【課題】既存の設備を利用してフープ内を清浄化し、ウエハの汚染を防止して歩留まり率を向上させることができる基板収納方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０は、ウエハＷにＲＩＥ処理を施すプロセスシップ１１と、ウエハＷを収納するフープ１４ａ〜１４ｃと、プロセスシップ１１とフープ１４ａ〜１４ｃとを連結するローダーモジュール１３及びローダーモジュール１３内に設けられた搬送アーム機構１９と、ローダーモジュール１３内にダウンフローを形成して異物を底部から排出するＦＦＵ３４と、ローダーモジュール１３とフープ１４ａ〜１４ｃとの連結部に設けられた開閉扉とを有する。基板処理システム１０のフープ１４ｂにウエハＷを収納する際、搬送アーム機構１９によってウエハＷをフープ１４ｂ内に搬入し、その後、所定の遅延時間が経過するまで開閉扉を開放状態のまま保持する。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する方法を提供する。
【解決手段】ポッドに対して蓋を取り付ける際にドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、更に蓋をポッドに係止させた後に再度ドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、何れの判定においてもドアが所定位置に存在し且つポッドが変位しないことが確認された場合に、蓋の固定が適切であると判定する。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ用Ｎ２パージシステムに関するもので、ＦＯＵＰ内をＮ２ガスに置換するときに、外部の塵またはケミカルガスの浸入を抑え、Ｎ２ガスに対する安全性を高めるとともに、Ｎ２ガスへの置換時間を短縮する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１内へＮ２ガス２１を圧入し、もう一方のブレスフィルター部４よりＦＯＵＰ１内の残留ガス２５を強制的に吸引する方法で、ＦＯＵＰ１内部が外気に対して常に陽圧の状態に維持され、ＦＯＵＰ１のＮ２ガス置換中に外部からの塵およびケミカルガスのＦＯＵＰ１内への浸入を防ぐ。さらに、Ｎ２ガス置換中にＦＯＵＰ１内の圧力の上昇が一定に保たれ、隙間から漏洩するＮ２ガス流量も極少量に一定に保たれるため、Ｎ２ガス２１の供給量を増加させて、ＦＯＵＰ１内のＮ２ガス置換時間の短縮を図る。 （もっと読む）

【課題】容器本体の開口部を蓋体により閉じる際の押し付け力を低減したり、蓋体の変形を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれやガタツキを防ぐことのできる基板収納容器及びその蓋体取り付け方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体１の開口した正面部３を蓋体１０により開閉する収納容器であり、蓋体１０に支持されて容器本体１の半導体ウェーハＷに対して進退動可能なフロントリテーナ３０と、蓋体１０に内蔵され、外部からの操作に基づき駆動してフロントリテーナ３０を後退位置から半導体ウェーハＷ方向の進出位置に進出させ、このフロントリテーナ３０に半導体ウェーハＷの前部周縁を保持させる駆動機構４０とを備える。容器本体１の正面部３に蓋体１０を嵌合する際、半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０が接触しないので、嵌合時の蓋体１０に半導体ウェーハＷの反発力が作用することがない。 （もっと読む）

【課題】小さな容積で耐衝撃性の高い半導体収納容器用梱包箱を提供すること。
【解決手段】半導体収納容器の全方位面に密接して保護する複数の内側発泡緩衝材と、前記半導体収納容器と前記内側発泡緩衝材の全てを完全に囲繞して収納する段ボール箱と、前記内側緩衝材と前記段ボール箱の内面との間であって全方位面に密着して配置されている複数の粘弾性固体緩衝材とからなり、当該粘弾性固体緩衝材は、前記内側緩衝材と前記段ボール箱の内面とを非接触で完全に離間させるように配されており、前記粘弾性固体緩衝材は前記段ボール箱の内面または前記内側発泡緩衝材の表面に粘着剤で固着されている。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】複数枚の丸く薄い半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２の下方を縦に支持する第一の支持ブロック１６を設け、容器本体１０の背面壁２４内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２の上部後方を縦に支持する第二の支持ブロック２３を設ける。容器本体１０内に半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハが撓むことなく支持できるとともに、当該半導体ウエハを外部から遮蔽した状態で収納することのできる半導体ウエハ収納キャリアを提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷを支持する支持体１２と、この支持体１２を介して半導体ウエハＷを収納するキャリア本体１１とにより半導体ウエハ収納キャリア１０が構成されている。キャリア本体１１は、開口部１８が形成されているとともに、側壁１４の内面に左右一対の受け部２０が形成されている。支持体１２は、半導体ウエハＷを支持する支持部２５と、この支持部２５の一端側に連なる遮蔽部２６とを備え、支持部２５が受け部２０上を摺動することでキャリア本体１１に対して出し入れされる。 （もっと読む）

