【課題】半導体ウエハ全面を均等に押さえることができ、複数の厚みの半導体ウエハや、反った半導体ウエハにも、同一仕様の収納方法により対応ができ、半導体ウエハの割れを防止することができる半導体ウエハの収納容器および収納方法を提供する。
【解決手段】積層可能な複数のトレイ２と、積層された複数のトレイを密封して覆うラミネート袋１０とを備え、ラミネート袋が真空脱気されて用いられる。トレイは、上下が開口した筒状の本体部と、本体部の内腔を上下の空間に区画する隔壁１４と、隔壁より上部の本体部を貫通した通気孔５とを有し、隔壁によりウエハ載置部が形成され、隔壁の下部の空間により気体室７が形成され、気体室の開口部は、気体室を不通気に密閉する伸縮可能な密閉膜８により封口されている。 （もっと読む）

【課題】
透明性が良好で、かつ形状精度および座屈強度の優れたエンボス部を有するエンボスキャリアテープ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
（ａ）スチレン系樹脂組成物を二軸延伸してなるシートをテープ状にスリットする工程と、（ｂ）回転する円筒状の加熱器によりスリットしたテープを巻き取り、テープのエンボス部が形成される部分のみを部分的に加熱する工程と、（ｃ）回転する円筒状の成形金型により加熱されたテープを巻き取り、ロータリー真空成形によりエンボス部を形成する工程と、を具備するエンボスキャリアテープの製造方法、及び該製造方法によって得られるエンボスキャリアテープ。 （もっと読む）

【課題】バルブに双向性を付与して取付け作業の簡素化や迅速化を図ることができ、しかも、必要に応じてガス供給ポートの数等を迅速に増やすことのできるパージバルブ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底板３の貫通孔４に嵌着されるバルブケース２１と、バルブケース２１にコイルバネ２７を介し往復動可能に挿入支持され、バルブケース２１を開閉する中空の内圧調整弁体３９と、内圧調整弁体３９内にコイルバネ４１を介し往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体３９を開閉する外圧調整弁体４４と、バルブケース２１と内圧調整弁体３９及び外圧調整弁体４４との間に介在されるガス濾過用のフィルタ４８とを備える。バルブケース２１の一端部から他端部方向にガスが流通する場合には、外圧調整弁体４４を往動させてその閉じた内圧調整弁体３９との間を開放し、バルブケース２１の他端部から一端部方向にガスが流通する場合には、内圧調整弁体３９を往動させてその閉じたバルブケース２１との間を開放する。 （もっと読む）

【課題】高いシール性を確保し、ケース素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消可能で、航空輸送時の気圧変化によるウェーハやケースの変形、破損を防止できるウェーハケースを提供する。
【解決手段】各金属製の容器本体と蓋とを、第１，第２の波形シール部を有したシール構造で密閉するウェーハケースとし、第１，２の波形シール部を含む容器本体および蓋の各シール面の表面粗度を０．８Ｓ〜１．６Ｓとした。そのため、高いシール性を確保しながら、ウェーハケースの素材を原因とした半導体ウェーハの有機物汚染を解消できる。 （もっと読む）

【課題】基板加工装置等の位置決めピンに支持された場合の容器本体の高さを低く抑え、容器本体を支持するのに必要な容積を低減し、容器本体を略正確に位置決めでき、しかも、バルブと所定の装置を接続して気体の漏洩を抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体１の開口した正面を開閉する蓋体２０と、容器本体１の底板３に嵌着されてその内外のガスを置換する複数のパージバルブ３０と、底板３に配設される複数の位置決め具４０とを備え、基板加工装置に支持される基板収納容器であり、複数の位置決め具４０を、基板加工装置に接触して容器本体１をＺ方向に位置決めする複数のＺ方向位置決め具４１と、基板加工装置の位置決めピンに嵌合して容器本体１をＸＹ方向に位置決めするＸＹ方向位置決め具４３と、位置決めピンに嵌合して容器本体１をＸ方向に位置決めするＸ方向位置決め具４６とから構成する。 （もっと読む）

