【課題】容易に、かつ、確実に剥離層のみを剥がすことが可能な剥離きっかけを有する積層材料と該積層材料を用いて作製した包装袋を提供すること。
【解決手段】剥離層（１１）と基材層（１２）とヒートシール層（１３）の三層を順次貼り合わせた積層材料からなり、前記積層材料の各層のフィルム幅と貼り合わせ幅の関係が、剥離層のフィルム幅＞ヒートシール層のフィルム幅≧基材層のフィルム幅＞剥離層と基材層の貼り合わせ幅（貼り合わせ幅ａ）≧基材層とヒートシール層の貼り合わせ幅（貼り合わせ幅ｂ）の関係にあり、かつ、各層のフィルム幅の差が１ｍｍ以上ある。剥離層（１１）には、剥離きっかけ部（１４）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】包装材料フィルムをチリ、埃等の汚染から保護している剥離フィルムを包装材料フィルムから容易に剥がすことができるようにした剥離フィルムを有する包装袋を提供すること。
【解決手段】剥離フィルム（１１）と包装材料フィルム（１２）を重ね合わせた二重フィルム（１０）を、包装材料フィルムのシーラント層（１４）を互いに対向させて周縁部（２）をシールしてなる包装袋であって、剥離フィルム（１１）と包装材料フィルム（１２）とは、周縁部（２）では剥離可能に密着しており、周縁部以外の収納部（３）では互いに密着していない。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で軽く安価な基板収納トレイを提供する。
【解決手段】 口径４５０ｍｍの半導体ウェーハＷを収納するトレイ本体１と、トレイ本体１に着脱自在に嵌合されて半導体ウェーハＷを覆うトレイ蓋１０とを備え、トレイ本体１とトレイ蓋１０を、樹脂を含む成形材料を使用してそれぞれ熱成形する。トレイ本体１とトレイ蓋１０をそれぞれ平面略矩形に形成してその平坦な対向面のいずれか一方には凹部６を、他方には凸部１２をそれぞれ形成し、凹部６と凸部１２を相互に嵌合可能とする。また、トレイ本体１の中央部に、半導体ウェーハＷを隙間を介して収納する収納穴２を凹み形成してその周壁には半導体ウェーハＷ用の取り出し溝５を形成し、トレイ蓋１０の中央部に、半導体ウェーハＷを隙間を介して覆う中空の被覆部１１を膨張形成し、トレイ蓋１０の表面四隅部には、操作用の係止部１３をそれぞれ突出形成する。 （もっと読む）

基板キャリアを加圧するための方法は、キャリアと一体構造のものであるチャンバおよび／またはキャリア内の基板カセットを加圧するステップと、チャンバからキャリア内へガスを放出することにより、キャリア内の圧力を維持するステップとを含む。
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【課題】半導体ウェハを枚数に関係なく適正な荷重で支持して移送中の衝撃などによる破損を防止できる構造のウェハ移送容器を提供する。
【解決手段】内側支持部材２２０を弾性的に支持する内側弾性機構２４０は、内側支持部材２２０の前後両端に作用する荷重が少なくとも中央領域の荷重より大きい。このため、例えば、半導体ウェハが満杯に収容された場合、その全部が均一で適正な荷重で支持される。一方、収容される半導体ウェハが少数の場合は、例えば、内側弾性機構２４０から内側支持部材２２０に作用する荷重が小さい中央領域などに半導体ウェハを偏在させることにより、その少数の半導体ウェハの全部が均一で適正な荷重で支持される。 （もっと読む）

【課題】洗浄が可能で、洗浄した後に水分が残り難く、乾燥が簡便に行い得るような、防水プラグ、基板収納容器、及び基板収納容器の洗浄方法を提供する。
【解決手段】プラグ本体部分２５の一端に基板収納容器の連通部を封鎖するシール形成部２６を有し、他端に小判状に形成される接続部２７と、接続部２７に連続する、係止つば部２９を先端に有するプラグ側壁部２８からなる。防水プラグ２４が、プラグ本体部分２５の外側に弾性変形可能に形成されるプラグ側壁部２８と、プラグ側壁部２８の先端に、外向きに突出する係止つば部２９を有し、好ましくはボトムプレート４に設けられるボトムプレート貫通孔２３に係合可能とし、シール形成部２６が、プラグ本体部分２５に２色成形によって一体的に形成される。防水プラグを水密に着脱自在とする構造を有する容器構造であり、基板収納容器の洗浄は、防水プラグを水密に装着させて、洗浄槽に投入する洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化にともない、基板搬送用ボックスが大型化した場合にあっても、搬送時に収容された基板に揺れが発生することがない構造を備える基板搬送用ボックスを提供することにある。
【解決手段】蓋体２により本体１の上部開口を閉ざした状態において、蓋体２の天板２ａの下面２ｃと支持プレート３の上面３ａとの間において、第１支持補助部材２１および第２支持補助部材２２が、天板２ａの下面２ｃと支持プレート３の上面３ａとにより挟み込まれ弾性変形する。これにより、支持プレート３は、第１支持補助部材２１および第２支持補助部材２２の弾性変形後の復元力に基づく付勢力によりガラス基板１００側に押え付けられる。 （もっと読む）

