【課題】大口径のウェーハ等の薄板であっても、自重の影響を受けることなく、ロボット装置等によって支障なく薄板収納容器から取り出すことができるようにする。
【解決手段】薄板収納容器において、薄板を収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられて薄板を支持する薄板支持部１２を複数個備える。さらに、その複数個の薄板支持部１２を、水平方向に並べて設けるとともに、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度αだけ傾斜するように設けて、垂直方向に対して傾斜させた状態で薄板を支持する。 （もっと読む）

【課題】リールを収容した状態をより確実に維持することが可能なパッケージ、を提供する。
【解決手段】リール用パッケージは、支持部２１，３１，４１と、縁部２６，３６，４６とを備える。支持部２１，３１，４１は、周方向に延在する湾曲面２１ａ，３１ａ，４１ａを有し、湾曲面２１ａ，３１ａ，４１ａによりリール２００を支持する。縁部２６，３６，４６は、湾曲面２１ａ，３１ａ，４１ａの軸方向における支持部２６，３６，４６の両端からそれぞれ連なり、湾曲面２１ａ，３１ａ，４１ａの径方向に延在する。縁部２６，３６，４６は、支持部２１，３１，４１よりも湾曲面２１ａ，３１ａ，４１ａの径方向外側に突出して形成される。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対する蓋体の固定力の低下を生じることなく、常に安定した開閉作業を行なうことができる精密基板収納容器を提供する。
【解決手段】上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部２０に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の開口内周縁にカム挿入口２０ｂが設けられ、蓋体３には蓋閉じ時に前記カム挿入口２０ｂに対向する側壁面に貫通孔３１が設けられ、貫通孔３１から出没する締め付け用カム５が設けられた精密基板収納容器１であって、締め付け用カム５のカム軸部４６（回転軸中心）の外側には、締め付け用カム５が貫通孔３１から出た際に、締め付け用カム５の底面５１ａに線接触し、貫通孔３１内に納まった際には接触解除されるリブ４１が設けられたものである。また、リテーナ２３の載置面２３１に精密基板１０との接触面積を減らす凸部２３１ａを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】吸湿性や水分透過性を低減し、基板の有機汚染を抑制することのできる安価な基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面６にシール用のガスケットを介し着脱自在に嵌合される蓋体２０とを備え、これら容器本体１と蓋体２０とを、吸水率が０．１％以下、８０℃で２４時間加熱してダイナミックヘッドスペース法により測定した総アウトガス量が１５ｐｐｍ以下の合成樹脂を含有する成形材料でそれぞれ射出成形する。成形材料の合成樹脂を、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、若しくはポリエチレンテレフタレートから選択された少なくとも一種、又はこれらのアロイ樹脂とする。 （もっと読む）