【課題】優れた気密効果を具備したウェーハキャリアを提供する。
【解決手段】開口を形成する一側面を有し、複数個のウェーハを収納可能な複数個のスロットが内部に設けられた筐体を含み、ドアを利用して前記筐体の開口と結合してその内部のウェーハを保護する。筐体は、開口の内縁に磁性体が配置され、ドアの内面の磁性体に対抗する箇所に、断面が凹形を呈する導磁体中に設けられた磁石が配置されていることを特徴とする。これによって、ドア上の磁石が筐体の開口箇所の磁性体を吸引し、ドアを筐体にロックして一体化する。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する基板収納容器を閉鎖・密閉する際に、ガスケットを嵌合保持溝へ挿入する作業が容易であり、かつ、基板収納容器のシール性能のばらつくことが少ない基板収納容器及び基板収納容器の蓋体の製造方法を提供する。
【解決手段】開口を有し、基板を収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３と、容器本体２と蓋体３との間に介在するガスケット７を有する基板収納容器１において、蓋体３を筐体４とカバープレート６と筐体４の外側に設けられる枠体５とから形成し、前記枠体５は、前記筐体４と前記カバープレート６との間に挟持されていて、前記筐体４と前記枠体５との間にガスケット７が挟持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する基板収納容器を梱包して輸送するときに、外気温が変化しても基板収納容器に収納した基板が結露したり、汚染されてしまうことを防止できる基板収納容器及びその梱包体を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器１であって、この基板収納容器１を、梱包袋１１と、緩衝材１３と、梱包箱１４とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器１または梱包資材の少なくとも１つに保温層１２を設けて、基板収納容器１を取り囲むことを特徴とする。前記保温層１２は、空気層を有しているようにすること、また、調湿剤を有しているようにすること、また、前記基板収納容器１が、外周部に保護部材８を備えてるようにし、これを梱包する基板収納容器１の梱包体とすること、が好ましい。 （もっと読む）

【課題】特性の変化を防止し、かつ十分な剛性と耐熱性を有する軽量のウェーハ用フレームを提供する。
【解決手段】天井部２１ｂと底部２２ｂと側壁２１ａ、２２ａとが金属材料から成り、かつ内部に空間を有するウェーハ用フレーム。 （もっと読む）

【課題】ワークをワークケースに収納する際に、ワーク同士の接触を生じにくくし、ワークの損傷を抑制すると共に、ワークをワークケースに収納しやすい円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】製造工程にてワーク１０を間隔をあけて複数枚、収納配置できるようにワーク１０の保持ガイド１０６が複数形成されたワークケース１００の開口部１０８に、ワーク１０の挿入ガイド１０６が複数形成された収納用治具２００を取り付け、収納用治具２００を頼りに手作業にてワーク１０をワークケース１００に収納し、収納後に収納用治具２００を取り外し、ワークケース１００を用いてワーク１０を移動させてワーク１０を製造する円盤状基板の製造方法であって、収納用治具２００の挿入ガイドは、両端部から中央部に向けて開口幅が大きくなる孔部２０２であり、ワーク１０のエッジ部が挿入ガイドによりガイドされ、保持ガイド１０６に配置されるようになしたことを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】外装箱の稜部や角部においても、良好な緩衝効果を発揮できて、外装箱の稜部や角部に大きな凹みや破損を生じさせないように工夫した緩衝包装材を提供する。
【解決手段】本体部２１の上面側に被包装物の下部を挿入できる収納凹部２２を有する下部包装材２と、本体部１１の下面側に被包装物の上部を挿入できる収納凹部１２を有する上部包装材１とからなり、下部包装材２および上部包装材１の収納凹部２２および１２を囲む側壁２５および１５の外面に、それぞれ外方に突出して外装箱Ｃの内面に当接する側部用の緩衝突起２７および１７を設け、下部包装材２および上部包装材１には、それぞれ前記側壁によるコーナー部２８および１８の外側面に、外方へ斜めに突出して外装箱の稜部両側内面に当接もしくは近接する稜部用の緩衝突起２９および１９を設ける。 （もっと読む）

【課題】外装箱の稜部や角部において大きな凹みや破損を生じさせることがなく、しかも良好な緩衝効果を発揮できる緩衝包装材を提供する。
【解決手段】被包装物の上部を挿入できる収納凹部１２を有する上部包装材１と、被包装物の下部を挿入できる収納凹部２２を有する下部包装材２とからなり、上部包装材１の収納凹部１２における天部１３の内面１３ａに天部受用の凸部１４を、下部包装材２の収納凹部２２における底部２３の内面２３ａに底部受用の凸部２４をそれぞれ設け、上下部包装材１，２の収納凹部１２，２２がそれぞれ被包装物の上下部より大きい開口をなし、収納凹部１２，２２を囲む四方の側壁１５，２５の内面に内方に突出して被包装物を支持する緩衝突起１６，２６を設ける。 （もっと読む）

