【課題】容器本体と蓋体との間を適切にシールし、気体等が容器本体内に侵入して基板を汚染させるのを抑制することができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】成形材料により成形されて基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の正面の開口正面部７に嵌め入れられる蓋体と、これら容器本体１の開口正面部７と蓋体との間をシールする圧縮変形可能なガスケットとを備えた基板収納容器であり、容器本体１の開口正面部７をその幅方向外側に張り出させてリム部とするとともに、このリム部の内面をガスケット用のシール面に形成し、容器本体１には、リム部方向に指向する補強リブ４・４Ａを形成し、容器本体１のリム部に対する補強リブ４・４Ａの対向近接部４ａの肉厚を減少させて容器本体１の成形時にリム部のシール面に凹みが生じるのを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 蓋体を取り除くときの抵抗が大きくなってしまうことを避ける基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し、基板を収納可能な容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、蓋体に備えられるシール用のガスケットとを有する基板収納容器であって、容器本体に蓋体を取り付けて固定し、初期状態の蓋体の取り外し力をＦ０とし、７２時間経過後の蓋体の取り外し力をＦ１とするときに、Ｆ０が２０Ｎより小さく、かつ、（Ｆ１−Ｆ０）／Ｆ０の値が２．０以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ収納および取り出し性能を損なうことなく、輸送中のウェハ把持能力を上げることで、輸送中の振動から発生する異物によるウェハの汚染を抑制をできるウェハボックスを提供する。
【解決手段】複数の半導体ウェハ１２を間隔を隔てて保持するスリット溝１７が両側面に複数形成されたウェハカセット１３と、半導体ウェハ１２を保持したウェハカセット１３を収納するケース１４とからなるウェハボックス１１において、両側面の間隔を半導体ウェハ１２の外径より狭く形成して、スリット溝１７から半導体ウェハ１２の径方向両端１８を突出させて保持するウェハカセット１３と、両側面とケース１４との間に挿入されると共に、エアＧが注入されて膨張し半導体ウェハ１２の径方向両端１８をウェハカセット１３と共に把持する一対のエアバッグ１９とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送や輸送の際に薄い半導体ウェーハが損傷したり、破損するおそれを有効に排除することのできる基板用保持具を提供する。
【解決手段】保持リングの可撓性を有する粘着層５にバックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持させる基板用保持具１であり、保持リングを第一、第二の保持リング２・２Ａとし、この第一、第二の保持リング２・２Ａを上下二段に積層してその近接して相対向する一対の粘着層５の間に薄い半導体ウェーハＷを挟持させ、第一の保持リング２の粘着層５と第二の保持リング２Ａの粘着層５のいずれか一方を強粘着層６とするとともに、他方を弱粘着層７とする。強粘着層６と弱粘着層７が薄い半導体ウェーハＷを全面に亘って挟持し、しかも、上下方向に撓んで搬送時等の振動や衝撃を吸収したり、減衰するので、薄い半導体ウェーハＷを十分に保護することができる。 （もっと読む）

【課題】膜の品質を低下させることなく、ウエハを保持しつつ、非接触搬送装置を用いて好適に搬送できるウエハホルダを提供する。
【解決手段】ウエハホルダ１Ａは、ウエハＷを保持し、主面５には、凹状のポケット部１０Ａが形成され、ポケット部１０Ａは、ウエハＷが載置される底部２０と、主面５及び底部２０に連なる側壁部３０とによって構成され、主面５から底部２０までの深さＤは、ウエハ厚みＨの５０％よりも深く、側壁部３０は、主面５に連なる側壁上部３２と、側壁上部３２及び底部２０に連なる側壁下部３４とを有し、底部２０の中心Ｏを通り主面５に垂直な断面において、側壁上部３２と側壁下部３４との接点である側壁接点Ｋは、底部２０からウエハ厚みＨの５０％より高く、底部２０と反対側のウエハ表面２００より低い範囲にあり、前記断面において、主面接点Ｐが側壁接点Ｋよりも中心軸Ｃから離れるように、側壁上部３２は、傾斜する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できるように構成した基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器である。容器本体の第１外壁面とこの第１外壁面と隣接する第２外壁面との稜線部に、識別プレートが第１外壁面側および第２外壁面側に延在された幅を有して取り付けられている。識別プレートは着色されている。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対して搬送部材を新規な取り付け構造によって固定することにより、容器本体の変形を防ぎ、たとえばシール性の確保等が図れた信頼性のある基板収納容器を得る。
【解決手段】基板収納容器は、開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の天面、開口から観た左右のそれぞれの側壁面、および底面のうち隣接する複数の面に対向して取り付けられる取り付け枠体と、前記取り付け枠に取り付けられた搬送部材と、を備えて構成される。これにより、搬送部材は取り付け枠体を介在させて間接的に容器本体に取り付けられる。また、前記取り付け枠体は、前記容器本体よりも剛性の高い材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 落下や振動での極限的な条件下においても、中央部に配設した基板も適切に保持され得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】 容器本体の左右の側壁の内側には、基板を一定間隔で水平に支持する相対向する１対の支持部材が備えられ、支持部材の奥側には、基板の挿入限界を規制する位置規制部が備えられ、この位置規制部の外側の側壁には、補強用リブが形成されていることを特徴とする。
前記補強用リブが、側壁から外側に突出する格子状のリブ、側壁の上部から底部にかけて外側に突出する細長のリブ、また、側壁にハニカム状に形成されるリブであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】薄く撓む基板も安全に支持でき、基板に衝撃等が伝播するのを防ぎ、製造の安定化やコストを削減できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハの容器本体１と、容器本体１に装着される半導体ウェーハ用の支持体５０とを備え、容器本体１の天板８と底板３に取付突起４を形成し、容器本体１の背面壁１２側部を湾曲突部１３に形成してその表面には嵌合突起を形成する。支持体５０を、容器本体１の側壁２２内面前方に対向する前部支柱５１と、湾曲突部１３に対向する後部支柱５４と、前部支柱５１と後部支柱５４間に位置する中間支柱と、これらに架設される半導体ウェーハ用の支持片６２とから構成し、前部支柱５１に、取付突起４に干渉する位置決め干渉片５２を形成し、後部支柱５４に、嵌合突起に嵌まる位置決め嵌合溝を形成し、複数の支持片６２間に空隙６３を区画し、かつ各支持片６２を前部支持片６４と後部支持片６５に分割する。 （もっと読む）