【課題】 ガスケットが挿入された嵌合溝に入り込んだ洗浄水を効率よく排水および乾燥可能であり、洗浄水の残留に起因した基板の汚染を防止する。
【解決手段】 一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に狭持されてシールを形成するガスケットとを有する精密基板収納容器であって、前記容器本体又は前記蓋体には、前記ガスケットが挿入される嵌合溝が形成され、前記ガスケットは、エンドレス状をした基部と、基部から伸びるシール部とを有し、前記基部には、前記嵌合溝に挿入される嵌合部が形成されていて、前記嵌合部と前記嵌合溝の何れかに、連通溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コンテナ部材内の汚染防止、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化、ドア部材の薄型化を図る。
【解決手段】ドア部材２をコンテナ部材１に係合する係合手段３を、ドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段３を、シャフト部材４と、シャフト部材４をコンテナ部材１側に軸支する支持部５と、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂとを有する構成とし、シャフト部材４の軸線方向の移動に連動しシャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する係合位置と解除位置とを移動する構成とし、このように係合手段３をドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段をドア部材に内蔵する構成としないことで、ドア部材２内に汚染物が溜まるのを無くし且つドア部材２を分解しないで係合手段３の点検、補修、洗浄を行い且つドア部材２内に係合手段を収容する空間を不要とする。 （もっと読む）

【課題】基板収容容器を、確実に精度良く、載置台上に載置可能な基板収容容器およびその位置決め構造を提供するものである。
【解決手段】本発明に係る基板収容容器１０は、載置台２００上に水平に載置、位置決めされ、その内部に基板Ｗが収容され、基板収容容器１０の、載置台２００の載置面２０１に載置される載置部１５に、先端が載置面２０１と平行な平坦面３１１に形成された突起部３１を少なくとも３つ設けると共に、漏斗状の凹部３２を少なくとも２つ設け、各突起部３１の平坦面３１１を載置面２０１に当接させ、平面同士を面接触させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】密閉容器への装着が容易で、しかも、密閉容器への装着が仮に多少不完全であってもシール性が損なわれることがない密閉容器の蓋部シール構造を提供する。
【解決手段】容器本体と蓋体との間に介装される弾性シール部材１４を備えたものであって、蓋体の閉成時に蓋体の着脱方向で互いに対向しかつ近接する蓋体の外周部１３Ａと容器本体の開口端部１２Ｂとの何れか一方にシール部材１４を嵌入するための嵌合溝１３Ｂが凹設され、嵌合溝１３Ｂに嵌入されるシール部材１４は、嵌合溝１３Ｂに嵌入されかつ嵌入方向前方側が先細り形状を呈した本体部１４Ａと、本体部１４Ａの嵌入方向後方側から延びかつ開口の外周側に湾曲形成される舌片部１４Ｂと、を有して、嵌合溝１３Ｂを構成する一対の対向した溝側壁１３Ｂａ，１３Ｂｂに回動可能かつ摺動可能に保持される回動摺接部１４Ａａが本体部１４Ａの嵌入方向後方部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】物品の汚染を抑制し、容器本体や蓋体に関する水分放出量を低減し、しかも、十分な機械的強度を確保できる収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体２０とを備え、容器本体１を樹脂混合物含有の成形材料により射出成形する。成形材料の樹脂混合物を、溶融粘度が相対的に高い樹脂と低い樹脂とを混合することにより調製し、溶融粘度が相対的に低い樹脂を低吸水率及び低透湿性の樹脂とし、この溶融粘度が相対的に低い樹脂により、容器本体１の周壁３の内外面を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大型ペリクル用の収納容器において、特に真空成形を用いて製造した容器であっても、洗浄性を損なわずに剛性を向上させることのできる大型ペリクル収納容器及びその製造方法を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 ペリクル１を収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器であって、ペリクル１を収納する樹脂材料からなるトレイ２と、該トレイ２を被覆する樹脂材料からなる蓋３とからなり、該トレイ２または蓋３の少なくとも一方の外面側に、当該外表面の凹凸部をなくすように補強板４を取り付けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持フレームのフレームから保持層が剥がれ落ちるのを抑制し、ウェーハの効率的な収納が期待できるウェーハの輸送容器を提供する。
【解決手段】フレーム２の中空４にテストウェーハＷを保持層５を介し収容した支持フレーム１用の収納容器本体１０と、収納容器本体１０に嵌合されて支持フレーム１を被覆する蓋体２０とを備え、収納容器本体１０を、支持フレーム１のフレーム２と保持層５の周縁部を搭載する搭載板１１と、搭載板１１に形成されて保持層５に空隙を介して対向する中空のすり鉢部１２と、搭載板１１に形成されてフレーム２を囲む複数の規制壁１３とから形成する。また、蓋体２０を、搭載板１１に嵌合される嵌合板２１と、嵌合板２１に形成されてテストウェーハＷに空隙を介して対向する中空の山部２２と、嵌合板２１と山部２２の間に介在されて支持フレーム１と収納容器本体１０の規制壁１３を被覆する被覆カバー２３とから形成する。 （もっと読む）

