【課題】保護シートを設けなくても半導体チップへの剥離処理剤の移行を防止することができる半導体チップの梱包構造及び梱包方法を提供する。
【解決手段】上面にワイヤボンドのための上面側電極４１と底面に底面側電極４２を備える半導体チップ４と、粘着シート１と、剥離処理剤２を塗布した離型紙３とを準備し、前記半導体チップ４の底面を粘着シート１に貼り付け、前記離型紙３の剥離処理剤２を塗布した側を前記半導体チップ４の上面に接するように離型紙３を配置し、半導体チップ４を貼り付けない領域では粘着シート１と離型紙３を直接接合させる半導体チップ４の梱包構造であり、前記剥離処理剤２として非シリコーン系の剥離処理剤を塗布した離型紙３を用いる。 （もっと読む）

【課題】搬送容器の蓋体を蓋着脱装置の扉部材に大きな力で押し当てても、搬送容器が浮き上がりを防止することができる搬送容器の蓋着脱装置、搬送容器及び搬送容器の蓋着脱システムを提供する。
【解決手段】搬送容器の蓋着脱装置１００は、搬送容器２００を載置して移動可能なテーブル１５と、搬送容器２００の下面の断面Ｖ字溝２０５ａ〜２０５ｃに設けられ移動方向Ｍとは略直角な固定面２０５ａ−１〜２０５ｃ−１に係合し、テーブル１５に設けられ移動方向Ｍとは略直角な位置決めピン１５ａ〜１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置およびこれを収納するトレイが破損しない技術を提供する。
【解決手段】半導体装置用トレイは、基板型のパッケージ（半導体装置）６を収めるポケット部３を有し、このポケット部３の周縁に基板型のパッケージ６の本体部９の側面１６ａ〜１６ｄに沿うように第１のガイド部材８ａ〜８ｄを形成し、その内壁部（内壁面）１７ａ〜１７ｄの所定域に円弧部１８ａ〜１８ｈを形成する。これにより、トレイを搬送などして基板型のパッケージ６がガタついても、基板型のパッケージ６と第１のガイド部材８ａ〜８ｄとが互いに面で当接して双方に生ずる負荷が分散され、半導体装置用トレイおよび基板型のパッケージ６の破損を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを常に平坦な状態に保って、搬送中の衝撃等や繰り返しの状態変化による半導体ウエハの破損発生を防止することができ、しかも半導体ウエハを取り出す際には半導体ウエハを破損することなく安全かつ容易に取り出すことができるウエハ載置クッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置クッションシートの表面に、半導体ウエハＷを着脱自在に吸着する自己吸着部および半導体ウエハＷを吸着することなく分離した状態を保つ非吸着部を形成し、半導体ウエハの中心部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を大きくし、半導体ウエハの外周部を吸着するウエハ載置クッションシートの自己吸着部の面積密度を小さくする。 （もっと読む）

【課題】フッ素ゴム系のエラストマーシートでありながら、半田リフロー温度においても、被着体である基板および支持ボードに対して十分に高い粘着力を有し、半田リフロー工程において、基板を確実に固定保持するとともに、支持ボードから剥離されることもない基板搬送治具用粘着ゴムシートを提供すること。
【解決手段】支持ボード２０上に固定されて基板搬送治具を構成する粘着ゴムシート１０であって、フッ素ゴム１００質量部と、有機過酸化物０．２〜０．６質量部と、共架橋剤０．５〜１．５質量部とを含有し、ポリマー純度が８５．０質量％以上であるゴム配合物を成形加工して得られる。 （もっと読む）

【課題】より好適に光学部品を収納することができるトレイを提供する。
【解決手段】板状に形成された第１のプレート１と、第１のプレート１と略同一形状に形成された第２のプレート２と、を備えるトレイ１００であって、第１のプレート１と第２のプレート２とは、互いに内面が対向するように重ね合わされ、第１のプレート１及び第２のプレート２に外面側に凸となるように形成され、レンズ２００を収納する複数の第１の保持穴部３及び第２の保持穴部４と、第１のプレート１の外周縁部に形成された複数の掛止部９と、第２のプレート２の外周縁部に形成された複数の被掛止部１０と、を有するように構成した。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ高速に紙を巻装することができ、柱状体への巻装の自動化に好適な紙巻き方法及び取り扱いが容易な紙巻き品を提供する。
【解決手段】紙２に予め巻き癖を付けてからドラム１に巻装することにより、従来よりも簡易かつ高速に紙２を巻くことができ、ドラム１への巻装の自動化に好適な紙巻き方法及び取り扱いが容易な紙巻き品を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】高い帯電防止性および透明性が得られるカバーテープを提供する。また、電子部品の実装に不具合が生じにくい包装体を提供する。
【解決手段】本発明のカバーテープは、基材と、該基材の片面または両面に形成された帯電防止層とを有し、帯電防止層が、π共役系導電性高分子と可溶化高分子とアミン化合物とバインダとを含有する。本発明の包装体は、キャリアテープの電子部品収納部が、上記カバーテープにより封止されている。 （もっと読む）