【課題】汚染物がドア体内に蓄積したり、コンテナ体内に侵入するのを抑制し、ドア体に要する作業の迅速化を図ることができ、しかも、経済性の向上が期待できる収納容器を提供する。
【解決手段】基板を収納するコンテナ体１と、コンテナ体１の開口した正面２を開閉するドア体３０とを備え、コンテナ体１の両側壁８前部に、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０を施錠する施錠手段４０を配設する。施錠手段４０を、ドア体３０の施錠時に下方向にスライドし、ドア体３０の解錠時に上方向にスライドする被操作プレート４１と、被操作プレート４１の下方向へのスライド時にドア体３０の周壁に圧接し、被操作プレート４１の上方向へのスライド時にドア体３０の周壁から離隔する施錠プレート４６と、被操作プレート４１と施錠プレート４６に形成され、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６に伝達するカム機構４８とから構成する。 （もっと読む）

【課題】例え基板が大型の場合でも安全に支持したり、基板にフロントリテーナの保持溝を適切に嵌め入れることができ、反力で蓋体が変形するおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体１と、容器本体１の正面２を開閉する蓋体１０とを備え、蓋体１０の半導体ウェーハＷに対向する対向裏面１２に、半導体ウェーハＷを保持するフロントリテーナ３０を装着する。フロントリテーナ３０を、対向裏面１２の両側部に装着される一対の支柱３１と、各支柱３１から対向裏面１２の中央部方向に伸長する第一の弾性片３４と、第一の弾性片３４の先端部に連結されて蓋体１０に固定される一対の分割支柱４４と、一対の分割支柱４４間に架設される第二の弾性片４６とから構成し、第一、第二の弾性片３４・４６に、半導体ウェーハＷの前部周縁を保持溝４０・４０Ａで保持する第一、第二の保持ブロック３９・３９Ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】 落下衝撃等によっても外れない施錠機構を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し、収納する基板を支持する棚状支持部を備えた容器本体と、容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、基板収納容器には容器本体と蓋体とを係合させるための施錠機構が備えられていて、該施錠機構は、外部から操作可能な被操作部と、被操作部の動きに連動して、係合凹部に嵌入される係止部材を備えたラッチバーとを有し、係合凹部には、つば部を備えた第一の嵌合部が形成され、係止部材には、第二の嵌合部が形成されていて、第一の嵌合部と第二の嵌合部とが嵌合することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の搬送システムにおいて、予め装置に前室を設けた上で容器から、被搬送物を前室を通じることで装置区域に被搬送物を搬送していた。そのため、容器と前室との接続が複雑な機構によってなされていた。
【解決手段】搬送容器内の被搬送物を装置内に搬送するにあたり、搬送容器と装置を密着させることにより初めて前室に相当する連結室を形成するようにし、搬送容器、搬送容器扉、装置扉間の磁気引力により、その連結室ごと装置内に被搬送物を搬送するようにして搬送容器と装置の構造を簡略化し、かつ確実に被搬送物を装置内に搬送するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の支持部との接触部を少なくできると共に、基板の撓みを小さくできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を通して基板を収納する容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、蓋体に設けられるフロントリテーナとを備え、前記容器本体の開口側から観た場合の左右内壁面に一対の支持部が対向配置されている基板収納容器である。前記一対の支持部は、それぞれ前記容器本体の前記開口側と奥側において、収納された前記基板の周辺と当接する接触部分を有し、平面的に観て前記基板の収納方向に対する、前記一対の支持部の開口側の前記接触部分と収納された前記基板の中心を結ぶ線の角度をθ１とした場合、次式（１）の関係を有する。
７０°≧θ１＞θ０＋１０° …… （１）
ここで、前記θ０は、前記θ１を小さくなる方向に変化させた際に、前記基板の開口側の周縁が重力の方向への撓みから前記方向と反対側に撓み始める角度とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にも拘わらず、作業員が容易に持ち上げることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】搬送手段によって搬送可能な基板収納容器である。基板収納容器は、正面に形成された開口を通して基板を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の外周面の一部に前記搬送手段に把持される把持部とを備えて構成される。前記把持部には作業員が指を挿入できる指係止部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】大型の太陽電池パネルであっても効果的に、かつ、低コストで梱包できる梱包構造を提供する。
【解決手段】一対の太陽電池パネル体２を端子箱９が対向するように積層梱包した梱包構造１であって、矩形状をし、太陽電池パネル体２が載置される底面部と、底面部の四辺にそれぞれ外側に向かって突出するように設けられた矩形状の短辺折曲部２７および長辺折曲部２９とを有する外側段ボール１７と、一対の太陽電池パネル体２の間に介装される略矩形状をした仕切板１９と、積層された太陽電池パネル体２の上部にアルミフレーム枠１５よりも小さな範囲を覆うように載置される気泡緩衝材２１と、を有し、短辺折曲部２７および長辺折曲部２９は、一対の太陽電池パネル体２の側面および上面の周縁部を覆うように折り曲げられ、四隅に短辺折曲部２７および長辺折曲部２９が重なった重複部が形成され、各重複部の間がバンド２３によって締結されてなる。 （もっと読む）