【課題】密着保持層に保持された物品の取り外しに支障を来たすことが少なく、密着保持層５の損傷を抑制することのできる保持治具を提供する。
【解決手段】支持基板１に凹み形成される区画空間２と、区画空間２に間隔をおいて配列される複数の支持突起４と、区画空間２を被覆して複数の支持突起４に支持される可撓性の密着保持層５と、区画空間２の空気を外部に排気して密着保持層５を凹凸に変形させる排気孔６とを備える。複数の支持突起４の隣接する３本の支持突起４に平面視で正三角形を描かせ、密着保持層５に微小な複数の電子部品１０を着脱自在に保持させる。隣接する支持突起４と支持突起４との距離が常時同等となるので、密着保持層５の伸びが均一化し、密着保持層５に保持された複数の電子部品１０の剥離に支障を来たすことがない。 （もっと読む）

【課題】収納効率に優れ、しかも、搬送時の振動等でウェーハの周縁部等が損傷するおそれを排除することのできる保持治具の搬送容器を提供する。
【解決手段】テストウェーハＷ用の保持治具１を支持する容器本体１０の表面に蓋体２０を着脱自在に嵌合する保持治具１の搬送容器であって、容器本体１０を、断面略溝形の本体部１１と、本体部１１に凹み形成されて周壁上端部に保持治具１の周縁部を支持する中空の錐台部１３と、本体部１１と錐台部１３の周壁端部との間に形成されて保持治具１の周縁部を規制する複数のストッパ部１８とから形成する。また、蓋体２０を、容器本体１０の本体部１１表面に重なる断面略溝形の本体蓋部２１と、この本体蓋部２１に凹み形成されて容器本体１０の錐台部１３とストッパ部１８とを覆う中空の錐台ドーム部２３とから形成する。 （もっと読む）

【課題】低発塵性に優れるウェーハ搬送容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを収容する箱形の容器本体１１と、半導体ウェーハを間隔をおいて保持するラック１２と、上記容器本体１１に形成された開口部１１ａに着脱自在に装着可能な蓋体１３とを備える。容器本体１１を処理装置の搬送台に載置したときに載置台のガイドピンに当接して容器本体１１を位置決めするスライダ２０を、上記容器本体１１の底面１１ｄに備える。このスライダ２０は、上記容器本体１１とは別体でＰＴＦＥまたはＰＢＴで構成した。 （もっと読む）

【課題】容器本体及び蓋体に対する芯出し手段の取り付け作業を削減するとともに、洗浄水などの液体を芯出し手段に残留し難くする。
【解決手段】開口部３を有して精密基板Ｗを収納する容器本体２と、この開口部３に嵌め合わされる嵌合ケース２１を有して開口部３を閉鎖する蓋体４と、容器本体２と蓋体４との芯出しを行う芯出し手段とを有する。この芯出し手段は、開口部３の各コーナー部において、開口部３から露出するように開口部３と一体的に形成される複数の接触部材１２と、嵌合ケース２１の各接触部材１２に対応する位置に形成される複数の突起部２５とにより構成される。そして、突起部２５と接触部材１２とは、異なる材質により形成されている。 （もっと読む）