【課題】 弾性接点を有する接点ボードを保護して収納でき、ソケット構造の装置本体と接点ボードとを位置決めして、接点ボードを装置本体に組み付けることができる収納容器を提供する。
【解決手段】 収納容器７０の収納領域７１に、第１の位置決め部７６と第２の位置決め部７３が形成されている。ボード組立体２０を構成する接点ボード２１は、その角部が第１の位置決め部７６に嵌合して位置決めされる。ソケット構造の装置本体１０が、収納領域７１の第２の位置決め部７３に位置決めされると、ソケット本体２の底部に設けられている凸部６が、接点ボード２１の穴に圧入される。ボード組立体２０が装置本体１０の底部に位置決めされて保持されるので、そのまま装置本体１０を収納領域７１から離してマザーボードに取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】チップを簡易な方法により、確実にチップの側面が底面となるように移動させる方法が求められている。
【解決手段】板状のチップ３を内在させるためのポケット９を含むチップトレイ１であって、該ポケット９がチップ３の向きを鉛直方向に変えるための誘導部１３を含むチップトレイ１の前記ポケット９に、前記チップ３を、前記チップ９の広い面を水平にして入れる工程と、前記ポケット９に入ったチップ３が誘導部１３に沿って回転運動する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大型板状体の効率よい積載作業と振動や衝撃による板状体の損傷を防止できる板状体の積載装置及び運搬車両を提供。
【解決手段】実施の形態の積載装置は基台、アイソレータ、皿バネ機構、傾斜台、スクリュウジャッキ、横ずれ規制装置、収納容器固定装置、及び傾斜状態保持装置から構成。積載装置に伝わる振動は、アイソレータによって減衰され、積載装置には直接伝わらないので、振動によるガラス板の損傷を防止できる。また、トレーラーから積載装置に加わる横揺れは、横ずれ規制装置の横ずれ防止効果に相まって複数の皿バネ機構の皿バネが弾性変形することにより、横揺れ量が抑制される。これにより、収納容器１０を安定して運搬することができ、よって、横揺れに起因するガラス板の損傷を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】バルブに双向性を付与して取付け作業の簡素化や迅速化を図ることができ、しかも、必要に応じてガス供給ポートの数等を迅速に増やすことのできるパージバルブ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底板３の貫通孔４に嵌着されるバルブケース２１と、バルブケース２１にコイルバネ２７を介し往復動可能に挿入支持され、バルブケース２１を開閉する中空の内圧調整弁体３９と、内圧調整弁体３９内にコイルバネ４１を介し往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体３９を開閉する外圧調整弁体４４と、バルブケース２１と内圧調整弁体３９及び外圧調整弁体４４との間に介在されるガス濾過用のフィルタ４８とを備える。バルブケース２１の一端部から他端部方向にガスが流通する場合には、外圧調整弁体４４を往動させてその閉じた内圧調整弁体３９との間を開放し、バルブケース２１の他端部から一端部方向にガスが流通する場合には、内圧調整弁体３９を往動させてその閉じたバルブケース２１との間を開放する。 （もっと読む）

【課題】基板加工装置等の位置決めピンに支持された場合の容器本体の高さを低く抑え、容器本体を支持するのに必要な容積を低減し、容器本体を略正確に位置決めでき、しかも、バルブと所定の装置を接続して気体の漏洩を抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体１の開口した正面を開閉する蓋体２０と、容器本体１の底板３に嵌着されてその内外のガスを置換する複数のパージバルブ３０と、底板３に配設される複数の位置決め具４０とを備え、基板加工装置に支持される基板収納容器であり、複数の位置決め具４０を、基板加工装置に接触して容器本体１をＺ方向に位置決めする複数のＺ方向位置決め具４１と、基板加工装置の位置決めピンに嵌合して容器本体１をＸＹ方向に位置決めするＸＹ方向位置決め具４３と、位置決めピンに嵌合して容器本体１をＸ方向に位置決めするＸ方向位置決め具４６とから構成する。 （もっと読む）

【課題】クロスバータイプの基板収納装置やバックサポートタイプの基板収納装置よりも基板の収納効率の良いワイヤーカセットタイプの基板収納装置で、しかも更に従来のワイヤーカセットタイプよりも収納効率を高めた高密度基板収納装置を提供する。
【解決手段】基板を前面側から出し入れして、複数枚の基板を載置して収納、保持する基板収納装置であって、基板を載置するワイヤーを水平に複数本張架配列したワイヤー列を複数段有し、ワイヤーの張力を変化させる機構を備え、前記ワイヤー列の単位でワイヤーの張力を変化させて基板の出し入れを行うことを特徴とする高密度基板収納装置。 （もっと読む）