【課題】内外部を連通する連通部に水分が入り込まない基板収納容器を提供する。
【解決手段】一端に開口部を有し基板を収納する容器本体１と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、容器本体１の内部と外部とを連通する連通部３が少なくとも１ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部３には、フィルタ保持部材５が取り付けられていて、フィルタ保持部材５の向き合う開口部の両端に第一のフィルタ６と第二のフィルタ７が向き合うように配設されていることを特徴とする。フィルタ保持部材には、逆止弁を備えた開閉バルブが内蔵されること、第一のフィルタ６の圧力損失が、フィルタ保持部材の他端部に設けられる第二のフィルタ７の圧力損失以上であること、等がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】部品点数が増加せず、かつウェーハに傷をつけることなく簡易に収納できるウェーハ収納容器およびウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能なウェーハのハンドリング方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハ４４の外周縁より外側にある外周部１４と、外周部１４からウェーハ４４の径方向内側に延出する載置部１２とを備えるウェーハ収納容器１０であって、載置部１２は、ウェーハ４４の径方向内側に向かって延出すると共に、その上面にはウェーハ４４の外周縁とのみ接触できるように径方向内方に向かって斜め下方に傾斜する第１の傾斜面２８を有し、外周部１４の周方向に沿った複数の箇所からは、径方向内方に向かって切り欠かれた切欠部２０が形成されており、ウェーハ収納容器１０を複数重ねた際に、下方のウェーハ収納容器１０に対してその上に重ねられたウェーハ収納容器１０が位置決めされるものとする。 （もっと読む）

【課題】金属ファスナを用いずにパネルを側壁へ固定できる、シール可能なウェハーエンクロージャのためのドアを提供する。
【解決手段】ウェハー用のシール可能なエンクロージャ５６は、ラッチ機構６０を備えたドア３６を有し、ドアはカム部材８０を備えたエンクロージャを有しており、カム部材はポスト１１０の上で回転可能で、一対のラッチ用アーム８２と係合する。ラッチ用アームの移動は、ラッチ用アームのカムフォロワ部分をカム部材に対して軸方向に、また半径方向に移動させるように形成されたカム部材のカム部分によって行われる。ラッチ用アームはエンクロージャの支点の上で旋回する。ラッチ機構はパネルを介してアクセス可能であり、このパネルは、ドアエンクロージャの内部端壁５５の上に設けられた溝１９８と協働するパネル１８０に一体化された戻り止めによって取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】例え基板が大型の場合でも、十分な剛性を確保できる基板保持具を提供する。
【解決手段】可撓性を有する屈曲可能な基材１と、この基材１に配列形成されて液晶ガラス基板１０に対向する複数のバー３と、各バー３の液晶ガラス基板１０に対向する対向面４に積層形成される粘着層５とを備え、液晶ガラス基板１０に各バー３の粘着層５を着脱自在に粘着する。複数のバー３が液晶ガラス基板１０に粘着層５を介し一体化して構造体を構成するとともに、各バー３が断面略矩形の板体としてＸ方向に伸長され、これらにより十分な剛性を得ることができるので、液晶ガラス基板１０が大型の場合でも、基材１自体の剛性を高めたり、重くする必要がない。 （もっと読む）