【課題】容器本体の棚板から基板を適切に浮上させ、容器本体の開口した正面部に蓋体を圧入する際の圧力増加を抑制できる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体と、容器本体の正面部に嵌合圧入される蓋体とを備え、容器本体の背面壁２内に、半導体ウェーハＷの周縁部後方を遊嵌支持する断面略Ｕ字形の支持溝３を形成し、容器本体の両側壁内に、半導体ウェーハＷの周縁部側方を支持するティースを形成し、容器本体の背面壁２に対向する蓋体の対向内面に、半導体ウェーハＷの周縁部前方を保持するフロントリテーナを装着する。支持溝３を、蓋体の嵌合圧入時に半導体ウェーハＷのティースからの浮上を案内する緩高配の第一の傾斜底面４と、蓋体の容器本体からの取り外し時に半導体ウェーハＷのティースへの滑落を案内する急高配の第二の傾斜底面５とから形成する。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃で保持片や保持溝が回転するのを抑制し、保持溝から基板が外れて磨耗、汚染、破損するおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体とを備え、この蓋体の半導体ウェーハ１に対向する対向内面に、複数枚の半導体ウェーハ１を保持する基板保持具３０を装着する。また、基板保持具３０を、蓋体の半導体ウェーハ１に対向する対向内面方向から半導体ウェーハ１に接近する第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂと、この第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂにそれぞれ形成されて半導体ウェーハ１の周縁部２前方を保持する保持溝３６とから構成し、各保持溝３６の半導体ウェーハ１の周縁部２前方との接触部３９を第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂの肉厚Ｔの範囲内に位置させる。 （もっと読む）

【課題】基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに成形してその内部下方には半導体ウェーハ１を支持する下部支持ブロック１５を装着し、この下部支持ブロック１５の半導体ウェーハ１に対向する対向面には、半導体ウェーハの周縁部２下方を縦に支持する支持溝１６を複数形成する。また、容器本体１０の内部上方に、下部支持ブロック１５に対向する上部支持ブロック１７を装着してその半導体ウェーハ１に対向する対向面には半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する支持溝１８を複数形成するとともに、各支持溝１８の谷部１９を半導体ウェーハ１の周縁部２上方に半導体ウェーハ１移動用の空隙２２を介して対向させる。 （もっと読む）

【課題】底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供する。
【解決手段】基板４０を収納するカセット１００であって、内部に基板４０が配置されるカセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面１５に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とを備え、底板２０とカセット本体部１０とは互いに分離可能であり、カセット本体部１０は、底面開口部１４の下方に凹部３２を有する置台３０の上に配置され、凹部３２は、カセット本体部１０が置台３０の上に配置された際に底板２０を収納可能であり、且つ、凹部３２の一部には、底板台３４が形成されている、カセット１００である。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０をフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の天板２２内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する上部リテーナ２１を上下方向に弾性変形可能に並設し、容器本体１０の背面壁２７内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２上部後方を縦に支持する後部支持ブロック２３を設ける。半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の横ぶれや位置ずれを抑制してクランプハンドのハンドリングの円滑化を図ることができ、しかも、基板の取り出し作業の作業性を向上させることのできる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスタイプに形成してその内部下方には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の内部上方には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方に隙間を介して左右横方向から対向する上部規制板２１を設けるとともに、容器本体１０の内部後方には、半導体ウェーハ１の周縁部２後方を縦に支持する後部支持ブロック２４を設ける。容器本体１０を左右方向に傾斜させた場合に上部規制板２１に傾斜した半導体ウェーハ１の周縁部２上方を支持させる。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に影響が及ばないようにディスクケースの再利用回数を適確に管理することができるディスクケースの使用方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ毎に使い捨てることができるように低コストで製造することができるウェハ保護部材と、そのウェハ保護部材を用いて半導体ウェハを保護する方法を提供する。
【解決手段】ウェハ保護部材２は、熱硬化前の熱硬化性樹脂で形成されており、柔軟性を有している。ウェハ保護部材２は、長尺であり、長手方向Ａに沿って半導体ウェハの周縁部に嵌め込む溝４が形成されている。ウェハ保護部材２を、溝４に半導体ウェハの周縁部に嵌合させながら取り付け、その後にウェハ保護部材２を熱硬化させる。これによって、半導体ウェハを保護することができる。ウェハ保護部材２は樹脂材料で形成されているため、低コストで製造することができ、半導体ウェハ毎に使い捨てることができる。 （もっと読む）