０と、駆動部から長尺ノズル１の内面内に吊下げられ、内面加工部７より上方に位置決め可能であり、かつ中心軸３に対し線対称の第１中空貫通穴２１を有する支持ヘッド２０と、駆動部から第１中空貫通穴を通して下方に延び、支持ヘッドにより回転可能に支持され、駆動部により中心軸に沿って上下動可能であり、かつ中心軸を中心に上端部が回転駆動される中空円筒形の主軸３０と、支持ヘッドより下方の主軸下端部に設けられた加工工具を駆動部により半径方向に移動可能な切込調整機構４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 コンベアに対するブラシ部材の相対高さの調整を自動で行え、調整のばらつきを抑え、かつ調整作業が容易なバリ取り装置を提供する。
【解決手段】 バリが上面に形成されたワークＷを水平に搬送するコンベア１と、コンベア１の上方に配置されたバリ取りヘッド２と、コンベア１に対するバリ取りヘッド２の相対高さを調整する相対高さ調整機構３とを備える。バリ取りヘッド２は、ブラシ軸心Ｏ１回りに回転自在なロール状のブラシ部材２０と、ブラシ部材２０を旋回軸心Ｏ２回りに旋回自在に支持する旋回支持部材２６とを有する。相対高さ調整機構３は、昇降駆動源５０によりコンベア１またはバリ取りヘッド２を昇降させる。ブラシ部材２０の下端を検出可能な投受光式のブラシ下端検出手段５０と、ブラシ部材２０の下端の検出に基づき昇降駆動源５０を制御する昇降制御手段６１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】研磨工程において、研磨パッドの平坦性を維持させる。
【解決手段】この研磨装置１０は、プラテン１００と、プラテン１００上に設けられた研磨パッド１２０と、研磨パッド１２０とプラテン１００とを固定する粘着層１６０と、を備えている。研磨パッド１２０には、研磨される基板２０が接する一面と反対側の裏面に、外周の端面まで延在する溝部１２２を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰ装置において研磨中に摩擦によって発生する熱が研磨パッドから回転定盤に伝わるのを防止して、温度上昇に伴う研磨液と基板表面の化学作用の増進によって、研磨液の削減もしくは研磨レートの増大を可能にできる新規な構造のＣＭＰ装置を提供する。
【解決手段】断熱材で構成された回転定盤４上に、表面中央部分にＣＭＰ用研磨パッド１が固着されるパッド支持面が形成された補助板６を両面接着テープ７を介して載置することで、ＣＭＰ加工中に摩擦によって発生する熱がＣＭＰパッド１から前記回転定盤４に伝わることを防止する。 （もっと読む）

【課題】研磨時間全体を短縮することができ、研磨テープを容易に交換できる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、基板Ｗのノッチ部を研磨する研磨装置において、基板Ｗを水平に保持し、回転させる回転保持機構３と、研磨テープを用いて基板Ｗを研磨する複数の研磨ヘッドモジュール７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃ，７０Ｄと、複数の研磨ヘッドモジュールを互いに独立して移動させる移動機構とを備える。複数の研磨ヘッドモジュールは、研磨テープを基板Ｗのノッチ部に摺接させる研磨ヘッド３０と、研磨ヘッドに研磨テープを供給し、回収するテープ供給回収機構２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄとをそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】プランジャの径に応じて容易に製作すると共に、プランジャに迅速に設置することができるプランジャの表面粗さ調整装置の提供。
【解決手段】鉛直方向に沿って配置されて上下に駆動するプランジャ１１に適用され、このプランジャ１１の周方向の表面に摺接してプランジャ１１の表面の粗さを調整する表面粗さ調整部材３と、この表面粗さ調整部材３をプランジャ１１に押圧して支持する支持部材とを備えたプランジャ１１の表面粗さ調整装置において、支持部材は弾性体１から成り、この弾性体１は、表面に表面粗さ調整部材３を貼付して固定する両面テープ２を有する。 （もっと読む）