【課題】軽量かつ高い曲げ剛性を備えた繊維強化樹脂製サポートバーを早いサイクルで安価に製造する基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーの製造方法を提供することである。
【解決手段】断面角形状の長尺状の芯材２に繊維強化樹脂製のプリプレグ３を複数層巻きつけて内筒体４を形成する内筒体形成工程と、前記内筒体４の側面に、該内筒体４の軸方向に沿って、繊維強化樹脂製のプリプレグ３からなる補強層５を積層して予備成形体６を形成する積層工程と、前記予備成形体６の外層にラッピングテープ７を巻きつけるラッピング工程と、前記ラッピングされた予備成形体６を加熱する加熱硬化工程と、により、基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーを製造する。 （もっと読む）

【課題】各種の電子素子を収納して実用可能な形態とする容器であって、特に、経済的で、過酷な温度変化に対応することができる容器を提供する。
【解決手段】容器１０の一部が誘電体材料で構成され、容器１０内において電子素子３０に接続される内部電極２１と、容器１０外で回路に接続される外部電極２２とが、誘電体材料を介して電気的に接続されている。電子素子３０の収納空間を形成する枠体部１３と、枠体部１３の表裏を閉塞する表面板１１及び裏面板１２により構成される。裏面板１２が誘電体材料で構成され、内部電極２１及び前記外部電極２２が、裏面板１２の内外に対向して設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数種類の部品の収容が可能であると共に、部品の収容保持性に優れ、部品の収容密度を高めることが可能な、部品トレーを供給し、当該部品トレーにより、部品トレーの共通化を図る。
【解決手段】１本の棒状部材からなる部品、または、複数本の棒状部材を略平行に所定間隔で連結部材によって連結一体化した部品、部品１ｃを収容する部品トレー２において、部品トレーに収容凹部を設け、収容凹部を、棒状部材１１が収容される棒状凹部２１、２１が前記所定間隔で平行に連設されると共に、連設される棒状凹部の間が、前記連結部材を収容可能に形成された連結凹部２２，２２により連絡するようにされて、連設された棒状凹部と連結凹部とにより串ざし形状の収容凹部となるようにする。 （もっと読む）

【課題】露光機内のマスクステージにマスクを装着した状態で、ペリクル上の透明性異物の検査を行うことができるペリクル及び露光装置を提供する。
【解決手段】ペリクル５０のペリクルフレーム５２に、ペリクル膜５１の表面上を伝搬する弾性表面波を発生させる弾性表面波素子２０Ａと、弾性表面波を受信する弾性表面波素子２０Ｂとを設け、当該弾性表面波によってペリクル膜５１上の異物の有無を検出する。このとき、ペリクル５０を装着したフォトマスク１を、露光機１００のマスクステージ１０３に載置した状態で異物検査を行う。また、弾性表面波素子２０Ａ，２０Ｂをペリクルフレーム５２に複数組設ければ、ペリクル膜５１上の異物の位置を特定できる。 （もっと読む）

【課題】耐発塵性、耐熱性、非帯電性、フラット製などを改善し、半導体の搬送に適したトレーを、安価に提供すること。
【解決手段】 半導体デバイスを含む面実装電子部品をその製造工程または検査工程に搬送するために使用される面実装電子部品の搬送用トレーであって、導電性および〔１００〕℃以上の耐熱性の少なくとも何れかの特性を具備する材料からなるプレート部と、当該プレート部の少なくとも一方の面上にリブ状に設けられ、各面実装電子部品を収容する複数の空間を区画する樹脂製の仕切り部とからなり、当該プレート部と仕切り部とが一体化されている面実装電子部品の搬送用トレーとする。 （もっと読む）

【課題】枠体の製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制する。
【解決手段】略矩形状に形成されて大型ペリクル膜３を展張支持する大型ペリクル用枠体２を構成する長辺２ａ，２ｂの一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部１０ａ，１０ｂを形成する。このように、長辺２ａ，２ｂの一部を屈曲させるという簡易な方法により屈曲部１０ａ，１０ｂを形成できるとともに、展張した大型ペリクル膜３の張力により大型ペリクル用枠体２の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体２の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができるため、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱テスト後の枠体の撓み量が少ない大型ペリクル用枠体を提供する。
【解決手段】平面視矩形状の開口部（４）を備えるペリクル用枠体（２）であって、端部同士が接合されることにより開口部（４）の周縁を形成する複数の部材（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する。接合される一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部には、接合される他方の部材（４ｃ、４ｄ）に向けて突出する少なくとも一つの凸部（Ｐ）を設け、他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部には、凸部（Ｐ）を嵌合させる凹部（Ｃ）を設け、凸部（Ｐ）を凹部（Ｃ）に嵌合させることにより一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部を他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部に接合させる。 （もっと読む）