【課題】テープ状台紙へのカバーフィルムの熱圧着時間を短くした場合にも、テープ状台紙へのカバーフィルムの接合強度が大きく、剥離強度のばら付きの少ない、信頼性の高いテーピング電子部品を効率よく製造することが可能なチップ型電子部品の収納テープおよびそれを用いた信頼性の高いテーピング電子部品を提供する。
【解決手段】チップ型電子部品１が収納された収納穴２を封止する目的で、テープ状台紙３に熱圧着されるカバーフィルム４として、テープ状台紙との接合面Ｐに繊維状物質５を有するカバーフィルムを用いる。
繊維状物質としてテープ状台紙を構成する紙系材料と同系の材料からなるものを用いる。
繊維状物質として、その平均長さが２〜５μmのものを用いる。
カバーフィルムとして、熱圧着時に溶融しないベース層と、熱圧着時に溶融するシール層とを備え、シール層が繊維状物質を有しているものを用いる。 （もっと読む）

【課題】半導体チップや精密電子部品等を生産ラインの各ステージに連続的に供給する部品収納テープにおいて、エンボステープの厚みを増すことなく、ポケットが深い場合であっても、容易に変形しない剛性の高いポケットであって、外力から収納部品を保護する能力の高いポケットを有する部品収納テープを提供する。
【解決手段】エンボステープのポケットの底面に、上面が塞がれた円筒形補強突起を複数設ける。また、ポケットの側面を、その水平方向の断面が波形形状となる補強壁とする。
、ポケット幅方向の隆起壁を設ける。 （もっと読む）

【課題】リングフレームのがたつきを抑制することができ、容器本体の構成を簡素化し、部品点数の増加するおそれの少ない処理治具用の収納ケースを提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】リールの巻かれたキャリアテープの凹状収納室に対して、１周外方に巻かれて同一半径方向に位置する他のキャリアテープの凹状収納室が嵌入するのを抑止する。
【解決手段】被搬送部品を収容する凹状収納室１２の周壁１８がテーパー状になっているキャリアテープ１１において、前記凹状収納室１２の底部側周壁に、その一部分が外方に逆テーパー状に膨出する膨出部２０を設ける（第一対象発明）。また、凹状収納室１２の周壁１８が、前記エンボス成形されなかった平坦部１９に対して、略垂直になっているキャリアテープ１１において、凹状収納室１２の最下端周壁の背面間隔を凹状収納室の開口端幅より大きくする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ裏面検査および裏面分析に際し、ウエハ取り扱い時のウエハの破損、パーティクル付着、汚染などいった不具合を解消する。さらに、裏面検査・分析の作業にかかる時間や手間を軽減する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１１の上部には、半導体生産設備に設置固定するＦＯＵＰ底部の構造と同じ構造を設けてある。上下対称構造のＦＯＵＰ１１としたことにより、ウエハの処理過程でウエハの表裏反転が必要なときに、ＦＯＵＰ１１の天地を逆にするだけでウエハの表裏を反転させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】蓋体の施錠に支障を来たすおそれがなく、基板を汚染させるパーティクル等の発生を防止できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】２枚の半導体ウェーハを収納する背の低い容器本体の開口した正面部を開閉する蓋体２０に施錠機構４０を設けたタイプで、施錠機構４０は、蓋体２０の内部両側に支持されて蓋体２０の左右内外方向にスライド可能なリンクプレート４１と、蓋体２０の側壁の溝孔２３付近に出没可能に軸支されるとともに、リンクプレート４１の先端部に回転可能に連結され、蓋体２０の溝孔２３から突出して容器本体の正面部内の係止溝に干渉可能な係止爪４７と、係止爪４７を蓋体２０の溝孔２３から突出させるコイルバネ４９と、蓋体２０の外部から操作される操作孔４５とを備え、容器本体の係止溝に干渉する各係止爪４７の干渉部分にローラ４８を軸支させる。 （もっと読む）

【課題】キャリアテープの凹状収納室に収納される被キャリア部品の一端部がカバーテープを押し上げるのを阻止する構造のキャリアテープとそれを製造する金型を提供する。
【解決手段】多数個形成した凹状収納室に被キャリア部品１５を収納してから、それら被覆するカバーテープ１６が接合されるキャリアテープにおいて、前記カバーテープの延展面に対して前記凹状収納室の周壁部１２２をマクロ的に見て可及的に垂直化する。前記周壁部１２２は、前記凹状収納室の開口端部１８から凹状収納室の底部１２１に向かって落ち込む円弧面１９と、その円弧面からさらに前記底部に向かってテーパー状に延展する傾斜面２０があるので、ミクロ的に見て、それらの曲率半径と傾斜角ｂ１が特定の範囲になるように特定の金型を使用する。 （もっと読む）