【課題】半導体処理工程における移載容器中の部品支持構造の改良。
【解決手段】
移載容器は、基台５０及び蓋６０からなり、
該基台上の２つの抵触台５２と抵触部品５８で”コ“の字状にレチクル７０の支持部を構成する。抵触台の内側両端に相対してそれぞれ硬質の支持部品５５を設け、各支持部品はそれぞれ高低差のある高い第一突出片及低い第二突出片を具え、これらの頂上をアーチ状として支持接触面を点接触とし、同一抵触台上の二つの支持部品は、低い第二突出片を相対的に内側に配置して、レチクルが変位して第一突出片から滑り落ちても、第二突出片が受ける。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの輸送時に半導体チップの破損を低減することができる半導体チップの収納容器、その収納容器を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チップトレイ１０では、第１の板１１に形成された第１の凹部１１Ａに第１の緩衝材１２が設けられ、第１の凹部１１Ａと対向した第２の板１３の面には第２の緩衝材１４が設けられている。半導体チップ１５は、第１の板１１と第２の板１３が重ね合わされると、第１の凹部１１Ａの空間１１Ｃにおいて、第１の緩衝材１２と第２の緩衝材１４との間に収納される。これにより、チップトレイ１０の輸送時における衝撃は、半導体チップ１５に加わりにくくなり、半導体チップ１５の破損を防ぐことができる。また、第１の緩衝材１２、第２の緩衝材１４の少なくともいずれか一方は導電性材料からなるため、静電気による半導体チップ１５の破損や損傷を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄時の水分が残存して基板の汚染源になることが少なく、容器本体に別体の支持体を取り付ける際の作業性や位置精度を向上させ、基板を円滑に出し入れできる安価な基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体１と、容器本体１に別体として内蔵されて半導体ウェーハを支持する一対の支持体３０とを備え、各支持体３０を、容器本体１の側壁内面に対向する中間片３１と、中間片３１に形成されて容器本体１の側壁内面の正面部２側に位置する先端片３２と、中間片３１に形成される末端片３９と、中間片３１から末端片３９にかけて突出形成され、半導体ウェーハを支持するティース４５とから構成し、先端片３２に水切り孔３３を穿孔する。容器本体１の側壁内面の正面部２側に係止溝３を形成し、先端片３２の先端部３４は凸部とし、係止溝３と先端部３４との嵌合で容器本体１の側壁内面に先端片３２を固定する。 （もっと読む）

【課題】ロードポート装置の出し入れ口に容器本体の正面部やリムフランジを適切に接触させることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート装置の出し入れ口に、２枚の半導体ウェーハを収納する容器本体１の横長に開口した正面部を対向させる基板収納容器であって、容器本体１の正面部周縁に形成されて外方向に張り出し、ロードポート装置の出し入れ口に対向するリムフランジ１０と、リムフランジ１０の両側部にそれぞれ穿孔される複数の取付孔１２と、複数の取付孔１２に選択的に挿入される着脱自在の情報表示パッドであるインフォパッド１５とを備える。各取付孔１２を、リムフランジ１０の正面側に位置する拡径部１３と、拡径部１３に一体形成されてリムフランジ１０の背面側に位置する縮径部とから形成し、インフォパッド１５の正面部を、リムフランジ１０の正面に略面一に揃えるか、あるいは取付孔１２の拡径部内に埋没させる。 （もっと読む）

【課題】従来のウェハ収納容器は、３００ｍｍ以上の大口径ウェハや０．３ｍｍ以下の薄型ウェハなどのタワミを最小限に抑えて、多数枚のウェハを効率良く収納することができないという課題を有していた。
【解決手段】本発明のウェハ収納容器は、少なくとも１つの容器開口を有する収納容器本体と、前記収納容器本体内部に設けられたウェハ支持構造を有しており、前記ウェハ支持構造は、前記収納容器本体に取り付けて固定する固定部と、前記固定部に連結され開閉自在に構成された一対のウェハ支持体とからなり、前記一対のウェハ支持体にはスリット状開口が互いに対向して等間隔に形成されており、前記固定部は固定部側取り付け部を有しており、前記収納容器本体の内面には収納容器側取り付け部が設けられている構造とした。 （もっと読む）