【課題】 帯体が傾いて巻き取り長さに異同を生じさせ、帯体の巻装に歪みが生じて一定の方向に曲がりやすくなるのを抑制することのできる巻取り用コア、巻取り用リール、及び帯体の巻取り方法を提供する。
【解決手段】 湾曲した周面２にキャリアテープ１０をトラバースして巻き取る際、巻き取ったキャリアテープ１０の他側部にキャリアテープ１０の一側部を重ねて重ね巻きする円筒形の巻取り用コア１で、一端部から他端部方向に向かうにしたがい周面２を半径外方向に傾斜させ、この周面２の傾きθを、０＜θ≦２ａｒｃｔａｎ〔キャリアテープの厚み／トラバースピッチ〕に基づかせる。巻取り用コア１の周面２がキャリアテープ１０の重なり部の傾きとは逆の方向に傾斜するので、キャリアテープ１０の重なり部の傾きを緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】無機酸の含有量を低減して、高エネルギーの光の照射下においてもヘイズの発生を可及的に防止できるペリクル用支持枠の製造方法、及びこれによって得られるペリクル用支持枠を提供する。
【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、光学的薄膜体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠の製造方法であって、酒石酸を含んだアルカリ性水溶液を用いた陽極酸化処理によりアルミニウム材の表面に陽極酸化皮膜を形成し、有機系染料を用いて染色処理した後、水蒸気により封孔処理してペリクル用支持枠を得る。 （もっと読む）

【課題】ワークをワークケースに収納する際に、ワーク同士の接触を生じにくくし、ワークの損傷を抑制すると共に、ワークをワークケースに収納しやすい円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】製造工程にてワーク１０を間隔をあけて複数枚、収納配置できるようにワーク１０の保持ガイド１０６が複数形成されたワークケース１００の開口部１０８に、ワーク１０の挿入ガイド１０６が複数形成された収納用治具２００を取り付け、収納用治具２００を頼りに手作業にてワーク１０をワークケース１００に収納し、収納後に収納用治具２００を取り外し、ワークケース１００を用いてワーク１０を移動させてワーク１０を製造する円盤状基板の製造方法であって、収納用治具２００の挿入ガイドは、両端部から中央部に向けて開口幅が大きくなる孔部２０２であり、ワーク１０のエッジ部が挿入ガイドによりガイドされ、保持ガイド１０６に配置されるようになしたことを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】粘着層の変形に支障を来たすことが少なく、電子部品の保持を容易にし、しかも、電子部品の面粗度に応じて粘着層の厚さや柔軟性を考慮する必要のない粘着保持トレーを提供する。
【解決手段】平面円形のトレー１と、このトレー１の平坦な表面２に周縁部が粘着固定されて半導体デバイス５を着脱自在に粘着保持する可撓性の粘着層１０と、トレー１の中心部に穿孔されて粘着層１０に被覆される真空防止孔１４とを備える。また、トレー１の表面２と粘着層１０の対向面に非密着加工をそれぞれ施し、粘着層１０を非シリコーン系の材料により形成してそのトレー１の表面２に対する粘着固定部を半導体デバイス５の粘着保持領域１３の外側とする。従来のトレー１の凸部を省略するので、半導体デバイス保持の困難化に伴い、輸送中の振動や衝撃で半導体デバイス５が衝突して欠け、割れが生じたり、パーティクルや異物が発生するのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】搬送時にトレイの底面がリフターの爪により突き上げられた時にペリクル膜に該トレイが接触することを防止できるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置するトレイと、該トレイの天面に被せる蓋と、該トレイの底面に配置された脚部とを有するペリクル収納容器であって、前記トレイは、ペリクル収納時に、天面の一部が前記ペリクル又は前記蓋のいずれかに接触し底面の一部が前記脚部と接する外周部と、該外周部の内側に位置し天面が前記ペリクル及び前記蓋のいずれにも接触しない内周部とを有し、該外周部は天面と底面との間に枠材を有し、該内周部は天面と底面との間に中空部を有することを特徴とするペリクル収納容器。 （もっと読む）