【課題】電子部品等の微小部品を確実に保持することができて、かつ、取り外し作業は簡単に行うことができる粘着式微小部品保持器具を提供すること。
【解決手段】電子部品等の微小部材Ｐを保持可能な器具であって、粘着性および伸縮性を有するゴム基材１１の内部に固形粒体１２を混合してシート状に形成したシート材１と；このシート材１を延伸可能な可動機構とを具備して構成して、前記シート材１が収縮状態の時には、当該シート材１の表面に前記微小部材Ｐを付着保持可能にする一方、前記可動機構によりシート材１が延伸された時には、当該シート材１の厚みが減少されると共に、内封された固形粒体１２がシート表面に隆起することによって、微小部材Ｐとの接触面積が減少して、当該シート材１の表面から剥離容易にするという技術的手段を採用した。 （もっと読む）

【課題】膜の品質を低下させることなく、ウエハを保持しつつ、非接触搬送装置を用いて好適に搬送できるウエハホルダを提供する。
【解決手段】ウエハホルダ１Ａは、ウエハＷを保持し、主面５には、凹状のポケット部１０Ａが形成され、ポケット部１０Ａは、ウエハＷが載置される底部２０と、主面５及び底部２０に連なる側壁部３０とによって構成され、主面５から底部２０までの深さＤは、ウエハ厚みＨの５０％よりも深く、側壁部３０は、主面５に連なる側壁上部３２と、側壁上部３２及び底部２０に連なる側壁下部３４とを有し、底部２０の中心Ｏを通り主面５に垂直な断面において、側壁上部３２と側壁下部３４との接点である側壁接点Ｋは、底部２０からウエハ厚みＨの５０％より高く、底部２０と反対側のウエハ表面２００より低い範囲にあり、前記断面において、主面接点Ｐが側壁接点Ｋよりも中心軸Ｃから離れるように、側壁上部３２は、傾斜する。 （もっと読む）

【課題】
大型のペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板のような大型精密部材を極めて清浄な状態を保ったまま保管、輸送できる大型精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】
本発明は、大型精密部材を収納し、その全体を覆って嵌合するトレイ３とカバーとを備える大型精密部材収納容器１において、トレイ３およびカバーのうち、少なくともトレイ３を鋳造部材とし、当該鋳造部材の少なくとも大型精密部材を収納する空間を形成する面に導電性塗膜４０を形成し、その導電性塗膜４０の表面を、５μｍ以下の算術平均粗さ（Ｒａ）で、かつ２０μｍ以下の十点平均粗さ（Ｒｚ）とする大型精密部材収納容器１に関する。 （もっと読む）

【課題】微小な光学素子を簡便に収納することが可能な光学素子の梱包方法を提供することを目的とする。
【解決手段】向きを揃えて複数の棒状の基材を加工台２０に配列させる。基材の長手方向に交差する切断面に沿って複数の箇所で複数の基材を切断することで、加工台２０に配列させた状態で複数の光学素子１Ａを得る。複数の光学素子１Ａを加工台２０に配列させた状態で、加工台２０ごと複数の光学素子１Ａを梱包箱４０に収納する。 （もっと読む）

【課題】レチクルを保護する保護部材を設けた場合でも、レチクルを搬送して露光装置の取り付ける場合に、適当な位置に取り付け可能なレチクル搬送装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置２９はレチクル１の下面に形成された位置測定用マーク２６の位置を測定し、これによりレチクル１の位置を測定する。位置測定装置３０は、下蓋２ｂの下面に形成された位置測定用マーク２７の位置を測定し、これにより下蓋２ｂの位置を測定する。レチクル１の位置と下蓋２ｂの位置が分かれば、レチクル１と下蓋２ｂの相対的な位置ずれが分かる。よって、搬送装置によりレチクル１を搭載した下蓋２ｂを搬送して露光装置にセットするとき、このずれを勘案して下蓋２ｂの停止位置を決定することにより、レチクル１を正しく露光装置にセットできる。 （もっと読む）

【課題】複合型の非接触ＩＣカードに対しても機能が低下する恐れがなく、製造が容易であり、かつ、デザインを施すことも容易である非接触ＩＣカード通信調整板を提供する。
【解決手段】非接触ＩＣカード通信調整板１は、外部装置４０が発信する電磁波を利用して外部装置４０と非接触で通信することができる非接触ＩＣカード３０に重ね合わせて使用し、外部装置４０と非接触ＩＣカード３０との間の電磁波を遮断ないし減衰させるシールドシート１０と、シールドシート１０に積層され、外部装置４０と非接触ＩＣカード３０との間の電磁波が透過する磁性シート２０とを有し、磁性シート２０は、その周縁の一部からシールドシート１０が露出するように形成さている。 （もっと読む）