【課題】容器本体の変形を低減し、容器本体内の基板と容器本体との擦れを抑制してパーティクルの発生を防止すると共に、基板を位置精度良く保持することが可能な基板収納容器及びそのハンドルを提供する。
【解決手段】基板収納容器１のハンドル１０を、容器本体２の側壁２１の互いに対向する周縁部分２１ａ，２１ｂに取り付け可能な構成とする。容器本体２の側壁２１の周縁部分２１ａ，２１ｂは、側壁２１面より剛性が高く変形し辛いので、側壁２１の周縁部分２１ａ，２１ｂにハンドル１０を固定可能な構成とすることで、ハンドル１０を容器本体２に固定して使用した際に、従前に比して容器本体２の変形が低減される。これにより、容器本体２と容器本体２内の基板との擦れを防止して、パーティクルの発生を抑制する。また、容器本体２の変形が低減され、容器本体２内の基板の位置精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供すること。
【解決手段】ケース本体１と、蓋体２と、解除自在なロック部材３（３Ａ）と、ロック部材３（３Ａ）が解除状態にされた時に蓋体２をケース本体１から押し上げるようにケース本体１と蓋体２との間に配置されたケース開放ばね１５と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 保管時の嵩容積を低減したり、保管コストを削減することができ、環境保護の要請を満たし、しかも、製造コストの削減、使用後の分解やリサイクルが容易な緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】 基板収納容器を挟持して衝撃を和らげる上下一対のトレー１０を備え、各トレーを少なくとも複数種の生分解性樹脂を含む成形材料により成形し、複数種の生分解性樹脂中、少なくとも２５重量部以上をバイオマス樹脂とする。スタッキング可能な薄いトレー１０を複数使用するので、保管時の嵩容積を低減し、保管コストを削減することができる。また、発泡スチロール等からなる緩衝体を省略するので、廃棄する場合にも有害な燃焼ガスが発生せず、環境保護の要請を満たすこともできる。 （もっと読む）

【課題】 導電性、透明性、力学的特性に優れ、溶融成形加工を容易に且つ円滑に行うことができ、しかも環境汚染や炭酸ガスの発生による地球温暖化を防ぐことのできる導電性ポリマー組成物およびそれよりなる成形体の提供。
【解決手段】 ポリ乳酸（Ａ）およびπ電子共役ポリマー（Ｂ）を含有するポリ乳酸組成物、またはポリ乳酸（Ａ）、π電子共役ポリマー（Ｂ）およびブロックコポリマー（Ｃ）を含有し、ブロックコポリマー（Ｃ）を構成する複数のポリマーブロックのうちの少なくとも１つのポリマーブロックの溶解度パラメータとπ電子共役ポリマー（Ｂ）の溶解度パラメータの差の絶対値が２．５未満である導電性ポリ乳酸組成物、並びにそれらのポリ乳酸組成物よりなる成形体。 （もっと読む）

【課題】
トレーの収納用ポケットに収納しようとする半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じている場合や、既に収納用ポケットに収納している半導体集積回路に水平方向の回転ずれが生じた場合でも、この回転ずれを許容範囲内に補正できる半導体集積回路用トレーを提供できるようにした。
【解決手段】
トレー１における仕切り枠２の各ポケット３内に面した少なくとも一つの枠面に、同仕切り枠２に設けている呼込みガイド７の支持段部４上面に対する傾斜角度よりも小なる傾斜角度を備える補正ガイド８を、仕切り枠２の中央部乃至中央部近傍に、かつ仕切り枠２の基部から上方に向けて形成する。 （もっと読む）