【課題】梱包容器の向きが容易に認識でき、誤作業があった場合でも容易に認知することができる光学物品の梱包容器を提供すること
【解決手段】複数の光学物品Ｐが収納されるとともに外周部分にヒダ１１３が設けられたトレイ１０と、前記トレイ１０を覆うとともに外周部分に前記ヒダ２１３が設けられた蓋２０と、を備えた光学物品Ｐの梱包容器１であって、前記ヒダ１１３，２１３が前記トレイ１０と前記蓋２０とに線に対して左右対称に設けられていることを特徴とする光学物品Ｐの梱包容器１。 （もっと読む）

【課題】収納枚数が可変でランダムアクセス可能なバッファカセットを提供する。
【解決手段】四角形の枠体（１０）と、枠体（１０）の四隅の下面に設けた足部（４０）と、枠体（１０）の四隅の上面に設けた勘合部（５０）と、枠体（１０）内の互いに向き合う２つの側面の間に所定の間隔で設けた支持フレーム（２０）と、支持フレーム（２０）の上面に所定の間隔で設けた基板支持ピン（３０）とを備え、足部（４０）の下部に勘合部（５０）と勘合する窪み部（６０）を設けた枚葉バッファカセット。 （もっと読む）

【課題】粘着性の必要な部分と不要な部分とのパターニングを作業の煩雑化等を招くことなく自在に行うことができ、しかも、底材に対して安定した接着性と易剥離性とを示す蓋材、該蓋材の製造方法、及び該蓋材の易剥離方法を提供する。
【解決手段】蓋材１Ｂは、基材１３と、粘着部１１ａ及び非粘着部１１ｂを有するエネルギー線硬化型粘着剤層１１と、該基材１３と該エネルギー線硬化型粘着剤層１１との間の該粘着部１１ａに対応する位置に形成されたエネルギー線遮断印刷層１２とを有し、該粘着部１１ａのエネルギー線硬化型粘着剤層１２は未硬化であり、該非粘着部１１ｂのエネルギー線硬化型粘着剤層１１はエネルギー線の照射により硬化する。 （もっと読む）

【課題】パルプモールド製の容器本体１に合成樹脂シート製の蓋体２を載置するときの位置決めを容易且つ正確に行うことができるようにする。
【解決手段】複数の下側収容凹部１３を備えた容器本体１と、下側収容凹部１３に対応する上側収容凹部２３を備えた蓋体２を有し、平行な縁面１１ａ・２１ａ・／１１ｂ・２１ｂを粘着テープ３ａ，３ｂで貼り合わせて使用される包装用容器。容器本体１は台面部１５ａに貫通孔１５ｂを備えた略四角錐台形状の下側凸部１５を有し、蓋体２は台面部２５ａに貫通孔１５ｂに対応する突起部２５ｂを備えた略四角錐台形状の上側凸部２５を有する。容器本体１の外周縁面１１に蓋体２の外周縁面２１を載置したとき、下側凸部１５の台面部１５ａに上側凸部２５の台面部２５ａが当接し且つ貫通孔１５ｂに突起部２５ｂが嵌合する。 （もっと読む）

【課題】容器本体の棚板から基板を適切に浮上させ、容器本体の開口した正面部に蓋体を圧入する際の圧力増加を抑制できる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体と、容器本体の正面部に嵌合圧入される蓋体とを備え、容器本体の背面壁２内に、半導体ウェーハＷの周縁部後方を遊嵌支持する断面略Ｕ字形の支持溝３を形成し、容器本体の両側壁内に、半導体ウェーハＷの周縁部側方を支持するティースを形成し、容器本体の背面壁２に対向する蓋体の対向内面に、半導体ウェーハＷの周縁部前方を保持するフロントリテーナを装着する。支持溝３を、蓋体の嵌合圧入時に半導体ウェーハＷのティースからの浮上を案内する緩高配の第一の傾斜底面４と、蓋体の容器本体からの取り外し時に半導体ウェーハＷのティースへの滑落を案内する急高配の第二の傾斜底面５とから形成する。 （もっと読む）