【課題】例え数ｋＰａ程度の圧力差でも、拡散による酸素の逆流を防止することのできる基板収納容器の排出用ポートを提供する。
【解決手段】容器本体１に供給用ポートと排出用ポート２０とをそれぞれ複数配設し、各排出用ポート２０を、容器本体１に取り付けられる中空のケース２１と、ケース２１に内蔵されるフィルタ２４と、ケース２１に内蔵される逆止弁２５とから構成する。ケース２１の両端面にそれぞれ通気孔２２を穿孔し、ケース２１の一端面を容器本体１から露出させ、このケース２１の一端面とフィルタ２４との間に逆止弁２５を介在させるとともに、ケース２１の一端面に被覆体３０を重ねて装着し、被覆体３０の内部には、ケース２１の一端面の通気孔２２と連通する細長い流通路３１を形成する。 （もっと読む）

【課題】搬送容器の蓋体を蓋着脱装置の扉部材に大きな力で押し当てても、搬送容器が浮き上がりを防止することができる搬送容器の蓋着脱装置、搬送容器及び搬送容器の蓋着脱システムを提供する。
【解決手段】搬送容器の蓋着脱装置１００は、搬送容器２００を載置して移動可能なテーブル１５と、搬送容器２００の下面の断面Ｖ字溝２０５ａ〜２０５ｃに設けられ移動方向Ｍとは略直角な固定面２０５ａ−１〜２０５ｃ−１に係合し、テーブル１５に設けられ移動方向Ｍとは略直角な位置決めピン１５ａ〜１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する方法を提供する。
【解決手段】ポッドに対して蓋を固定するステップの後、FIMSシステムにおけるドアが蓋を保持した状態を維持したまま一旦ポッドをアンロード位置に向けて移動させる。ポッドが変位した場合には蓋の固定は不適切であると判定し、ポッドが変位しない場合には蓋の固定が適切であると判定する。 （もっと読む）

【課題】保護シートを設けなくても半導体チップへの剥離処理剤の移行を防止することができる半導体チップの梱包構造及び梱包方法を提供する。
【解決手段】上面にワイヤボンドのための上面側電極４１と底面に底面側電極４２を備える半導体チップ４と、粘着シート１と、剥離処理剤２を塗布した離型紙３とを準備し、前記半導体チップ４の底面を粘着シート１に貼り付け、前記離型紙３の剥離処理剤２を塗布した側を前記半導体チップ４の上面に接するように離型紙３を配置し、半導体チップ４を貼り付けない領域では粘着シート１と離型紙３を直接接合させる半導体チップ４の梱包構造であり、前記剥離処理剤２として非シリコーン系の剥離処理剤を塗布した離型紙３を用いる。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。
【解決手段】ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有することにより、クッションとウエハ設置部４のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部４のトレイ下面を通じて半導体ウエハ３に伝達されることを防ぎ、半導体ウエハ３の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】高度な表面性が必要とされるガラスの間に挿入され使用される合紙、特に一方の辺が１，５００ｍｍ以上の大判のガラス用に関して、合紙が挿入された状態での搬送時において、ガラスと合紙との境界に存在する異物等によるガラス表面の傷入りを防止でき、かつ高品質なパルプ原料として多様な用途への再利用ができるガラス用合紙とする。
【解決手段】パルプ原料を主成分とするガラス用合紙であって、坪量が３０〜６０ｇ／ｍ²であり、ＪＩＳＰ８１１８に準拠した、ガラス用合紙の巾方向の紙厚を２ｃｍ間隔で測定した、隣接する測定点の最大紙厚差が８μｍ以下かつ紙厚の最大値と最小値の差が１６μｍ以下である （もっと読む）