【課題】 小型化の進んだ半導体チップがチップ収納トレイの凹部底面に付着するのを防ぎその取り出しを容易にすると共に半導体チップの欠けやキズを防ぐチップ収納トレイを提供する。
【解決手段】 半導体チップ９を取り出し可能に収納し、複数の収納ポケットとして用いられる凹部３を有するトレイ本体１と、収納ポケット３を含めてトレイ本体１表面に形成された離型材から構成された薄膜２とを備えている。離型材薄膜２表面は、エッチングやブラスト処理等により凹凸状にすることもできる。トレイ本体１を高い離型性を有する離型材の溶液に浸し、トレイ本体１を前記溶液から取り出し、取り出したトレイ本体１表面に付着している前記離型材を乾燥して前記トレイ本体１表面に離型材薄膜２を形成する。 （もっと読む）

【課題】より効果的にがたつきや破損を防ぐことができる半導体チップトレイを提供することを目的とする。
【解決手段】半導体チップ４を収納するための収納ポケット３１を備えたチップトレイ３と、該チップトレイ３に取り付けられて固定される上蓋２と、を有する半導体チップトレイ１であって、前記上蓋２は、前記半導体チップ４を支持するための変形可能な梁構造のチップ支持部（支持部）２１を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アンプル容器の開封性を阻害することなく、アンプル容器に充填された液剤が飛び出して手などに付着することを確実に防止することが可能なアンプル容器包装体を提供することである。
【解決手段】アンプル容器包装体１０は、容器の枝部１３から胴体部１２に亘って密着して装着される熱収縮性フィルム１５から構成され、胴体部１２の上部に位置する部分に、胴体部１２の周方向に亘って形成された微小孔１９又は凹部を含む容器開封時に枝部１３が押圧されることにより切断される切取り線１７を有し、切取り線１７が切断されることにより、切取り線１７上部の少なくとも一部が分離されてカット部１４を被覆するかさ部１８を形成する。さらに、熱収縮性フィルム１５には、少なくともかさ部１８となる部分の最内層に内容物を吸収する吸収紙１６がラミネートされている。 （もっと読む）

【課題】表面平滑性を損なうことなく小さな収納スペースで保持治具を積み重ねることのできる積重治具を提供すること。
【解決手段】治具本体５１と前記治具本体５１の表面に形成された弾性部材５２とを備えて成る保持治具５０を積み重ねる積重治具１であって、前記治具本体５１の端部下面に接する下部接触面１０と、前記保持治具５０及びこの保持治具５０に積み重ねられて隣接する保持治具５０同士が非接触状態となる緩衝部１１とを備えて成ることを特徴とする積重治具１。 （もっと読む）

【課題】薄いウエハの周縁部を確実に固定し収納する枚葉式ウエハケースを提供する。
【解決手段】下ケースに適合する上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえ、下ケースおよび上ケースから構成されるウエハケースにおいて、上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえによりウエハ周縁部を押さえ、それ以外のウエハ領域にはウエハケースやウエハ押さえは接触しない。上側ウエハ押さえおよび下側ウエハ押さえとウエハとの接触部は、ウエハ上面および下面で同一のウエハ内領域である。ウエハ押さえは弾性構造および／または弾性材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】導電性を有しながら剛性に優れ、しかもソリや流動方向と垂直方向の成形収縮率の差による異方性の少ない平面性を実現し、パーティクルの発生が少ない半導体搬送容器用部品、特にはボトムプレートとして好適な導電性樹脂組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】 （ａ）熱可塑性樹脂５０〜８０重量部、（ｂ）導電性カーボンブラック５〜２５重量部、（ｃ）ガラス強化充填材１５〜２５重量部［ただし、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量部とする］を主成分として配合してなる半導体搬送容器用部品用導電性樹脂組成物及びこれを用いた半導体搬送容器用部品並びに半導体搬送容器である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ペリクル収納後の収納容器全体の重量増加を極力抑制しながら、輸送時のゆれによる振動に対しても、振動を抑制し得るペリクルの収納方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係るペリクルの収納方法は、ペリクル枠体２にペリクル膜３が展張されてなるペリクル１を、少なくともトレイ５と蓋４とからなるペリクル収納容器６に収納する方法であって、前記ペリクル１が、前記トレイ５に少なくとも２箇所以上で固定された固定式ペリクル保持部品Ｂに着脱可能な可動式ペリクル保持部品Ａを介して保持・固定されて収納されることを特徴とする。 （もっと読む）