【課題】ウェハーを横方向で収容した状態で確実に保持できるウェハーキャリヤを提供する。
【解決手段】容器とドアとを有するウェハー容器はウェハーの横方向の最小接触での支持を与え、また、前縁支持と後縁支持との間の一つの面的な支持を伴うことなく縦方向の支持を与える。ウェハーキャリヤは各ウェハーに対して互いに軸方向にずれた２つの異なる支持レベルを有している。第１の支持レベルは各ウェハーの左側及び右側において底面と接触するウェハー棚によって得られる。第２の支持レベルはウェハーを左側及び右側の縁部における一つの面的な支持を伴うことなく前縁及び後縁においてウェハーを保持するクッションによって与えられる。 （もっと読む）

【課題】ボトムプレートをシェルに取り付けたとき、あるいは、ボトムプレートをシェルから取り外したときに、確実な稼働を達成でき、途中で止まることのないリテーナ機構を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】ボトムプレートと、ボトムプレートに載置され基板を並設配置させるカセットと、カセットを被ってボトムプレートに係合されるシェルと、シェルの内壁に取り付けられるリテーナ機構とを備えて構成される。リテーナ機構は、互いに傾斜面で当接して配置されたスライドパーツとリテーナとを備えて構成される。スライドパーツがボトムプレートから離れる方向へ移動でき、この際に、リテーナは前記傾斜面から力を受けカセットに近接する方向へ移動できるように構成されている。リテーナには、カセットに配置された各基板に接触し各基板を保持する基板保持部を備える。 （もっと読む）

【課題】厚さの異なる複数枚の基板を保持することができ、作業の煩雑化や複雑化、部品点数の増大を防ぐことのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】厚さの異なる第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２を上下に並べて水平に収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面２を開閉する蓋体２０とを備え、蓋体２０の第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２に対向する裏面に、厚さの異なる第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２を保持可能なフロントリテーナ４０を装着する。フロントリテーナ４０を、第一、第二の半導体ウェーハＷ１・Ｗ２に対向するリテーナ本体４１と、リテーナ本体４１に設けられて第一の半導体ウェーハＷ１の前部周縁を保持溝で保持する第一の弾性保持片４６と、リテーナ本体４１に設けられて第二の半導体ウェーハＷ２の前部周縁を保持溝で保持する第二の弾性保持片５０とから構成する。 （もっと読む）

【課題】曲げ剛性が高めることができる構造でありながら、軽量化を図ることができるとともにコストを低減することができるビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセットを提供する。
【解決手段】荷重を受けるビーム材Ｂ（ガラス基板支持ビーム１）を、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の一対の外側板材２，２、これら外側板材２，２の間に挿入されて長手方向に延び、平面視において蛇行する断面縦長の内側板材３，３、並びに、外側板材２，２と内側板材３，３とを連結固定する連結固定手段４により構成した。 （もっと読む）