【課題】例え高速で搬送されても、基板と容器本体が擦れて塵を発生させることがなく、構成部品の損傷を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハからなる基板を必要枚数整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部を開閉する着脱自在の蓋体１０と、容器本体１の天井部に別体の構成部品として螺着される搬送用のフランジ２０とを備え、容器本体１の天井部にフランジ２０を複数の防振ゴム３０を介して螺着する。容器本体１の天井とフランジ２０の間に防振ゴム３０が介在するので、基板収納容器が高速で搬送され、従来の加速度よりも大きな加速度が作用したとしても、振動や衝撃を有効に吸収・減衰することができる。 （もっと読む）

【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】シールガスケットの保持力低下を抑制してその一部が蓋体と共に外れてしまうおそれを排除し、シールガスケットの嵌入具合にバラツキが発生するのを抑制できる基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口上部に嵌合される蓋体１０と、この開口上部に形成される嵌入溝２０と、嵌入溝２０に嵌入されて容器本体１と蓋体１０の間をシールするシールガスケット３０とを備え、シールガスケット３０に、容器本体１の開口上部に対する蓋体１０の嵌合方向と平行に位置する嵌合突起部を形成する。シールガスケット３０を、嵌入溝２０に嵌入される枠体３１と、枠体３１から伸びて蓋体１０に接触するシール形成部３２とから形成し、嵌合突起部を、枠体３１の直線部に複数形成される第一の嵌合突起部と、枠体３１のコーナ部に形成される第二の嵌合突起部とから形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを常に平坦な状態に保って、搬送中の衝撃等や繰り返しの状態変化による半導体ウエハの破損発生を防止することができ、しかも半導体ウエハを取り出す際には半導体ウエハを破損することなく安全かつ容易に取り出すことができるウエハ載置クッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置クッションシートの表面に、半導体ウエハＷを着脱自在に吸着する自己吸着部および半導体ウエハＷを吸着することなく分離した状態を保つ非吸着部を形成し、半導体ウエハの中心部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を大きくし、半導体ウエハの外周部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を小さくする。 （もっと読む）

【課題】設備機器側でのウエハマッピングを省くことが可能なウエハカセット、半導体製造システム、及び半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】カセット本体２と、カセット本体２に設けられ、ウエハWが収まる複数のスロットSを画定する複数のスロット区分板３と、複数のスロットSのそれぞれにウエハWが存在するか否かについてのスロット情報D_sを出力するウエハセンサ４と、少なくともスロット情報D_sを含んだカセット情報D_cが格納される記憶部７と、外部の設備機器３３ａ〜３３ｄと記憶部７との間の通信を媒介する通信部８とを有するウエハカセット１による。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性が高く、外観にも優れる帯電防止性シートを提供する。
【解決手段】ポリプロピレン系樹脂（Ａ１）、ポリエチレン系樹脂（Ａ２）及び充填剤（Ａ３）で構成された基材層（Ａ）の少なくとも一方の面に、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）、ポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）及び高分子型帯電防止剤（Ｂ３）で構成された帯電防止層（Ｂ）を積層して、帯電防止性シートを得る。前記帯電防止層（Ｂ）において、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）とポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）との割合（重量比）は、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）／ポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）＝５５／４５〜７０／３０程度である。この帯電防止性シートは、電子部品などの包装用成形品として適している。 （もっと読む）

ポリマーで形成される基板収納容器内で著しく乾燥した環境を維持するための、コンポーネント、システム、および方法は、基板収納容器の補助的な外部ガスパージを提供して、容器のポリマー壁を通した水分および酸素の浸透を最小にし、かつ、容器のポリマー壁に封じ込められた水の脱着を抑制する。
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【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】搬送や保管の際に、広大なスペースを必要とせず、まて、輸送パッケージが縮小化され、コスト低減が計れ、さらに、基板にゴミや異物が付着し難く、且つ、基板の大型化ないし超大型に対応できる基板収納用トレイおよび基板の搬送保管方法を提供することである。
【解決手段】平面形状が矩形フレームからなる周枠の枠内に基板を載置する基板用トレイであって、一方の対向するフレームはフレームの中央位置でフレームの左右が上方に折り曲げ可能な折り曲げ部と、他方の対向するフレームは対向するフレームを接続し、基板を載置する複数のワイヤーまたはワイヤーロープと、を具備していることを特徴とする基板収納用トレイである。 （もっと読む）