【課題】例え基板が薄い場合でも効果的に保護でき、しかも、焼却施設の寿命を縮めてしまうおそれを抑制できる緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】有底円筒形の容器本体１１の開口上部に蓋体１４を嵌合した収納容器１０を可撓性の一対のトレー２０に挟持させ、各トレー２０を、収納容器１０の容器本体１１あるいは蓋体１４に嵌合する断面略Ｕ字形の嵌合被覆部２１と、嵌合被覆部２１の周壁に形成されて外方向に伸びるフランジ部２７とから形成する。嵌合被覆部２１の底部周縁２３を、容器本体１１の底部周縁あるいは蓋体１４の周縁部に接触させ、嵌合被覆部２１の底部周縁２３以外の部分２５を凹み形成して容器本体１１の底部あるいは蓋体１４に隙間をおいて対向させるとともに、嵌合被覆部２１の底部周縁２３以外の部分２５に中空の衝撃吸収突部２６を形成し、フランジ部２７の一部分を嵌合被覆部２１の内外方向に曲げてベローズ２９を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供せんとするものであり、加えて、該固定具の装着のための貫通孔があっても発塵の可能性を最大限に抑制せしめることを目的とする。
【解決手段】 ペリクル２を収納するための、少なくとも蓋４と、該ペリクル２を載置するペリクル載置台３とから構成されるペリクル収納容器１において、ペリクル載置台３のペリクル載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、かつ、該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂにワッシャー９を介して挿入された固定具８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体ウエハどうしの間の間隔を大きく離すことなく効率よく安全に収納することができると同時に、半導体ウエハの出し入れを良好に行うことができる半導体ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ保持ユニット２０には、半導体ウエハＷの外周の下端エッジ縁部分のみに当接するウエハ載置枠２１と、ウエハ載置枠２１に対し上下方向に相対的に可動に配置され、半導体ウエハＷの外周の上端エッジ縁部分のみに当接するウエハ固定枠２２と、ウエハ固定枠２２がウエハ載置枠２１に対し上方に退避した状態の時に上方に移動することにより、半導体ウエハＷをウエハ載置枠２１から上方に離脱した位置に押し上げてその状態を保持するウエハリフト部材２３とを備えた単一ウエハ保持部（２１〜２３）が、複数上下に重ね合わせられた状態に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 蓋体の狭いスペースに施錠機構を設けることができ、しかも、蓋体用の開閉機構の複雑化防止を図ることのできる基板収納容器用蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハを整列収納する正面視略横長の容器本体と、容器本体の開口した正面を開閉する正面視略横長の蓋体３０とを備え、蓋体３０に、容器本体の正面に嵌合された際に施錠する施錠機構４０を内蔵する。そして、施錠機構４０を、蓋体３０に支持され、容器本体の正面に蓋体３０が嵌合された場合に容器本体の正面内周部両側に対向する一対の進退動係止体４１と、容器本体の正面に蓋体３０が嵌合された場合に容器本体の正面内周部両側に進退動係止体４１を進出させてその先端部を干渉接触させる一対のコイルバネ４７とから構成する。横長の蓋体３０に小型の施錠機構４０を横にして配置するので、狭い内蔵スペースに施錠機構４０を適切に取付けることができる。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの基準となるインデックスバーの変形が少なく、側壁に設けられる収納溝の変形も低減でき、装置に対する位置決め精度が向上し、薄板の載置位置のばらつきを少なくして、薄板を精度良く取り出しや挿入ができるカセットを提供することを課題とする。
【解決手段】 相対向する側壁内面に薄板を収納する収納溝を有し、前記相対する側壁の一方を連結する端壁と、前記側壁の他方を連結するＨ形状の端壁とを有するカセットであって、Ｈ形状の端壁の中央部に設けられる半円状の突起バーの半円状の円周の一部が長手方向に延びるように形成された楔状の空洞部によって分割されているカセットである。空洞部が、外周面が半円状に形成されたリブによって仕切られるようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】 容器本体を成形する金型の構成の簡素化を図ることのできるティース体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 二枚の半導体ウェーハを収納可能な大きさを有するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１に内蔵されて半導体ウェーハを整列させて支持するティース体２０と、容器本体１の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体１と蓋体との間に介在されて気密機能を発揮するエンドレスのガスケットとを備える。そして、ティース体２０を、容器本体１の両側壁内面にそれぞれ嵌合されて半導体ウェーハの裏面周縁部を支持する複数対のティース２１と、複数対のティース２１の後部を連結して容器本体１の内底面に嵌合される連結片２３とから一体形成する。容器本体１にティース体２０を後から組み付けるので、容器本体１を成形する金型の型開きが困難化したり、コア型を分割式にする必要がない。 （もっと読む）

【課題】被収納物品を効果的に保護したり、省スペース化や輸送コストの削減を図ることができ、しかも、処分施設の寿命を縮めてしまうおそれを抑制できる緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納した有底円筒部を蓋体７で閉鎖した収納容器１を、可撓性を有する一対のトレー１０により挟持保護する緩衝体であって、各トレー１０を、収納容器１に嵌合されて被覆する嵌合被覆部１１と、嵌合被覆部１１に形成されて外方向に伸びるフランジ部１７とから形成する。各トレー１０の嵌合被覆部１１を断面略Ｕ字形に形成してその底を凹凸１２に形成し、嵌合被覆部１の底に、収納容器１の面方向における半導体ウェーハ収納領域よりも外側の領域を保持する複数の保持突部１６を複数形成し、フランジ部１７の一部分を折曲してベローズ１９を形成する。 （もっと読む）

【課題】スペーサシートとガラス板等との接触面間に可及的に摺動が生じないようにして、ガラス板等の面に傷が付くことによる品位低下を防止すると共に、スペーサシートの予め決められた位置にガラス板等を極めて容易に配置できるようにして、作業能率の向上を図る。
【解決手段】複数枚の板状物４を梱包するに際して隣り合う板状物４の相互間に介在されて該板状物４の面に接触し且つ該板状物４の周縁部４ａから外周側に食み出すスペーサシート３に、板状物４の周縁部４ａの外周側方向への移動を規制する規制部３ａｘを形成する。 （もっと読む）